JPS628202B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、大気中の空気を取り入れて、空気調
和を行なう際の浮遊塩粒子の除去装置に関する。

〔発明の背景〕

従来の空調機は、エアウオツシヤと呼ばれる噴
霧水の中に取り入れた大気を通過させて、浮遊塩
粒子を捕捉し、除去する方法が多くとられる。し
かし、この方法では圧力損失は小さいものの、通
過空気量に対して噴霧水をいかに多くしても0.3
μｍ以上の粒子に対してせいぜい90％程度しか除
去することができず、半導体工場、精密機械工
場、薬品工場などでは、さらに除去効率の高い濾
過装置が求められている。

この種の濾過装置の捕集性能は近年、めざまし
い技術開発により、年々、高性能、低圧損の方向
にあり、HEPAフイルタなどを使用した場合に
は、圧力損失は20mmHg〜40mmHg程度あるもの
の、除去効果は0.3μｍの粒子に対して99.97％以
上と極めて高いことが判つている。

しかしこれらのフイルタも粒子状の物質に対し
ては、高い捕集性能を示すにもかかわらず、液体
に対しては100％透過するという性質を示す。従
つて、大気中に浮遊している塩粒子が結晶または
固体の形で濾材に流入する場合には、充分に高い
捕集効率で捕捉されるが、大気の温湿度状態によ
り高湿度となると、潮解現象により塩粒子が液状
になり、どんな高性能な濾材でも気流に沿つて濾
材中にしみ込み、２次側に流出し、流出した水溶
液は乾燥空気の流入時に再び結晶となつて飛散す
る危険を常にはらんでいるという問題がある。

〔発明の目的〕

本発明はこのような事情に鑑みて成されたもの
で、浮遊塩粒子を除去する濾材部における捕捉塩
粒子の潮解を防止し、正常な濾材の効果を発揮さ
せるような大気中の浮遊塩粒子の除去方法並びに
その装置を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明に係る大気中の浮遊塩粒子の除去方法並
びにその装置は、前記目的を達成するために、空
調エリアに供給される空気の浮遊塩粒子を除去す
る際に該空気の相対湿度を60％以下にすることを
特徴としている。

〔実施例〕

先ず、本発明に係る大気中の浮遊塩粒子の除去
方法並びにその装置での塩粒子の潮解現象を確認
するため、濾材として使用するHEPAフイルタに
塩粒子を付着させ、相対湿度60％、65％、70％、
75％、80％で、風速０ｍ／ｓ及び２ｍ／ｓの空気
を１時間流し、顕微鏡で残存している塩結晶の最
小粒子径を測定した。結果を第１図に示す。風速
０ｍ／ｓの条件下では相対湿度65％で塩粒子は潮
解しなかつたが、風速２ｍ／ｓで10μｍ以下の微
細粒子は潮解している。しかし、相対湿度を60％
にすると、１μｍ以下の粒子も残存することが判
つた。

さらに、この点を明確にするため、600×600mm
の前面面積をもつHEPAフイルタユニツトに0.3
〜1.0μｍの塩粒子を約10ｇ捕捉堆積させた後、
種々の相対湿度の空気を送気し、２次側に流出し
た再飛散塩粒子を測定した。結果の一例を第２図
に示す。第２図に示すように相対湿度が約60％を
越えると、２次側の塩分濃度が急激に上昇するこ
とが判る。従つて、相対湿度60％が潮解現象の閾
値であり、この値以下の空気状態に流入空気を維
持すれば、濾材は充分に捕捉効果を発揮し続け
る。この結果に基づいて、本発明は濾材に流入す
る空気が常に相対湿度で60％を越えないように構
成したものである。

第３図は本考案に係る浮遊塩粒子除去装置の説
明図である。第３図に示すように外気中から導入
される被処理空気１は、外気導入ダクト２を通つ
て、調和器３に導入される。調和器３に導入され
た被処理空気１はルーバ４、濾材５（HEPAフイ
ルタ）を通り、冷却コイル６、加湿ノズル７及び
再熱器８を通り、送風器９によつて空調空気とし
てクリーンルーム１０の天井に設けられたフイル
タユニツト１１に送風される。空調空気はフイル
タユニツト１１を通つて清浄な空気としてクリー
ンルーム１０内に送られ、クリーンルーム１０内
は空調エリアとして形成される。クリーンルーム
１０の空気はグレーチング床１２を通過し、還流
用フアン１３によつて一部は循環ダクト１４に送
られ残りは還流ダクト１５に送られる。還流ダク
ト１５は混合調節弁１６を介して調和器３と連結
され、空調エリアとしてのクリーンルーム１０か
らの還流空気は還流ダクト１５を通つて被処理空
気１と濾材５の上流の調和器３内で混合される。
空調エリアからの還流空気は一般に温度23±１
℃、湿度35±５％程度である。従つて、環流ダク
ト１５と混合調節弁１６とは、被処理空気との混
合器として役割を果たし、外気からの被処理空気
を減湿させている。尚、還流ダクト１５には途中
に分岐した排気ダクト１７が設けられ一部大気外
に排出される。

空気調和器３内の濾材５の上流には湿度検出器
２０が設けられ湿度検出器２０は相対湿度を検出
する。検出器２０によつて検出された検出信号は
調節器２１に送られ、調節器２１はこの出力信号
を基にして混合調節弁１６を制御し、被処理空気
１と還流空気とを混合調節をしている。

前記の如く構成された本発明に係る浮遊塩粒子
除去装置によれば、濾材５の上流部に設けた湿度
検出器２０の検出信号によつて、調節器２１を介
し還流空気の混合調節弁１６を制御する。処理外
気の相対湿度が60％以下のときは還流空気量を減
らし、60％を越えるときには還流空気を増加させ
る。このように空調エリアの低湿度の還流空気を
還流して、大気中の被処理空気と混合させる混合
器を除去処理装置の減湿器として機能させ、濾材
５表面に捕捉された塩粒子を潮解させずに結晶の
まま保持し、濾材５本来の捕集効率を100％発揮
させることができる。しかも空調エリアからの還
流空気を利用することにより、極めて少ないエネ
ルギーによつて大気中から導入した被処理空気の
相対湿度を確実に低下せしめることができる。

第４図は、本発明に係る第２実施例の要部を示
す空気調和器の説明図である。第４図に示すよう
に空気調和器３内の濾材５の上流には還流ダクト
の換わりに補助減湿器として加熱器１８が設けら
れ、被処理空気は加熱器１８によつて減湿され
る。濾材５の上流には湿度検出器２０が第１実施
例と同様に設けられ湿度検出器２０は相対湿度を
検出するようになつている。検出器２０によつて
検出された検出信号は調節器２１に送られ、調節
器２１はこの出力信号を基にして加熱器１８の調
節弁２２を制御して加熱容量を調節している。

前記の如く調節された実施例によれば、梅雨時
等に於いて被処理空気に減湿が必要な場合には、
加熱器１８を作動させ、制御弁２２を開いて被処
理空気と還流空気との混合空気を一定レベル加熱
して相対湿度を60％以下に下げても良い。尚、加
熱器１８の代わりにシリカゲルのような乾燥剤を
含む減湿器を設置しても良い。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係る大気中の浮遊
塩粒子の除去方法並びにその装置によれば、空調
エリアに供給される空気の相対湿度が60％以下に
したので、濾材によつて確実に浮遊塩粒子を捕捉
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は塩粒子が潮解するときの相対湿度との
示す関係線図、第２図は濾材に流入する空気の相
対湿度と流出塩濃度との関係線図、第３図は本発
明の大気中の浮遊塩分除去方法並びにその装置説
明図、第４図は第２実施例を示した要部説明図で
ある。 １……被処理空気、２……外気導入ダクト、３
……空気調和器、５……濾材、１０……クリーン
ルーム、１５……還流ダクト、１６……混合調節
弁、２０……湿度検出器、２１……調節器、２２
……制御弁。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 空調エリアに供給される空気の浮遊塩分を除
   去する際に該空気の相対湿度を60％以下にするこ
   とを特徴とする大気中の浮遊塩粒子の除去方法。 ２ 空調エリアに供給される空気の浮遊塩分を、
   空気調和機の前方に設けられた濾材により除去す
   る大気中の浮遊塩分除去装置に於いて、前記濾材
   の直前若しくは直後に配設される湿度検出器と、
   前記空調エリアから濾材の上流部に連通され、前
   記湿度検出器の信号に基づいて前記空気の相対湿
   度が60％以下になるように空調エリアからの空気
   を混合調整する還流ダクトと、を設たことを特徴
   とする大気中の浮遊塩粒子の除去装置。