JPS63144931A - 加工屑除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は微細な機械加工を行う際の加工屑除去装置に関
し、特に、集積回路基板の加工を行う際に用いるに好適
な装置に関する。

「従１来の技術」 光集積回路に光フてイバーを結合し、光集積回路基板上
の光導波路に光を入射する結合方法の一つに、第７図に
委す様に、基板２上に溝３を形成し、この溝３に光ファ
イバー１を固定して直接光導波路５に光を入射する結合
方法がある。この方法は、溝３の加工方法に問題が生ず
る。光集積回路の基板２は、ガラス材、ニオブ酸すチュ
ウム（ＬｉＮｂＣ）ｓ）の結晶などが一般に用いられ、
いずれもぜい性が高い難削材である。このため、従来鴫
切削加工を行なわずに掻く薄い砥石を用いて研削加工に
より渭３を形成していた。

しかし、砥石にキる研削加工では、溝３の端部４が砥石
の径と同じ形状の円弧形状となる。このため、光ファイ
バー１を溝３に固定した際に、光ファイバー１の端面と
光導波路５との間に大きなすきまを生じ、この部分での
光の分散及び損失が非常に大きくなってしまい、はとん
ど実用に耐えないという問題点があった。

そこで、第８図仲示す様に、先端が角錐形状に形成され
た角錐工具１１を用い、角錐工具１１を回転させながら
横方向に送り、先端の角錐部１２による切削加工により
基板２の表面にＶ講３を形成する方法が考案される。

この新しい加工方法では、切削された加工屑を角錐工具
１１の先端部１２がらすみやかに除去しないと基板の加
工面にチッピングを生じてしまうという問題点が生じた
。加工屑がＶｆｉ３に残留し、切削面にかみ込んでしま
うがらである。加工屑の除去は、加工されるＶ講３の幅
が０　、１　ｍｍ程度の掻く微細なものであり、意外に
困難であるという問題点があった。

本発明は上記の問題点を解決するためなされたものであ
り、加工屑を加工箇所からすみやかに除去することがで
き、良好な切削加工を可能とする加工屑除去装置を提供
することを目的とする。

ｃ問題点を解決するための手段」 このため本発明では、先端に刃部を有する回転加工用工
具の先端に、その工具の回転に伴い空気流を生じさせて
その空気流により加工屑を除去するための空気流発生体
を取付けたことを特徴とする加工屑除去装置が提供され
る。

「作用」 上記の構成によれば、加工屑は空気流発生体により生ず
る空気流に搬送されて工具の先端からすみやかに除去さ
れる。

「実施例」 本発明の実施例について図面に従って具体的に説明する
。

第１図は本発明の第１の実施例を示す断面図である。

空気流発生体をなすアタッチメント２１はスリーブ部２
２と下端の円板部２３からなり、角錐工具１１の角錐部
１２先端が円板部２３下面がら突出するように挿通して
ねじ２４により角錐工具１１に固定される０円板部２３
の下面にはらせん羽根２５が設けられ、スリーブ部２２
の内周面には円板部２３の下面とスリーブ２２上端とを
押通するｆｆ１２６が設けられている。

アタッチメント２１は角錐工具１１と伴に回転し、らせ
ん羽根２５により円板部２３と基板２との間の空気を吸
引する空気流を生じさせる。空気流は溝２６を通って上
方に排出される。この空気流により、角錐部１２先端で
生ずる加工屑を吸引し迅速に除去することができる。ま
た、切削油を用いた場合は、切削油も加工屑と共に吸引
し、角錐工具１１の先端に切削油を充分に行き渡らせる
ことができる。加工屑がすみやかにに除去され、切削油
が充分に行き渡るから、顕著なぜい性を示す被加工物（
基板）２であっても、加工面にチッピングを生ずること
なく良好な切削加工を行うことができる。

第２図は第２の実施例を示す断面図である。この実施例
では空気流発生体がらせん羽根ではなくらせん渭を備え
る。

空気流発生体をなすアタッチメント３１はスリーブ部３
２と下端の円板部３３とからなる。第３図に示す様に、
スリーブ部３３の内周面にはらせん状に渭３６が形成さ
れ円板部３３の下面とスリーブ３２上端とを押通してい
る。また、第７１図に示す様に、円板部３３の底面には
らせん湧３５が形成されている。アタッチメント３１は
ねじ３４により角錐工具１１に固定される。アタッチメ
ント３１の上方に近接して中央部に透孔４１が明けられ
た受皿４２が設けられ、受皿４２内の角錐工具１１に小
さなファン羽根４３が取付けられている。

被加工物である集積回路基板２に加工しようとする■渭
３の深さは、Ｏ，’１ｗ＋ｍ程度の掻く微細なものであ
るから、角錐工具の先端はアタッチメント３１の円板部
３３の底面から侃かに突出されるにすぎない、アタッチ
メント３１が取付けられた角錐工具１１は、第５図及び
第６図に示す様に、工作ｖ１械４５の主軸４６に取付け
られ、高速回転されて切削加工が行なわれる。

清を切削加工する際には、アタッチメント３１の円板部
３３底面は集積回路、基板２の表面に極く近接した状態
で角錐工具１１と共に回転される。

このため、基板２の表面と円板部３３底面とらせん渭３
５とにより、あたかも、らせん形ポンプが構成されたが
如き形となり、らせん講３５部に負圧を生じ、周辺の空
気が吸引されて空気流を生ずる。この空気流はスリーブ
部３２の渭３６及び受皿４２の透孔４１を通過して受皿
４２内に放出される。ファン羽根４３はこの空気流を強
める働きをする。

この空気流により、角錐工具１１の先端で生ずる加工屑
を吸引し、すみやかに加工箇所から除去し、受皿４２内
に放出することができる。また、切削油を用いるときは
、切削油も同時に吸引し、さらに加工屑の除去作用を高
めることができる。

以上説明した２つの実施例では、いずれもアタッチメン
ト２１．３１周辺の空気を吸引して空気流を生じしめ、
角錐工具１１の先端付近での加工屑を吸引して除去する
ものとしたが、らせん羽根２５又はらせん講３５の形状
を変え、空気を工具の先端付近に吹き付けるようにし加
工屑を除去することも可能である。

また、光集積回路基板２に角錐工具１１でＶ渭３を加工
する場合を例に説明したが、本発明は先端に刃部を有す
る回転加工用工具による加工に一最に適用できることは
明白である。

「発明の効果」 以上説明したように本発明は上記の構成を有し、回転工
具に取付けられた空気流発生体による空気流によって加
工屑を除去するものであるから、微細な加工であっても
加工箇所から加工屑をすみやかに除去することができる
という効果がある。加工屑の迅速な除去は、特に、ぜい
性部材の加主において加工面を良好に保つ上で優れた効
果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は第１の実施例を
示す断面図、第２図は第２の実施例を示す断面図、第３
図はアタッチメントの断面図、第４図はその底面図、第
５図及び第６図は工作機械に装着した状態を示す正面図
および側面図、第７図は加工する■溝を示す斜視図、第
８図は加工状態を説明する断面図である。 ■０．．光ファイバー、　２１０．基板、　３　、、、
ｖ清、　　１１　、、、角錐工具、　　２１，３１．、
、アタッチメント、　２２．３３．、、円板部、　　２
５　、、、らせん羽根、　　３５．、、らせん渭。 第１　Ｑ 第２図 第３図 第４図 第５［２第６図 第７図 第８図 １１＼、　　Ｇ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　先端に刃部を有する回転加工用工具の先端に、その
   工具の回転に伴い空気流を生じさせてその空気流により
   加工屑を除去するための空気流発生体を取付けたことを
   特徴とする加工屑除去装置。 ２　前記空気流発生体は、下面にらせん溝又はらせん羽
   根が設けられた円板を有することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の加工屑除去装置。