JPS6268791U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6268791U JPS6268791U JP16013285U JP16013285U JPS6268791U JP S6268791 U JPS6268791 U JP S6268791U JP 16013285 U JP16013285 U JP 16013285U JP 16013285 U JP16013285 U JP 16013285U JP S6268791 U JPS6268791 U JP S6268791U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- concave shape
- transfer collet
- vacuum
- transporting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Description
第１図Ａは本考案移送コレツトの一実施例を示
す斜視図、同図ＢはそのＸ―Ｘ′線断面図、第２
図は本考案移送コレツトに半導体チツプを吸着さ
せたときの断面図、第３図Ａは従来の移送コレツ
トの斜視図、同図ＢはそのＴ―Ｔ′断面図、第４
図はボンデイングコレツトの断面図である。 ６…移送コレツト、７…吸着面、８…吸着孔、
９…半導体チツプ。
す斜視図、同図ＢはそのＸ―Ｘ′線断面図、第２
図は本考案移送コレツトに半導体チツプを吸着さ
せたときの断面図、第３図Ａは従来の移送コレツ
トの斜視図、同図ＢはそのＴ―Ｔ′断面図、第４
図はボンデイングコレツトの断面図である。 ６…移送コレツト、７…吸着面、８…吸着孔、
９…半導体チツプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ダイシングされた半導体チツプの上面を真
空吸着して、位置修正ステージまで上記半導体チ
ツプを移送する移送コレツトにおいて真空吸着孔
を有する吸着面略全面を凹面状にしたことを特徴
とする移送コレツト。 (2) 上記凹面形状は円柱側面の一部を成す形状
としたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第１項記載の移送コレツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16013285U JPS6268791U (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16013285U JPS6268791U (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6268791U true JPS6268791U (ja) | 1987-04-30 |
Family
ID=31085225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16013285U Pending JPS6268791U (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6268791U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261125A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-13 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ボンディング装置 |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP16013285U patent/JPS6268791U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261125A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-13 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ボンディング装置 |