JPS63111454A - 固定化酵素膜の製造方法 - Google Patents
固定化酵素膜の製造方法Info
- Publication number
- JPS63111454A JPS63111454A JP61258921A JP25892186A JPS63111454A JP S63111454 A JPS63111454 A JP S63111454A JP 61258921 A JP61258921 A JP 61258921A JP 25892186 A JP25892186 A JP 25892186A JP S63111454 A JPS63111454 A JP S63111454A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- enzyme
- films
- soln
- membrane
- contg
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 108010093096 Immobilized Enzymes Proteins 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 claims abstract description 33
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 claims abstract description 33
- SXRSQZLOMIGNAQ-UHFFFAOYSA-N Glutaraldehyde Chemical compound O=CCCCC=O SXRSQZLOMIGNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 32
- 229940088598 enzyme Drugs 0.000 abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 14
- 108010088751 Albumins Proteins 0.000 abstract description 9
- 102000009027 Albumins Human genes 0.000 abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 7
- 108010015776 Glucose oxidase Proteins 0.000 abstract description 5
- 239000004366 Glucose oxidase Substances 0.000 abstract description 5
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 abstract description 5
- 229940116332 glucose oxidase Drugs 0.000 abstract description 5
- 235000019420 glucose oxidase Nutrition 0.000 abstract description 5
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 abstract description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 12
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 6
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 6
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 5
- 108010046334 Urease Proteins 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 108091003079 Bovine Serum Albumin Proteins 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 229940098773 bovine serum albumin Drugs 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000002343 gold Chemical class 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 229920001600 hydrophobic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Immobilizing And Processing Of Enzymes And Microorganisms (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明の固定化酵素膜の製造方法に関し、特に半導体バ
イオセンサにおける固定化酵素膜の製造方法に関する。
イオセンサにおける固定化酵素膜の製造方法に関する。
（従来の技術）
酵素を分析分野に応用する試みは古くから行われている
。この中でも固定化酵素膜と各種電気化学デバイスを用
いた酵素電極は迅速、簡便かつ高感度な分析手段である
。近年、これらの酵素電極の微小化の要望が高まり、中
でもイオン感受性電界効果型トランジスタ（Ｉｏｎ ５
ｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｆｉｅｌｄ ＥｆｆｅｃｔＴｒａｎ
ｓｉｓｔｏｒ、以下ｌ５ＦＥＴと略す。）を用いた酵素
電極はシリコンＩＣの製造技術をそのまま利用してつく
ることができる点で注目されている。また絶縁基板上に
微小な２本貴金属電極を同様のシリコンＩＣ製造技術電
極を同様のシリコンＩＣ製造技術を用いて形成し、この
表面に酵素膜を形成したバイオセンサも提案されている
（特願昭５９−１３４９９５）。
。この中でも固定化酵素膜と各種電気化学デバイスを用
いた酵素電極は迅速、簡便かつ高感度な分析手段である
。近年、これらの酵素電極の微小化の要望が高まり、中
でもイオン感受性電界効果型トランジスタ（Ｉｏｎ ５
ｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｆｉｅｌｄ ＥｆｆｅｃｔＴｒａｎ
ｓｉｓｔｏｒ、以下ｌ５ＦＥＴと略す。）を用いた酵素
電極はシリコンＩＣの製造技術をそのまま利用してつく
ることができる点で注目されている。また絶縁基板上に
微小な２本貴金属電極を同様のシリコンＩＣ製造技術電
極を同様のシリコンＩＣ製造技術を用いて形成し、この
表面に酵素膜を形成したバイオセンサも提案されている
（特願昭５９−１３４９９５）。
このような微小なセンサの感応部に酵素膜を形成する方
法として本発明者らは、感応部以外の部分をあらかじめ
疎水性樹脂で被膜した後、感応部に酵素含有液を保持さ
せることによって固定化酵素膜を形成する方法を提案し
た（特願昭５９−２０８６２６）。この方法は、酵素を
含有する第１の液を感応部に滴下、乾燥させた後、架橋
剤を含有する第２の液を同一部位に滴下、反応させて固
定化酵素膜を得ていた。
法として本発明者らは、感応部以外の部分をあらかじめ
疎水性樹脂で被膜した後、感応部に酵素含有液を保持さ
せることによって固定化酵素膜を形成する方法を提案し
た（特願昭５９−２０８６２６）。この方法は、酵素を
含有する第１の液を感応部に滴下、乾燥させた後、架橋
剤を含有する第２の液を同一部位に滴下、反応させて固
定化酵素膜を得ていた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、この方法では１ケ所の酵素膜を形成する
ために２度の滴下操作が必要である。また、微細なパタ
ーンの場合には架橋剤を滴下する際に酵素含有液のパタ
ーンが崩れ酵素が流出することもあった。本発明の目的
はより簡単にに微小な酵素膜を形成する方法を提供する
ことである。
ために２度の滴下操作が必要である。また、微細なパタ
ーンの場合には架橋剤を滴下する際に酵素含有液のパタ
ーンが崩れ酵素が流出することもあった。本発明の目的
はより簡単にに微小な酵素膜を形成する方法を提供する
ことである。
（問題を解決するための手段）
本発明によれば、固体上の酵素含有溶液を架橋試薬を含
む蒸気と接触させることにより固定化酵素膜が得られる
。
む蒸気と接触させることにより固定化酵素膜が得られる
。
（作用）
このような手段をとることによって、酵素含有溶液のパ
ターンが正確に形成できれば、そのままの形で架橋処理
を行うことが可能である。
ターンが正確に形成できれば、そのままの形で架橋処理
を行うことが可能である。
（実施例）
以下、この発明の実施例を図に基いて詳細に説明する。
第２図はこの発明に係る製造方法の一実施例を説明する
ための酵素電極の構造を示す図であり、ｌ５ＦＥＴを用
いたマルチバイオセンサに適用した場合を示す。第２図
（ａ）は上面図（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’における断面
図である。サファイア基板２の上に島状に形成されたシ
リコンにより、３個のｌ５ＦＥＴが形成されている。１
は、ｌ５ＦＥＴのゲート部で窒化シリコンで被覆されＨ
＋イオン感応部である。１５は各ｌ５ＦＥＴのソース領
域、４はドレイン領域でドレイン領域は共通になってい
る。また１６．１７．１８はＯＵＴ端子、１９は共通ド
レイン端子である。それぞれのゲート部にはウレアーゼ
固定化膜１２、グルコースオキシダーゼ固定化膜１３、
アルブミン膜１４が形成されている。サファイア基板の
裏面には金３が蒸着されており、この金を疑似参照電極
としてウレアーゼ固定化膜を持つｌ５ＦＥＴとアルブミ
ン膜を持っｌ５ＦＥＴの差動で尿素が検出され、グルコ
ースオキシダーゼ固定化膜とアルブミン膜を持つｌ５Ｆ
ＥＴと差動でグルコースが検出される。
ための酵素電極の構造を示す図であり、ｌ５ＦＥＴを用
いたマルチバイオセンサに適用した場合を示す。第２図
（ａ）は上面図（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’における断面
図である。サファイア基板２の上に島状に形成されたシ
リコンにより、３個のｌ５ＦＥＴが形成されている。１
は、ｌ５ＦＥＴのゲート部で窒化シリコンで被覆されＨ
＋イオン感応部である。１５は各ｌ５ＦＥＴのソース領
域、４はドレイン領域でドレイン領域は共通になってい
る。また１６．１７．１８はＯＵＴ端子、１９は共通ド
レイン端子である。それぞれのゲート部にはウレアーゼ
固定化膜１２、グルコースオキシダーゼ固定化膜１３、
アルブミン膜１４が形成されている。サファイア基板の
裏面には金３が蒸着されており、この金を疑似参照電極
としてウレアーゼ固定化膜を持つｌ５ＦＥＴとアルブミ
ン膜を持っｌ５ＦＥＴの差動で尿素が検出され、グルコ
ースオキシダーゼ固定化膜とアルブミン膜を持つｌ５Ｆ
ＥＴと差動でグルコースが検出される。
第２図に示した酵素電極は幅２ｍｍ長さ６ｍｍでの微小
なチップであり、この上に三種類の膜を形成する方法と
して微小なノズルによる溶液の滴下法、すなわちインク
ジェット法を用いた。インクジェット法はノズルの圧電
体に電気パルスを与えることで微小な液滴を噴射させる
方法で電気パルスの数により半導体ウェハ表面に付着す
る酵素の量を精度良くコントロールすることができる（
特願昭６Ｏ−０８６９２４）。第１図に固定化酵素の製
造プロセスを示した。まず、それぞれのゲート部１に酵
素含有溶液、アルブミン溶液を滴下した（第１図（ａ）
）。ウレアーゼ固定化膜５には、２％ウレアーゼ、３％
牛血清アルブミンを含有する０、０２Ｍ ）リス緩衝液
（ｐＨ８，５）を用いた。グルコースオキシダーゼ固定
化膜６には２％グルコースオキシダーゼ、３％牛血清ア
ルブミンを含有する０、０２Ｍ ）リス緩衝液を、アル
ブミン膜には３％牛血清アルブミンを含有する０、０２
Ｍ ）リス緩衝液を用いた。なお、第１図（ａ）で２は
サファイア基板、３は金、４はドレイン領域である。こ
のウェハ８を一度乾燥させたもの（第１図（ｂ））を２
５％グルタルアルデヒド水溶液１１を入れた密閉容器９
中の支持網１０上にのせ、５分間放置した（第１図（Ｃ
））。酵素膜はこの処理で不溶化する。酵素膜が厚い場
合には、放置時間を長くするか、１％グルタルアルデヒ
ド水溶液中に浸積し、架橋反応をさらに行うこともてき
る。膜を水洗して、未反応のグルタルアルデヒドを除去
し、酵素電極を得た。第１図（ｄ）で１２．１３．１４
゜はそれぞれウレアーゼ固定化膜、アルブミン膜、グル
コースオキシダーゼ固定化膜である。この方法で得られ
た酵素電極の応答を第３図（ａ）、 （ｂ）に示した。
なチップであり、この上に三種類の膜を形成する方法と
して微小なノズルによる溶液の滴下法、すなわちインク
ジェット法を用いた。インクジェット法はノズルの圧電
体に電気パルスを与えることで微小な液滴を噴射させる
方法で電気パルスの数により半導体ウェハ表面に付着す
る酵素の量を精度良くコントロールすることができる（
特願昭６Ｏ−０８６９２４）。第１図に固定化酵素の製
造プロセスを示した。まず、それぞれのゲート部１に酵
素含有溶液、アルブミン溶液を滴下した（第１図（ａ）
）。ウレアーゼ固定化膜５には、２％ウレアーゼ、３％
牛血清アルブミンを含有する０、０２Ｍ ）リス緩衝液
（ｐＨ８，５）を用いた。グルコースオキシダーゼ固定
化膜６には２％グルコースオキシダーゼ、３％牛血清ア
ルブミンを含有する０、０２Ｍ ）リス緩衝液を、アル
ブミン膜には３％牛血清アルブミンを含有する０、０２
Ｍ ）リス緩衝液を用いた。なお、第１図（ａ）で２は
サファイア基板、３は金、４はドレイン領域である。こ
のウェハ８を一度乾燥させたもの（第１図（ｂ））を２
５％グルタルアルデヒド水溶液１１を入れた密閉容器９
中の支持網１０上にのせ、５分間放置した（第１図（Ｃ
））。酵素膜はこの処理で不溶化する。酵素膜が厚い場
合には、放置時間を長くするか、１％グルタルアルデヒ
ド水溶液中に浸積し、架橋反応をさらに行うこともてき
る。膜を水洗して、未反応のグルタルアルデヒドを除去
し、酵素電極を得た。第１図（ｄ）で１２．１３．１４
゜はそれぞれウレアーゼ固定化膜、アルブミン膜、グル
コースオキシダーゼ固定化膜である。この方法で得られ
た酵素電極の応答を第３図（ａ）、 （ｂ）に示した。
グルコースセンサはグルコースに応答するが、尿素の影
響は見られない。逆に尿素センサは尿素にのみ応答して
いる。このことから、この固定化方法ではそれぞれの酵
素膜がきれいに分離されて製膜されていることがわかる
。
響は見られない。逆に尿素センサは尿素にのみ応答して
いる。このことから、この固定化方法ではそれぞれの酵
素膜がきれいに分離されて製膜されていることがわかる
。
（発明の効果）
本発明を適用するならば、酵素含有溶液のパターンを形
成後簡単に架橋処理して固定化酵素膜を得ることができ
る。複数の種類の酵素膜を得る場合には複数の酵数の酵
素含有溶液パターンを形成した後、−度に架橋処理する
ことも可能である。また、酵素含有溶液パターンを形成
、架橋処理という一連の操作をくり返すことで膜厚を変
化させることも可能である。この方法では一度に滴下あ
るいは塗布する溶液は少量で良いため、パターンの形成
が容易になり、疎水性高分子膜を用いることなく酵素膜
を精度良く形成することが可能である。
成後簡単に架橋処理して固定化酵素膜を得ることができ
る。複数の種類の酵素膜を得る場合には複数の酵数の酵
素含有溶液パターンを形成した後、−度に架橋処理する
ことも可能である。また、酵素含有溶液パターンを形成
、架橋処理という一連の操作をくり返すことで膜厚を変
化させることも可能である。この方法では一度に滴下あ
るいは塗布する溶液は少量で良いため、パターンの形成
が容易になり、疎水性高分子膜を用いることなく酵素膜
を精度良く形成することが可能である。
第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明による固定化酵素膜の製
造方法の一実施例を示す図。第２図は実施例に示した酵
素電極の上面図とセンサ部における断面図。第３図（ａ
）、（ｂ）はセンサの応答を示す図。 図において、 １・・・ｌ５ＦＥＴのゲート部、２・・・サファイア基
板、３・・・金電極、４・・・ドレイン領域、５・・・
ウレアーゼ含有溶液、６・・・グルコースオキシダーゼ
含有溶液、７・・・アルブミン溶液、８・・・ウェハ、
９・・・密閉容器、１０・・・支持網、１１・・・グル
タルアルデヒド水溶液、１２・・・ウレアーゼ固定化膜
、１３・・・グルコースオキシダーゼ固定化膜、１４・
・・アルブミン膜、１５・・・ソース領域、１６・・・
０ＵＴＩ端子、１７・・・０ＵＴ２端子、１８・・・０
ＵＴ３端子、１９・・・共通ドレ第１図 第２図 Ａ −Ａ’断面 第３図
造方法の一実施例を示す図。第２図は実施例に示した酵
素電極の上面図とセンサ部における断面図。第３図（ａ
）、（ｂ）はセンサの応答を示す図。 図において、 １・・・ｌ５ＦＥＴのゲート部、２・・・サファイア基
板、３・・・金電極、４・・・ドレイン領域、５・・・
ウレアーゼ含有溶液、６・・・グルコースオキシダーゼ
含有溶液、７・・・アルブミン溶液、８・・・ウェハ、
９・・・密閉容器、１０・・・支持網、１１・・・グル
タルアルデヒド水溶液、１２・・・ウレアーゼ固定化膜
、１３・・・グルコースオキシダーゼ固定化膜、１４・
・・アルブミン膜、１５・・・ソース領域、１６・・・
０ＵＴＩ端子、１７・・・０ＵＴ２端子、１８・・・０
ＵＴ３端子、１９・・・共通ドレ第１図 第２図 Ａ −Ａ’断面 第３図
Claims (2)
- （１）固体表面上の特定の位置に酵素含有溶液を形成し
た後、該溶液を架橋試薬を含む蒸気と接触させることを
特徴とする固定化酵素膜の製造方法。 - （２）架橋試薬がグルタルアルデヒドである特許請求の
範囲第１項記載の固定化酵素膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61258921A JPS63111454A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 固定化酵素膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61258921A JPS63111454A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 固定化酵素膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63111454A true JPS63111454A (ja) | 1988-05-16 |
Family
ID=17326887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61258921A Pending JPS63111454A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 固定化酵素膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63111454A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5602029A (en) * | 1994-06-27 | 1997-02-11 | Nec Corporation | Method for fabricating substrate for cell culture and method for cell arrangements |
| KR100420441B1 (ko) * | 1999-03-30 | 2004-03-04 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 실리콘막 형성 방법 및 잉크 젯용 잉크 조성물 |
| WO2024062406A1 (en) * | 2022-09-22 | 2024-03-28 | Alma Mater Studiorum - Università di Bologna | Digital printing and coating of functional materials |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53149397A (en) * | 1977-06-01 | 1978-12-26 | Kuraray Co | Enzymic electrode |
| JPS5688794A (en) * | 1979-12-19 | 1981-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Immobilization of enzyme |
| JPS56142448A (en) * | 1980-04-09 | 1981-11-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Engyme electrode |
| JPS572683A (en) * | 1980-06-09 | 1982-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Immobilizing method of enzyme |
| JPS58184540A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | 生化学センサ及び生化学センサを用いた化合物濃度の測定方法 |
| JPS6189553A (ja) * | 1984-10-08 | 1986-05-07 | Toyobo Co Ltd | 集積化酵素ｆｅｔ |
-
1986
- 1986-10-29 JP JP61258921A patent/JPS63111454A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53149397A (en) * | 1977-06-01 | 1978-12-26 | Kuraray Co | Enzymic electrode |
| JPS5688794A (en) * | 1979-12-19 | 1981-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Immobilization of enzyme |
| JPS56142448A (en) * | 1980-04-09 | 1981-11-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Engyme electrode |
| JPS572683A (en) * | 1980-06-09 | 1982-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Immobilizing method of enzyme |
| JPS58184540A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | 生化学センサ及び生化学センサを用いた化合物濃度の測定方法 |
| JPS6189553A (ja) * | 1984-10-08 | 1986-05-07 | Toyobo Co Ltd | 集積化酵素ｆｅｔ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5602029A (en) * | 1994-06-27 | 1997-02-11 | Nec Corporation | Method for fabricating substrate for cell culture and method for cell arrangements |
| KR100420441B1 (ko) * | 1999-03-30 | 2004-03-04 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 실리콘막 형성 방법 및 잉크 젯용 잉크 조성물 |
| WO2024062406A1 (en) * | 2022-09-22 | 2024-03-28 | Alma Mater Studiorum - Università di Bologna | Digital printing and coating of functional materials |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3137612B2 (ja) | 完全マイクロ加工バイオセンサーのためのマイクロ施与システム | |
| US5445920A (en) | Fabrication process of biosensor | |
| JPH0548418B2 (ja) | ||
| JPS63111454A (ja) | 固定化酵素膜の製造方法 | |
| JPS63223557A (ja) | 半導体バイオセンサの製造方法 | |
| JP3881731B2 (ja) | 酵素反応センサー及びその製造方法 | |
| EP0545547B1 (en) | Immobilized enzyme film, protein immobilized film and process for forming the same | |
| JPS61245051A (ja) | 半導体マルチバイオセンサの製造方法 | |
| JPH06324015A (ja) | バイオセンサ及びその製造方法 | |
| JPH0820396B2 (ja) | バイオセンサチツプ | |
| JPH0519948B2 (ja) | ||
| JPS62132160A (ja) | 分離ゲ−ト型ｉｓｆｅｔを用いたバイオセンサ− | |
| JPS63238549A (ja) | マイクロバイオセンサ | |
| JPH0349388B2 (ja) | ||
| JPH02236154A (ja) | 小型酸素電極の製造法 | |
| JPH0519654B2 (ja) | ||
| JP2743535B2 (ja) | 集積型センサとその製造方法 | |
| JP2844381B2 (ja) | 酸素電極及びその製造方法 | |
| Hiratsuka et al. | A Self‐Contained Glucose Sensor Chip with Arrayed Capillaries | |
| JPH0548419B2 (ja) | ||
| JP2530689B2 (ja) | 小型酸素電極 | |
| JPH0519947B2 (ja) | ||
| Conrath et al. | Three dimensionally structured transducers for chemical and biochemical sensors | |
| JPS63243862A (ja) | 集積化センサおよびその製造法 | |
| JPH0481740B2 (ja) |