JPS63100304A - 光切断線計測装置 - Google Patents

光切断線計測装置

Info

Publication number
JPS63100304A
JPS63100304A JP61245225A JP24522586A JPS63100304A JP S63100304 A JPS63100304 A JP S63100304A JP 61245225 A JP61245225 A JP 61245225A JP 24522586 A JP24522586 A JP 24522586A JP S63100304 A JPS63100304 A JP S63100304A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
image
cutting line
brightness
difference image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61245225A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0629707B2 (ja
Inventor
Yuji Takagi
裕治 高木
Seiji Hata
清治 秦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP61245225A priority Critical patent/JPH0629707B2/ja
Priority to DE8787114946T priority patent/DE3764766D1/de
Priority to EP87114946A priority patent/EP0265769B1/en
Priority to US07/109,313 priority patent/US4779002A/en
Publication of JPS63100304A publication Critical patent/JPS63100304A/ja
Publication of JPH0629707B2 publication Critical patent/JPH0629707B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/50Depth or shape recovery
    • G06T7/521Depth or shape recovery from laser ranging, e.g. using interferometry; from the projection of structured light

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光切断法を用いて物体形状を計測する視覚認
識装置に係シ、特に外光変化を伴う環境下及び対象物体
上の反射特性にムラ、がある場合の計測に好適な光切断
線計測装置に関する。
〔従来の技術〕
従来の視覚認識装置における光切断線計測装置は、特開
昭59−197810号公報に記載されているように、
光切断線の照射された画像と照射されていない原画像と
の減算を行い、背景光の影響を排除して、安定に光切断
線の抽出を行っている。
以下、第5図(’)t (b)t (c)を参照して従
来の光切断線計測方法を説明する。
先ず、物体の原画像を第5図(a)に示すように撮像し
、これを画像メモリ等に記憶する。次に、スリット光を
対象物体に投射し、得られる画像(第5図Cb)から前
記原画像(第56(a))を減算し、第5図(C〕に示
すような差画像を得る。第5図(a)、 (b)。
<Q)の画面図の下に示すグラフは、対応する各画像の
J=Joの水平線上の明るさ変化を示すもので、上述し
た画像間減算を行なうことで、第5図(C)のグラフに
示されるように、スリット光(光切断線)以外の部分は
相殺される。つまり、スリット光以外に背景内に明るい
部分があってもそれに影響されることはない。また実際
の場合、差画像を作成した時にスリット光以外の部分に
も多少のノイズがのるが、これは適当なしきい値処理を
施すことで排除することができる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来技術では、背景から光切断線が分難できた後に
、細線化あるいは統計的な手段によって光切断線の位置
を決定する。しかし、その際、第1XI(a)(上図は
全体図、中口はその光切断線上の部分拡大図、下図は中
口に示す走査線上の明るさ変化を示すグラフ)に示され
るように、照射面が均一であれば、光切断線部分の明る
さ変化はグラフに示すように対称的な形となシ、これよ
り中心値を求めるのは容易である。しかし、第6図(1
))に示すように、対象物体表面上の光反射特性が不均
一な場合、つま勺、図示するように数字147が白字で
あシここに光切断線がかがる場合は、元切断逍の明るさ
が同図(b)の下図に示すグラフのように変化してしま
う。この明るさ変化から中心値を求めると、実際の中心
よりも反射率の高い方へ引きずられてしまい、これが計
測精度を劣化させる原因となシ、問題を生ずる。
本発明の目的は、外光の変化に影響されず、かつ対象物
体表面上の反射特性ムラにも影響されにくい光切断線計
測装置を提供することにある。
〔問題を解決するための手段〕
上記目的は、光切断線を投射するスリット光と平行な光
束を対象物に照射する光学系を設け、平行照明光を投射
しない時の原画像と平行照明光を投射したときの画像と
を比較して対象物の反射特性情報を得、この反射特性情
報で光切断線照射時に得られる画像を補正することで、
達成される。
〔作用〕
光切断線照射時に、光切断線の明るさを基準にして既得
の反射特性画像を規格化し、このデータを用いて、光切
断線照射画像と原画像の減算により得られた差画像を修
正すれば、反射ムラを排除することが出き、計測精度を
向上させることができる。
(実施例〕 以下、本発明の一実施例を第1図乃至第4図を参照して
説明する。
第1図は本発明の一実施例に係る光切断線計測装置の構
成図である。第1図において、1はTVカメラ、2は光
切断線を対象に投射するスリット光プロジェクタ−15
は筐筒と同程度の径を有する光束を投射する平行光照明
装置、4はハーフミラ−であ)、これによ)平行光照明
装置3からの光をスリット光と同一方向から物体6に照
射できるようにしである。5はTV左カメラで得られた
画像を解析する画像処理装置であシ、本装置5はスリッ
ト光プロジェクタ2及び平行光照明装置5の投光器の制
御も行なう。
対象物表面上にある反射ムラの影響を排除する方法を、
第4図のフローチャートに従い、第2図と第6図を使用
して説明する。
最初に、第2図(a)に示すように原画像をTV左カメ
ラで撮像する。次に平行光照明装置6を点灯し、その時
の画像(第2図(b))をTV左カメラで撮像する。原
画像と平行光照射画像とでは、照明される光の強度が違
うので、これ等の差画像を求めると第3図(a) K示
す様にこの差画像は対象物の光反射特性に比例した明る
さ情報を持っている。
次に、スリット光プロジェクタ2を点灯しく平行光照明
装置3は消灯)、第2図(C)の画像を得る。
この画像中の背景光の影響を除くため、従来技術で説明
したのと同様に、第2図(C)の画像から第2図(a)
の原画像を引き、第31g (b)の差画像を求める。
第6凶φ)のグラフは、差画像のJ=Joにおける走査
線上の明るさ分布を示しているが、対象物表面上の反射
特性のムラから、スリット元部分の明るさ分布は歪んで
いる。そこでこの歪を、先程得た、対象表面の反射特性
情報を含む第3図(a)の差画像を用いて除去する。
そこで次に、画像上の一走査@J=Joについてその除
去方法を説明する。まず、第3図(b)のスリット光差
画像の′j&8A値の王座標値I。を求める。次に第3
11(a)における同一走査線J=Jo上のI=I。
の明るさの値を1とし、四−走査線J = Jo上の他
の明るさの値を規格化する。この規格化されたデ−タを R(I、Jo)     (R(I。、J。)=1)と
し、第6図(b)のスリット光差画像の明るさデータを S(I、J。) とし、補正データB(I、Jo)を B(I、 J。)=S(I、 Jo)/R(1,Jo)
として求める。斯かる手順を繰返すことにより全走査線
上での補正データを求めると、第5図(C)の画像が得
られ、スリット光内の反射ムラが補正される。
本実施例によれば、外光の影響及び対象表面上の反射ム
ラによる光切断線の計測誤差を低下させることができ、
計測精度を低下させることなく多様な環境下で本手法を
計測に適用することが可能となる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、外光の影響及び対象表面上の反射ムラ
による光切断線の計測誤差を低下させることができ、計
測精度に影響することなく、多様な環境下で本手法を通
用できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係る光切断線計測装置の構
成図、第2図(a)、 (b)I (C)及び第6図(
a)。 (b)t (C)は反射ムラを除去する光切断線計測方
法の説明図、第4図はフローチャート、第5図(a)、
 (b)。 (c)及び第6図(a)t (b)は従来の光切断線計
測方法及びその問題点の説明図である。 1・・・TV左カメラ2・・・スリット光プロジェクタ
、3・・・平行光照明装置、4・・・ノ・−7ミラー、
5・・・画像処理装置、6・・・計測対象物体。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、物体を撮像するTVカメラと、物体に光切断線を投
    射するスリット光プロジェクタと、前記TVカメラが撮
    像した画像を解析する画像処理装置とを備える視覚認識
    装置において、前記スリット光と平行な光束を物体に照
    射する平行光照明光学系を設け、何も照射していない状
    態の物体の画像と、平行光照射時の物体の画像との差画
    像より計測対象物体表面上の光反射ムラを予め測定し、
    光切断線照射時に起こる反射ムラを前記測定値で補正す
    ることを特徴とする光切断線計測装置。
JP61245225A 1986-10-17 1986-10-17 光切断線計測装置 Expired - Lifetime JPH0629707B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61245225A JPH0629707B2 (ja) 1986-10-17 1986-10-17 光切断線計測装置
DE8787114946T DE3764766D1 (de) 1986-10-17 1987-10-13 Verfahren und vorrichtung zum messen mit einem lichtschnitt.
EP87114946A EP0265769B1 (en) 1986-10-17 1987-10-13 Method and apparatus for measuring with an optical cutting beam
US07/109,313 US4779002A (en) 1986-10-17 1987-10-19 Method and apparatus for measuring optical cutting beam with parallel beam referencing

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61245225A JPH0629707B2 (ja) 1986-10-17 1986-10-17 光切断線計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63100304A true JPS63100304A (ja) 1988-05-02
JPH0629707B2 JPH0629707B2 (ja) 1994-04-20

Family

ID=17130507

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61245225A Expired - Lifetime JPH0629707B2 (ja) 1986-10-17 1986-10-17 光切断線計測装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4779002A (ja)
EP (1) EP0265769B1 (ja)
JP (1) JPH0629707B2 (ja)
DE (1) DE3764766D1 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5088828A (en) * 1989-02-28 1992-02-18 Siemens Aktiengesellschaft Method and apparatus for three-dimensional testing of printed circuitboards
DE3940518C2 (de) * 1989-12-07 1994-04-21 Fisw Gmbh Vorrichtung zur Belichtungsregelung für einen Lichtschnittsensor
DE4001298A1 (de) * 1990-01-18 1991-07-25 Nordischer Maschinenbau Verfahren zur dreidimensionalen lichtoptischen vermessung von objekten und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE4009912A1 (de) * 1990-03-28 1991-10-02 Grundig Emv Videokontroll-einrichtung
FR2696542A1 (fr) * 1992-10-05 1994-04-08 Controle Ind Procédé et capteur optique de mesure et de test sur un objet.
JP3797704B2 (ja) * 1996-04-05 2006-07-19 株式会社ミツトヨ 光学式測定装置
US6531707B1 (en) * 2000-12-29 2003-03-11 Cognex Corporation Machine vision method for the inspection of a material for defects
US6765224B1 (en) * 2000-12-29 2004-07-20 Cognex Corporation Machine vision method and system for the inspection of a material
TWI565928B (zh) * 2014-12-22 2017-01-11 財團法人工業技術研究院 差分式三角量測系統及其方法
CN109443199B (zh) * 2018-10-18 2019-10-22 天目爱视(北京)科技有限公司 基于智能光源的3d信息测量系统

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4498778A (en) * 1981-03-30 1985-02-12 Technical Arts Corporation High speed scanning method and apparatus
US4594001A (en) * 1981-07-07 1986-06-10 Robotic Vision Systems, Inc. Detection of three-dimensional information with a projected plane of light
JPS60200103A (ja) * 1984-03-26 1985-10-09 Hitachi Ltd 光切断線抽出回路
US4645917A (en) * 1985-05-31 1987-02-24 General Electric Company Swept aperture flying spot profiler

Also Published As

Publication number Publication date
US4779002A (en) 1988-10-18
EP0265769A1 (en) 1988-05-04
DE3764766D1 (de) 1990-10-11
JPH0629707B2 (ja) 1994-04-20
EP0265769B1 (en) 1990-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5424659B2 (ja) 被検査体の検査装置
JPH1137727A (ja) 粒子の高精度測定システム
JPS63100304A (ja) 光切断線計測装置
JP3869016B2 (ja) 平面の物体の視覚に係る均一性を定量化する方法
JP5424660B2 (ja) 被検査体の検査装置
KR20080004346A (ko) 불균일 검사 장치, 화상 표시 장치, 불균일 검사 방법 및화상 표시 방법
JPH0979988A (ja) 表面欠陥検査装置
US8284247B2 (en) Method and apparatus for detecting and inspecting through-penetrating defects in foils and films
JP2009156872A6 (ja) 被検査体の検査装置
JP2009002669A (ja) 外観検査装置
JPH0875542A (ja) 表示画素の光量測定方法並びに表示画面の検査方法及び装置
JPH05164696A (ja) 塗装面評価装置
JP3304152B2 (ja) 色むら検査装置
JPH04216445A (ja) 瓶検査装置
KR102171773B1 (ko) 검사 영역 결정 방법 및 이를 이용하는 외관 검사 장치
JPH0731131B2 (ja) 周期性パタ−ンの斑検査方法
JPH08219943A (ja) カラーフィルターの欠陥検査装置
JPH02110306A (ja) 観測位置検出方法およびその装置
JP3100448B2 (ja) 表面状態検査装置
JP2701872B2 (ja) 面付パターンの欠陥検査装置
JPH11205823A (ja) Crtディスプレイモニタの枠位置・形状検出方法
JPH07159141A (ja) ワーク表面検査方法
JP2022112379A (ja) 検査システム及び検査方法
JPH04204359A (ja) 表面欠陥検査装置
KR100465804B1 (ko) 밝기왜곡보정시스템 및 밝기왜곡보정방법