JPS6289868A - 硬質炭素被膜の製造方法 - Google Patents

硬質炭素被膜の製造方法

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JPS6289868A
JPS6289868A JP22959685A JP22959685A JPS6289868A JP S6289868 A JPS6289868 A JP S6289868A JP 22959685 A JP22959685 A JP 22959685A JP 22959685 A JP22959685 A JP 22959685A JP S6289868 A JPS6289868 A JP S6289868A
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hard carbon
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unit
producing
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Hiroyuki Sugimura
博之 杉村
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Nippon Kogaku KK
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008038217A (ja) * 2006-08-08 2008-02-21 Yamaguchi Prefecture プラズマ処理装置及び基材の表面処理方法
JP2009185336A (ja) * 2008-02-06 2009-08-20 Yamaguchi Prefecture 非晶質炭素膜及びその成膜方法
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JP2013104093A (ja) * 2011-11-14 2013-05-30 Toyota Motor Corp プラズマｃｖｄ装置
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JP2016109165A (ja) * 2014-12-03 2016-06-20 大同メタル工業株式会社 摺動部材、ハウジング及び軸受装置

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