JPS63139223A - 焦電形赤外線センサ - Google Patents

焦電形赤外線センサ

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JPS63139223A
JPS63139223A JP61287364A JP28736486A JPS63139223A JP S63139223 A JPS63139223 A JP S63139223A JP 61287364 A JP61287364 A JP 61287364A JP 28736486 A JP28736486 A JP 28736486A JP S63139223 A JPS63139223 A JP S63139223A
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pyroelectric infrared
pyroelectric
infrared rays
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Noboru Masuda
昇 増田
Kenji Tomaki
健治 戸蒔
Tetsuo Osawa
大沢 哲夫
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/34Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors

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  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、例えば人体から放射される熱線、すなわち赤
外線を検出するために用いる焦電形赤外線センサに関す
る。
く従来の技術〉 近年、焦電形赤外線センサが各種の分野で使用されてい
る。焦電形赤外線センサは、焦電性結晶に温度変化を与
えたとき、焦電性結晶表面に自発分極の変化によって電
荷が発生するという焦電効果を利用したものである。
従来の焦電形赤外線センサは、第7図に示す構造となっ
ている。すなわち、焦電形赤外線センサ101はケース
102を構成する円板状の底部103に貫通したビン1
04と、そのビン104に支持されるFET回vP10
5及び焦電形赤外線素子106a、106bを形成した
基板107とをケース102の中央部に配置している。
そして、ケース102を構成する円筒状のカバー108
の端部に開口部109を設け、その開口部109を赤外
線を透過させる部材から成る光学フィルタ110で覆う
、そして、カバー108を底部103の周辺部と合わせ
、内部に窒素ガス(N2 )等の不活性ガスを封入して
、溶接している。
そして、この焦電形赤外線センサ101の焦電形赤外線
検出素子106a、106bは、第8図に示す回路図の
よう°に同極の分#l端が直列に接続され、その差分出
力が電界効果トランジスタ(FET)によるエミッタホ
ロワのインピーダンス変挽回路から出力される。なお、
R1,R2は抵抗である。第8図では焦電形赤外線検出
素子106a、106bの同種同士が直列に接続されて
いるが、異分極端を並列接続した構成でも良い。
ところで、焦電形赤外線センサは、焦電性結晶表面に発
生する電荷により温度変化を検出するという上記動作原
理からも明らかなように、インピーダンスが高く、外来
雑音の影響を受けやすいという欠点を有している。そこ
で、この種の焦電形赤外線センサを利用するため、焦電
形赤外線センサに対向して凹面状の集光ミラーを配置し
て、赤外線の発生源から発せられる赤外線を焦電形赤外
線センサに集光し、S/N比を高くするように構成して
いた。
ところが、上記のように、焦電形赤外線センサを集光ミ
ラーに対向させていたために、装置全体が大型になり、
また集光ミラーとするためミラーを凹曲反射面に形成し
なければならず製作が容易でなかった。
このため、本発明者は、ミラー片114を、第9図に示
すように、筐体111の上面112の開口113に位置
する焦電形赤外線センサ101の焦電形赤外線検出素子
101a、101bに反射光が投影するように、前記筐
体111の上面112に垂直にかつ焦電形赤外線検出素
子101aと101bの間を通る平面の位置に取り付け
た焦電形赤外線検出装置120′Ii:提案した。
この様な構成における動作を第10図の動作説明図及び
第11図(a)の焦電形赤外線検出素子106a、10
6bの出力波形図、第11図(b)のFETの出力波形
図を用いて説明する。熱線すなわち赤外線を放射してい
る被検出体が、比較的遠方から領域(1)に到来すると
、第1の焦電形赤外線検出素子106aとそれと間隔G
をおいて配置されている第2の焦電形赤外線検出素子1
06bの両方に赤外線が入射するので、その差出力は殆
ど無視できる0次に、被検8体が領域(2)すなわち遮
蔽及び反射による第1の検出ゾーンにおいて、ミラー片
114は第1の焦電形赤外線検出素子106aに対して
は、赤外線の直接入射分に加算して赤外線を反射し投影
させて入射させ、第2の焦電形赤外線検出素子106b
に対しては赤外線を遮蔽する作用をして、大きい出力を
得る。
領域(3)では、ミラー片114の影響を受けずに、第
1、第2の焦電形赤外線検出素子106a、106bに
赤外線が入射するが、FETには差動出力は現れない、
さらに、第2の検出ゾーンとしての領域(4)ではミラ
ー片114は、第1の焦電形赤外線検出素子106aに
対しては、赤外線を遮蔽し、第2の焦電形赤外線検出素
子106aに対しては、直接入射分の赤外線に加算して
赤外線を反射し投影させて入射させる作用をして、大き
い差動出力を得る。領域(5)では、第1、第2の焦電
形赤外線検出素子106a’、106bの両方に赤外線
が入射するため、FETには差動出力が現れない。
以上の説明は、赤外線が一点から放射しているように説
明し、また赤外線が距離の2乗に反比例して減衰するこ
とを無視して説明したが、実際の被検出体はある程度の
幅を有しており、その幅及び第1、第2の焦電形赤外線
検出素子106a、106bから被検出体までの距離差
を考慮に入れて扱うことが必要な場合もあることに留意
しなければならない0例えば、領域(1)では第1の焦
電形赤外線検出素子106aの方に若干大きい出力が出
て、領域(1)から領域(2)に移るときには、徐々に
差動出力が増加することになる。
この様にして得たFETの出力は図示しない帯域通過濾
波器、レベル検出器等に導かれて、例えば警報機に接続
されて警報機を作動させる。
〈発明が解決しようとする問題点〉 このように、焦電形赤外線センサは、ミラー片を取り付
けることにより顕著な利点を有するが、ミラー片を焦電
形赤外線センサと離して外部に取り付けていたため、焦
電形赤外線センサを組込んだ焦電形赤外線検出装置の大
きさは、ミラー片のサイズによって規定され、装置その
ものを小形化することは困難であった。
〈問題点を解決するための手段〉 本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
開口部を赤外線が透過する部材で覆ったケース内に、一
対の焦電形赤外線検出素子を前記開口部に向けて配設し
た基板を収容した焦電形赤外線センサにおいて、前記ケ
ース内にミラー片を備え、ミラー片による反射光を焦電
形赤外線検出素子に入射し投影するように配置したこと
を特徴とする焦電形赤外線センサである。
〈実施例1〉 以下、本発明の焦電形赤外線センサの実施例を図面を用
いて詳細に説明する。
第1図(a)は、本発明の一実施例を示す正面断面図、
同(b)は平面図である。焦電形赤外線センサ1はケー
ス2の一部を構成する円板状の底板3に貫通したビン4
と、FET回路5及び焦電形赤外線検出素子(3a、5
bを形成した基板7を前記ビン4で支持してケース2の
中央部に配置している。また、底板3には、焦電形赤外
線検出素子6a、6bの形成面と垂直なミラー片8を固
定しである。ミラー片8は下辺中央部を略半円形状に切
欠した矩形状の部材であり、焦電形赤外線検出素子6a
と6bの間を通る平面に位置するように配置している。
そして、表面を例えばアルミニュウム(AI)メッキ、
アルミニュウム蒸着、クローム(Cr)メッキ等の手段
により、反射率が1に近くなるように鏡面加工してあり
、第1の反射面8a”?反射した赤外線は第1の焦電形
赤外線検出素子6aに入射し、第2の反射面8bで反射
した赤外線は第2の焦電形赤外線検出素子6bに入射す
るようにする。また、焦電形赤外線センサ1はケース2
の一部を構成する円筒状のカバー9を有し、そのカバー
9は端面部に開口部10を設け、その開口部10を赤外
線を透過させる部材からなる光学フィルタ11で覆い密
封する。また、カバー9の底部に底板3を合わせ、内部
に窒素ガス(N2 )等の不活性ガスを封入し、溶接に
より封止する。
この構成における動作を第2図の動作説明図及び第3図
(a)の焦電形赤外線検出素子6a16bの出力波形図
、第3図(b)のFETの出力波形図を用いて説明する
。熱線すなわち赤外線な放射している被検出体が、領域
(イ)にいる問は、赤外線はケース2のカバー9により
遮蔽され焦電形赤外線検出素子6a、6bに入射しない
、被検出体が領域(ロ)に来ると、第1の焦電形赤外線
検出素子6a方向の赤外線はカバー9により遮蔽される
が、第2の焦電形赤外線検出素子6bへは赤外線が入射
するので、FETに差動出力が現れる。さらに領域(ハ
)に進むと、赤外線は第1、第2の焦電形赤外線検出素
子6a、6bの両方に入射するので、FETに差動出力
が現れない、そして、遮蔽及び反射による第1の検出ゾ
ーンとしての領域(ニ)において、ミラー片8は第1の
焦電形赤外線検出素子6aに対しては赤外線を反射し投
影させて直接入射分に加算させ、第2の焦電形赤外線検
出素子6bに対しては赤外線を遮蔽する作用をして、大
きい差動出力を得る。また領域(ホ)ではミラー片8の
影響を受けずに第1、第2の焦電形赤外線検出素子6a
、6bに赤外線が入射するが、FETには差動出力は現
れない、さらに、第2の検出ゾーンとしての領域(へ)
ではミラー片8は、第1の焦電形赤外線検出素子6aに
対しては赤外線を遮蔽し、第2の焦電形赤外線検出素子
6bに対しては赤外線を反射し投影させて直接に入射す
る赤外線に加算させる作用をして、大きい差動出力を得
る。領域(ト)では赤外線は第1、第2の焦電形赤外線
検出素子6a、6bの両方に入射するので、FETに差
動出力は現れない、領域(チ)に進むと、第1の焦電形
赤外線検出素子6aには赤外線が入射するが、第2の焦
電形赤外線検出素子6bに対してはカバー9が赤外線を
遮蔽するので、FETに差動出力が現れる。
そして、領域(す)ではカバー9により第1、第2の焦
電形赤外線検出素子6a、6bへの赤外線が遮蔽され入
射しない。この様に得たFETの出力は図示しない帯域
通過濾波器、レベル検出器等に導かれて例えば警報機に
接続されて警報機を作動させる。
〈実施例2〉 第4図は第2の実施例の焦電形赤外線センサであり、6
枚のミラー片81を焦電形赤外線検出素子6a、6bの
周囲に等間隔(60度)で配設したもので、ミラー片8
1の間隔を狭くして、検出の領域数を多くしている。
第5図は、本発明の焦電形赤外線センサの応用例であり
、数個の凹面鏡M1〜M3及び図示しない凹面鏡を略球
面上に配列し、略中央に焦電形赤外線センサ1を配設し
たものであり、各凹面鏡によるそれぞれの検出ゾーンの
中に焦電形赤外線センサ1のミラー片による検出ゾーン
が現れる。
第6図は他の応用例であり、放物面鏡61の焦点に焦電
形赤外線センサ1を配置したものであり、放物面鏡の開
口径と同寸法の円形ゾーン内にミラー片による検出ゾー
ンが重さなり、円形ゾーン内の彼検出体を感度良く検出
することができる。
〈発明の効果〉 本発明の焦電形赤外線センサは以上詳細に述べた通りで
あり、以下に示す効果を生じる。
(1)ミラー片をケース内部に収容しであるので、従来
焦電形赤外線センサ及びミラー片で組み立てていた装置
例えば、焦電形赤外線検出装置と同様のものを構成する
ことができ、外部の加工が必要なくなり、焦電形赤外線
センサのケース自体の大きさに小形化することができる
(2)ミラー片は反射率が1に近い鏡面処理を施すので
あるが、ミラー片を収容するケース内には不活性ガス又
は窒素ガス等と共に封止することができるため、汚れや
腐蝕による反射率の低下が生じ難くなり、長期的に安定
した焦電形センサを得ることができる。
(3)集光ミラーに対向させて焦電形赤外線センサを配
置していた従来の焦電形赤外線検出装置において、従来
の焦電形赤外線センサを本発明のものと交換することに
より、従来の装置でも検出ゾーンを細分化し、大きな差
動出力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は本発明焦電形赤外線センサの一実施例の
正面断面図、同(b)は平面図、第2図は本発明センサ
の動作説明図、第3図(a)は焦電形赤外線検出素子の
出力波形図、第3図(b)はFET出力波形図、第4図
は本発明センサの第2の実施例を示す斜視図、第5図及
び第6図は本発明センサの応用例を示す概略的に示す斜
視図、第7図は従来の焦電形赤外線センサの正面断面図
、第8図は焦電形赤外線センサに適用する回路図、第9
図(a)、cb>は焦電形赤外線検出装置の平面図およ
び正面断面図、第10図は動作説明図、第11図(a)
は焦電形赤外線素子の出力波形図、同(b)はFETの
出力波形図である。 1・・・焦電形赤外線センサ、2・・・ケース、3・・
・底板、4・・・ビン、5・・・FET回路、6・・・
焦電形赤外線検出素子、7・・・基板、8,81・・・
ミラー片、8a、8b・・・反射面、9・・・カバー、
10・・・開口部、11・・・光学フィルタ。 特許出願人  株式会社 村田製作所 第3図 第1 (a) 第2図 図 (b) 「■ 第4図 第9図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 開口部を赤外線が透過する部材で覆ったケース内に、一
    対の焦電形赤外線検出素子を前記開口部に向けて配設し
    た基板を収容した焦電形赤外線センサにおいて、 前記ケース内に入射する赤外線を反射して前記焦電形赤
    外線検出素子に入射させるミラー片を前記ケース内に備
    えたことを特徴とする焦電形赤外線センサ。
JP61287364A 1986-12-02 1986-12-02 焦電形赤外線センサ Granted JPS63139223A (ja)

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JPH0455259B2 JPH0455259B2 (ja) 1992-09-02

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Cited By (2)

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