JPS63106055U - - Google Patents

Info

Publication number
JPS63106055U
JPS63106055U JP20145886U JP20145886U JPS63106055U JP S63106055 U JPS63106055 U JP S63106055U JP 20145886 U JP20145886 U JP 20145886U JP 20145886 U JP20145886 U JP 20145886U JP S63106055 U JPS63106055 U JP S63106055U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detector
mass spectrometer
microchannel plate
ion beam
development
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP20145886U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH049726Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP20145886U priority Critical patent/JPH049726Y2/ja
Publication of JPS63106055U publication Critical patent/JPS63106055U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH049726Y2 publication Critical patent/JPH049726Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案による質量分析計の検出器の1
実施例を示す側面図、第2図はその正面図、第3
図はMCPの2次電子増倍利得の特性を示す図、
第4図はMCPの利得低下を検出する検出器を設
けた他の実施例を示す構成図、第5図は従来例を
示す図である。 1……MCP、2……MCP保持フレーム、3
……イオン・ビーム、4……駆動器、5……コレ
クタ、6……フレームガイド、7……イオン計数
器。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 分析場によつて質量電荷比に応じて展開さ
    れたイオン・ビームの展開面に沿つてマイクロチ
    ヤンネルプレートを配置して検出するようにした
    質量分析計の検出器において、前記マイクロチヤ
    ンネルプレートを前記展開面内で前記イオン・ビ
    ームの展開方向と交差する方向に移動させる移動
    機構を設けたことを特徴とする質量分析計の検出
    器。 (2) 前記マイクロチヤンネルプレートの2次電
    子増倍利得の経時低下を電気的手段によつて検出
    するようにした実用新案登録請求の範囲第1項記
    載の質量分析計の検出器。 (3) 前記電気的手段による2次電子増倍利得の
    経時低下の検出信号に基づき、前記マイクロチヤ
    ンネルプレートを自動的に移動させるようにした
    実用新案登録請求の範囲第2項記載の質量分析計
    の検出器。
JP20145886U 1986-12-27 1986-12-27 Expired JPH049726Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20145886U JPH049726Y2 (ja) 1986-12-27 1986-12-27

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20145886U JPH049726Y2 (ja) 1986-12-27 1986-12-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63106055U true JPS63106055U (ja) 1988-07-08
JPH049726Y2 JPH049726Y2 (ja) 1992-03-11

Family

ID=31164929

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20145886U Expired JPH049726Y2 (ja) 1986-12-27 1986-12-27

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH049726Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008140723A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Horiba Ltd 分析装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100390743B1 (ko) * 2000-11-23 2003-07-10 주식회사 하이닉스반도체 메모리를 이용한 실시간 데이터 누적 장치 및 그 제어방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008140723A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Horiba Ltd 分析装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH049726Y2 (ja) 1992-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Koppenaal et al. MS detectors
JPS63106055U (ja)
US20020195556A1 (en) Mass spectrometer
Brion Ionization of Oxygen by``Monoenergetic''Electrons
JPH0334253A (ja) イオン検出器
JPS5811011Y2 (ja) X線検出装置
SU860638A1 (ru) Квадрупольный масс-спектрометр
JPS6245423Y2 (ja)
JPS6235253Y2 (ja)
JPS6312153U (ja)
JPH0254156U (ja)
JPS6419664A (en) Ion beam device
JPH0341402Y2 (ja)
JPS6412369U (ja)
JPS6255145U (ja)
JPS61121768U (ja)
JPS5835345B2 (ja) マイクロプロ−ブ二次イオン質量分析計
JPH04132152A (ja) 荷電粒子検出装置
JPS63165764U (ja)
JPS5857065U (ja) 表面分析装置
JPS6319250U (ja)
JPH0275556U (ja)
JPH0290049A (ja) イオン散乱分光装置
JPS62129759U (ja)
JPH0171857U (ja)