JPS6286365A - 画像形成方法 - Google Patents
画像形成方法Info
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- JPS6286365A JPS6286365A JP60227491A JP22749185A JPS6286365A JP S6286365 A JPS6286365 A JP S6286365A JP 60227491 A JP60227491 A JP 60227491A JP 22749185 A JP22749185 A JP 22749185A JP S6286365 A JPS6286365 A JP S6286365A
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- image forming
- forming material
- original film
- original
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2041—Exposure; Apparatus therefor in the presence of a fluid, e.g. immersion; using fluid cooling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は印刷回路基板などの製造の用に供される画像
形成方法に関する。
形成方法に関する。
一般に、印刷回路基板を製造する際の画像形成方法とし
ては、画像形成用の基板の表面に、感光性樹脂層が透明
支持体上に被着されてなる画像形成材料を、上記樹脂層
が接触面となるように載置し、この画像形成材料子に所
望のパターンを有する原画フィルムを配置したのち、第
２図に示されるような密着露光用治具２０を用いて、こ
の治具２０のガラス板２１とプラスチックフィルム２２
との間に、」二記基板、画像形成材料および原画フィル
ムからなる複合体２３をはさみ、ガラス板２１とプラス
チックフィルム２２との間の空気を吸引口２４より真空
ポンプなどで吸引減圧することにより、原画フィルムと
上記画像形成材料とを密着せしめ、紫外線露光を行うと
いう方法がとられている。
ては、画像形成用の基板の表面に、感光性樹脂層が透明
支持体上に被着されてなる画像形成材料を、上記樹脂層
が接触面となるように載置し、この画像形成材料子に所
望のパターンを有する原画フィルムを配置したのち、第
２図に示されるような密着露光用治具２０を用いて、こ
の治具２０のガラス板２１とプラスチックフィルム２２
との間に、」二記基板、画像形成材料および原画フィル
ムからなる複合体２３をはさみ、ガラス板２１とプラス
チックフィルム２２との間の空気を吸引口２４より真空
ポンプなどで吸引減圧することにより、原画フィルムと
上記画像形成材料とを密着せしめ、紫外線露光を行うと
いう方法がとられている。
なお、第２図中、２５はガラス板２１とプラスチックフ
ィルム２２との間に空間を設けるための下枠であり、２
６はその下面にプラスチックフィルム２２を貼り合わせ
た上枠である。前記複合体２３ば、−、＋−記上下枠２
５内所定位置にその画像形成用基板がガラス板２１と接
触し、原画フィルムがプラスチックフィルム２２と接触
するように配置される。吸引口２４からの吸引減圧によ
り、−に記フィルム２２が原画フィルム１−に吸着する
ことにより、この原画フィルムはその下の画像形成材料
に強く押圧されて、両者の密着性が高められる。
ィルム２２との間に空間を設けるための下枠であり、２
６はその下面にプラスチックフィルム２２を貼り合わせ
た上枠である。前記複合体２３ば、−、＋−記上下枠２
５内所定位置にその画像形成用基板がガラス板２１と接
触し、原画フィルムがプラスチックフィルム２２と接触
するように配置される。吸引口２４からの吸引減圧によ
り、−に記フィルム２２が原画フィルム１−に吸着する
ことにより、この原画フィルムはその下の画像形成材料
に強く押圧されて、両者の密着性が高められる。
この際上記密着の度合を良くするためプラスチックフィ
ルム２２の表面を外部から押圧することもある。
ルム２２の表面を外部から押圧することもある。
（発明が解決しようとする問題点〕
しかるに、画像形成用の基板の表面に載置された画像形
成材料ζこおける感光性樹脂層は、比較的軟質のものか
らなるため、上記材料が原画フィルムを介した吸引によ
る抑圧や外部からの押圧を受けた場合、」−記材料の周
縁部より感光性樹脂がはみ出し、これが−１一方の原画
フィルムの周辺に付着するという問題があった。
成材料ζこおける感光性樹脂層は、比較的軟質のものか
らなるため、上記材料が原画フィルムを介した吸引によ
る抑圧や外部からの押圧を受けた場合、」−記材料の周
縁部より感光性樹脂がはみ出し、これが−１一方の原画
フィルムの周辺に付着するという問題があった。
すなわち、原画フィルＪ、の周辺にイ・１着した感光性
樹脂は、露光時に硬化してＬ記ソイルＪ、に付着残存し
、またその一部が小片となつ゛（飛散する。
樹脂は、露光時に硬化してＬ記ソイルＪ、に付着残存し
、またその一部が小片となつ゛（飛散する。
ここで、原画フイルムトに硬化（＝Ｊ着する樹脂Ｃ１［
画像形成処理回数とともに増加し２３、二の付着した樹
脂により原画フィルムと画像形成４４１１との均一な密
着性が損なわれる。また上記飛散した小片は、画像形成
処理中に原画フィルムや画像形成材料−ヒに付着する。
画像形成処理回数とともに増加し２３、二の付着した樹
脂により原画フィルムと画像形成４４１１との均一な密
着性が損なわれる。また上記飛散した小片は、画像形成
処理中に原画フィルムや画像形成材料−ヒに付着する。
その結果、画像形成に著しく支障をきたし、これを用い
て製造される回路基板に不良をきたす原因となる。
て製造される回路基板に不良をきたす原因となる。
また、ｈ記の如く、原画フィルムの周辺に硬化付着する
感光性樹脂に起因した原画フィルムと画像形成材料との
密着性の低下を回避するためには、画像形成のための処
理回数をできるだけ少なくして、一定回数後に上記付着
樹脂を取り除く修正処理を施すか、あるいは使用済みフ
ィルムとして廃棄処理しなければならないが、この場合
原画フィルムの使用効率が悪くなるため、回路基板の製
造コストがどうしても高くならざるをえなかった。
感光性樹脂に起因した原画フィルムと画像形成材料との
密着性の低下を回避するためには、画像形成のための処
理回数をできるだけ少なくして、一定回数後に上記付着
樹脂を取り除く修正処理を施すか、あるいは使用済みフ
ィルムとして廃棄処理しなければならないが、この場合
原画フィルムの使用効率が悪くなるため、回路基板の製
造コストがどうしても高くならざるをえなかった。
したがって、この発明は、−に記従来の如き感光性樹脂
のはみ出しによる原画フィルムの周辺への樹脂の硬化イ
」着を防１１−することによって、上記付着に起因した
画像形成上の問題を回避でき、特に高密度５高解像性を
得ることができ、しかも原画フィルムの繰り返し使用に
耐えうる画像形成方法を提供することを目的としている
。
のはみ出しによる原画フィルムの周辺への樹脂の硬化イ
」着を防１１−することによって、上記付着に起因した
画像形成上の問題を回避でき、特に高密度５高解像性を
得ることができ、しかも原画フィルムの繰り返し使用に
耐えうる画像形成方法を提供することを目的としている
。
〔問題点を解決するための手段］
この発明者らは、−１−上目的を達成するために鋭意検
討した結果、原画フィルムの画像形成４１ Ｉ＋との当
接面側に特定の薄膜を形成したときには、押圧により上
記材料の周縁部にはみ出した感光性樹脂が上方の原画フ
ィルムの周辺に硬化付着するのを効果的に防止できるこ
とを知り、この発明をなすに至った。
討した結果、原画フィルムの画像形成４１ Ｉ＋との当
接面側に特定の薄膜を形成したときには、押圧により上
記材料の周縁部にはみ出した感光性樹脂が上方の原画フ
ィルムの周辺に硬化付着するのを効果的に防止できるこ
とを知り、この発明をなすに至った。
すなわち、この発明は、画像形成用の基板の表面に、感
光性樹脂層が透明支持体−１−に被着されてなる画像形
成材料を、上記樹脂層が接触面となるように載置したの
ち、この画像形成材料１−に原画フィルムを密着させて
紫外線露光を行う画像形成方法において、上記原画フィ
ルムの１−上側像形成材料との当接面側にシリコーン薄
膜を形成したことを特徴とする画像形成方法に係るもの
である。
光性樹脂層が透明支持体−１−に被着されてなる画像形
成材料を、上記樹脂層が接触面となるように載置したの
ち、この画像形成材料１−に原画フィルムを密着させて
紫外線露光を行う画像形成方法において、上記原画フィ
ルムの１−上側像形成材料との当接面側にシリコーン薄
膜を形成したことを特徴とする画像形成方法に係るもの
である。
以下に、この発明を図面を参考にして説明する。
第１図は、画像形成用の基板の表面に画像形成材料を載
置し、さらにその−にに原画フィルムを配置した複合体
を示したものである。図中、１は画像形成用の基板、２
は画像形成材料、３は原画フイルムである。
置し、さらにその−にに原画フィルムを配置した複合体
を示したものである。図中、１は画像形成用の基板、２
は画像形成材料、３は原画フイルムである。
画像形成材料２は、プラスチックフィルムなどからなる
厚みがｌＯ〜１５０μｍ程度の透明支持体２Ａと、この
支持体２人の表面に塗工法などにより形成された皮膜形
成性ポリマー、光重合性化合物および光重合開始剤など
を含む厚みが５〜１００μｍ程度の感光性樹脂層２Ｂと
から構成されており、感光性樹脂層２Ｂが基板１への接
触面となるように、基十反１トに載置されている。
厚みがｌＯ〜１５０μｍ程度の透明支持体２Ａと、この
支持体２人の表面に塗工法などにより形成された皮膜形
成性ポリマー、光重合性化合物および光重合開始剤など
を含む厚みが５〜１００μｍ程度の感光性樹脂層２Ｂと
から構成されており、感光性樹脂層２Ｂが基板１への接
触面となるように、基十反１トに載置されている。
また、」皿上の画像形成材料２上に配置された原画フィ
ルム３は、適宜の手段により光透過部分と光不透過部分
からなる所望のパターンを形成した厚みが２５〜２００
μｍ程度のプラスチックフィルムからなり、このフィル
ム３の一１皿上画像形成材料２との当接面にはシリコー
ン薄膜４が形成されている。
ルム３は、適宜の手段により光透過部分と光不透過部分
からなる所望のパターンを形成した厚みが２５〜２００
μｍ程度のプラスチックフィルムからなり、このフィル
ム３の一１皿上画像形成材料２との当接面にはシリコー
ン薄膜４が形成されている。
この薄膜４の形成に用いられるシリコーンとしては、一
般にプラスチック成形用１１ｉ＋１型バ１１として用い
られているものが好ましく、この薄膜４の厚みとしては
０．０４〜０．１μｍ程度とするのがよい。
般にプラスチック成形用１１ｉ＋１型バ１１として用い
られているものが好ましく、この薄膜４の厚みとしては
０．０４〜０．１μｍ程度とするのがよい。
この膜厚が厚くなりすぎると画像形成に支障をきたすた
め好ましくない。ごのような薄膜４を形成するには、シ
リコーンを噴霧状Ｇこ１・１出成形するなどの方法によ
り塗布し乾燥すればよい。ごの射出成形によれば、容易
に薄膜を形成するごとができ大変効果的である。
め好ましくない。ごのような薄膜４を形成するには、シ
リコーンを噴霧状Ｇこ１・１出成形するなどの方法によ
り塗布し乾燥すればよい。ごの射出成形によれば、容易
に薄膜を形成するごとができ大変効果的である。
このように構成された複合体２１うを、前記第２図に示
すような密着露光用治具２０のガラス板２１とプラスチ
ックフィルム２２との間に前述の如くはさみ、吸引口２
４より吸引減圧し、またプラスチックフィルム２２の夕
１部から押圧すると、原画フィルム３はシリコーン薄膜
４を介して画像形成材料２の透明支持体２Ａに強く密着
する。このとき、画像形成材料２の感光性樹脂層２Ｂの
−・部は、上記材料２の周縁部２ａよりはみ出し、ごの
はみ出した樹脂は原画フィルム３の周辺３ａ才冊ミび基
板１の周辺１ａに（＝Ｉ着する。
すような密着露光用治具２０のガラス板２１とプラスチ
ックフィルム２２との間に前述の如くはさみ、吸引口２
４より吸引減圧し、またプラスチックフィルム２２の夕
１部から押圧すると、原画フィルム３はシリコーン薄膜
４を介して画像形成材料２の透明支持体２Ａに強く密着
する。このとき、画像形成材料２の感光性樹脂層２Ｂの
−・部は、上記材料２の周縁部２ａよりはみ出し、ごの
はみ出した樹脂は原画フィルム３の周辺３ａ才冊ミび基
板１の周辺１ａに（＝Ｉ着する。
この状態でプラスチックフィルム２２側から紫外線露光
を行うと、感光性樹脂層２Ｂは原画フィルム３に応じた
パターン杖に硬化されるため、その後冶具２０を開放し
て原画フィルム３を回収し、さら乙こ透明支持体２Ａを
剥離する剥離現像または上記剥離後適宜の現像液にて湿
式現像を行うことにより、基十ル１の表面に所望の画像
が形成される。
を行うと、感光性樹脂層２Ｂは原画フィルム３に応じた
パターン杖に硬化されるため、その後冶具２０を開放し
て原画フィルム３を回収し、さら乙こ透明支持体２Ａを
剥離する剥離現像または上記剥離後適宜の現像液にて湿
式現像を行うことにより、基十ル１の表面に所望の画像
が形成される。
一方、原画フィルム３および基板１の周辺３ａ。
１ａに付着した前記はみ出し樹脂は、上記紫外線露光に
より、原画フィルムのパターンに関係なく露光硬化され
る。この硬化した樹脂は、原画フィルト３の表面にシリ
コ −ン薄膜４が形成されていることにより、このフィ
ルム３への硬化付着が防がれて、基板１の周辺にのみ強
固に硬化付着することとなり、この硬化付着樹脂の飛散
も少なくなる。
より、原画フィルムのパターンに関係なく露光硬化され
る。この硬化した樹脂は、原画フィルト３の表面にシリ
コ −ン薄膜４が形成されていることにより、このフィ
ルム３への硬化付着が防がれて、基板１の周辺にのみ強
固に硬化付着することとなり、この硬化付着樹脂の飛散
も少なくなる。
このため、回収された原画フィルム３は、これを上記画
像形成処理の用に繰り返し供しても、従来のような硬化
樹脂のイ・１着に起因した原画フィルム３と画像形成材
料２との密着性の低下を伴うおそれがなく、したがって
良好な画像形成を行えて高密度、高解像性が得られると
ともに、原画フィルム３の繰り返し使用回数を増大でき
ることになる。
像形成処理の用に繰り返し供しても、従来のような硬化
樹脂のイ・１着に起因した原画フィルム３と画像形成材
料２との密着性の低下を伴うおそれがなく、したがって
良好な画像形成を行えて高密度、高解像性が得られると
ともに、原画フィルム３の繰り返し使用回数を増大でき
ることになる。
なお、上記基板周辺への硬化樹脂（：１、必要に応して
この基板を用いた回路形成処理の任意の段階で容易に除
去できるものである。
この基板を用いた回路形成処理の任意の段階で容易に除
去できるものである。
このように、この発明の方法によれば、原画フィルムの
画像形成材料との当接面側にシリ：１−ン薄膜を形成し
たので、画像形成時の押圧による感光性樹脂のはみ出し
に起因した原画フィルＪ、への硬化付着を防止でき、ま
た画像形成処理中の樹脂の飛散も防止できるため、高密
度、高解像性の画像形成を行うことができるとともに、
原画フィルムの繰り返し使用回数の増大を図れて−１−
記フィルムの信軌性と寿命を向−１−させることができ
る。
画像形成材料との当接面側にシリ：１−ン薄膜を形成し
たので、画像形成時の押圧による感光性樹脂のはみ出し
に起因した原画フィルＪ、への硬化付着を防止でき、ま
た画像形成処理中の樹脂の飛散も防止できるため、高密
度、高解像性の画像形成を行うことができるとともに、
原画フィルムの繰り返し使用回数の増大を図れて−１−
記フィルムの信軌性と寿命を向−１−させることができ
る。
以下に、この発明の実施例を記載してより具体的に説明
する。
する。
実施例
厚み１２５μｍの原画フィルム（きもと社製の商品名セ
ルシアシースルーマスク）の乳剤面側にシリコーン離型
剤（信越化学社製の商品名セパコ−１−Ｈ）を噴霧し、
常温で約１０秒間乾燥させて厚さ０．０４μｍのシリコ
ーン薄膜を形成した。
ルシアシースルーマスク）の乳剤面側にシリコーン離型
剤（信越化学社製の商品名セパコ−１−Ｈ）を噴霧し、
常温で約１０秒間乾燥させて厚さ０．０４μｍのシリコ
ーン薄膜を形成した。
一方、２５μｍ厚の銅箔と１．６ｍｍ厚のガラスエポキ
シ積層板とからなる画像形成用の基板の表面に、２５μ
ｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルムからなる透
明支持体上に３５μｍ厚の感光性樹脂層が被着されてな
るいわゆるドライフィルムレジストと称される画像形成
材料を、上記樹脂層が接触面となるように載置した。こ
の画像形成材料上に前記の原画フィルムをシリコーン薄
膜が当接面となるように配置して複合体とした。
シ積層板とからなる画像形成用の基板の表面に、２５μ
ｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルムからなる透
明支持体上に３５μｍ厚の感光性樹脂層が被着されてな
るいわゆるドライフィルムレジストと称される画像形成
材料を、上記樹脂層が接触面となるように載置した。こ
の画像形成材料上に前記の原画フィルムをシリコーン薄
膜が当接面となるように配置して複合体とした。
この複合体を、第２図に示す密着露光用治具のガラス板
とプラスチックフィルムとの間に前述したとおりに設け
、ついで吸引したのち、紫外線を照射して画像形成を行
った。
とプラスチックフィルムとの間に前述したとおりに設け
、ついで吸引したのち、紫外線を照射して画像形成を行
った。
このとき、吸引による押圧で材料周縁部にはみ出した感
光性樹脂は、画像形成用の基板側に硬化付着し、原画フ
ィルム側への硬化付着は認められず、また硬化樹脂の飛
散もほとんど認められなかった。さらに、この原画フィ
ルＪ、を用いて繰り返し画像形成処理を行ったが、画像
形成がＩ員なわれることがなく、高密度２高解像性を有
する画像が得られた。
光性樹脂は、画像形成用の基板側に硬化付着し、原画フ
ィルム側への硬化付着は認められず、また硬化樹脂の飛
散もほとんど認められなかった。さらに、この原画フィ
ルＪ、を用いて繰り返し画像形成処理を行ったが、画像
形成がＩ員なわれることがなく、高密度２高解像性を有
する画像が得られた。
比較例
実施例において原画フィルムにシリコーン離型剤による
処理を施さなかった以久ば、実施例と同様にして画像形
成処理を行ったが、吸引による押圧ではみ出した感光性
樹脂は原画フィルムの周辺に硬化付着した。この硬化付
着は処理回数を重ねるにつれ増大し、約５０回の画像形
成処理を繰り返すと原画フィルＪ、の修正を必要とする
程画像形成に支障をきたすようになった。
処理を施さなかった以久ば、実施例と同様にして画像形
成処理を行ったが、吸引による押圧ではみ出した感光性
樹脂は原画フィルムの周辺に硬化付着した。この硬化付
着は処理回数を重ねるにつれ増大し、約５０回の画像形
成処理を繰り返すと原画フィルＪ、の修正を必要とする
程画像形成に支障をきたすようになった。
第１図はこの発明の画像形成方法を説明するための断面
図、第２図はこの発明の画像形成方法に用いられる密着
露光用冶具の一例を示す斜視図である。
図、第２図はこの発明の画像形成方法に用いられる密着
露光用冶具の一例を示す斜視図である。
Claims (1)
- （１）画像形成用の基板の表面に、感光性樹脂層が透明
支持体上に被着されてなる画像形成材料を、上記樹脂層
が接触面となるように載置したのち、この画像形成材料
上に原画フイルムを密着させて紫外線露光を行う画像形
成方法において、上記原画フイルムの上記画像形成材料
との当接面側にシリコーン薄膜を形成したことを特徴と
する画像形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60227491A JPS6286365A (ja) | 1985-10-12 | 1985-10-12 | 画像形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60227491A JPS6286365A (ja) | 1985-10-12 | 1985-10-12 | 画像形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6286365A true JPS6286365A (ja) | 1987-04-20 |
Family
ID=16861717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60227491A Pending JPS6286365A (ja) | 1985-10-12 | 1985-10-12 | 画像形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6286365A (ja) |
-
1985
- 1985-10-12 JP JP60227491A patent/JPS6286365A/ja active Pending
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