JPS61166537U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61166537U JPS61166537U JP4912885U JP4912885U JPS61166537U JP S61166537 U JPS61166537 U JP S61166537U JP 4912885 U JP4912885 U JP 4912885U JP 4912885 U JP4912885 U JP 4912885U JP S61166537 U JPS61166537 U JP S61166537U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- vacuum
- suctioning
- suction device
- vacuum suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は本考案の真空吸着装置の一実施例を示
す斜視図、第３図は従来の真空吸着装置を示す斜
視図、第２図ａ、第４図ａ、第５図ａは半導体チ
ツプの平面図、第２図ｂ、第４図ｂ、第５図ｂは
真空吸着装置の吸入口を示す平面図である。 ５……半導体チツプ、６……吸着コレツト、７
……吸着面、８……吸入口。
す斜視図、第３図は従来の真空吸着装置を示す斜
視図、第２図ａ、第４図ａ、第５図ａは半導体チ
ツプの平面図、第２図ｂ、第４図ｂ、第５図ｂは
真空吸着装置の吸入口を示す平面図である。 ５……半導体チツプ、６……吸着コレツト、７
……吸着面、８……吸入口。
Claims (1)
- 半導体チツプを真空吸着し所定位置へ移動せし
めるための真空吸着装置において、上記半導体チ
ツプを吸着する吸着面に穿孔される吸込口を上記
半導体チツプの長辺方向に延長した楕円形状に穿
設することを特徴とする真空吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4912885U JPS61166537U (ja) | 1985-04-01 | 1985-04-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4912885U JPS61166537U (ja) | 1985-04-01 | 1985-04-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61166537U true JPS61166537U (ja) | 1986-10-16 |
Family
ID=30566033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4912885U Pending JPS61166537U (ja) | 1985-04-01 | 1985-04-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61166537U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101466743B1 (ko) * | 2013-05-27 | 2014-11-28 | (주) 나인테크 | 박판 합착장치 |
-
1985
- 1985-04-01 JP JP4912885U patent/JPS61166537U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101466743B1 (ko) * | 2013-05-27 | 2014-11-28 | (주) 나인테크 | 박판 합착장치 |