JPS6311621B2 - - Google Patents
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- JPS6311621B2 JPS6311621B2 JP4378882A JP4378882A JPS6311621B2 JP S6311621 B2 JPS6311621 B2 JP S6311621B2 JP 4378882 A JP4378882 A JP 4378882A JP 4378882 A JP4378882 A JP 4378882A JP S6311621 B2 JPS6311621 B2 JP S6311621B2
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- JP
- Japan
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- electrode
- cathode
- sample
- cylinder
- gap
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- Expired
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- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
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- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 5
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 3
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、発光分光分析用グロー放電装置に
関し、特にグロー放電を好ましい領域に安定に行
なわせるための新規な改良である。
関し、特にグロー放電を好ましい領域に安定に行
なわせるための新規な改良である。
従来用いられたこの種の装置としては特公昭49
−21680号公報などがあり、本発明の動作原理や
基本的構造も同一であるが、その一例を述べる
と、電極と試料のギヤツプが0.2mmであるのに対
し、電極の厚みがその10倍程度の約２mmであつ
た。ところが、このような従来の構成において
は、電極と試料が面して形成される通気部の抵抗
が小さいため、グロー放電を安定に制御するため
に必要な差動排気が十分に行なわれていないとい
う欠点があつた。従つて電極の内側に形成される
放電空間のみならず、外側領域にも放電を生じる
ことがあつた。
−21680号公報などがあり、本発明の動作原理や
基本的構造も同一であるが、その一例を述べる
と、電極と試料のギヤツプが0.2mmであるのに対
し、電極の厚みがその10倍程度の約２mmであつ
た。ところが、このような従来の構成において
は、電極と試料が面して形成される通気部の抵抗
が小さいため、グロー放電を安定に制御するため
に必要な差動排気が十分に行なわれていないとい
う欠点があつた。従つて電極の内側に形成される
放電空間のみならず、外側領域にも放電を生じる
ことがあつた。
この考案は、以上の欠点をすみやかに除去する
ための極めて効果的な手段を提供することを目的
とし、試料と電極の間のギヤツプに比較して、試
料と対面する電極下部の面積を広くすることによ
り通気コンダクタンスを十分大きくし、差動排気
可能な構成としたものである。
ための極めて効果的な手段を提供することを目的
とし、試料と電極の間のギヤツプに比較して、試
料と対面する電極下部の面積を広くすることによ
り通気コンダクタンスを十分大きくし、差動排気
可能な構成としたものである。
以下図面と共に、この発明による発光分光分析
用グロー放電装置の好適な実施例について説明す
る。
用グロー放電装置の好適な実施例について説明す
る。
第１図はこの装置の断面を示すもので、全体に
円筒型で、必要な透孔は同一面に表現してある。
１は被分析物としての試料、２は図示しない直流
高圧電源により500〜2000Vの陽電位が印加され
る電極、３は電極２の上部に対し絶縁するための
絶縁体、４は電極２の下部に対し絶縁するための
絶縁体、５は後述する電極６と陰極７とを絶縁す
るための絶縁体、６は絶縁体４，５を介して電極
２と陰極７との間に介在された電極で下方に延在
した円筒の端面に電極下部６′がある、７は試料
１に接して配設された陰極、８はアルゴンなどの
不活性ガスを導入するためのガス導入管、９は絶
縁体３に載置された石英ガラス窓、１０は電極２
に貫通して形成されたガス排気管、１１は絶縁体
５に貫通して形成されたガス排気管、１２は石英
ガラス窓を固定する支持枠、１３は試料１、電極
２，６、絶縁体３，４，５および石英ガラス窓９
により形成された放電空間である。このような発
光分光分析用としてグロー放電領域の広さは数mm
程度が実用領域であり、その条件では試料１と電
極下部６′との間のギヤツプＤは0.1〜0.2mm程度
であり、電極下部６′の厚さＴはギヤツプＤのほ
ぼ30〜60倍にあたる６mm程度に設定されている。
円筒型で、必要な透孔は同一面に表現してある。
１は被分析物としての試料、２は図示しない直流
高圧電源により500〜2000Vの陽電位が印加され
る電極、３は電極２の上部に対し絶縁するための
絶縁体、４は電極２の下部に対し絶縁するための
絶縁体、５は後述する電極６と陰極７とを絶縁す
るための絶縁体、６は絶縁体４，５を介して電極
２と陰極７との間に介在された電極で下方に延在
した円筒の端面に電極下部６′がある、７は試料
１に接して配設された陰極、８はアルゴンなどの
不活性ガスを導入するためのガス導入管、９は絶
縁体３に載置された石英ガラス窓、１０は電極２
に貫通して形成されたガス排気管、１１は絶縁体
５に貫通して形成されたガス排気管、１２は石英
ガラス窓を固定する支持枠、１３は試料１、電極
２，６、絶縁体３，４，５および石英ガラス窓９
により形成された放電空間である。このような発
光分光分析用としてグロー放電領域の広さは数mm
程度が実用領域であり、その条件では試料１と電
極下部６′との間のギヤツプＤは0.1〜0.2mm程度
であり、電極下部６′の厚さＴはギヤツプＤのほ
ぼ30〜60倍にあたる６mm程度に設定されている。
次に動作について説明する。
まず第１図に示す通り金属性の試料１を設定し
たら、ガス導入管８から矢印方向にアルゴンガス
などの不活性ガスを放電空間１３内に導入する。
同時にガス排気管１０，１１からは矢印方向にア
ルゴンなどの不活性ガスを排気する。次に図示し
ない電源を駆動し、電極２と陰極７の間に前述の
高電圧を印加する。ここで電極６は電極２の静電
結合して、電極６には電極２の0.9倍程度の電圧
が印加される。同時に電極２，６の内側のアルゴ
ンなどの不活性ガスは電離されて陽イオンとな
り、陰極７と同電位の試料１をスパツタするの
で、試料１内の原子が飛散後、励起され発光す
る。
たら、ガス導入管８から矢印方向にアルゴンガス
などの不活性ガスを放電空間１３内に導入する。
同時にガス排気管１０，１１からは矢印方向にア
ルゴンなどの不活性ガスを排気する。次に図示し
ない電源を駆動し、電極２と陰極７の間に前述の
高電圧を印加する。ここで電極６は電極２の静電
結合して、電極６には電極２の0.9倍程度の電圧
が印加される。同時に電極２，６の内側のアルゴ
ンなどの不活性ガスは電離されて陽イオンとな
り、陰極７と同電位の試料１をスパツタするの
で、試料１内の原子が飛散後、励起され発光す
る。
このときアルゴンなどの不活性ガスは試料と電
極下部６′とのギヤツプＤを通過してゆくが、電
極下部６′の厚みＴが大きいため、放電空間１３
と排気管１１との間に圧力差を十分生じ、差動排
気が行なわれる。従つて、グロー放電領域１４は
放電空間１３内の試料上２mm程度の位置のみに安
定して生じることになり、電極下部６′の近くお
よび円筒の外側の領域におよぶことはない。第２
図は、ギヤツプＤを一定にして電極下部６′の肉
厚みＴを変えた実施例の実験結果を示すもので、
電極下６′の厚みＴを厚くすると、円筒の外側で
発生する異状放電の頻度は減少し、同時に円筒の
内部のグロー放電は点線で示す領域で安定に発生
する。即ち安定したグロー放電の制御が行なわ
れ、石英ガラス窓９を介して精度の良い、光強度
の強い分光分析が可能となる。
極下部６′とのギヤツプＤを通過してゆくが、電
極下部６′の厚みＴが大きいため、放電空間１３
と排気管１１との間に圧力差を十分生じ、差動排
気が行なわれる。従つて、グロー放電領域１４は
放電空間１３内の試料上２mm程度の位置のみに安
定して生じることになり、電極下部６′の近くお
よび円筒の外側の領域におよぶことはない。第２
図は、ギヤツプＤを一定にして電極下部６′の肉
厚みＴを変えた実施例の実験結果を示すもので、
電極下６′の厚みＴを厚くすると、円筒の外側で
発生する異状放電の頻度は減少し、同時に円筒の
内部のグロー放電は点線で示す領域で安定に発生
する。即ち安定したグロー放電の制御が行なわ
れ、石英ガラス窓９を介して精度の良い、光強度
の強い分光分析が可能となる。
以上述べた通り、この発明によれば、試料と電
極下部６′の肉厚Ｔと対面するギヤツプＤに対し
ほぼ30倍以上の電極下部６′の厚みを有する構成
としたので、十分な差動排気が行なわれ、グロー
放電領域が電極の下部の近くおよび外側部分に広
がることのない安定したグロー放電が得られる、
もちろん電極下部６′の厚さＴは、金属のみで構
成される必要はなく、対面する面積が作用して通
気コンダクタンスに寄与する構成材ならば、精度
の良い発光分光分析用グロー放電装置を提供する
ことができる。
極下部６′の肉厚Ｔと対面するギヤツプＤに対し
ほぼ30倍以上の電極下部６′の厚みを有する構成
としたので、十分な差動排気が行なわれ、グロー
放電領域が電極の下部の近くおよび外側部分に広
がることのない安定したグロー放電が得られる、
もちろん電極下部６′の厚さＴは、金属のみで構
成される必要はなく、対面する面積が作用して通
気コンダクタンスに寄与する構成材ならば、精度
の良い発光分光分析用グロー放電装置を提供する
ことができる。
第１図は本発明の１実施例の縦断面図面であ
る。第２図は本発明の実施例の実験の結果を示す
グラフ。 １……被分析試料、２……陽電極、３，４，５
……絶縁体、６……電極、６′……電極下部、７
……陰極、８……ガス導入管、９……石英ガラス
窓、１０，１１……ガス排気管、１２……石英ガ
ラス窓支持枠、１３……放電空間、１４……グロ
ー放電領域。
る。第２図は本発明の実施例の実験の結果を示す
グラフ。 １……被分析試料、２……陽電極、３，４，５
……絶縁体、６……電極、６′……電極下部、７
……陰極、８……ガス導入管、９……石英ガラス
窓、１０，１１……ガス排気管、１２……石英ガ
ラス窓支持枠、１３……放電空間、１４……グロ
ー放電領域。
Claims (1)
- １ 被分析試料で形成される陰極と、この陰極の
上部に絶縁体を介して設けられ、中心孔を有する
電極を備え、この電極は前記中心孔から下方に延
在した内径をもつ円筒であつて、この円筒の肉厚
みＴの端面で規定される電極下部があり、この電
極下部と前記陰極のギヤツプＤをもつて対面する
面積を形成し、前記電極の上部に設けられたガス
導入管と、前記円筒の外部に設けられた排気管と
を備え、前記円筒の内部の一定の空間でグロー放
電させるものにおいて、前記電極下部の厚みＴと
前記陰極が対面するギヤツプＤが0.1mmないし0.2
mmであつて、前記厚みＴを、前記ギヤツプＤのほ
ぼ30倍以上に設定したことを特徴とする発光分光
分析用グロー放電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4378882A JPS58161851A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4378882A JPS58161851A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58161851A JPS58161851A (ja) | 1983-09-26 |
| JPS6311621B2 true JPS6311621B2 (ja) | 1988-03-15 |
Family
ID=12673482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4378882A Granted JPS58161851A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58161851A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2038518C (en) * | 1990-03-19 | 1998-06-23 | Tetsuya Mega | Glow discharge atomic emission spectroscopy and apparatus thereof |
-
1982
- 1982-03-19 JP JP4378882A patent/JPS58161851A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58161851A (ja) | 1983-09-26 |
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