JPS63106055U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63106055U JPS63106055U JP20145886U JP20145886U JPS63106055U JP S63106055 U JPS63106055 U JP S63106055U JP 20145886 U JP20145886 U JP 20145886U JP 20145886 U JP20145886 U JP 20145886U JP S63106055 U JPS63106055 U JP S63106055U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- mass spectrometer
- microchannel plate
- ion beam
- development
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第1図は本考案による質量分析計の検出器の1
実施例を示す側面図、第2図はその正面図、第3
図はMCPの2次電子増倍利得の特性を示す図、
第4図はMCPの利得低下を検出する検出器を設
けた他の実施例を示す構成図、第5図は従来例を
示す図である。 1……MCP、2……MCP保持フレーム、3
……イオン・ビーム、4……駆動器、5……コレ
クタ、6……フレームガイド、7……イオン計数
器。
実施例を示す側面図、第2図はその正面図、第3
図はMCPの2次電子増倍利得の特性を示す図、
第4図はMCPの利得低下を検出する検出器を設
けた他の実施例を示す構成図、第5図は従来例を
示す図である。 1……MCP、2……MCP保持フレーム、3
……イオン・ビーム、4……駆動器、5……コレ
クタ、6……フレームガイド、7……イオン計数
器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 分析場によつて質量電荷比に応じて展開さ
れたイオン・ビームの展開面に沿つてマイクロチ
ヤンネルプレートを配置して検出するようにした
質量分析計の検出器において、前記マイクロチヤ
ンネルプレートを前記展開面内で前記イオン・ビ
ームの展開方向と交差する方向に移動させる移動
機構を設けたことを特徴とする質量分析計の検出
器。 (2) 前記マイクロチヤンネルプレートの2次電
子増倍利得の経時低下を電気的手段によつて検出
するようにした実用新案登録請求の範囲第1項記
載の質量分析計の検出器。 (3) 前記電気的手段による2次電子増倍利得の
経時低下の検出信号に基づき、前記マイクロチヤ
ンネルプレートを自動的に移動させるようにした
実用新案登録請求の範囲第2項記載の質量分析計
の検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20145886U JPH049726Y2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20145886U JPH049726Y2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63106055U true JPS63106055U (ja) | 1988-07-08 |
JPH049726Y2 JPH049726Y2 (ja) | 1992-03-11 |
Family
ID=31164929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20145886U Expired JPH049726Y2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH049726Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008140723A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Horiba Ltd | 分析装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100390743B1 (ko) * | 2000-11-23 | 2003-07-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 메모리를 이용한 실시간 데이터 누적 장치 및 그 제어방법 |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP20145886U patent/JPH049726Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008140723A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Horiba Ltd | 分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH049726Y2 (ja) | 1992-03-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Koppenaal et al. | MS detectors | |
JPS63106055U (ja) | ||
US20020195556A1 (en) | Mass spectrometer | |
Brion | Ionization of Oxygen by``Monoenergetic''Electrons | |
JPH0334253A (ja) | イオン検出器 | |
JPS5811011Y2 (ja) | X線検出装置 | |
SU860638A1 (ru) | Квадрупольный масс-спектрометр | |
JPS6245423Y2 (ja) | ||
JPS6235253Y2 (ja) | ||
JPS6312153U (ja) | ||
JPH0254156U (ja) | ||
JPS6419664A (en) | Ion beam device | |
JPH0341402Y2 (ja) | ||
JPS6412369U (ja) | ||
JPS6255145U (ja) | ||
JPS61121768U (ja) | ||
JPS5835345B2 (ja) | マイクロプロ−ブ二次イオン質量分析計 | |
JPH04132152A (ja) | 荷電粒子検出装置 | |
JPS63165764U (ja) | ||
JPS5857065U (ja) | 表面分析装置 | |
JPS6319250U (ja) | ||
JPH0275556U (ja) | ||
JPH0290049A (ja) | イオン散乱分光装置 | |
JPS62129759U (ja) | ||
JPH0171857U (ja) |