JPS63128688A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
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- JPS63128688A JPS63128688A JP27590686A JP27590686A JPS63128688A JP S63128688 A JPS63128688 A JP S63128688A JP 27590686 A JP27590686 A JP 27590686A JP 27590686 A JP27590686 A JP 27590686A JP S63128688 A JPS63128688 A JP S63128688A
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- voltage
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Links
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- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 6
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ装置に関し、特にレーザ電源回路の改
良に関する。
良に関する。
レーザ管の放電電流を一定に制御するために、通常第２
図に示す、スイッチング電源を使用している。スイッチ
ング電源としては、レーザ管の印加電圧が高いので昇圧
トランスを用い整流するインバータ方式を用いる。
図に示す、スイッチング電源を使用している。スイッチ
ング電源としては、レーザ管の印加電圧が高いので昇圧
トランスを用い整流するインバータ方式を用いる。
第２図において、スイッチング回路１の出力をトランス
２によシ昇圧し、トランス２の出力を整流回路３により
整流し、安定抵抗４を介してレーザ管５の７ノード７に
印加する。スイッチング電源の電圧制御のため、カソー
ド８とアース間に接続した電流検出抵抗９の電圧をスイ
ッチング回路１に帰還している。レーザ管５は電圧印加
により、７ノード７、カソード８間にて放電し、ミラー
６．６′よりなる光共振器によシレーザ出力１２が得ら
れるが、この出力は前記した検出抵抗９の電圧を帰還す
ることで一定化される。
２によシ昇圧し、トランス２の出力を整流回路３により
整流し、安定抵抗４を介してレーザ管５の７ノード７に
印加する。スイッチング電源の電圧制御のため、カソー
ド８とアース間に接続した電流検出抵抗９の電圧をスイ
ッチング回路１に帰還している。レーザ管５は電圧印加
により、７ノード７、カソード８間にて放電し、ミラー
６．６′よりなる光共振器によシレーザ出力１２が得ら
れるが、この出力は前記した検出抵抗９の電圧を帰還す
ることで一定化される。
スイッチング電源としては、自励式・他励式とあるが、
第２図に示す通常のレーザ装置では、帰還コイル２ａを
有する自励式となっている。
第２図に示す通常のレーザ装置では、帰還コイル２ａを
有する自励式となっている。
この装置では、電源入力端子１３ 、１３’間の電圧変
動が大きい場合には、異常発振がおこシ、放電電流が変
化するという欠点があった。この対策として、回路内に
固定周波数の発振器をもつ他励式とし、電流検出抵抗９
の電圧と基準電圧との誤差電圧によって、パルス幅変調
信号を作成して、スイッチング回路ｌをオンオフさせる
ことが考えられる。しかし、この他励式でも発振器の周
波数は、固定的であるから、制御範囲は、その発掘信号
の周期で限定され、電源入力端子１３ 、１３’間の電
圧の変動が大きいときは放電電流の制御が追随できない
欠点があった。
動が大きい場合には、異常発振がおこシ、放電電流が変
化するという欠点があった。この対策として、回路内に
固定周波数の発振器をもつ他励式とし、電流検出抵抗９
の電圧と基準電圧との誤差電圧によって、パルス幅変調
信号を作成して、スイッチング回路ｌをオンオフさせる
ことが考えられる。しかし、この他励式でも発振器の周
波数は、固定的であるから、制御範囲は、その発掘信号
の周期で限定され、電源入力端子１３ 、１３’間の電
圧の変動が大きいときは放電電流の制御が追随できない
欠点があった。
本発明の目的は、上記の欠点を除去し、他励式のインバ
ータ方式のスイッチング電源を用い、電源入力端子の電
圧変動が大きいときにもレーザ管の放電電流を一定に保
つレーザ装置を提供することにある。
ータ方式のスイッチング電源を用い、電源入力端子の電
圧変動が大きいときにもレーザ管の放電電流を一定に保
つレーザ装置を提供することにある。
本発明のレーザ装置は、スイッチング電源のスイッチン
グ回路のオンオフが、前記レーザ管の放電電流を検出す
る抵抗の電圧を、電圧に反比例した周期のパルスに変換
する電圧−周波数変換回路と、該パルスを一定パルス幅
に整形するパルス幅整形回路とにより生ずるパルスによ
り、なされるようにしている。
グ回路のオンオフが、前記レーザ管の放電電流を検出す
る抵抗の電圧を、電圧に反比例した周期のパルスに変換
する電圧−周波数変換回路と、該パルスを一定パルス幅
に整形するパルス幅整形回路とにより生ずるパルスによ
り、なされるようにしている。
以下、本発明の一実施例につき、図面を参照して説明す
る。第１図に回路ブロック図を示す。
る。第１図に回路ブロック図を示す。
スイッチング回路１の出力をトランス２によシ昇圧し、
その出力を整流回路３によシ整流し、安定抵抗４を介し
てレーザ管５のアノード７に接続する。このスイッチン
グ回路ｌは自励方式でないから、コイルは単なる昇圧コ
イルである。
その出力を整流回路３によシ整流し、安定抵抗４を介し
てレーザ管５のアノード７に接続する。このスイッチン
グ回路ｌは自励方式でないから、コイルは単なる昇圧コ
イルである。
またスイッチング回路１は後記のパルス幅整形回路１１
の出力パルスによυオンオフされる簡単なトランジスタ
スイッチである。
の出力パルスによυオンオフされる簡単なトランジスタ
スイッチである。
レーザ管５の放電電流はカソード８とアース間に接続さ
れた電流検出抵抗９に帰還電圧を生ずる。この電圧は電
圧−周波数変換（ＶＦ変換）回路１０に入力し、入力電
圧に反比例する周波数の信号を発生する。この信号はパ
ルス幅整形回路１１によシ一定のパルス幅のパルス列を
形成し、スイッチング回路１のオンオフを制御する。
れた電流検出抵抗９に帰還電圧を生ずる。この電圧は電
圧−周波数変換（ＶＦ変換）回路１０に入力し、入力電
圧に反比例する周波数の信号を発生する。この信号はパ
ルス幅整形回路１１によシ一定のパルス幅のパルス列を
形成し、スイッチング回路１のオンオフを制御する。
次にこの回路の動作につき説明する。電源入力端子１３
、１３’間の電圧が上昇し、レーザ管５の放電電流が
増加すると、電流′検出抵抗９の電圧が上昇し、ｖＦ変
換回路１０のパルス周期が遅くなシ、パルス幅整形回路
１１の出力はパルス幅は同一であるが、その周期が遅い
パルス列になる。
、１３’間の電圧が上昇し、レーザ管５の放電電流が
増加すると、電流′検出抵抗９の電圧が上昇し、ｖＦ変
換回路１０のパルス周期が遅くなシ、パルス幅整形回路
１１の出力はパルス幅は同一であるが、その周期が遅い
パルス列になる。
したがって整流回路３の出力電圧を下げ、放電電流を減
小させる。このように、帰還系は負帰還ループを形成す
るので、上記のように、電源入力端子１３ 、１３’間
の電圧が上昇し、または下降する、両者の場合に対して
、放電管５の放電電流を一定させ、レーザ出力を一定に
することができる。
小させる。このように、帰還系は負帰還ループを形成す
るので、上記のように、電源入力端子１３ 、１３’間
の電圧が上昇し、または下降する、両者の場合に対して
、放電管５の放電電流を一定させ、レーザ出力を一定に
することができる。
以上、説明したように、本発明は従来のような自励式の
スイッチング電源でなく、他励式である。し九がって電
源電圧の大幅な変動の際に生ずる異常発振は生じないの
で安定な制御が可能である。また他励式として固定周波
数の発振器でなく、レーザ管の放電電流の検出電圧によ
って検出電圧に反比例する周波数の信号を発生して、こ
の信号でスイッチング回路を制御している。スイッチン
グ回路は一定幅のパルス列の周期を変えることによって
オンオフしてスイッチ電源の電圧を制御する。したがっ
て制御は、パルス周期として最小周期として前記パルス
の一定幅までとれ、最大周期には制限がなく、制御範囲
は極めて広くとれる。
スイッチング電源でなく、他励式である。し九がって電
源電圧の大幅な変動の際に生ずる異常発振は生じないの
で安定な制御が可能である。また他励式として固定周波
数の発振器でなく、レーザ管の放電電流の検出電圧によ
って検出電圧に反比例する周波数の信号を発生して、こ
の信号でスイッチング回路を制御している。スイッチン
グ回路は一定幅のパルス列の周期を変えることによって
オンオフしてスイッチ電源の電圧を制御する。したがっ
て制御は、パルス周期として最小周期として前記パルス
の一定幅までとれ、最大周期には制限がなく、制御範囲
は極めて広くとれる。
第１図は、本発明の一実施例の回路ブロック図、第２図
は従来例の回路ブロック図である。 １・・・スイッチング回路、２・・・トランス、３・・
・整流回路、 ５・・・レーザ管、９・・・電
流検出抵抗、 １０・・・電圧−周波数変換（ＶＦ変換）回路、１１・
・・パルス幅整形回路。
は従来例の回路ブロック図である。 １・・・スイッチング回路、２・・・トランス、３・・
・整流回路、 ５・・・レーザ管、９・・・電
流検出抵抗、 １０・・・電圧−周波数変換（ＶＦ変換）回路、１１・
・・パルス幅整形回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ管の放電電流が、インバータ方式のスイッチング
電源により供給されているレーザ装置において、 前記スイッチング電源のスイッチング回路のオンオフが
、前記レーザ管の放電電流を検出する抵抗の電圧を、電
圧に反比例した周期のパルスに変換する電圧−周波数変
換回路と、該パルスを一定パルス幅に整形するパルス幅
整形回路とにより生ずるパルスにより、なされることを
特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27590686A JPS63128688A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27590686A JPS63128688A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63128688A true JPS63128688A (ja) | 1988-06-01 |
Family
ID=17562080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27590686A Pending JPS63128688A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63128688A (ja) |
-
1986
- 1986-11-18 JP JP27590686A patent/JPS63128688A/ja active Pending
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