JPH0197552U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0197552U JPH0197552U JP19440587U JP19440587U JPH0197552U JP H0197552 U JPH0197552 U JP H0197552U JP 19440587 U JP19440587 U JP 19440587U JP 19440587 U JP19440587 U JP 19440587U JP H0197552 U JPH0197552 U JP H0197552U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction nozzle
- fixes
- holds
- semiconductor pellet
- holder
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
Description
第１図はこの考案の一実施例による半導体ペレ
ツト吸着装置を示す断面図、第２図は吸着ノズル
及び中間ホルダの斜視図、第３図ａ，ｂは従来の
半導体ペレツト吸着装置を示す断面図および下面
図である。 図中、１は吸着ノズル、２は本体ホルダ、４は
半導体ペレツト、５は中間ホルダ、６はフランジ
、７は位置決め凹部である。なお、図中同一符号
は同一又は相当部分を示す。
ツト吸着装置を示す断面図、第２図は吸着ノズル
及び中間ホルダの斜視図、第３図ａ，ｂは従来の
半導体ペレツト吸着装置を示す断面図および下面
図である。 図中、１は吸着ノズル、２は本体ホルダ、４は
半導体ペレツト、５は中間ホルダ、６はフランジ
、７は位置決め凹部である。なお、図中同一符号
は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体ペレツトを吸着する吸着ノズルとその吸
着ノズルを保持固定する中間ホルダとその中間ホ
ルダを保持固定する本体ホルダで構成され、吸着
ノズルと中間ホルダには吸着ノズルの中心軸回り
の回転方向を一定方向に位置決めする手段を設け
たことを特徴とする半導体ペレツト吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19440587U JPH0197552U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19440587U JPH0197552U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0197552U true JPH0197552U (ja) | 1989-06-29 |
Family
ID=31485135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19440587U Pending JPH0197552U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0197552U (ja) |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP19440587U patent/JPH0197552U/ja active Pending