JP2003304695A - リニアモータ、その制御装置及びその制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 例えば半導体製造装置、測定装置等の超精密
機器等の駆動機構として利用される直動装置用リニアモ
ータにおいて、起動から停止までの時間を短くするとと
もに高精度の位置決めを可能にする。 【解決手段】 前記リニアモータの制御装置において、
各動作形態に適した値に設定された位置ゲイン、速度ゲ
イン及び積分定数からなる各動作形態ごとに専用の制御
定数を設け、適用する動作形態に応じて前記制御定数を
該当するものに切り替えて使用する制御装置を提供す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置、測定装置等の超精密機器等の駆動機構として利用
される直動装置用リニアモータに関し、特に高精度の位
置決めを必要とするリニアモータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、略１０ｃｍ乃至略１００ｃｍとい
ったストロークの範囲内で物体の位置決めを行うための
駆動装置としては、例えば、特公昭58-49100号および実
開昭63-93783号公報に開示されているような可動コイル
型リニアモータが多用されている。このリニアモータ
は、厚さ方向に着磁した複数の永久磁石を着磁方向が異
なるように対向させて配置し、対向する永久磁石間（ま
たは永久磁石とヨークの間）に形成された磁気空隙内
に、磁束と直角方向に運動する可動コイル組み立て体を
配設した構造を有する。

【０００３】このようなリニアモータでは、磁気回路部
にセンターヨークがなく、しかも磁気空隙内で磁束が複
数個の閉ループを構成し、磁路の一部に磁束が集中しな
いようになっているので、ストロークの全域に亘って一
様な磁束密度を発生させることができる。

【０００４】直動装置用リニアモータの機械部分の一例
の概略断面図を図５に示す。図５において１はヨークで
あり、鉄板のような強磁性材料により例えば平板状に形
成する。２は永久磁石であり、厚さ方向に着磁し、表面
にＮＳ磁極が交互に出現するようにヨーク１の長手方向
に配設して固着する。異なる磁極の極性が対向するよう
に磁気空隙３を介してヨーク１に配置された複数個の永
久磁石２を配設する。４は支持板であり、前記空隙３を
確保するためにヨーク１の長手方向両端部に固着する。
なお支持板４は前記ヨーク１と同様の強磁性材料によっ
て形成することが好ましい。これらヨーク１、永久磁石
２、支持板４により固定子５が構成される。

【０００５】次に７はコイルであり、前記磁気空隙３に
おける磁束と巻線方向が直交するような偏平の多相コイ
ルによって形成する。すなわち複数個のコイルを永久磁
石２の配設方向に若干量宛てずらせて配設（ただし図５
においては、コイル1個のみを図示している）し、磁極
の方向を磁界検出素子等の手段を介して検出し、電流を
流すべきコイルおよびその方向を切換え得るように形成
する。なお上記コイル７はホルダ(図示せず)に一体に支
持されて可動子６を形成し、支持摺動部材(図示せず)を
介して前記固定子５に移動可能に設けられる。なお上記
は可動コイル形リニアモータの場合である。ヨーク１、
永久磁石２、支持板４を可動子とし、コイル７およびホ
ルダを固定子とすると可動磁石形リニアモータとなる。

【０００６】以上の構成により、コイル７に電流を流す
と、コイル７はフレミングの左手の法則により、ヨーク
１の長手方向の駆動力を受けるから、コイル７を一体に
支持してなる可動子６はヨーク１の長手方向に移動す
る。次にコイル７に前記と逆方向の電流を流すと、コイ
ル７には前記と逆方向の駆動力が作用するから、可動子
６は前記と逆方向に移動する。従ってコイル７への通電
およびその電流の方向を選択することにより、可動子６
を所定位置に移動させることができる。

【０００７】図６は前記従来のリニアモータのうち、コ
イルを可動子とし永久磁石を固定子としたリニアモータ
の制御駆動装置を含めた全体構成を示す概要図であり、
同一部分は前記図３と同一の参照符号で示す。図におい
て、リニアモータの機械部分は固定子5、可動子６、位
置検出用のエンコーダ９、磁界検出素子１２及び支持摺
動部材２２から構成される。制御駆動部分は位置指令パ
ルスを発生する指令信号発生装置８、前記位置指令パル
スと前記エンコーダ９からのフィードバック信号を入力
として出力信号を発生する制御装置２１、前記出力信号
とリニアモータからの磁極信号を入力として駆動電流を
リニアモータへ出力するドライバ１４から構成される。

【０００８】図７は前記従来のリニアモータのシステム
構成の一例を示す図であり、同一部分は前記図６と同一
の参照符号で示す。以下、従来のリニアモータのシステ
ム構成の一例を図７を参照しながら説明する。８は位置
指令パルスを発生する指令信号発生装置、９は位置検出
用のエンコーダ、１０は前記位置指令パルスと前記エン
コーダ９の発生しフィードバックする現在位置検出パル
スとの偏差を計数する位置偏差カウンタ、１１は前記エ
ンコーダ９の発生する現在位置検出パルスを速度情報に
変換する微分部、１２はコイルの磁極の方向を検出する
磁界検出素子、１３は前記位置偏差カウンタ１０からの
位置偏差信号と前記微分部１１を経由した速度情報のフ
ィードバックとを受けて駆動電流信号を発生する制御演
算部、１４は前記磁界検出素子１２からの磁極信号と前
記制御演算部１３からの駆動電流信号とを受けてリニア
モータのコイルへの駆動電流を発生するドライバであ
る。位置偏差カウンタ１０、微分部１１、制御演算部１
３により制御装置２１が構成される。

【０００９】図８は図７の制御演算部１３の制御ブロッ
ク線図であり、その作用について以下に説明する。な
お、同一部分は前記図６、図７と同一の参照符号で示
す。前記位置偏差カウンタ１０からの位置偏差信号に位
置ゲインKp（符号１５）を掛算し、速度指令信号が発生
する。この速度指令信号と前記速度情報のフィードバッ
クとの偏差を速度偏差カウンタ１６が計数して、速度偏
差信号を発生する。この速度偏差信号ならびにPIコント
ローラ１７内の速度ゲインKv（符号１８）および積分定
数Ti（符号１９）を用いてPIコントローラ１７内で比例
積分演算を行い、得られた駆動電流信号をドライバ１４
に入力しコイルへ通電してリニアモータを駆動する。前
記の位置ゲインKp（符号１５）速度ゲインKv（符号１
８）および積分定数Ti（符号１９）の大きさは予め設定
されるものである。以下、位置ゲインKp（符号１５）速
度ゲインKv（符号１８）および積分定数Ti（符号１９）
を制御定数と記す。そして駆動電流信号が大きい程、コ
イルへ通電する駆動電流は大きくなり、したがって駆動
力も大きくなる。駆動電流信号の大きさは、位置偏差信
号および速度情報により変化するとともに、前記３種の
制御定数の大きさにより変化し、位置ゲインKp（符号１
５）および速度ゲインKv（符号１８）が大きいほど、か
つ積分定数Ti（符号１９）が小さいほど駆動電流信号は
大きくなる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】リニアモータには、可
動子が移動開始後、停止位置の近傍で一旦停止する大ス
トローク形態（停止位置手前付近まで移動させる、いわ
ゆる粗送り）と、その後再起動して停止位置で停止する
小ストローク形態（停止位置に正確に停止させる、いわ
ゆる精密送り）の２種類の動作形態を有するものがあ
る。そして両動作形態とも起動から停止までの時間をで
きるだけ短くすることが求められている。また小ストロ
ーク形態においては高精度の位置決めが求められる。小
ストローク形態の場合、位置指令パルスが少ないので位
置偏差信号が小さくなり、位置偏差信号と位置ゲインKp
（符号１５）とを掛けた積である速度指令信号も小さ
い。したがって速度指令信号と速度情報のフィードバッ
クとの偏差である速度偏差信号も小さくなり、その結果
駆動電流信号も小さくなり、駆動力も小さくなる。この
ため、駆動電流信号を大きくするように制御定数を設定
しないと、起動から停止までの時間が長くなってしま
い、極端な場合は動かなくなる。これに対して大ストロ
ーク形態の場合、位置指令パルスが多いので位置偏差信
号が大きくなり、位置偏差信号と位置ゲインKp（符号１
５）とを掛けた積である速度指令信号も大きく、したが
って速度指令信号と速度情報のフィードバックとの偏差
である速度偏差信号も大きくなり、その結果駆動電流信
号も大きくなる。このため制御定数を小ストローク形態
の場合のように駆動電流信号を大きくするように設定し
なくても必要な駆動力が得られる。制御定数を小ストロ
ーク形態の場合と同様な値に設定すると、大きな駆動力
のために可動子が高速になり過ぎて、所定位置での停止
時に停止位置を行き過ぎて逆戻り（逆転）し、戻り過ぎ
て再度停止位置へ搬送（正転）することを繰り返しなが
ら逆転、正転の距離が次第に減少して停止位置に停止す
る、いわゆるオーバーシュートが生じ、位置決め完了ま
でのセトリングタイムが増大して、起動から停止までの
時間が長くなってしまう場合もある このように、制御定数の適切な設定値は大ストローク形
態と小ストローク形態とでは異なるのであるが、従来の
リニアモータの制御装置では前記制御定数の設定値はそ
れぞれ一つだけであった。そのため、従来の制御定数の
値は小ストローク形態での必要な駆動力を確保できる範
囲で、大ストローク形態での所定位置停止時のオーバー
シュートをできるだけ小さくするように設定せざるをえ
ず、両動作形態に適切な値に設定することはできなかっ
た。

【００１１】そこで本発明の目的は、可動子を移動させ
る距離に応じて複数の動作形態を有するリニアモータに
おいて、各動作形態ごとに適した値に設定された専用の
制御定数を設け、適用する動作形態に応じて前記制御定
数を該当するものに切り替えて使用することにより、起
動から停止までの時間が短く、高精度の位置決めができ
るリニアモータを提供することである。さらに本発明の
目的は、可動子を移動させる距離に応じて複数の動作形
態を有するリニアモータにおいて、各動作形態ごとに適
した値に設定された専用の制御定数を設け、適用する動
作形態に応じて前記制御定数を該当するものに切り替え
て使用することにより、起動から停止までの時間が短
く、高精度の位置決めができるリニアモータの制御装置
を提供することである。さらに本発明の目的は、可動子
を移動させる距離に応じて複数の動作形態を有するリニ
アモータにおいて、各動作形態ごとに適した値に設定さ
れた専用の制御定数を設け、適用する動作形態に応じて
前記制御定数を該当するものに切り替えて使用すること
により、起動から停止までの時間が短く、高精度の位置
決めができるリニアモータの制御方法を提供することで
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願の第一の発明は、永
久磁石とコイルとが相対運動する構成のリニアモータに
おいて、駆動電流を制御するための制御定数を、適切な
値に設定できる制御装置を有することを特徴とするリニ
アモータである。

【００１３】本願の第二の発明は、前記制御装置は、可
動子を移動させる距離に対応する適切な制御定数を算出
する手段を有することを特徴とする、前記第一の発明の
リニアモータである。

【００１４】本願の第三の発明は、前記制御装置は、可
動子を移動させる距離に対応させて予め前記制御装置に
登録した制御定数から、適切な制御定数を選択する手段
を有するとともに、前記制御定数は少なくとも、位置ゲ
イン、速度ゲイン、積分定数の１種以上を含むことを特
徴とする、前記第一ないし第二の発明のリニアモータで
ある。

【００１５】本願の第四の発明は、永久磁石とコイルと
が相対運動する構成のリニアモータにおいて、駆動電流
を制御するための制御定数を、適切な値に設定できるこ
とを特徴とするリニアモータの制御装置である。

【００１６】本願の第五の発明は、前記制御装置は、可
動子を移動させる距離に対応する適切な制御定数を算出
する手段を有することを特徴とする、前記第四の発明の
リニアモータの制御装置である。

【００１７】本願の第六の発明は、前記制御装置は、可
動子を移動させる距離に対応させて予め前記制御装置に
登録した制御定数から、適切な制御定数を選択する手段
を有するとともに、前記制御定数は少なくとも、位置ゲ
イン、速度ゲイン、積分定数の１種以上を含むことを特
徴とする、前記第四ないし第五の発明のリニアモータの
制御装置である。

【００１８】本願の第七の発明は、永久磁石とコイルと
が相対運動する構成のリニアモータにおいて、駆動電流
を制御するための制御定数を、適切な値に設定できるこ
とを特徴とするリニアモータの制御方法である。

【００１９】本願の第八の発明は、前記制御方法は、可
動子を移動させる距離に対応する適切な制御定数を算出
する手段を有することを特徴とする、前記第七の発明の
リニアモータの制御方法である。

【００２０】本願の第九の発明は、前記制御方法は、可
動子を移動させる距離に対応させて予め制御装置に登録
した制御定数から、適切な制御定数を選択する手段を有
するとともに、前記制御定数は少なくとも、位置ゲイ
ン、速度ゲイン、積分定数の１種以上を含むことを特徴
とする、前記第七ないし第八の発明のリニアモータの制
御方法である。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態を図１、図
２、図３を参照しながら以下に説明する。なお同一部分
は前記図７、図８と同一の参照符号で示す。なお、リニ
アモータの制御駆動装置を含めた全体構成を示す概要図
は前記図６と同じ（すなわちコイルを可動子とし永久磁
石を固定子としたリニアモータ）である。

【００２２】図１はシステム構成図である。８は位置指
令パルスを発生する指令信号発生装置、９は位置検出用
のエンコーダ、１０は前記位置指令パルスと前記エンコ
ーダ９の発生しフィードバックする現在位置検出パルス
との偏差を計数する位置偏差カウンタ、１１は前記エン
コーダ９の発生する現在位置検出パルスを速度情報に変
換する微分部、１２はコイルの磁極の方向を検出する磁
界検出素子、１３は前記位置偏差カウンタ１０からの位
置偏差信号と前記微分部１１を経由した速度情報のフィ
ードバックとを受けて駆動電流信号を発生する制御演算
部、１４は前記磁界検出素子１２からの磁極信号と前記
制御演算部１３からの駆動電流信号とを受けてリニアモ
ータのコイルへの駆動電流を発生するドライバである。
動作形態切り替え部２０は動作形態を大ストローク形態
と小ストローク形態とのいずれかに切り替えるための動
作形態切り替え信号を発生する。そして制御演算部１３
に前記動作形態切り替え信号が入力され、後述するよう
に制御演算部１３内で制御定数が切り替えられる。指令
信号発生装置８は動作プログラムを有する。エンコーダ
９は光学式エンコーダあるいは磁気式エンコーダが用い
られる。位置偏差カウンタ１０、微分部１１、制御演算
部１３および動作形態切り替え部２０により制御装置２
１ａが構成される。指令信号発生装置８、制御装置２１
ａは市販のパーソナルコンピュータ、シーケンサあるい
は本リニアモータ専用の制御演算機器が用いられる。

【００２３】図２は図１の制御演算部１３の制御ブロッ
ク線図である。制御演算部１３内には位置ゲイン、速度
ゲインおよび積分定数の３種の制御定数が有る。この制
御定数の内、位置ゲインは大ストローク形態用位置ゲイ
ンKpl（符号１５L）および小ストローク形態用位置ゲイ
ンKps（符号１５S）の二つがあり、速度ゲインは大スト
ローク形態用速度ゲインKvl（符号１８L）および小スト
ローク形態用速度ゲインKvs（符号１８S）の二つがあ
り、積分定数は大ストローク形態用積分定数Til（符号
１９L）および小ストローク形態用積分定数Tis（符号１
９S）の二つがある。すなわち、大ストローク形態用位
置ゲインKpl（符号１５L）、大ストローク形態用速度ゲ
インKvl（符号１８L）および大ストローク形態用積分定
数Til（符号１９L）は大ストローク形態用制御定数であ
り、小ストローク形態用位置ゲインKps（符号１５S）、
小ストローク形態用速度ゲインKvs（符号１８S）および
小ストローク形態用積分定数Tis（符号１９S）は小スト
ローク形態用制御定数である。これらの制御定数は予め
制御演算部１３にプログラムとして登録されるものであ
る。２０ａは、前記動作形態切り替え部２０からの動作
形態切り替え信号により、前記制御定数を切り替えるた
めの切り替え機能である。便宜上、切り替え機能２０ａ
は図の左側にコモン端子があり、図の右側の上下二つの
端子のいずれかに接続する接点のシンボルで模擬的に表
示されているが、実際には制御演算部１３にプログラム
として登録されるものである。

【００２４】次に作用について説明する。図３は動作フ
ローチャートであり、可動子６を移動させる距離が大き
い大ストローク形態と、可動子６を移動させる距離が小
さい小ストローク形態の２種類の動作形態の１回分を示
す。（実際には前記２種類の動作形態が必要回数繰り返
される。）ステップＳ１において指令信号発生装置８の
動作プログラムが動作に必要な位置指令パルスを発生す
る。位置指令パルスが位置偏差カウンタ１０に入力され
ると、位置偏差カウンタ１０が位置指令パルスと現在位
置検出パルスフィードバックとの偏差である位置偏差信
号を発生する（ステップＳ２）。この位置偏差信号が動
作形態切り替え部２０に入力されると、動作形態切り替
え部２０は大ストローク形態動作を選択するよう動作形
態切り替え信号を出力する。これにより、図２に示すよ
うに切り替え機能２０ａの模擬的接点が上側に切り替わ
る（ステップＳ３）ので、位置ゲインは大ストローク形
態用位置ゲインKpl（符号１５L）に切り替わり、 PIコ
ントローラ１７内の比例積分演算は大ストローク形態用
速度ゲインKvl（符号１８L）および大ストローク形態用
積分定数T_il（符号１９L）を用いたKvl（１＋１／（ T
_ilS ））の比例積分演算に切り替わる（ステップＳ
４）。これにより、可動子６が、大ストローク形態で移
動し（ステップＳ５）、大ストローク形態の所定位置に
停止すると（ステップＳ６）、動作形態切り替え部２０
は小ストローク形態動作を選択するよう動作形態切り替
え信号を出力する（ステップＳ７）。これにより、図２
に示すものとは逆に切り替え機能２０ａの模擬的接点が
下側に切り替わるので、位置ゲインは小ストローク動作
形態用位置ゲインKps（符号１５S）に切り替わり、PIコ
ントローラ１７内の比例積分演算は小ストローク形態用
速度ゲインKvs（符号１８S）および小ストローク形態用
積分定数Tis（符号１９S）を用いたKvs（１＋１／（T_iS
S））の比例積分演算に切り替わる（ステップＳ８）。
これにより、可動子６が、小ストローク形態で移動し
（ステップＳ９）、小ストローク形態の所定位置に停止
する（ステップＳ１０）。

【００２５】そして大ストローク形態用位置ゲインKpl
（符号１５L）、大ストローク形態用速度ゲインKvl（符
号１８L）および大ストローク形態用積分定数T_il（符号
１９L）の値を所定位置停止時のオーバーシュートを生
じないか、またはオーバーシュートをできるだけ小さく
するように適切な値に設定する。また小ストローク形態
用位置ゲインKps（符号１５S）の値は大ストローク形態
用位置ゲインKpl（符号１５L）の値より大きくし、小ス
トローク形態用速度ゲインKvs（符号１８S）の値は大ス
トローク形態用速度ゲインKvl（符号１８L）の値より大
きくし、小ストローク形態用積分定数Tis（符号１９S）
の値は大ストローク形態用積分定数T_il（符号１９L）の
値より小さくするようにして、小ストローク形態での駆
動力不足傾向を解決するよう適切な値に設定する。この
ように、リニアモータの動作形態を、可動子６が移動開
始後、停止位置の近傍で一旦停止する大ストローク形態
と、その後再起動して停止位置で停止する小ストローク
形態の２種類に分け、制御定数を夫々の動作形態に適合
する値に設定し、かつ、動作形態切り替え部２０が動作
形態切り替え信号を出力することを、制御定数選択手段
とすることにより、起動から停止までの時間を短くする
ことが可能で停止精度の高いリニアモータを提供するこ
とができる。さらに、起動から停止までの時間を短くす
ることが可能で停止精度の高いリニアモータの制御装置
を提供することができる。さらに、起動から停止までの
時間を短くすることが可能で停止精度の高いリニアモー
タの制御方法を提供することができる。

【００２６】以上、本発明の実施の一形態について説明
したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものでは
ない。実施の形態に記した構成はこれに限定されるもの
ではなく、機能、生産性等を勘案して最適のものとすれ
ば良い。また、下記のような変形も可能である。 １）実施の形態では、可動子６を移動させる距離が大き
い大ストローク形態と、可動子６を移動させる距離が小
さい小ストローク形態の２種類の動作形態の場合につい
て記したが、動作形態は3種類以上でも良い。 ２）実施の形態では、コイルを可動子とし、永久磁石を
固定子としたが、コイルを固定子とし、永久磁石を可動
子としても良い。 ３）実施の形態では、制御定数は予め制御演算部１３に
プログラムとして登録されたが、制御定数は可動子６を
移動させる距離に対応する適切な値に算出されるように
しても良い。 ４）実施の形態では、制御定数は位置ゲインKp（符号１
５）速度ゲインKv（符号１８）および積分定数Ti（符号
１９）の３種を全て大ストローク形態用と小ストローク
形態用とに切り替えたが、３種のうち少なくとも１種を
切り替えるようにしても良い。 ５）実施の形態では、リニアモータの磁気回路は図５の
ように永久磁石２同士が対向する構成としたが、図４
（同一部分は図５と同一の参照符号で示す）に示すよう
に相隣る磁極が交互に異なるように配置された複数個の
永久磁石２と、この永久磁石２に磁気空隙３を介して配
置されたヨーク１ａ（ヨーク１と同様の強磁性材料によ
って形成することが好ましい）が対向する構成としても
良い。 ６）実施の形態では、位置偏差カウンタ１０は制御装置
２１ａに内蔵されるものとしたが、制御装置２１ａとは
別にしても良い。 ７）実施の形態では、指令信号発生装置８は制御装置２
１ａには含まれないようにしたが、指令信号発生装置８
は制御装置２１ａに含まれるようにしても良い。

【００２７】本発明においては、上記変形同士の組み合
わせ或いは実施の形態と変形との組み合わせは、任意に
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態を示すシステム構成図で
ある。

【図２】本発明の実施の一形態を示す制御ブロック線図
である

【図３】本発明の実施の一形態を示す動作フローチャー
トである。

【図４】本発明の変形５）の概略断面図である。

【図５】直動装置用リニアモータの機械部分の一例の概
略断面図である。

【図６】従来のリニアモータの制御駆動装置を含めた全
体構成を示す概要図である。

【図７】従来のリニアモータのシステム構成の一例を示
す図である。

【図８】従来のリニアモータの制御ブロック線図であ
る。

【符号の説明】

１、１ａ ヨーク、 ２ 永久磁石、 ３ 磁気空隙、
４ 支持板、 ５固定子、 ６ 可動子、 ７ コイ
ル、 ８ 指令信号発生装置、 ９ エンコーダ、 １
０ 位置偏差カウンタ、 １１ 微分部、 １２ 磁界
検出素子、１３ 制御演算部、 １４ ドライバ、 １
５ 位置ゲインKp、 １５L 大ストローク形態用位置
ゲインKpl、 １５S 小ストローク形態用位置ゲインKp
s、１６ 速度偏差カウンタ、 １７ PIコントローラ、
１８ 速度ゲインKv、１８L 大ストローク形態用速
度ゲインKvl、 １８S 小ストローク形態用速度ゲイン
Kvs、 １９ 積分定数Ti、 １９L 大ストローク形態
用積分定数Til、 １９S 小ストローク形態用積分定数
Tis、 ２０ 動作形態切り替え部、２０ａ 切り替え
機能、 ２１、２１ａ 制御装置、 ２２ 支持摺動部
材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 向井 良二 埼玉県熊谷市三ヶ尻5200番地日立金属株式 会社生産システム研究所内 Ｆターム(参考） 5H540 AA06 BA05 BB02 BB06 BB08 DD09 EE02 EE05 EE06 EE16 FA02 FB05 FC05 5H641 BB03 BB18 GG03 GG24 GG26 GG27 GG28 HH02 JA02

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 永久磁石とコイルとが相対運動する構成
   のリニアモータにおいて、駆動電流を制御するための制
   御定数を、適切な値に設定できる制御装置を有すること
   を特徴とするリニアモータ。
2. 【請求項２】 前記制御装置は、可動子を移動させる距
   離に対応する適切な制御定数を算出する手段を有するこ
   とを特徴とする、請求項１に記載のリニアモータ。
3. 【請求項３】 前記制御装置は、可動子を移動させる距
   離に対応させて予め前記制御装置に登録した制御定数か
   ら、適切な制御定数を選択する手段を有するとともに、
   前記制御定数は少なくとも、位置ゲイン、速度ゲイン、
   積分定数の１種以上を含むことを特徴とする、請求項１
   ないし請求項２に記載のリニアモータ。
4. 【請求項４】 永久磁石とコイルとが相対運動する構成
   のリニアモータにおいて、駆動電流を制御するための制
   御定数を、適切な値に設定できることを特徴とするリニ
   アモータの制御装置。
5. 【請求項５】 前記制御装置は、可動子を移動させる距
   離に対応する適切な制御定数を算出する手段を有するこ
   とを特徴とする、請求項４に記載のリニアモータの制御
   装置。
6. 【請求項６】 前記制御装置は、可動子を移動させる距
   離に対応させて予め前記制御装置に登録した制御定数か
   ら、適切な制御定数を選択する手段を有するとともに、
   前記制御定数は少なくとも、位置ゲイン、速度ゲイン、
   積分定数の１種以上を含むことを特徴とする、請求項４
   ないし請求項５に記載のリニアモータの制御装置。
7. 【請求項７】 永久磁石とコイルとが相対運動する構成
   のリニアモータにおいて、駆動電流を制御するための制
   御定数を、適切な値に設定できることを特徴とするリニ
   アモータの制御方法。
8. 【請求項８】 前記制御方法は、可動子を移動させる距
   離に対応する適切な制御定数を算出する手段を有するこ
   とを特徴とする、請求項７に記載のリニアモータの制御
   方法。
9. 【請求項９】 前記制御方法は、可動子を移動させる距
   離に対応させて予め制御装置に登録した制御定数から、
   適切な制御定数を選択する手段を有するとともに、前記
   制御定数は少なくとも、位置ゲイン、速度ゲイン、積分
   定数の１種以上を含むことを特徴とする、請求項７ない
   し請求項８に記載のリニアモータの制御方法。