JPS628744B2 - - Google Patents
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- JPS628744B2 JPS628744B2 JP57204037A JP20403782A JPS628744B2 JP S628744 B2 JPS628744 B2 JP S628744B2 JP 57204037 A JP57204037 A JP 57204037A JP 20403782 A JP20403782 A JP 20403782A JP S628744 B2 JPS628744 B2 JP S628744B2
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Classifications
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Description
産業上の利用分野
本発明は可燃性ガスなどのガス検知素子に用い
るガス感応体材料の製造方法に関するものであ
る。 従来例の構成とその問題点 近年、ガス機器の普及に伴なつて、ガス漏れに
よる事故が多発し、これらの事故を防ぐ方法が
種々検討されている。従来から使用されているガ
ス検知素子の代表的なものの一つとして、ｎ型の
金属酸化物半導体を用いたものが知られている。
半導体式ガス検知素子は通常速い応答速度を要求
されるので、ガス感応体は大気中で高温度に保持
されて用いられる。そのため、ガス感応体として
は酸化雰囲気に対して安定な酸化物が選ばれる。
これまで各種の酸化物がガス感応体として用いら
れてきた。その中で酸化カドミウム（CdO）が
感ガス特性を示し得ることが見い出されており、
これを感応体としたガス検知素子の検討が進めら
れている。 このCdOを用いた場合のガス検知素子は、素
子の温度が350〜450℃の範囲においてガス感応特
性が顕著であり、感度（通常空気中での抵抗値
Raと検知すべきガス濃度中での抵抗値Rgとの比
で表わされる）、および検知すべき濃度範囲にお
ける単位ガス濃度当たりの抵抗値の変化率が大き
いので、検知すべきガス濃度を定量度よく抵抗値
変化として検知できるという優れた特徴を持つて
いる。 一般にこのようなガス検知素子においては、で
きるだけ少ない電力で感応体を効率よく加熱する
必要があるので、感応体はおのずと小さいものに
なる。セラミツク半導体式の場合も同様である。
したがつて感応体が２種以上の成分で構成された
ものについては、その成分が感応体に均一に含ま
れていないと素子間のばらつきの原因となる。ま
た素子そのものが外気に直接暴露され、過酷な条
件下で使用されるため、特に長期の課電寿命に対
して不安定になりやすいので、ガス感応体はでき
るだけ均質な微細構造を有している必要がある。
このため、製造方法としては水溶液法（共沈法や
均質沈澱法等）が有力な方法となる。これによる
と分散混合が優れているほかに、微粒子粉体が得
られるので、比表面積の増加すなわち高活性化に
つながり、メタンなどの安定なガスをも検知でき
る材料を得ることができるという利点がある。 しかしながら、水溶液法でもその方法によつて
は種々の問題がある。たとえば共沈法の場合は、
沈澱剤が溶液に加えられるき、たとえその濃度が
薄く、かつ溶液をじゆうぶんに撹拌しながら添加
したとしても、部分的には一時沈澱剤が高濃度に
なり、結晶核の生成が速められ沈澱粒子の大きさ
が不均一になり、あるいは凝結を起こすというこ
とがある。これが結果的には素子間のバラツキを
大きくしたり、課電寿命試験等における特性劣化
を促進したりする原因となつていた。 発明の目的 本発明はこれら従来方法の欠点を解消し、凝結
のない均一な沈澱粒子を得ることによつてガス感
応体材料の均質化を図り、結果として素子間のば
らつきが少なく、課電寿命特性が大幅に改善され
たガス検知素子を提供しようとするものである。 発明の構成 本発明は種々の沈澱剤あるいはその他の製造工
程に関する一連の検討の結果なされたもので、カ
ドミウムイオンおよび陰イオンとして少なくとも
硫酸イオンを含む水溶液に尿素〔（NH2）2CO〕を
加え、これを加熱することにより、この尿素の緩
慢な加水分解によるPHのゆるやかな上昇を利用し
て、均一且つ均質な粒子の調整を可能としたもの
である。 実施例の説明 以下に本発明による効果について、比較例と対
比させながらいくつかの実施例を用いて説明す
る。 〔比較例 １〕 市販の塩化カドミウム（CdCl2・５／2H2O）
23ｇと硫酸アンモニウム〔NH4）2SO4〕40ｇをそ
れぞれ１の水に溶かし、80℃に保ちながら撹拌
した。さらに温度を80℃に保ちつつ、この溶液に
８規定の水酸化アンモニウム（NH4OH）溶液を
60c.c.／分の割合で溶液の水素イオン濃度（PH）が
8.0になるまで滴下した。滴下終了後、10分間溶
液の温度を80℃に保持し、この共沈物を吸引過
した。このようにして得られた粉体を減圧容器に
入れて真空乾燥を行なつた。得られた乾燥物をら
いかい機で２時間粉砕した後、有機バインダーを
用いて100〜200μｍの大きさの粒子に整粒した。
この粉体に２本の白金線を埋め込んで、直径２
mm、高さ３mmの円柱状に加圧成型し、空気中にお
いて550℃で２時間の焼成を行なつた。得られた
多孔質の焼結体を検知素子用ベースにとりつけ、
焼結体のまわりにコイル状のヒータを配置し、防
爆用のステンレス鋼網をかぶせて検知素子を得
た。 第１図はガス検知素子の構造を示したものであ
る。図において、１は焼結体で、２本の白金線か
らなる電極３，４が埋め込まれている。２は焼結
体１を加熱するためのヒータで、ヒータ用ピン１
１，１２からヒータ用フレーム７，８を通じてヒ
ータに電力が供給される。焼結体１の抵抗は電極
３，４からフレーム５，６を通じてピン９，１０
の間で測定されるよう構成されている。ヒータ用
ピン１１，１２およびピン９，１０はベース１３
に固定され、ステンレス鋼製金網１４はベースに
とりつけられている。 以上のようにして得られた検知素子について、
ガス感応特性、通常使用温度（400℃）での課電
寿命および通常使用する温度よりもはるかに高い
温度（600℃）での過負荷課電寿命を調べた。 ガス感応特性の測定方法は、あらかじめ検知素
子のヒータ部に電流を流し、感応体の温度が400
℃になるように調整しておき、それを容積の知ら
れている測定箱内に挿入した後、注射器でテスト
用ガスを測定箱内に注入し、焼結感応体の抵抗値
を測定した。通常課圧寿命は、検知素子のヒータ
部に常に電流を流し感応体の温度を400℃に保持
し、経過時間とともに、上述の方法でガス感応特
性を測定し、メタン（CH4）と水素（H2）の抵抗経
時変化率、すなわち（初期の抵抗Rg
（5000ppm）―ｔ時間通電後の抵抗Rg
（5000ppm）｝／初期の抵抗Rg（5000ppm）の値
ΔＲ／Ｒ（％）を求めた。過負荷課電寿命につい
ては、感応体の温度を通常の動作温度（400℃）
よりもはるかに高い600℃に保持し、経過時間と
ともに、上記した方法で測定し、通常課電寿命と
同じ方法で抵抗経時変化率を求めた。初期ガス感
応特性および検知素子50個中の標準偏差を後掲の
表の試料No.Ａの欄に、通常課電寿命におけるCH4
に対する抵抗変化率の推移を第２図に、またH2
に対するそれを第３図に、また過負荷課電寿命に
おけるCH4に対する抵抗変化率の推移を第４図
に、またH2に対するそれを第５図にそれぞれ示
した。この比較例１における実験結果は各図にお
いてそれぞれ試料No.Ａで示してある。 表および第２図〜第５図からわかることは、通
常課電寿命および過負荷課電寿命において、CH4
に対しては抵抗が正側すなわち劣化傾向に、H2
ガスに対しては負側すなわち増感傾向に大幅に変
化するため、このままでは実際の警報器に取り付
けて使用することは、直接検知濃度の変化につな
がるので好ましくないことがわかる。また検知素
子50個中のばらつきも相当大きいことがわかる。 なお、表中は平均値、Ｓは標準偏差を示し、
Raは通常の空気中における抵抗値である。 〔比較例 ２〕 市販の硫酸カドミウム（CdSO4・xH2O，ｘ＝
1.2）23ｇを１の水に溶かし、以下比較例１と
同様の方法で沈澱生成から検知素子の作成および
ガス感応特性の評価を行なつた。初期ガス感応特
性を後掲の表の試料No.Ｂの欄に、また課電寿命お
よび過負荷課電寿命の抵抗変化率の推移を第２図
〜第５図に、それぞれ試料No.Ｂで示した。 表および第２図〜第５図からわかることは、通
常課電寿命および過負荷課電寿命において、CH4
に対しては抵抗が正側すなわち劣化傾向に、H2
に対しては負側すなわち増感傾向に大幅に変化す
るため、このままでは実載の警報器に取り付けて
使用することは、直接検知濃度の変化につながる
ので好ましくないことがわかる。また検知素子50
個中のばらつきも相当大きいことがわかる。 〔実施例 １〕 市販の塩化カドミウム23ｇと硫酸アンモニウム
40ｇおよび尿素〔（NH2）2CO〕60ｇを１の水に
溶かし、ホツトプレート上で加熱しながら撹拌し
た。加熱は95℃以上で行なつた。終了時の水素イ
オン濃度（PH）は8.0であつた。以下比較例１と
同様の方法で吸引ろ過から検知素子の作成および
ガス感応特性の評価を行なつた。初期ガス感応特
性を後掲の表の試料No.Ｃの欄に、また課電寿命お
よび過負荷課電寿命の抵抗変化率の推移を第２図
〜第５図の中の試料No.Ｃでそれぞれ示した。 以上の結果より、通常課電寿命および過負荷課
電寿命において、比較例に比べて特性が著しく安
定に推移していることが判る。また検知素子50個
中のばらつきも大幅に減少していることが判る。 〔実施例 ２〕 市販の硫酸カドミウム23ｇと尿素60ｇを１の
水に溶かし、ホツトプレート上で加熱しながら撹
拌した。以下実施例１と同様の方法で処理を行な
い、吸引ろ過から検知素子の作成およびガス感応
特性の評価を行なつた。初期ガス感応特性を後掲
の表の試料No.Ｄの欄に、また寿命試験の抵抗変化
率の推移を第２図〜第５図の中の試料No.Ｄでそれ
ぞれ示した。 以上の結果より、通常課電寿命および過負荷課
電寿命において、比較例に比べて特性が著しく安
定に推移していることがわかる。また検知素子50
個中のばらつきも大幅に減少していることがわか
る。
るガス感応体材料の製造方法に関するものであ
る。 従来例の構成とその問題点 近年、ガス機器の普及に伴なつて、ガス漏れに
よる事故が多発し、これらの事故を防ぐ方法が
種々検討されている。従来から使用されているガ
ス検知素子の代表的なものの一つとして、ｎ型の
金属酸化物半導体を用いたものが知られている。
半導体式ガス検知素子は通常速い応答速度を要求
されるので、ガス感応体は大気中で高温度に保持
されて用いられる。そのため、ガス感応体として
は酸化雰囲気に対して安定な酸化物が選ばれる。
これまで各種の酸化物がガス感応体として用いら
れてきた。その中で酸化カドミウム（CdO）が
感ガス特性を示し得ることが見い出されており、
これを感応体としたガス検知素子の検討が進めら
れている。 このCdOを用いた場合のガス検知素子は、素
子の温度が350〜450℃の範囲においてガス感応特
性が顕著であり、感度（通常空気中での抵抗値
Raと検知すべきガス濃度中での抵抗値Rgとの比
で表わされる）、および検知すべき濃度範囲にお
ける単位ガス濃度当たりの抵抗値の変化率が大き
いので、検知すべきガス濃度を定量度よく抵抗値
変化として検知できるという優れた特徴を持つて
いる。 一般にこのようなガス検知素子においては、で
きるだけ少ない電力で感応体を効率よく加熱する
必要があるので、感応体はおのずと小さいものに
なる。セラミツク半導体式の場合も同様である。
したがつて感応体が２種以上の成分で構成された
ものについては、その成分が感応体に均一に含ま
れていないと素子間のばらつきの原因となる。ま
た素子そのものが外気に直接暴露され、過酷な条
件下で使用されるため、特に長期の課電寿命に対
して不安定になりやすいので、ガス感応体はでき
るだけ均質な微細構造を有している必要がある。
このため、製造方法としては水溶液法（共沈法や
均質沈澱法等）が有力な方法となる。これによる
と分散混合が優れているほかに、微粒子粉体が得
られるので、比表面積の増加すなわち高活性化に
つながり、メタンなどの安定なガスをも検知でき
る材料を得ることができるという利点がある。 しかしながら、水溶液法でもその方法によつて
は種々の問題がある。たとえば共沈法の場合は、
沈澱剤が溶液に加えられるき、たとえその濃度が
薄く、かつ溶液をじゆうぶんに撹拌しながら添加
したとしても、部分的には一時沈澱剤が高濃度に
なり、結晶核の生成が速められ沈澱粒子の大きさ
が不均一になり、あるいは凝結を起こすというこ
とがある。これが結果的には素子間のバラツキを
大きくしたり、課電寿命試験等における特性劣化
を促進したりする原因となつていた。 発明の目的 本発明はこれら従来方法の欠点を解消し、凝結
のない均一な沈澱粒子を得ることによつてガス感
応体材料の均質化を図り、結果として素子間のば
らつきが少なく、課電寿命特性が大幅に改善され
たガス検知素子を提供しようとするものである。 発明の構成 本発明は種々の沈澱剤あるいはその他の製造工
程に関する一連の検討の結果なされたもので、カ
ドミウムイオンおよび陰イオンとして少なくとも
硫酸イオンを含む水溶液に尿素〔（NH2）2CO〕を
加え、これを加熱することにより、この尿素の緩
慢な加水分解によるPHのゆるやかな上昇を利用し
て、均一且つ均質な粒子の調整を可能としたもの
である。 実施例の説明 以下に本発明による効果について、比較例と対
比させながらいくつかの実施例を用いて説明す
る。 〔比較例 １〕 市販の塩化カドミウム（CdCl2・５／2H2O）
23ｇと硫酸アンモニウム〔NH4）2SO4〕40ｇをそ
れぞれ１の水に溶かし、80℃に保ちながら撹拌
した。さらに温度を80℃に保ちつつ、この溶液に
８規定の水酸化アンモニウム（NH4OH）溶液を
60c.c.／分の割合で溶液の水素イオン濃度（PH）が
8.0になるまで滴下した。滴下終了後、10分間溶
液の温度を80℃に保持し、この共沈物を吸引過
した。このようにして得られた粉体を減圧容器に
入れて真空乾燥を行なつた。得られた乾燥物をら
いかい機で２時間粉砕した後、有機バインダーを
用いて100〜200μｍの大きさの粒子に整粒した。
この粉体に２本の白金線を埋め込んで、直径２
mm、高さ３mmの円柱状に加圧成型し、空気中にお
いて550℃で２時間の焼成を行なつた。得られた
多孔質の焼結体を検知素子用ベースにとりつけ、
焼結体のまわりにコイル状のヒータを配置し、防
爆用のステンレス鋼網をかぶせて検知素子を得
た。 第１図はガス検知素子の構造を示したものであ
る。図において、１は焼結体で、２本の白金線か
らなる電極３，４が埋め込まれている。２は焼結
体１を加熱するためのヒータで、ヒータ用ピン１
１，１２からヒータ用フレーム７，８を通じてヒ
ータに電力が供給される。焼結体１の抵抗は電極
３，４からフレーム５，６を通じてピン９，１０
の間で測定されるよう構成されている。ヒータ用
ピン１１，１２およびピン９，１０はベース１３
に固定され、ステンレス鋼製金網１４はベースに
とりつけられている。 以上のようにして得られた検知素子について、
ガス感応特性、通常使用温度（400℃）での課電
寿命および通常使用する温度よりもはるかに高い
温度（600℃）での過負荷課電寿命を調べた。 ガス感応特性の測定方法は、あらかじめ検知素
子のヒータ部に電流を流し、感応体の温度が400
℃になるように調整しておき、それを容積の知ら
れている測定箱内に挿入した後、注射器でテスト
用ガスを測定箱内に注入し、焼結感応体の抵抗値
を測定した。通常課圧寿命は、検知素子のヒータ
部に常に電流を流し感応体の温度を400℃に保持
し、経過時間とともに、上述の方法でガス感応特
性を測定し、メタン（CH4）と水素（H2）の抵抗経
時変化率、すなわち（初期の抵抗Rg
（5000ppm）―ｔ時間通電後の抵抗Rg
（5000ppm）｝／初期の抵抗Rg（5000ppm）の値
ΔＲ／Ｒ（％）を求めた。過負荷課電寿命につい
ては、感応体の温度を通常の動作温度（400℃）
よりもはるかに高い600℃に保持し、経過時間と
ともに、上記した方法で測定し、通常課電寿命と
同じ方法で抵抗経時変化率を求めた。初期ガス感
応特性および検知素子50個中の標準偏差を後掲の
表の試料No.Ａの欄に、通常課電寿命におけるCH4
に対する抵抗変化率の推移を第２図に、またH2
に対するそれを第３図に、また過負荷課電寿命に
おけるCH4に対する抵抗変化率の推移を第４図
に、またH2に対するそれを第５図にそれぞれ示
した。この比較例１における実験結果は各図にお
いてそれぞれ試料No.Ａで示してある。 表および第２図〜第５図からわかることは、通
常課電寿命および過負荷課電寿命において、CH4
に対しては抵抗が正側すなわち劣化傾向に、H2
ガスに対しては負側すなわち増感傾向に大幅に変
化するため、このままでは実際の警報器に取り付
けて使用することは、直接検知濃度の変化につな
がるので好ましくないことがわかる。また検知素
子50個中のばらつきも相当大きいことがわかる。 なお、表中は平均値、Ｓは標準偏差を示し、
Raは通常の空気中における抵抗値である。 〔比較例 ２〕 市販の硫酸カドミウム（CdSO4・xH2O，ｘ＝
1.2）23ｇを１の水に溶かし、以下比較例１と
同様の方法で沈澱生成から検知素子の作成および
ガス感応特性の評価を行なつた。初期ガス感応特
性を後掲の表の試料No.Ｂの欄に、また課電寿命お
よび過負荷課電寿命の抵抗変化率の推移を第２図
〜第５図に、それぞれ試料No.Ｂで示した。 表および第２図〜第５図からわかることは、通
常課電寿命および過負荷課電寿命において、CH4
に対しては抵抗が正側すなわち劣化傾向に、H2
に対しては負側すなわち増感傾向に大幅に変化す
るため、このままでは実載の警報器に取り付けて
使用することは、直接検知濃度の変化につながる
ので好ましくないことがわかる。また検知素子50
個中のばらつきも相当大きいことがわかる。 〔実施例 １〕 市販の塩化カドミウム23ｇと硫酸アンモニウム
40ｇおよび尿素〔（NH2）2CO〕60ｇを１の水に
溶かし、ホツトプレート上で加熱しながら撹拌し
た。加熱は95℃以上で行なつた。終了時の水素イ
オン濃度（PH）は8.0であつた。以下比較例１と
同様の方法で吸引ろ過から検知素子の作成および
ガス感応特性の評価を行なつた。初期ガス感応特
性を後掲の表の試料No.Ｃの欄に、また課電寿命お
よび過負荷課電寿命の抵抗変化率の推移を第２図
〜第５図の中の試料No.Ｃでそれぞれ示した。 以上の結果より、通常課電寿命および過負荷課
電寿命において、比較例に比べて特性が著しく安
定に推移していることが判る。また検知素子50個
中のばらつきも大幅に減少していることが判る。 〔実施例 ２〕 市販の硫酸カドミウム23ｇと尿素60ｇを１の
水に溶かし、ホツトプレート上で加熱しながら撹
拌した。以下実施例１と同様の方法で処理を行な
い、吸引ろ過から検知素子の作成およびガス感応
特性の評価を行なつた。初期ガス感応特性を後掲
の表の試料No.Ｄの欄に、また寿命試験の抵抗変化
率の推移を第２図〜第５図の中の試料No.Ｄでそれ
ぞれ示した。 以上の結果より、通常課電寿命および過負荷課
電寿命において、比較例に比べて特性が著しく安
定に推移していることがわかる。また検知素子50
個中のばらつきも大幅に減少していることがわか
る。
【表】
なお、上記各実施例においては、加圧成型体を
焼結して得られた感応体を用いた素子の場合につ
いて説明したが、本発明は感応体が上述のような
加圧成型された焼結体の場合にのみ有効であるの
ではなく、例えばこの焼結体原料をペースト化し
て基板上に塗布し、焼きつけて得られる焼結膜を
感応体として用いた場合についても本発明の効果
は何ら失われるものではない。 また原料塩については、実施例１と実施例２で
は塩化カドミウムと硫酸カドミウムを用いて説明
したが、これに限らず水溶性のカドミウム塩（硝
酸カドミウムや臭化カドミウム等）ならば全て有
効である。 また、実施例においては550℃で焼成を行なつ
た場合について述べたが、この焼成温度は特に限
定されるものではなく、実用上耐えうる燃結体強
度を持つ焼成温度であればよい。 発明の効果 以上詳細に述べたように、本発明の製造方法は
尿素の加水分解を利用した沈澱生成反応をガス感
応体の原料粉末の調製にたくみに応用したもので
あり、得られた粉体の粒子形状、粒子径が極めて
均一であるため、各検知素子間のガス感応特性の
ばらつきが非常に小さく、かつ長期間の高温動作
に対してもきわめて安定な特性を維持することの
できる素子を提供するものである。これによつ
て、互換性のある、しかも非常に信頼性の高い可
燃性ガス検知素子を実現することができ、各種の
ガス防災技術の分野に対して極めて大きな貢献が
できるものと期待される。
焼結して得られた感応体を用いた素子の場合につ
いて説明したが、本発明は感応体が上述のような
加圧成型された焼結体の場合にのみ有効であるの
ではなく、例えばこの焼結体原料をペースト化し
て基板上に塗布し、焼きつけて得られる焼結膜を
感応体として用いた場合についても本発明の効果
は何ら失われるものではない。 また原料塩については、実施例１と実施例２で
は塩化カドミウムと硫酸カドミウムを用いて説明
したが、これに限らず水溶性のカドミウム塩（硝
酸カドミウムや臭化カドミウム等）ならば全て有
効である。 また、実施例においては550℃で焼成を行なつ
た場合について述べたが、この焼成温度は特に限
定されるものではなく、実用上耐えうる燃結体強
度を持つ焼成温度であればよい。 発明の効果 以上詳細に述べたように、本発明の製造方法は
尿素の加水分解を利用した沈澱生成反応をガス感
応体の原料粉末の調製にたくみに応用したもので
あり、得られた粉体の粒子形状、粒子径が極めて
均一であるため、各検知素子間のガス感応特性の
ばらつきが非常に小さく、かつ長期間の高温動作
に対してもきわめて安定な特性を維持することの
できる素子を提供するものである。これによつ
て、互換性のある、しかも非常に信頼性の高い可
燃性ガス検知素子を実現することができ、各種の
ガス防災技術の分野に対して極めて大きな貢献が
できるものと期待される。
第１図は本発明にかかる可燃性ガス検知素子の
構造の一例を示す一部切欠正面図、第２図、第３
図は通電課寿命におけるガス検知素子の抵抗値の
初期値に対する変化率を推移を示す図、第４図、
第５図は過負荷課電寿命におけるガス検知素子の
抵抗値の変化率を示す図である。 １……焼結体、２……ヒータ、３，４……電
極、５，６，７，８……フレーム、９，１０……
電極用ピン、１１，１２……ヒータ用ピン、１３
……ベース、１４……ステンレス勢金網。
構造の一例を示す一部切欠正面図、第２図、第３
図は通電課寿命におけるガス検知素子の抵抗値の
初期値に対する変化率を推移を示す図、第４図、
第５図は過負荷課電寿命におけるガス検知素子の
抵抗値の変化率を示す図である。 １……焼結体、２……ヒータ、３，４……電
極、５，６，７，８……フレーム、９，１０……
電極用ピン、１１，１２……ヒータ用ピン、１３
……ベース、１４……ステンレス勢金網。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ カドミウムイオンおよび陰イオンとして少な
くとも硫酸イオンを含む水溶液に尿素
〔（NH2）2CO〕を加えることによつて得られる沈
澱物を乾燥してガス感応体材料を得ることを特徴
とするガス感応体材料の製造方法。 ２ 沈澱物を得る際に水溶液を加熱することを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のガス感応体
材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57204037A JPS5994049A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | ガス感応体材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57204037A JPS5994049A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | ガス感応体材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5994049A JPS5994049A (ja) | 1984-05-30 |
| JPS628744B2 true JPS628744B2 (ja) | 1987-02-24 |
Family
ID=16483704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57204037A Granted JPS5994049A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | ガス感応体材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5994049A (ja) |
-
1982
- 1982-11-19 JP JP57204037A patent/JPS5994049A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5994049A (ja) | 1984-05-30 |
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