JPS58161851A - 発光分光分析用グロ−放電装置 - Google Patents
発光分光分析用グロ−放電装置Info
- Publication number
- JPS58161851A JPS58161851A JP4378882A JP4378882A JPS58161851A JP S58161851 A JPS58161851 A JP S58161851A JP 4378882 A JP4378882 A JP 4378882A JP 4378882 A JP4378882 A JP 4378882A JP S58161851 A JPS58161851 A JP S58161851A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- sample
- glow discharge
- inert gas
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
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- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、発光分光分析用グロー放電装置に関し、特
にグロー放電を安定に行なわせるための新規な改良であ
る。
にグロー放電を安定に行なわせるための新規な改良であ
る。
従来用いられたこの種の装置としては種★あるが、その
−例を述べると、電極と試料のギャップが［Ｌ２閣であ
るのに対し、電極の厚みがその１０倍程度の約２■であ
った。ところが、このような従来の４１＄１成において
は、電極と試料が面して形成される通気部の抵抗が小さ
いため、グロー放電を安定に制御するために必要な差動
排気が十分に行なわれていないという欠点があった。従
って電極の内側に形成される放電空間のみならず、外側
領域にも放電を生じることがあった。
−例を述べると、電極と試料のギャップが［Ｌ２閣であ
るのに対し、電極の厚みがその１０倍程度の約２■であ
った。ところが、このような従来の４１＄１成において
は、電極と試料が面して形成される通気部の抵抗が小さ
いため、グロー放電を安定に制御するために必要な差動
排気が十分に行なわれていないという欠点があった。従
って電極の内側に形成される放電空間のみならず、外側
領域にも放電を生じることがあった。
この考案は、以上の欠点をすみやかに除去するための極
めて効果的な手段を提供することを目的とし、試料と電
極の間のギャップに比較して、試料と面する電極下部の
面積を広くすることにより通気コンダクタンスを十分大
きくシ、差動排気可能な構成としたものである。
めて効果的な手段を提供することを目的とし、試料と電
極の間のギャップに比較して、試料と面する電極下部の
面積を広くすることにより通気コンダクタンスを十分大
きくシ、差動排気可能な構成としたものである。
以下図面と共に、この発明による発光分光分析用グロー
放電装置の好適な実施例について説明する。
放電装置の好適な実施例について説明する。
図面において、１は被分析物としての試料、２は図示し
ない直流高圧電源により５０［１〜２０００ｖの陽電位
が印加される電極、３は電極２の上部に対し絶縁するた
めの絶縁体、４は電極２の下部に対し絶縁するための絶
縁体、５は後述する電極６と陰極７とを絶縁するための
絶縁体、６は絶縁体４．５を介して電極２と陰極７との
間に介在された電極、７は試料１に接して配設された陰
極、８はアルゴンなどの不活性ガスを導入するためのガ
ス導入管、９は絶縁体３に截置された石英ガラス窓、１
０は電極２に貫通して形成されたガス排気管、１１は絶
縁体５に貫通して形成されたガス排気管、１２は石英ガ
ラス窓を固定する支持枠、１５は試料１．電極２．６．
絶縁体５，４．Ｓおよび石英ガラス窓９により形成され
た放電空間である。そして、試料１と電極６との間のギ
ャップＤは（１１〜（１２−程度であり、電極６の厚さ
！はギャップＤのほぼ３０〜６０倍にあたる６■程度に
設定されている。
ない直流高圧電源により５０［１〜２０００ｖの陽電位
が印加される電極、３は電極２の上部に対し絶縁するた
めの絶縁体、４は電極２の下部に対し絶縁するための絶
縁体、５は後述する電極６と陰極７とを絶縁するための
絶縁体、６は絶縁体４．５を介して電極２と陰極７との
間に介在された電極、７は試料１に接して配設された陰
極、８はアルゴンなどの不活性ガスを導入するためのガ
ス導入管、９は絶縁体３に截置された石英ガラス窓、１
０は電極２に貫通して形成されたガス排気管、１１は絶
縁体５に貫通して形成されたガス排気管、１２は石英ガ
ラス窓を固定する支持枠、１５は試料１．電極２．６．
絶縁体５，４．Ｓおよび石英ガラス窓９により形成され
た放電空間である。そして、試料１と電極６との間のギ
ャップＤは（１１〜（１２−程度であり、電極６の厚さ
！はギャップＤのほぼ３０〜６０倍にあたる６■程度に
設定されている。
次に動作について説明する。
まず図面に示す通り金属性の試料１を設定したら、ガス
導入管８から矢印方向にアルゴンガスなどの不活性ガス
を放電空間１３内に導入する。同ゴンなどの不活性ガス
を排気する。次に図示しない電源を駆動し、電極２と陰
極７の間に前述の高電圧を印加する；ここで電極６は電
極２と静電結合して、電極６には電極２のａ９倍程度の
電圧が印加される。同時に電極２＃６の内側のアルゴン
などの不活性ガスは電離されて陽イオンとなり、陰極７
と同電位の試料１をスパッタするので、試料１内の原子
が飛散後、励起され発光する。
導入管８から矢印方向にアルゴンガスなどの不活性ガス
を放電空間１３内に導入する。同ゴンなどの不活性ガス
を排気する。次に図示しない電源を駆動し、電極２と陰
極７の間に前述の高電圧を印加する；ここで電極６は電
極２と静電結合して、電極６には電極２のａ９倍程度の
電圧が印加される。同時に電極２＃６の内側のアルゴン
などの不活性ガスは電離されて陽イオンとなり、陰極７
と同電位の試料１をスパッタするので、試料１内の原子
が飛散後、励起され発光する。
この２きアルゴンなどの不活性ガスは試料と電極６との
ギャップＤを通過してゆくが、電極の厚みＴが大きいた
め、放電空間１３と排気管１１との間に圧力差を十分生
じ、差動排気が行なわれる。従って、グロー放電領域１
４は放電空間１３内の試料上２■程度の位置のみに生じ
ることになり、電極６の下部および外側の領域におよぶ
ことはない。即ち安定したグロー放電の制御が行なわれ
、石英ガラス窓９を介して精度の良い、光強度の強い分
光分析が可能となる。
ギャップＤを通過してゆくが、電極の厚みＴが大きいた
め、放電空間１３と排気管１１との間に圧力差を十分生
じ、差動排気が行なわれる。従って、グロー放電領域１
４は放電空間１３内の試料上２■程度の位置のみに生じ
ることになり、電極６の下部および外側の領域におよぶ
ことはない。即ち安定したグロー放電の制御が行なわれ
、石英ガラス窓９を介して精度の良い、光強度の強い分
光分析が可能となる。
以上述べた通り、この発明によれば、試料と電極との面
するギャップに対しほぼ５０倍以上の電極厚を有する構
成としたので、十分な差動排気が行なわれ、グロー放電
領域が電極の下部および外側部分に広がることのない安
定したグロー放電が得られ、精度の良い発光分光分析用
グロー放電装置を提供することができる。
するギャップに対しほぼ５０倍以上の電極厚を有する構
成としたので、十分な差動排気が行なわれ、グロー放電
領域が電極の下部および外側部分に広がることのない安
定したグロー放電が得られ、精度の良い発光分光分析用
グロー放電装置を提供することができる。
図面は本発明の１実施例の縦断面図面である。
１・・・・・・被分析試料
２・・・・・・陽電極
５．４．５・・・・・・絶縁体
６・・・・・・電 極
７・・・・・・陰 極
８・・・・・・ガス導入管
９・・・・・・石英ガラス窓
１０．１１・・・・・・ガス排気管
１２・・・・・・石英ガラス急支持枠
１３・・・・・・放電空間
１４・・・・・・グロー放電領域
Claims (1)
- 被分析試料で形成される電極と、この陰極の上部に絶縁
体を介して設けられた電極と、この電極の上部に設けら
れたガス導入管と、前記電極の外側に設けられた排気管
とを備え、前記電極の厚みを前記試料と電極とのギャッ
プのほぼｓＯ倍以上に設定したことを特徴とする発光分
光分析用ダレ−放電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4378882A JPS58161851A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4378882A JPS58161851A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58161851A true JPS58161851A (ja) | 1983-09-26 |
| JPS6311621B2 JPS6311621B2 (ja) | 1988-03-15 |
Family
ID=12673482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4378882A Granted JPS58161851A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58161851A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5172183A (en) * | 1990-03-19 | 1992-12-15 | Kawasaki Steel Corporation | Glow discharge atomic emission spectroscopy and apparatus thereof |
-
1982
- 1982-03-19 JP JP4378882A patent/JPS58161851A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5172183A (en) * | 1990-03-19 | 1992-12-15 | Kawasaki Steel Corporation | Glow discharge atomic emission spectroscopy and apparatus thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6311621B2 (ja) | 1988-03-15 |
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