JPS6447046U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6447046U JPS6447046U JP14077687U JP14077687U JPS6447046U JP S6447046 U JPS6447046 U JP S6447046U JP 14077687 U JP14077687 U JP 14077687U JP 14077687 U JP14077687 U JP 14077687U JP S6447046 U JPS6447046 U JP S6447046U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- corners
- exhaust hole
- triangular inner
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案のコレツトにおける吸着部を示
す斜視図、第２図ａは半導体チツプを本考案のコ
レツトにより吸着した状態を示す平面図、第２図
ｂは同側面図、第３図は従来のコレツトを示す斜
視図、第４図ａは半導体チツプを従来のコレツト
で吸着した状態を示す平面図、第４図ｂは同側面
図、第５図は半導体チツプを示す斜視図である。 １…コレツト本体、２…四角錐状凹み、２ａ…
三角形内壁、３…曲面、４…排気穴、５…半導体
チツプ、６…リードフレーム、７…溝、８ａ，８
ｂ，８ｃ，８ｄ…損傷、９…吸着部開口長、１０
…平面部長、１１…曲面部長、１２…相対回転角
度差。
す斜視図、第２図ａは半導体チツプを本考案のコ
レツトにより吸着した状態を示す平面図、第２図
ｂは同側面図、第３図は従来のコレツトを示す斜
視図、第４図ａは半導体チツプを従来のコレツト
で吸着した状態を示す平面図、第４図ｂは同側面
図、第５図は半導体チツプを示す斜視図である。 １…コレツト本体、２…四角錐状凹み、２ａ…
三角形内壁、３…曲面、４…排気穴、５…半導体
チツプ、６…リードフレーム、７…溝、８ａ，８
ｂ，８ｃ，８ｄ…損傷、９…吸着部開口長、１０
…平面部長、１１…曲面部長、１２…相対回転角
度差。
Claims (1)
- 四つの三角形内壁により囲まれた四角錐状凹み
と、該凹みの中心部に設けた排気穴と、前記四角
錐状凹みの四隅と前記排気穴とを結ぶ四本の溝か
らなる構造の半導体チツプ吸着用角錐コレツトに
おいて、前記四体の溝を浅くするとともに、その
幅を広げ、前記三角形内壁の角部に曲面を形成し
たことを特徴とする半導体チツプ吸着用角錐コレ
ツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14077687U JPS6447046U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14077687U JPS6447046U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6447046U true JPS6447046U (ja) | 1989-03-23 |
Family
ID=31405258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14077687U Pending JPS6447046U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6447046U (ja) |
-
1987
- 1987-09-14 JP JP14077687U patent/JPS6447046U/ja active Pending