JPS63106139U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63106139U JPS63106139U JP19948386U JP19948386U JPS63106139U JP S63106139 U JPS63106139 U JP S63106139U JP 19948386 U JP19948386 U JP 19948386U JP 19948386 U JP19948386 U JP 19948386U JP S63106139 U JPS63106139 U JP S63106139U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- upper tube
- view
- cross
- widens
- negative pressure
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る治具をウエーハの洗浄工
程に適用した場合を示す全体構成図、第２図はウ
エーハの拡大平面図、第３図はエレベータの拡大
平面図、第４図は治具の拡大底面図、第５図はス
ライダーの拡大平面図である。第６図乃至第９図
は従来の治具の一例を示す図面で、第６図は吸着
ノズルの断面図、第７図はメカニカルチヤツクの
平面図、第８図はベルトコンベアの平面図、第９
図はベルヌーイチヤツクの断面図である。 １…ウエーハ、１７…治具、１７ａ…上部筒部
、１７ｂ…下部筒部。
程に適用した場合を示す全体構成図、第２図はウ
エーハの拡大平面図、第３図はエレベータの拡大
平面図、第４図は治具の拡大底面図、第５図はス
ライダーの拡大平面図である。第６図乃至第９図
は従来の治具の一例を示す図面で、第６図は吸着
ノズルの断面図、第７図はメカニカルチヤツクの
平面図、第８図はベルトコンベアの平面図、第９
図はベルヌーイチヤツクの断面図である。 １…ウエーハ、１７…治具、１７ａ…上部筒部
、１７ｂ…下部筒部。
Claims (1)
- 負圧源に接続される上部筒部と、この上部筒部
の下方に連続的に延び、末拡がりの截頭円錐型で
、且つ横断面が半導体ウエーハの外形と相似形と
なる形状の下部筒部とから成り、半導体ウエーハ
を下部筒部内に吸着保持するようにした治具を具
備することを特徴とする半導体製造治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19948386U JPS63106139U (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19948386U JPS63106139U (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106139U true JPS63106139U (ja) | 1988-07-08 |
Family
ID=31161151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19948386U Pending JPS63106139U (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63106139U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5815354B2 (ja) * | 1977-09-09 | 1983-03-25 | 日立造船株式会社 | 粉粒状貨物の船舶からの揚荷方法および粉粒状貨物運搬船 |
| JPS6049645A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-03-18 | Nec Corp | 改良型ウェハ−チャック |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP19948386U patent/JPS63106139U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5815354B2 (ja) * | 1977-09-09 | 1983-03-25 | 日立造船株式会社 | 粉粒状貨物の船舶からの揚荷方法および粉粒状貨物運搬船 |
| JPS6049645A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-03-18 | Nec Corp | 改良型ウェハ−チャック |