JPS63107888A - 単結晶引上げ装置の熱分布検知方法及び自動制御方法 - Google Patents
単結晶引上げ装置の熱分布検知方法及び自動制御方法Info
- Publication number
- JPS63107888A JPS63107888A JP25633286A JP25633286A JPS63107888A JP S63107888 A JPS63107888 A JP S63107888A JP 25633286 A JP25633286 A JP 25633286A JP 25633286 A JP25633286 A JP 25633286A JP S63107888 A JPS63107888 A JP S63107888A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- crucible
- single crystal
- height
- carbon heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 38
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 18
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、チョクラルスキ方式の単結晶引上げ装置（
以下ＣＺ炉という）のカーボン製加熱器の熱分布を検知
する方法、及び検知した熱分布に基いて石英ルツボの高
さ位置を適正な位置に自動制御する方法に関する。
以下ＣＺ炉という）のカーボン製加熱器の熱分布を検知
する方法、及び検知した熱分布に基いて石英ルツボの高
さ位置を適正な位置に自動制御する方法に関する。
従来の技術
ＣＺ炉の加熱器としては、カーボン製加熱器が多用され
ており、炉は第３図に示すように、支軸（５）に支承し
た回転及び昇降自在の石英ルツボ（１）の周囲に円筒状
のカーボン製加熱器（２）を設け、さらに外周容器（３
）の内側に断熱性の保温筒（４）を介在してなる。そし
て、外周容器には一つの孔（１３）が設けられており、
外部から放射温度計（１４）で内側の保温筒（４）の温
度を測定して炉内温度を推定していた。
ており、炉は第３図に示すように、支軸（５）に支承し
た回転及び昇降自在の石英ルツボ（１）の周囲に円筒状
のカーボン製加熱器（２）を設け、さらに外周容器（３
）の内側に断熱性の保温筒（４）を介在してなる。そし
て、外周容器には一つの孔（１３）が設けられており、
外部から放射温度計（１４）で内側の保温筒（４）の温
度を測定して炉内温度を推定していた。
上記カーボン製加熱器（２）は第４図に示すように、左
右両端に電源接続部（２−１）を設け、電流が直列に流
れるように構成され、各部を流れる電流は一様で、各部
の発熱量は各部の電気抵抗に正比例する。
右両端に電源接続部（２−１）を設け、電流が直列に流
れるように構成され、各部を流れる電流は一様で、各部
の発熱量は各部の電気抵抗に正比例する。
ＣＺ炉は操業状態において、１５００℃程度に加熱され
た石英ルツボから成分の二酸化けい素（Ｓｉ ０２）が
溶出し酸素が発生する。この酸素は加熱されたカーボン
製加熱器（２）と反応し、二酸化炭素（ＣＯｔ）となり
、加熱器は消耗して断面積が小さくなる。
た石英ルツボから成分の二酸化けい素（Ｓｉ ０２）が
溶出し酸素が発生する。この酸素は加熱されたカーボン
製加熱器（２）と反応し、二酸化炭素（ＣＯｔ）となり
、加熱器は消耗して断面積が小さくなる。
カーボン製加熱器の電気抵抗は断面積に反比例するため
、細くなった部分の電気抵抗は他の部分より増加し、か
つ流れる電流は同じであるため発熱量が大きくなる。そ
の関係を第５図に示す。
、細くなった部分の電気抵抗は他の部分より増加し、か
つ流れる電流は同じであるため発熱量が大きくなる。そ
の関係を第５図に示す。
このように、局部的に発熱量が大きく温度が上昇すると
、この高温化した部分はますます酸化され細くなる。
、この高温化した部分はますます酸化され細くなる。
このような局部的高温化によりルツボ内の原料シリコン
は局部的に過熱されるので、単結晶引上げには不都合で
ある。
は局部的に過熱されるので、単結晶引上げには不都合で
ある。
上記局部的に高温化した部分を有効に利用し原料シリコ
ンを均一に溶融するため、従来より石英ルツボを回転さ
せ、かつ経験上最も温度が高いと考えられる位置に石英
ルツボの高さ位置を調整することが行われていた。
ンを均一に溶融するため、従来より石英ルツボを回転さ
せ、かつ経験上最も温度が高いと考えられる位置に石英
ルツボの高さ位置を調整することが行われていた。
そして、局部的な高温部分を知る手段としては、カーボ
ン製加熱器の使用時間と高さ方向での発熱量最大位置、
いわゆるホットゾーン位置との関係式を経験に基いて求
めておき、実際の使用時間からホットゾーン位置を推定
する方法、又は目視によりカーボン製加熱器の細り具合
を見て局部発熱の程度とホットゾーン位置を推定する方
法が行われている。
ン製加熱器の使用時間と高さ方向での発熱量最大位置、
いわゆるホットゾーン位置との関係式を経験に基いて求
めておき、実際の使用時間からホットゾーン位置を推定
する方法、又は目視によりカーボン製加熱器の細り具合
を見て局部発熱の程度とホットゾーン位置を推定する方
法が行われている。
発明が解決しようとする問題点
カーボン製加熱器は前記のようにして酸化消耗するが、
その酸化消耗は加熱された石英ルツボより溶出する酸素
量により決るので、常に変化して一定していない。
その酸化消耗は加熱された石英ルツボより溶出する酸素
量により決るので、常に変化して一定していない。
したがって、過去のデータに基いて経験的に求めた関係
式からのホットゾーン推定は精度が悪い。
式からのホットゾーン推定は精度が悪い。
又、目視法は定性的な判断しかできないばかりか、個人
差による誤差が生じ不適である。
差による誤差が生じ不適である。
この発明は、かかる現状にかんがみ、カーボン製加熱器
の熱分布をより正確に検知し石英ルツボの高さ位置を、
カーボン製加熱器の最も温度の高い部分に対応して適正
な位置に自動調整し、原料シリコンを効率良く溶融させ
るため、カーボン製加熱器の発熱量を定量的に求め、そ
の熱分布を検出すると共に、石英ルツボの高さ位置を最
も熱効率のよい高さ位置に自動制御する方法を提供する
ものである。
の熱分布をより正確に検知し石英ルツボの高さ位置を、
カーボン製加熱器の最も温度の高い部分に対応して適正
な位置に自動調整し、原料シリコンを効率良く溶融させ
るため、カーボン製加熱器の発熱量を定量的に求め、そ
の熱分布を検出すると共に、石英ルツボの高さ位置を最
も熱効率のよい高さ位置に自動制御する方法を提供する
ものである。
問題点を解決するための手段
この発明は、単結晶引上げ装置の外周容器と保温筒に高
さ方向に位置を違えた複数箇所の孔を穿設して内部のカ
ーボン製加熱器を透視可能に設け、外周容器の８孔に放
射温度計を対設して連続的にカーボン製加熱器の高さ方
向各部の温度を測定してカーボン製加熱器の熱分布を検
出し、又この熱分布に基いて石英ルツボの適正な高さ位
置を演算して制御装置に入力し、制御装置からの制御指
令により石英ルツボを適正な高さ位置に自動調整するこ
とにある。
さ方向に位置を違えた複数箇所の孔を穿設して内部のカ
ーボン製加熱器を透視可能に設け、外周容器の８孔に放
射温度計を対設して連続的にカーボン製加熱器の高さ方
向各部の温度を測定してカーボン製加熱器の熱分布を検
出し、又この熱分布に基いて石英ルツボの適正な高さ位
置を演算して制御装置に入力し、制御装置からの制御指
令により石英ルツボを適正な高さ位置に自動調整するこ
とにある。
この発明において、カーボン製加熱器を透視可能に設け
た外周容器と保温筒との組合せ孔は、高さ方向に複数箇
所設定するが、正確な熱分布を検出するには３箇所以上
設けることが望ましい。
た外周容器と保温筒との組合せ孔は、高さ方向に複数箇
所設定するが、正確な熱分布を検出するには３箇所以上
設けることが望ましい。
作 用
この発明によれば、外周容器と保温筒に穿設した孔を通
してカーボン製加熱器の各部の温度が連続して測定され
、加熱器の熱分布を正確に検出することができる。又、
この熱分布に基いて適正なルツボ高さ位置を演算し、か
つ制御装置の制御指令によりルツボを常に適正な高さ位
置に自動制御できる。
してカーボン製加熱器の各部の温度が連続して測定され
、加熱器の熱分布を正確に検出することができる。又、
この熱分布に基いて適正なルツボ高さ位置を演算し、か
つ制御装置の制御指令によりルツボを常に適正な高さ位
置に自動制御できる。
実施例
第１図に示すように、駆動装置（１１）により回転及び
昇降自在の支軸（５）に石英ルツボ（１）を支承し、石
英ルツボ（１）と外周容器（３）との間に同心してカー
ボン製加熱器（２）と保温筒（４）を配設し、カーボン
製加熱器（２）に対向する外周容器（３）の周壁及び保
温筒（４）には加熱器を透視することができ、かつ高さ
方向に位置を違えた孔（６−１）（７−１）と（６−２
）（７−２）と（６−３） （７−３）を穿設し、外周
容器の孔（６−１） （６−２） （６−３）の外側に
はそれぞれ放射温度計Ａ、Ｂ、Ｃを対設する。そして、
放射温度計により連続的に測定されるカーボン製加熱器
（２）からの放射光信号は温度変換装置（８）、演算装
置（９）、制御装置（１０）により処理され、駆動装置
（１１）を自動操作するように構成する。なお、（１２
）は原料シリコンの未融解量推定装置である。
昇降自在の支軸（５）に石英ルツボ（１）を支承し、石
英ルツボ（１）と外周容器（３）との間に同心してカー
ボン製加熱器（２）と保温筒（４）を配設し、カーボン
製加熱器（２）に対向する外周容器（３）の周壁及び保
温筒（４）には加熱器を透視することができ、かつ高さ
方向に位置を違えた孔（６−１）（７−１）と（６−２
）（７−２）と（６−３） （７−３）を穿設し、外周
容器の孔（６−１） （６−２） （６−３）の外側に
はそれぞれ放射温度計Ａ、Ｂ、Ｃを対設する。そして、
放射温度計により連続的に測定されるカーボン製加熱器
（２）からの放射光信号は温度変換装置（８）、演算装
置（９）、制御装置（１０）により処理され、駆動装置
（１１）を自動操作するように構成する。なお、（１２
）は原料シリコンの未融解量推定装置である。
上記装置により、この発明を実施するには、通電して加
熱状態にあるカーボン製加熱器（２）の温度を各放射温
度計Ａ、Ｂ、Ｃにより連続して測定し、その信号を温度
換算装置（８）に入力して温度に換算し、演算装置（９
）で高温位置を検出すると共に、他の位置との温度差を
演算する。一方、未融解量推定装置（１２）により、投
入電力量と原料装入量とに基いて溶解せずに残っている
原料シリコン邑を推定し、その結果を演算装置（９）に
入力して石英ルツボ内における未溶融位置を計算し、カ
ーボン製加熱器（２）の最高温度位置に一致するように
石英ルツボの高さ位置を演算する。そして、この演算値
は制御装置（１０）に入力し、制御装置（１０）からの
制御信号により駆動装置（１１）を制御運転して石英ル
ツボ（１）を加熱効率の最もよい適正な高さ位置に移動
させる。
熱状態にあるカーボン製加熱器（２）の温度を各放射温
度計Ａ、Ｂ、Ｃにより連続して測定し、その信号を温度
換算装置（８）に入力して温度に換算し、演算装置（９
）で高温位置を検出すると共に、他の位置との温度差を
演算する。一方、未融解量推定装置（１２）により、投
入電力量と原料装入量とに基いて溶解せずに残っている
原料シリコン邑を推定し、その結果を演算装置（９）に
入力して石英ルツボ内における未溶融位置を計算し、カ
ーボン製加熱器（２）の最高温度位置に一致するように
石英ルツボの高さ位置を演算する。そして、この演算値
は制御装置（１０）に入力し、制御装置（１０）からの
制御信号により駆動装置（１１）を制御運転して石英ル
ツボ（１）を加熱効率の最もよい適正な高さ位置に移動
させる。
上記のごとく、操業中はカーボン製加熱器の温度を連続
的に測定して熱分布を求め、これに基いて加熱器の最高
温度部分にルツボが相対するように自動制御する。
的に測定して熱分布を求め、これに基いて加熱器の最高
温度部分にルツボが相対するように自動制御する。
上記Ｃ７炉を使って、第１表に示す操業条件で連続的に
操業した。
操業した。
第１表
その間測定した加熱器温度の経時変化を放射温度計Ａ、
Ｂ、Ｃ個別に集計した結果を第２図に示す。この結果よ
り、放射温度計Ａで測定した上部と放射温度計Ｃで測定
した下部の温度は使用日数が増しても温度差は認められ
ないが、放射温度計Ｂで測定した中央部の温度は使用日
数が増すにしたがって温度が上昇しており、加熱後の中
央部分の酸化消耗が激しいことがわかる。
Ｂ、Ｃ個別に集計した結果を第２図に示す。この結果よ
り、放射温度計Ａで測定した上部と放射温度計Ｃで測定
した下部の温度は使用日数が増しても温度差は認められ
ないが、放射温度計Ｂで測定した中央部の温度は使用日
数が増すにしたがって温度が上昇しており、加熱後の中
央部分の酸化消耗が激しいことがわかる。
酸化消耗の程度よりルツボの寿命を判断するため、前記
温度変換装置（１０）はカーボン製加熱器（２）の温度
差があらかじめ設定した値（この値は操業経過時間と投
入電力により異なる）、例えば１００℃を超えると寿命
が尽きたものと判断して交換を指示するように設ける。
温度変換装置（１０）はカーボン製加熱器（２）の温度
差があらかじめ設定した値（この値は操業経過時間と投
入電力により異なる）、例えば１００℃を超えると寿命
が尽きたものと判断して交換を指示するように設ける。
発明の効果
この発明は、ＣＺ炉のカーボン製加熱器の温度を連続し
て定量的に計測して正確な熱分布を検知できる。又、こ
の熱分布に基いて石英ルツボの適正高さ位置を演算し、
これに基く制御指令により石英ルツボを加熱効率の良い
適正位置に保持しながら操業できるから、融解した原料
シリコンの温度分布を安定させることができ、製造され
る単結晶の品質及び歩留を向上できる。又、カーボン製
加熱器の寿命を熱分布に基いて現実的に判断することに
より、合理的な取換えができ消耗資材費の節減を図るこ
とができる。
て定量的に計測して正確な熱分布を検知できる。又、こ
の熱分布に基いて石英ルツボの適正高さ位置を演算し、
これに基く制御指令により石英ルツボを加熱効率の良い
適正位置に保持しながら操業できるから、融解した原料
シリコンの温度分布を安定させることができ、製造され
る単結晶の品質及び歩留を向上できる。又、カーボン製
加熱器の寿命を熱分布に基いて現実的に判断することに
より、合理的な取換えができ消耗資材費の節減を図るこ
とができる。
第１図はこの発明の制御方法を実施するための一実施例
における装置の説明図、第２図はこの発明の実施により
測定されたカーボン製加熱器温度の経時変化を示すグラ
フ、第３図はＣＺ炉に使用するカーボン製加熱器の斜視
図、第５図は同一電流を流した場合のカーボン製加熱器
の断面積と発熱量の関係を示すグラフである。 １・・・石英ルツボ、 ２・・・カーボン製加熱器、
３・・・外周容器、 ４・・・保温筒、５・・・支
軸、 ８−１．６−２．６−３・・・孔、 ７−１．７−２．７−３・・・孔、 ８・・・温度変換装置、 ９・・・演算装置、１０・・
・制御装置、 １１・・・駆動装置、１２・・・未
融解量推定装置。 第２図 使用日数（日） 第３図 第４図 第５図 断面積（国２） 手続ネ甫正書（方式） ％式％ ２、発明の名称 単結晶引上げ装置の熱分布検知方法及び自動制御方法３
、補正をする者 名称 九州電子金属株式会社（ほか１名）４、代理人 ５、手続補正指令の日付 昭和６２年１月２７日６、
補正の対象 １、本願明細書１０頁７〜８行の「第３図はＣＺ炉に使
用するカーボン製加熱器の斜視図、」を「第３図は従来
のＣＺ炉の縦断面図、第４図はＣＺ炉に使用するカーボ
ン製加熱器の斜視図、」と補正する。
における装置の説明図、第２図はこの発明の実施により
測定されたカーボン製加熱器温度の経時変化を示すグラ
フ、第３図はＣＺ炉に使用するカーボン製加熱器の斜視
図、第５図は同一電流を流した場合のカーボン製加熱器
の断面積と発熱量の関係を示すグラフである。 １・・・石英ルツボ、 ２・・・カーボン製加熱器、
３・・・外周容器、 ４・・・保温筒、５・・・支
軸、 ８−１．６−２．６−３・・・孔、 ７−１．７−２．７−３・・・孔、 ８・・・温度変換装置、 ９・・・演算装置、１０・・
・制御装置、 １１・・・駆動装置、１２・・・未
融解量推定装置。 第２図 使用日数（日） 第３図 第４図 第５図 断面積（国２） 手続ネ甫正書（方式） ％式％ ２、発明の名称 単結晶引上げ装置の熱分布検知方法及び自動制御方法３
、補正をする者 名称 九州電子金属株式会社（ほか１名）４、代理人 ５、手続補正指令の日付 昭和６２年１月２７日６、
補正の対象 １、本願明細書１０頁７〜８行の「第３図はＣＺ炉に使
用するカーボン製加熱器の斜視図、」を「第３図は従来
のＣＺ炉の縦断面図、第４図はＣＺ炉に使用するカーボ
ン製加熱器の斜視図、」と補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 単結晶引上げ装置の外周容器と保温筒に高さ方向に
位置を違えた複数箇所の孔を穿設して内部のカーボン製
加熱器を透視可能に設け、外周容器の各孔に放射温度計
を対設して連続的にカーボン製加熱器の高さ各部温度を
測定して加熱器の熱分布を検出することを特徴とする単
結晶引上げ装置の熱分布検知方法。 ２ 単結晶引上げ装置の外周容器と保温筒に高さ方向に
位置を違えた複数箇所の孔を穿設して内部のカーボン製
加熱器を透視可能に設け、外周容器の各孔に放射温度計
を対設して連続的にカーボン製加熱器の高さ方向各部の
温度を測定して加熱器の熱分布を検出し、この熱分布か
ら石英ルツボの適正な高さ位置を演算して制御装置に入
力し、制御装置からの制御指令により石英ルツボを適正
な高さ位置に自動調整することを特徴とする単結晶引上
げ装置の自動制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25633286A JPS63107888A (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 単結晶引上げ装置の熱分布検知方法及び自動制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25633286A JPS63107888A (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 単結晶引上げ装置の熱分布検知方法及び自動制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63107888A true JPS63107888A (ja) | 1988-05-12 |
Family
ID=17291201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25633286A Pending JPS63107888A (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 単結晶引上げ装置の熱分布検知方法及び自動制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63107888A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7033070B2 (en) * | 2000-06-26 | 2006-04-25 | Nec Corporation | Method and apparatus for measuring temperature |
| JP2019019035A (ja) * | 2017-07-20 | 2019-02-07 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶の製造方法 |
| CN112146729A (zh) * | 2019-06-28 | 2020-12-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 坩埚内原料剩余量的检测装置及检测方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61146787A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-04 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 単結晶引上げ装置用加熱体の温度分布測定装置 |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP25633286A patent/JPS63107888A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61146787A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-04 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 単結晶引上げ装置用加熱体の温度分布測定装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7033070B2 (en) * | 2000-06-26 | 2006-04-25 | Nec Corporation | Method and apparatus for measuring temperature |
| JP2019019035A (ja) * | 2017-07-20 | 2019-02-07 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶の製造方法 |
| CN112146729A (zh) * | 2019-06-28 | 2020-12-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 坩埚内原料剩余量的检测装置及检测方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6294566B2 (ja) | 電気アーク炉内の金属溶融物の温度を決定するためのシステム及び方法 | |
| CN108413770B (zh) | 一种真空感应熔炼过程温度实时测控校准系统及方法 | |
| CN111458047A (zh) | 一种铸片炉接触式测温系统 | |
| JPS63107888A (ja) | 単結晶引上げ装置の熱分布検知方法及び自動制御方法 | |
| JP2000088247A (ja) | 取鍋の予熱表示システム | |
| CN107557528A (zh) | 一种钢液温度调控方法及其装置 | |
| JP4039055B2 (ja) | 単結晶の育成方法および育成装置 | |
| CN212363472U (zh) | 一种铸片炉接触式测温系统 | |
| JPH0242379Y2 (ja) | ||
| JP2017226558A (ja) | 昇温装置、結晶育成装置、抵抗ヒーターの温度制御方法及び結晶育成方法 | |
| JP3529160B2 (ja) | 電気溶融炉の制御方法 | |
| CN204269580U (zh) | 无人值守全自动连续性测量铝电解质初晶温度的装置 | |
| CN201300195Y (zh) | 液态金属自动测温装置 | |
| JPH0259629A (ja) | 溶融金属の連続測温装置 | |
| JP4325025B2 (ja) | ガラス溶融炉運転支援装置 | |
| US3456061A (en) | Temperature control for electric heating devices | |
| CN103759835B (zh) | 全自动连续性非接触测量铝电解质初晶温度的系统及方法 | |
| JPH0238932A (ja) | 溶融金属の連続測温方法 | |
| JPS61122187A (ja) | 単結晶引上機 | |
| JPH0213787A (ja) | るつぼ型溶解炉の自動操業装置 | |
| RU200993U1 (ru) | Тепловой узел для выращивания монокристаллов | |
| KR100456918B1 (ko) | 자용성합금 용사코팅의 재용융장치 | |
| JPS57202446A (en) | Controlling device of water heater using midnight electric power supply | |
| JP4407539B2 (ja) | 単結晶インゴットの引上げ速度のシミュレーション方法 | |
| JPH06249715A (ja) | 溶融金属の間欠的温度測定方法 |