JPS63137408A - フイルムコンデンサ - Google Patents
フイルムコンデンサInfo
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- JPS63137408A JPS63137408A JP28472586A JP28472586A JPS63137408A JP S63137408 A JPS63137408 A JP S63137408A JP 28472586 A JP28472586 A JP 28472586A JP 28472586 A JP28472586 A JP 28472586A JP S63137408 A JPS63137408 A JP S63137408A
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims description 19
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 16
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 15
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 15
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 5
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000006223 plastic coating Substances 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 241001441724 Tetraodontidae Species 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電子機器等に使用されるフィルムコンデンサに
関するものである。
関するものである。
従来の技術
近年の電子産業の発展により、機器の単位体積。
単位重量当シの機能は著しく向上してきている。
これを支えるものに、電子部品の小形化、信頼性向上に
関する技術改良がある０フイルムコンデンサに於いても
、ＭＭ技術の進歩によシ、誘電体としてのプラスチック
フィルムは、厚みが１．５μｍ以下の薄膜化も可能とな
ってきている。更に、コーティング技術の進歩によシ、
１．０μｍ以下のコーティング誘電体膜も実現可能とな
ってきている。
関する技術改良がある０フイルムコンデンサに於いても
、ＭＭ技術の進歩によシ、誘電体としてのプラスチック
フィルムは、厚みが１．５μｍ以下の薄膜化も可能とな
ってきている。更に、コーティング技術の進歩によシ、
１．０μｍ以下のコーティング誘電体膜も実現可能とな
ってきている。
以下に従来のフィルムコンデンサについて説明する。第
４図はフィルムコンデンサの誘電体の構成を示す断面略
図であり、従来のフィルムコンデンサに於いては２１は
プラスチックフィルム、２２は金属蒸着電極、２３はコ
ーティング誘電体膜である。プラスチックフィルムとし
ては、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、
ポリカーボネート、ポリフェニレンオキサイド等が代表
的なものである。金属蒸着電極は、１〜５Ω／ｄの膜抵
抗値にコントロールされ、材料としては、アルミニウム
や亜鉛が代表的なものである。また、コーティング誘電
体としては、ポリカーボネートやポリフェニレンオキサ
イド等が代表的であり、塩素系溶剤に溶解した６〜１６
チ溶液を使用し、リバース方式やグラビア方式等を用い
て製膜している。
４図はフィルムコンデンサの誘電体の構成を示す断面略
図であり、従来のフィルムコンデンサに於いては２１は
プラスチックフィルム、２２は金属蒸着電極、２３はコ
ーティング誘電体膜である。プラスチックフィルムとし
ては、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、
ポリカーボネート、ポリフェニレンオキサイド等が代表
的なものである。金属蒸着電極は、１〜５Ω／ｄの膜抵
抗値にコントロールされ、材料としては、アルミニウム
や亜鉛が代表的なものである。また、コーティング誘電
体としては、ポリカーボネートやポリフェニレンオキサ
イド等が代表的であり、塩素系溶剤に溶解した６〜１６
チ溶液を使用し、リバース方式やグラビア方式等を用い
て製膜している。
以上の様に構成されたフィルムコンデンサに於いて、小
形化を進めて行くためには、プラスチックフィルム、或
いはコーティング誘電体膜の薄膜化及びこれら誘電体材
料の高誘電率化等が必要である。一方、信頼性を低下さ
せることなく、小形化を実現するためには、膜厚が均一
でピンホールのない誘電体膜を形成することが重要とな
ってくる０ 発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記の従来の構成に於いて、プラスチッ
クフィルム或いはコーティング誘電体膜の薄膜化によシ
ボ形化を進めて行く時、種々の問題が発生してきた。
形化を進めて行くためには、プラスチックフィルム、或
いはコーティング誘電体膜の薄膜化及びこれら誘電体材
料の高誘電率化等が必要である。一方、信頼性を低下さ
せることなく、小形化を実現するためには、膜厚が均一
でピンホールのない誘電体膜を形成することが重要とな
ってくる０ 発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記の従来の構成に於いて、プラスチッ
クフィルム或いはコーティング誘電体膜の薄膜化によシ
ボ形化を進めて行く時、種々の問題が発生してきた。
すな、わち、プラスチックフィルムに於いては、製膜技
術の進歩により、０．６μｍ程度までの薄膜化は技術的
には可能であるが、フィルムコンデンサの実現にはその
製造上での取シ扱いを含めて非常に困難となることが予
想され、更に、量産化にも至っていない。
術の進歩により、０．６μｍ程度までの薄膜化は技術的
には可能であるが、フィルムコンデンサの実現にはその
製造上での取シ扱いを含めて非常に困難となることが予
想され、更に、量産化にも至っていない。
一方、コーティング誘電体膜の薄膜化に於いても、コー
ティング材料について、溶剤への溶解性、金属蒸着電極
とのぬれ性、乾燥性等、困難な課題を多く抱えており、
０．６μｍ以下のコーティング誘電体膜をピンホールな
く、かつ均一な膜厚にて量産し得るまでには至っていな
い。
ティング材料について、溶剤への溶解性、金属蒸着電極
とのぬれ性、乾燥性等、困難な課題を多く抱えており、
０．６μｍ以下のコーティング誘電体膜をピンホールな
く、かつ均一な膜厚にて量産し得るまでには至っていな
い。
特ニ、コーティング誘電体膜については、その薄膜化と
ピンホール発生率には密接な関係があシ、薄膜化する事
により、その単位厚み自りの絶縁破壊電圧が大きく低下
するという問題点を有している。
ピンホール発生率には密接な関係があシ、薄膜化する事
により、その単位厚み自りの絶縁破壊電圧が大きく低下
するという問題点を有している。
本発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、信
頼性を低下することなく超小形のフィルムコンデンサを
提供することを目的とする。
頼性を低下することなく超小形のフィルムコンデンサを
提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
この目的を達成するために、本発明のフィルムコンデン
サは、両面金属化プラスチックフィルムと、その両面に
、溶剤を使用しない乾式１法である蒸着重合法によシ、
真空中にて形成される高分子誘電体膜とで構成されてい
る０ 作 用 この構成によって、ピンホールのない、膜厚の均一な超
薄膜誘電体層を形成することができ、信頼性を低下させ
ることなく、超小形のフィルムコンデンサを実現するこ
とができる。
サは、両面金属化プラスチックフィルムと、その両面に
、溶剤を使用しない乾式１法である蒸着重合法によシ、
真空中にて形成される高分子誘電体膜とで構成されてい
る０ 作 用 この構成によって、ピンホールのない、膜厚の均一な超
薄膜誘電体層を形成することができ、信頼性を低下させ
ることなく、超小形のフィルムコンデンサを実現するこ
とができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例に於けるフィルムコンデンサ
の誘電体の構成を示す断面略図であり、１はポリエチレ
ンテレフタレートよ構成るプラスチックフィルム、２は
膜抵抗値を３Ω／ｄにコントロールされたアルミニウム
による金属蒸着電極、３は蒸着重合法により形成した厚
みが０．１μｍのポリイミド誘電体膜である。
の誘電体の構成を示す断面略図であり、１はポリエチレ
ンテレフタレートよ構成るプラスチックフィルム、２は
膜抵抗値を３Ω／ｄにコントロールされたアルミニウム
による金属蒸着電極、３は蒸着重合法により形成した厚
みが０．１μｍのポリイミド誘電体膜である。
第２図は、蒸着機の断面略図であり、以下本図により、
蒸着重合法について説明する。
蒸着重合法について説明する。
第２図に於いて、４は真空釜、６は蒸着重合法によって
、誘電体膜を形成するための金属化プラスチックフィル
ムのリール、６は真空中にて蒸着重合法によシボリアミ
ド酸膜を形成させた金属化プラスチックフィルムのリー
ルであシ、矢印はその走行方向を示している。７は２無
水ピロメリツト酸、８は４，４′ジアミノジフエニルエ
ーテル、９は仕切板、１ｏは金属化プラスチックフィル
ムの安定走行用案内ロール、１１はヒーターである。
、誘電体膜を形成するための金属化プラスチックフィル
ムのリール、６は真空中にて蒸着重合法によシボリアミ
ド酸膜を形成させた金属化プラスチックフィルムのリー
ルであシ、矢印はその走行方向を示している。７は２無
水ピロメリツト酸、８は４，４′ジアミノジフエニルエ
ーテル、９は仕切板、１ｏは金属化プラスチックフィル
ムの安定走行用案内ロール、１１はヒーターである。
真空釜中は２ Ｘ １０−”〜２Ｘ１０ Ｔｏｒｒに
し、７゜８の原料は１６０〜１８０℃に加熱し、蒸発さ
せ、金属蒸着電極上に厚み１０００人のポリアミド酸膜
を形成した。しかる後、２００〜２６０℃で１〜２時間
加熱処理し、金属蒸着電極上に厚み１ｏｏ。
し、７゜８の原料は１６０〜１８０℃に加熱し、蒸発さ
せ、金属蒸着電極上に厚み１０００人のポリアミド酸膜
を形成した。しかる後、２００〜２６０℃で１〜２時間
加熱処理し、金属蒸着電極上に厚み１ｏｏ。
人のポリイミド膜を得た。
第３図に従来の湿式コーティング法により得た膜と本発
明の乾式蒸着重合法により得た膜との絶縁欠陥数を比較
して示した。この時の絶縁欠陥数の測定は１５０ｖ／μ
ｍ９０秒間印加で行なった。
明の乾式蒸着重合法により得た膜との絶縁欠陥数を比較
して示した。この時の絶縁欠陥数の測定は１５０ｖ／μ
ｍ９０秒間印加で行なった。
その結果、膜厚が薄くなるにつれ、湿式コーティ、フグ
法によシ得°た膜と本発明の乾式蒸着重合法により得た
膜との絶縁欠陥数の差がより明確になシ、１．０μｍ
で約１５倍、０．５μｍでは約１０ｏ倍と、本発明の乾
式蒸着重合法による膜が、７ｅ縁欠陥の少い、優れた誘
電体膜であることがわかった。
法によシ得°た膜と本発明の乾式蒸着重合法により得た
膜との絶縁欠陥数の差がより明確になシ、１．０μｍ
で約１５倍、０．５μｍでは約１０ｏ倍と、本発明の乾
式蒸着重合法による膜が、７ｅ縁欠陥の少い、優れた誘
電体膜であることがわかった。
以上の様に、本実施例によれば、蒸着重合法によって誘
電体膜を形成することにより、Ｏ，Ｓμｍ以下の厚みの
誘電体膜を容易に形成することができ、従って、体積比
で％以下の小形・軽量のフィルムコンデンサを実現する
ことができる。
電体膜を形成することにより、Ｏ，Ｓμｍ以下の厚みの
誘電体膜を容易に形成することができ、従って、体積比
で％以下の小形・軽量のフィルムコンデンサを実現する
ことができる。
なお、本実施例では、蒸着重合法により形成する誘電体
膜の材料をポリイミドとしたが、この誘電体膜の材料は
、ポリウレタン、フッ素樹脂など、真空中でモノマーを
蒸発させることができ、基板上で重合反応ができる高分
子材料であれば使用できる。
膜の材料をポリイミドとしたが、この誘電体膜の材料は
、ポリウレタン、フッ素樹脂など、真空中でモノマーを
蒸発させることができ、基板上で重合反応ができる高分
子材料であれば使用できる。
発明の効果
以上のように本発明は、蒸着重合法によって誘電体膜を
形成することにより、薄くかつ絶縁欠陥の少い誘電体膜
を容易に得ることができ、これにヨリ信頼性の高い小形
・軽量のフィルムコンデンサを実現することができるも
のである。
形成することにより、薄くかつ絶縁欠陥の少い誘電体膜
を容易に得ることができ、これにヨリ信頼性の高い小形
・軽量のフィルムコンデンサを実現することができるも
のである。
第１図は本発明の一実施例に於けるフィルムコンデンサ
の要部の断面略図、第２図は蒸着重合法に用いる蒸着機
の断面略図、第３図は誘電体膜の絶縁欠陥数の比較図、
第４図は従来のフィルムコンデンサの要部の断面略図で
ある。 １・・・・・・プラスチックフィルム、２・・・・・・
金属蒸着電極、３・・・・・・ポリイミド誘電体膜。
の要部の断面略図、第２図は蒸着重合法に用いる蒸着機
の断面略図、第３図は誘電体膜の絶縁欠陥数の比較図、
第４図は従来のフィルムコンデンサの要部の断面略図で
ある。 １・・・・・・プラスチックフィルム、２・・・・・・
金属蒸着電極、３・・・・・・ポリイミド誘電体膜。
Claims (2)
- （１）両面に金属蒸着電極を形成した金属化プラスチッ
クフィルムと、その片面もしくは両面に蒸着重合法によ
り形成した誘電体膜とで構成したことを特徴とするフィ
ルムコンデンサ。 - （２）蒸着重合法による誘電体膜がポリイミドであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフィルムコ
ンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61284725A JPH0766896B2 (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | フイルムコンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61284725A JPH0766896B2 (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | フイルムコンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63137408A true JPS63137408A (ja) | 1988-06-09 |
| JPH0766896B2 JPH0766896B2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=17682175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61284725A Expired - Lifetime JPH0766896B2 (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | フイルムコンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0766896B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02290008A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-29 | Marcon Electron Co Ltd | 金属化プラスチックフィルムコンデンサ |
| JPH04337358A (ja) * | 1991-05-14 | 1992-11-25 | Fuji Xerox Co Ltd | 有機電導性組成物およびその製造方法 |
| JP2011061191A (ja) * | 2009-08-10 | 2011-03-24 | Kojima Press Industry Co Ltd | フィルムコンデンサ |
| JP2011181885A (ja) * | 2010-02-03 | 2011-09-15 | Kojima Press Industry Co Ltd | フィルムコンデンサ |
| JP2012038946A (ja) * | 2010-08-09 | 2012-02-23 | Kojima Press Industry Co Ltd | 積層形フィルムコンデンサ及びその製造方法 |
| JP2013212938A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-17 | Kaneka Corp | 黒鉛薄膜およびその製造方法 |
| JP2013247206A (ja) * | 2012-05-25 | 2013-12-09 | Kojima Press Industry Co Ltd | フィルムコンデンサ素子及びフィルムコンデンサ並びにフィルムコンデンサ素子の製造方法 |
| IT201700032290A1 (it) * | 2017-03-23 | 2018-09-23 | Torino Politecnico | Condensatori per circuiti risonanti in applicazioni di potenza |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59227115A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-20 | 東洋メタライジング株式会社 | 交流用金属蒸着フイルムコンデンサ |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP61284725A patent/JPH0766896B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59227115A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-20 | 東洋メタライジング株式会社 | 交流用金属蒸着フイルムコンデンサ |
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| IT201700032290A1 (it) * | 2017-03-23 | 2018-09-23 | Torino Politecnico | Condensatori per circuiti risonanti in applicazioni di potenza |
| WO2018172949A1 (en) * | 2017-03-23 | 2018-09-27 | Politecnico Di Torino | Capacitor for resonant circuits in power applications |
| US11101076B2 (en) | 2017-03-23 | 2021-08-24 | Politecnico Di Torino | Capacitor for resonant circuits in power applications |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0766896B2 (ja) | 1995-07-19 |
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