JPS6041732A - 発光分光分析用グロ−放電装置 - Google Patents
発光分光分析用グロ−放電装置Info
- Publication number
- JPS6041732A JPS6041732A JP15081683A JP15081683A JPS6041732A JP S6041732 A JPS6041732 A JP S6041732A JP 15081683 A JP15081683 A JP 15081683A JP 15081683 A JP15081683 A JP 15081683A JP S6041732 A JPS6041732 A JP S6041732A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- inner diameter
- glow discharge
- specimen
- analysis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/38—Cold-cathode tubes
- H01J17/40—Cold-cathode tubes with one cathode and one anode, e.g. glow tubes, tuning-indicator glow tubes, voltage-stabiliser tubes, voltage-indicator tubes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は発光分光分析用グロー放電装置に関し、初期
放電を短縮し、金属および半導体試料の界面および深さ
方向分析を行々うときに、精度良く安定に分析するため
の新規な改良に関するものである。
放電を短縮し、金属および半導体試料の界面および深さ
方向分析を行々うときに、精度良く安定に分析するため
の新規な改良に関するものである。
従来用いられたこの種の装置としては種々あるが、グロ
ー放雷を開始した瞬間では、気体のブレークダウン現象
が起り、不安定であり試料金属表面から失わられる金属
量は多く一定ではない。またグロー放電後の試料形状を
観察すると、放電痕の中央部と端部では、深さが異なり
、深さ分析を行なう際、精度が悪くなるという欠焦があ
った。
ー放雷を開始した瞬間では、気体のブレークダウン現象
が起り、不安定であり試料金属表面から失わられる金属
量は多く一定ではない。またグロー放電後の試料形状を
観察すると、放電痕の中央部と端部では、深さが異なり
、深さ分析を行なう際、精度が悪くなるという欠焦があ
った。
この発明は、以上の欠点をすみやかに除去するための極
めて効果的な手段を提供することを目的とし、被測定試
料が装着される陰極部と、この陰極部に対し絶縁された
陽極部との間に設けた電極管を有するグロー放電装置Ｋ
ｌ！ＡＬ、上記陽極部の内径を上記電極管の内径より小
さくし、初期放送であるブレークダウン現象の時間を１
０−６ｓｅｃ、以下にし、上記電極管内壁近傍のグロー
放電頭載で発する光が分光器に入らないようにする構成
としたものである。
めて効果的な手段を提供することを目的とし、被測定試
料が装着される陰極部と、この陰極部に対し絶縁された
陽極部との間に設けた電極管を有するグロー放電装置Ｋ
ｌ！ＡＬ、上記陽極部の内径を上記電極管の内径より小
さくし、初期放送であるブレークダウン現象の時間を１
０−６ｓｅｃ、以下にし、上記電極管内壁近傍のグロー
放電頭載で発する光が分光器に入らないようにする構成
としたものである。
以下図面と共に、この発明による発光分光分析用グロー
放電装置の好適な実施例について説明する。
放電装置の好適な実施例について説明する。
図面において、１は禎分析物としての試料、２は図示し
ない直流高圧電源により５００〜２０００ Ｖの陽電位
が印加され、内径ｄである電極、５は電極２の上部に対
し？３縁するための絶縁体、４Ｆｉ電極２の下部に対し
絶縁するための絶縁体、５け後述する電極６と陰憧７と
を絶縁するための絶縁体、６１ｄ絶縁体４．５を介して
電極２と陰極７との間に介在された内径ｄ２（ｄ２〉ｄ
ｌ）である電権管、７け試料１に接して配設された陰極
、８はアルゴンなどの不活性ガスを導入するためのガス
導入管、９は絶縁体８に載置された石英ガラス窓、ｉｏ
Ｉ′ｉ電ｇｉ２に貫通して形成された石英ガラス窓、１
１は絶縁体５に貫通して形成されたガス排気管、１２け
石英ガラス窓を固定する支持枠、１３け試料１、ＴＬＷ
Ｌ２，６、絶縁体３，４．５および石英ガラス窓９によ
り形成された放電空間である。そして陽電管２の内径ｒ
ｌｒけ４５關であり、電極青感の内径（１２（６，０ｍ
）に比べて小さく設定されている。
ない直流高圧電源により５００〜２０００ Ｖの陽電位
が印加され、内径ｄである電極、５は電極２の上部に対
し？３縁するための絶縁体、４Ｆｉ電極２の下部に対し
絶縁するための絶縁体、５け後述する電極６と陰憧７と
を絶縁するための絶縁体、６１ｄ絶縁体４．５を介して
電極２と陰極７との間に介在された内径ｄ２（ｄ２〉ｄ
ｌ）である電権管、７け試料１に接して配設された陰極
、８はアルゴンなどの不活性ガスを導入するためのガス
導入管、９は絶縁体８に載置された石英ガラス窓、ｉｏ
Ｉ′ｉ電ｇｉ２に貫通して形成された石英ガラス窓、１
１は絶縁体５に貫通して形成されたガス排気管、１２け
石英ガラス窓を固定する支持枠、１３け試料１、ＴＬＷ
Ｌ２，６、絶縁体３，４．５および石英ガラス窓９によ
り形成された放電空間である。そして陽電管２の内径ｒ
ｌｒけ４５關であり、電極青感の内径（１２（６，０ｍ
）に比べて小さく設定されている。
次に動作について説明する。
まず、第１図ｐｃ示す通り導霜、性の試料１を設定した
ら、ガス導入管８から矢印方向にアルゴンガスなどの不
活性ガスを放電空間１３内に導入する。
ら、ガス導入管８から矢印方向にアルゴンガスなどの不
活性ガスを放電空間１３内に導入する。
同時にガス排り管１０，１１からは矢印方向にアルゴン
などの不活性ガスを排気する。次に図示しない電源を駆
動し、電衝２と陰ｗＬ７との間に前述の高電圧を印加す
る。ここで電極管６は電極２と静電結合して、電極青感
には電極２の０９倍程度の電圧が印加される。同時に電
極２．乙の内側のアルゴン力との不活性ガスは電離され
て陽イオンとなり、陰柩７と同電位の試料１をスパッタ
するので、試料１内の原子が飛散後、励起され発光する
。
などの不活性ガスを排気する。次に図示しない電源を駆
動し、電衝２と陰ｗＬ７との間に前述の高電圧を印加す
る。ここで電極管６は電極２と静電結合して、電極青感
には電極２の０９倍程度の電圧が印加される。同時に電
極２．乙の内側のアルゴン力との不活性ガスは電離され
て陽イオンとなり、陰柩７と同電位の試料１をスパッタ
するので、試料１内の原子が飛散後、励起され発光する
。
第２図にグロー放電後の試料の断面図を示す。
第２図の様に、中央部に比べて端部が深く削れているこ
とがわかる。この現象により実際の試料の元素の深さ方
向分布と異なった分布が得られる。
とがわかる。この現象により実際の試料の元素の深さ方
向分布と異なった分布が得られる。
第３図Ｋ、亜鉛めっき鋼板の分析例を示す。Ａのグラフ
は、従来の方法による分析、Ｂのグラフは本発明による
電極２の内径ｄ】を電極Ｌｆ１６の内径ｄ２より小さく
したときの分析である。光の強１ｇは電極２の内径ｄＩ
に比例して弱くなるが、Ｚｎ、Ｆｅの深さ方向分布では
、精度の１′、８い結果が得られ、実際の分布と変わら
ない結果が得られる。
は、従来の方法による分析、Ｂのグラフは本発明による
電極２の内径ｄ】を電極Ｌｆ１６の内径ｄ２より小さく
したときの分析である。光の強１ｇは電極２の内径ｄＩ
に比例して弱くなるが、Ｚｎ、Ｆｅの深さ方向分布では
、精度の１′、８い結果が得られ、実際の分布と変わら
ない結果が得られる。
以上述べた通り、この発明によれば、電極２の内径を電
罹青感の内径より小さくする構成としたもので、初期放
電が短縮され、さらに導電性試料の深さ方向分析では精
度の良い発光分光分析用グロー放電装置を提供すること
ができる。
罹青感の内径より小さくする構成としたもので、初期放
電が短縮され、さらに導電性試料の深さ方向分析では精
度の良い発光分光分析用グロー放電装置を提供すること
ができる。
第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図はグロー
放電後の試料のＲ断面図、第３図は亜鉛めっき鋼板のグ
ロー放電発光分光分析装置による分析波形図であり、（
Ａ） ｔｄ従来の装置による分析波形図であり、（Ｂｌ
は本発明の装置による分析波形図である。 １・・・・・・被分析試料 ２・・・・・・陽電極 ３、４．５・・・・・・絶縁体 ６・・・・・電極管 ７・・・・・・陰極 ８・・・・・・ガス導入管 ９・・・・・・石英ガラス窓 １０．１１ ・・・・・ガス排気管 １２・・・・・・石英ガラヌ窓支持枠 １３・・・・・・放電空間 以 上 出願人 株式会社 第二緒工合
放電後の試料のＲ断面図、第３図は亜鉛めっき鋼板のグ
ロー放電発光分光分析装置による分析波形図であり、（
Ａ） ｔｄ従来の装置による分析波形図であり、（Ｂｌ
は本発明の装置による分析波形図である。 １・・・・・・被分析試料 ２・・・・・・陽電極 ３、４．５・・・・・・絶縁体 ６・・・・・電極管 ７・・・・・・陰極 ８・・・・・・ガス導入管 ９・・・・・・石英ガラス窓 １０．１１ ・・・・・ガス排気管 １２・・・・・・石英ガラヌ窓支持枠 １３・・・・・・放電空間 以 上 出願人 株式会社 第二緒工合
Claims (1)
- 被測定試料が装着される陰極部と絶縁された陽極部との
間に電極管を設け、上記陽極部と陰極部との間に電圧を
印加して放電発光を起こされるグロー放電装置において
、上記陽極部の内径を上記？Ｊ！極管の内径よシ小さく
したことを％徴とするグロー放電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15081683A JPS6041732A (ja) | 1983-08-18 | 1983-08-18 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15081683A JPS6041732A (ja) | 1983-08-18 | 1983-08-18 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6041732A true JPS6041732A (ja) | 1985-03-05 |
Family
ID=15505036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15081683A Pending JPS6041732A (ja) | 1983-08-18 | 1983-08-18 | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6041732A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0448061A2 (en) * | 1990-03-19 | 1991-09-25 | Kawasaki Steel Corporation | Glow discharge atomic emission spectroscopy and apparatus thereof |
-
1983
- 1983-08-18 JP JP15081683A patent/JPS6041732A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0448061A2 (en) * | 1990-03-19 | 1991-09-25 | Kawasaki Steel Corporation | Glow discharge atomic emission spectroscopy and apparatus thereof |
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