JPS63108754A - サ−デイツプの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は通常のＩＣ等のセラミックパッケージの製造方
法に関し、特にサーディツプの封着用ガラス形成方法に
関するものである。

〔従来の技術並びにその問題点〕

サーディツプは封着用低融点ガラスを焼付けたセラミッ
クベースにリードフレームを仮付けしたベースのキャビ
ティに、ＩＣチップ等を接着し、ワイヤーボンディング
を施した後、キャビティ付きセラミックキャップを載せ
、４００℃付近の温度で、加熱封止したパッケフジであ
る。

このようなパッケージの従来の製造方法に於いてはセラ
ミックベース上への封着用低融点ガラスの塗布方法とし
て、この低融点ガラス粉末とビヒクルから成るペースト
をスクリーン印刷法により多層塗りし、次いでこれを焼
成することにより封着用ガラス層を形成する方法がある
。

しかし、スクリーン印刷法は多層塗りのため、作業工程
数が多く、非能率であること、塗布厚の精度が悪い等の
欠点があった。また、印刷時に埃や気泡を抱き込むため
、絶縁性を必要とする気密封着が出来ず、更には接着性
の低下する欠点があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上記の従来技術の問題点を解消すべくなされた
ものであって、その目的は簡単な工程で、気密封着が可
能で且つ厚み精度に優れた封着用低融点ガラス層を形成
せしめるサーディツプを提供せんとするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明者らは上記の目的を達成するために、鋭意研究
した結果、サーディツプの製造に関しガラスフリット及
び樹脂バインダーを主成分とする粉末シートに粘着剤層
をラミネートしたテープをセラミックベースに加圧積層
し、次に焼成することにより、簡単に厚み精度よく、接
着性が良好で気密封着可能な封着用低融点ガラス層を形
成せしめることを知りこの発明を完成するに至った。即
ち本発明は低融点ガラスフリット及び樹脂バインダーを
主成分とし、且つ粘着剤層を有する低融点ガラス粉末シ
ートをセラミックベース上に積層し、焼成することを特
徴とするサーディツプの製造方法に係るものである。

〔発明の構成並びに作用〕

以下に詳細に本発明を説明する。本発明に於いてガラス
フリットとしては一般的な封着用低融点ガラスフリット
、例えばＰｂＯ−８２０：Ｉ基或いは更に他の酸化物例
えばＳ　ｉ　０２　、Ａ１２０３、Ｌｉ２Ｏ、ＣｄＯ，
Ｚｎ０％ＢａＯ１Ｔｅ０２、Ｃｕ　ＯＳＶ　２０５　、
Ｃａ　Ｏ％Ｍ　ｇ　０１Ａｓ２０５、Ｂｉ２Ｏ，或いは
ＰｂＦ２等のフン化物等を加えたフリットを用いること
が出来る。一方、樹脂バインダーとしては炭化水素系樹
脂、ビニル樹脂、アセタール樹脂、アクリル樹脂、スチ
ロール樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等の
合成高分子や繊維素樹脂等の半合成高分子を用いること
が出来るが、熱分解が容易なことから炭化水素系樹脂、
アクリル樹脂、アセタール樹脂、繊維素樹脂が好ましく
、中でもアクリル樹脂が特に好ましい、而して、その配
合量はガラスフリットの比重、粒度によって異なるがガ
ラスフリット１００部に対して３〜３０部の範囲にある
ことが好ましく、配合量が多いとガス抜けが悪くなるた
め発泡の原因となり、少ないと粉末シートの強度が低下
するため作業性が著しく悪くなる。

本発明に於いては、必要に応じて、分散剤を用いること
が可能であり、この際の分散剤としては、通常の界面活
性剤、脂肪酸エステル、魚油、アクリル系オリゴマー等
を用いることが出来る。

上記の組成物に適当な溶剤、消泡剤等の添加剤を加え通
常のドクターブレード法等によりガラス粉末シートを作
製することが出来る。即ち、ガラスフリット、樹脂バイ
ンダー、溶剤及び必要に応じて分散剤、離型剤等の添加
剤をボールミルで混合したスラリーをドクターブレード
によりキャスティングすることにより厚み精度の良好な
ガラス粉末シートを得ることが出来る。しかも、キャス
ティング前のスラリーの脱泡を十分行うことによりシー
ト内部に気泡を残さないようにすることが可能である。

セラミックベースはアルミナ、ベリリア、ムライト、炭
化珪素、窒化アルミ等の従来公知の各種セラミックベー
スが用いられるが、−ｎ＞にサーディツプの場合、アル
ミナがよく用いられる。

上記のセラミックベースに上記のガラス粉末シートを積
層する方法としては、先ず接着性ポリマーを有機溶剤に
溶解させた接着剤溶液を調製し、セラミックベースの積
層面或いはガラス粉末シートの片面に、はけ、ローラー
等適宜な手段によって塗布し積層する方法、或いは熱プ
レス等によりガラス粉末シート内の樹脂バインダーの軟
化温度以上の温度下で適切な圧を加えてセラミックベー
スに圧着する方法等が挙げられる。

しかし、積層する方法としては、粘着剤層を有するガラ
ス粉末シートの粘着層側をセラミックベースに加圧積層
するのが好ましい、この積層方法は接着性ポリマーを塗
布する方法のように、糊斑が生じに＜＜、部分的な剥離
や位置ずれ等の問題がなく、また熱プレス法のように微
妙な温度や圧力のコントロールを必要とせず、簡易にセ
ラミックベースに貼付することが可能である。また、焼
成時にもボイドやふくれ等の問題もなく、絶縁性の良好
な気密封着が可能で良好な接着性ををする封着用低融点
ガラス層が形成される。粘着剤層としては熱分解性の良
好なアクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤が適当であり、そ
の厚みは１〜５０１Ｊｍの範囲であることが好ましい。

この際のアクリル系粘着剤としてはメタクリル酸エステ
ル系ポリマー或いはオリゴマーが、またゴム系としては
イソブチレン、イソプレン系ポリマーが例示出来る。

尚、熱分解性の良好な樹脂バインダー、粘着剤は２００
〜４５０℃で熱分解するため、以上のようにして得られ
た積層体中の樹脂バインダー、粘着剤は、低融点ガラス
フリットの溶顯温度、通常３５０〜５００℃では消失し
ている。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明に於いては、低融点ガラスフリ
ットをシート化することにより、シート厚みを正確に規
定することが可能である。また、シート化に先だってス
ラリーを脱泡することが容易であり、粘着剤層を有する
ガラス粉末シートをセラミックベースに圧着するため、
密着性に優れ、気泡を抱き込む恐れがない、従って、ス
クリーン印刷法の多層塗りのように、埃等の汚染もなく
、セラミックベースにガラス粉末シートを加圧積層し、
焼成するという非富に簡単な方法により、厚み精度に優
れ、絶縁性良好な気密封着の可能な、良好な接着性を有
する封着用低融点ガラスを形成せしめるサーデイツプの
製造が可能となる。

〔実施例〕

次に実施例によりこの発明を更に詳細に説明する。

実施例１ ガラスフリットとして、ＰｂＯを８１重量％含有する１
５０メツシユ以下のＰｂＯ−８２０３系ガラスを用いた
０重量部でガラスフリット１００部、樹脂バインダーと
してメタクリル酸メチル１０部、分散剤としてラウリル
酸１部、可塑剤としてジオクチルフタレート２．５部、
溶剤としてトルエン３５部を常温下ボールミルで混合し
た後、ポリエステルフィルム上に、アプリケーターを用
いてキャスティングし厚み６５０μｍのシートを得た０
次に、厚み１０ＩＩｍのメタクリル酸イソブチルを主成
分とした粘着剤層をラミネートし、ガラス粉末シートテ
ープを得た。セラミックベースとしては純度９９．６％
のアルミナベースを用い、上記の粉末シートテープを圧
着した。その後ポリエステルフィルムを剥離し、このＩ
ＲＮ体を１０℃１ｍ１ｎ昇温で、４２０℃、１０分保持
でグレージングを行った。得られた封着用低融点ガラス
曜は厚み４００±１０μｍと良好な厚み精度を有し、発
泡及びふくれ等は全く見られず、ベース上の位置ずれ等
の問題もなかった。

更にアルミナパッケージ（１６ピンＳＳＩタイプ、ピン
４２％、Ｎｉ−Ｆｅ合金）の気密封着を行い、封着性試
験を行い、封着強度の測定を行った。先ず封着性試験で
はＨｅ　ＩＪ−クチスターによりリークがないことを確
認した後、ＭＩＬ−８８３Ｂ−２０２４のトルク強度試
験により封着強度の測定を行った。

この結果、同ガラスフリットを用いてスクリーン印刷法
で行った封着強度５１ｋｇ−ＣＩｌｌに対して、本発明
によるガラス層形成による封着弾度は８３ｋｇ−Ｃａ１
であった。

（以上）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）低融点ガラスフリット及び樹脂バインダーを主成
   分とし、且つ粘着剤層を有する低融点ガラス粉末シート
   をセラミックベース上に積層し、焼成することを特徴と
   するサーディップの製造方法。
2. （２）上記積層に際し、上記ガラス粉末シートの粘着剤
   層側を、セラミックベース上に加圧積層することを特徴
   する特許請求の範囲第１項に記載のサーディップの製造
   方法。
3. （３）樹脂バインダーがアクリル系樹脂であることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載のサーディップの製
   造方法。