JPS61101223A - 気中海塩粒子の除去方法 - Google Patents
気中海塩粒子の除去方法Info
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- JPS61101223A JPS61101223A JP22333384A JP22333384A JPS61101223A JP S61101223 A JPS61101223 A JP S61101223A JP 22333384 A JP22333384 A JP 22333384A JP 22333384 A JP22333384 A JP 22333384A JP S61101223 A JPS61101223 A JP S61101223A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、空気中の海塩粒子を除去する方法に間し、さ
らに詳しくは加湿・減湿操作により海塩粒子を除去する
方法に関する。
らに詳しくは加湿・減湿操作により海塩粒子を除去する
方法に関する。
従来技術とその問題点
海浜地域では大気中に高ａ変の海塩粒子が含まれている
。海塩粒子とは、海水の飛沫や海水中の塩類が結晶とな
って大気中に浮遊している粒子及び再び凝縮してミスト
となったものであシ、その主成分は塩化ナトリウムと塩
化マグネシウムである。海浜地域に臨接する工場におか
ては装置の金属部分に海塩粒子が付着して腐食させたり
、あるいは電気計悴設（ｉｌＫ付着して漏電する等の開
明が発生していた。特にＬＳＩ工場に卦いてはグレード
の高い空調を要し、微量の海塩粒子Ｃ特にナトリウム）
が１棟品であるＬＳＩ基板に付着しても製品の機能を著
しく喪失させてしまう。このためこのような施設にシい
ては特に塩害対策が重要な課題となってきている。
。海塩粒子とは、海水の飛沫や海水中の塩類が結晶とな
って大気中に浮遊している粒子及び再び凝縮してミスト
となったものであシ、その主成分は塩化ナトリウムと塩
化マグネシウムである。海浜地域に臨接する工場におか
ては装置の金属部分に海塩粒子が付着して腐食させたり
、あるいは電気計悴設（ｉｌＫ付着して漏電する等の開
明が発生していた。特にＬＳＩ工場に卦いてはグレード
の高い空調を要し、微量の海塩粒子Ｃ特にナトリウム）
が１棟品であるＬＳＩ基板に付着しても製品の機能を著
しく喪失させてしまう。このためこのような施設にシい
ては特に塩害対策が重要な課題となってきている。
従来、大気中の海塩粒子を除去するためにエアフィルタ
が使用されている。エアフィルタは粒子の捕捉性能によ
り高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）、中性能フィル
タ等に分類され、ＨＥＰＡフィルタでは０．６μ以との
粒子をほぼ完全に捕捉することができる。しかし、海塩
粒子の粒径Ｈ０，１μないし１０μ程度とされており、
微小海塩粒子はエアフィルタに捕捉されないものも存在
する。また、エアフィルタでは空気中の海塩粒子濃度及
び粒径分布のｆ動に対応した処理を行うことができない
。無眠ないし微呪時の海塩粒子ａ度は数十μ２／ぜであ
るのに対し、季節風時には数百μ２／イになり、さらに
台風等の強風時には数十ないし数万μ２７ｍ３にまで増
η口する。このように季節的あるいは時間的に海塩粒子
ａ度が激しく変動するため、高ａ＃時にはフィルタ流出
側の海塩粒子濃度がと昇するのみならずエアフィルタは
短時間で閉塞してしまう。このためエアフィルタでは二
次側空気の塩分濃度がｆ動し、フィルタの保守管理を十
分行なわなければならないという問題がある。
が使用されている。エアフィルタは粒子の捕捉性能によ
り高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）、中性能フィル
タ等に分類され、ＨＥＰＡフィルタでは０．６μ以との
粒子をほぼ完全に捕捉することができる。しかし、海塩
粒子の粒径Ｈ０，１μないし１０μ程度とされており、
微小海塩粒子はエアフィルタに捕捉されないものも存在
する。また、エアフィルタでは空気中の海塩粒子濃度及
び粒径分布のｆ動に対応した処理を行うことができない
。無眠ないし微呪時の海塩粒子ａ度は数十μ２／ぜであ
るのに対し、季節風時には数百μ２／イになり、さらに
台風等の強風時には数十ないし数万μ２７ｍ３にまで増
η口する。このように季節的あるいは時間的に海塩粒子
ａ度が激しく変動するため、高ａ＃時にはフィルタ流出
側の海塩粒子濃度がと昇するのみならずエアフィルタは
短時間で閉塞してしまう。このためエアフィルタでは二
次側空気の塩分濃度がｆ動し、フィルタの保守管理を十
分行なわなければならないという問題がある。
発明の要点
本発明はと記従来技術の欠点を解消し、海塩粒子濃度の
変動に依存することなく高効率かつ安定した海塩粒子除
去方法を提供することを目的とする。
変動に依存することなく高効率かつ安定した海塩粒子除
去方法を提供することを目的とする。
本発明者等は海塩粒子が潮解性卦よび水溶性等の特性を
有することに着目した。導入外気を加湿すると海塩粒子
が潮解して水分を吸収しミスト状となり粒径が増大し、
このような加湿空気を冷却するとミストが凝縮して液体
となり海塩粒子が凝縮水として分離除去できることを見
出し本発明を完成するに至った。すなわち本発明は： 海塩粒子を含む空気を気液接触湊置に導いて前記空気を
加湿し、それにより前記海塩粒子の粒径を増大させ；得
られる７ＩＯ湿空気を冷却湊置により冷却して減湿させ
、これにより大粒径の海塩粒子を凝縮させるとともに小
粒径の海塩粒子の粒径を増大さぜ；そして、この減湿空
気をエアフィルタに通して減湿空気中の残存海塩粒子を
除去する、ことからなる気中海塩粒子の除去方法である
。
有することに着目した。導入外気を加湿すると海塩粒子
が潮解して水分を吸収しミスト状となり粒径が増大し、
このような加湿空気を冷却するとミストが凝縮して液体
となり海塩粒子が凝縮水として分離除去できることを見
出し本発明を完成するに至った。すなわち本発明は： 海塩粒子を含む空気を気液接触湊置に導いて前記空気を
加湿し、それにより前記海塩粒子の粒径を増大させ；得
られる７ＩＯ湿空気を冷却湊置により冷却して減湿させ
、これにより大粒径の海塩粒子を凝縮させるとともに小
粒径の海塩粒子の粒径を増大さぜ；そして、この減湿空
気をエアフィルタに通して減湿空気中の残存海塩粒子を
除去する、ことからなる気中海塩粒子の除去方法である
。
発明の実施懇様
以丁、添付図面を参照しつつ本発明の好ましいり様を詳
細に述べる。
細に述べる。
第１図は本発明の方法を示す構成図である。
海塩粒子を含む空気（含塩空気）を気液接触装置に導き
、ここで含塩空気を水と接触させて含塩空気の相対湿度
を増加させる。気液接触装置により含塩空気の相対湿度
を７０係以上にするのが好ましく、さらに好ましくは１
００％あるいは過飽和の状態にする。こうして海塩粒子
の粒径は加湿前に比べて２倍以とに増大する。気疲接触
装置はスクラバーとしても機能するため、海塩粒子の一
部はここで除去される。加湿された含塩空気を次いで冷
却湊置によシ冷却して２℃ないし５℃程度まで＠度を降
下させる。ミスト状海塩粒子のうち特に粒径の大きいも
の、例えば数ミクロン程度のものは冷却により凝縮し液
状となる。この凝縮水は系外に取υ除かれる。
、ここで含塩空気を水と接触させて含塩空気の相対湿度
を増加させる。気液接触装置により含塩空気の相対湿度
を７０係以上にするのが好ましく、さらに好ましくは１
００％あるいは過飽和の状態にする。こうして海塩粒子
の粒径は加湿前に比べて２倍以とに増大する。気疲接触
装置はスクラバーとしても機能するため、海塩粒子の一
部はここで除去される。加湿された含塩空気を次いで冷
却湊置によシ冷却して２℃ないし５℃程度まで＠度を降
下させる。ミスト状海塩粒子のうち特に粒径の大きいも
の、例えば数ミクロン程度のものは冷却により凝縮し液
状となる。この凝縮水は系外に取υ除かれる。
小粒径の海塩粒子は、冷却による相対湿度の増すロによ
り大粒径になる。本明細瞥においてこの冷却湊置による
作用を「減湿」という。すなわち「減湿」とは相対湿度
の低下を意味せず、空気中の水分絶対量の低下を意味す
る。減湿空気をエアフィルタに送って残存する海塩粒子
を除去する。
り大粒径になる。本明細瞥においてこの冷却湊置による
作用を「減湿」という。すなわち「減湿」とは相対湿度
の低下を意味せず、空気中の水分絶対量の低下を意味す
る。減湿空気をエアフィルタに送って残存する海塩粒子
を除去する。
本発明の好ましい標様を第２図に示す。
本発明にかいて使用する気液接触掛買は、好ましぐは噴
霧ＱＯ湿器１および湿式フィルタ２であり、両者を併用
することがさらに好ましい。
霧ＱＯ湿器１および湿式フィルタ２であり、両者を併用
することがさらに好ましい。
噴ｖＪｒ）Ω湿器１はり０圧ノズルあるいは二流体ノズ
ルから構成されており、ノズルから純水をｇｔ霧して含
塩空気と水滴を向流接触させる。湿式フィルタ２は波形
板その他の充填材から主とじて構成されている。
ルから構成されており、ノズルから純水をｇｔ霧して含
塩空気と水滴を向流接触させる。湿式フィルタ２は波形
板その他の充填材から主とじて構成されている。
冷却装置６としては、プレートフィン付冷却コイル等の
従来周知のものを用いることができる。フィン表面には
海塩粒子が溶解した凝縮水が付着するのでフィン表面を
クロメート処理して腐食防止することが望ましい。フィ
ン表面に付着した凝縮水は流入空気と接触して表面吸収
による塩分除去も行なわれる。
従来周知のものを用いることができる。フィン表面には
海塩粒子が溶解した凝縮水が付着するのでフィン表面を
クロメート処理して腐食防止することが望ましい。フィ
ン表面に付着した凝縮水は流入空気と接触して表面吸収
による塩分除去も行なわれる。
エアフィルタは従来周知のものを用いることができるが
、デミスタ４とそれに続＜ＨＥＰＡフィルタ５とからな
るエアフィルタを好適に用いることができる。冷却装置
６から流出したミスト状海塩粒子はデミスタ４によシ除
去されて後段のＨＥＰＡフィルタ５への負荷を低下させ
る。デミスタ４は、例えばガラス繊維あるいはプラスチ
ック繊維からなる３材をステンレス製枠内に充填し両面
を金網で支持したパネル型フィルタであることができる
。気液接触装置の操作条件にもよるが、流入含塩空気の
塩分濃度が１００μ２／ぜ 程度であれば、冷却装置と
デミスタにより４０ないし６０壬の塩分を除去すること
ができる。特に流入空気の塩分濃度が高いほどこの効果
は高まり、１万μ２／ぜの含塩空気を本発明の方法によ
り処理するとデミスタ出口で９０憾以との塩分除去を期
待できる。
、デミスタ４とそれに続＜ＨＥＰＡフィルタ５とからな
るエアフィルタを好適に用いることができる。冷却装置
６から流出したミスト状海塩粒子はデミスタ４によシ除
去されて後段のＨＥＰＡフィルタ５への負荷を低下させ
る。デミスタ４は、例えばガラス繊維あるいはプラスチ
ック繊維からなる３材をステンレス製枠内に充填し両面
を金網で支持したパネル型フィルタであることができる
。気液接触装置の操作条件にもよるが、流入含塩空気の
塩分濃度が１００μ２／ぜ 程度であれば、冷却装置と
デミスタにより４０ないし６０壬の塩分を除去すること
ができる。特に流入空気の塩分濃度が高いほどこの効果
は高まり、１万μ２／ぜの含塩空気を本発明の方法によ
り処理するとデミスタ出口で９０憾以との塩分除去を期
待できる。
ＨＥＰＡフィルタ５はクリーンルーム用空気清浄フィル
タとして用いられてシシ、高性能５材を枠内に収納した
ものである。ＨＥＰＡフィルタは通常０．６μ以上の固
体粒子を９９憾以す捕集する能力を有する。
タとして用いられてシシ、高性能５材を枠内に収納した
ものである。ＨＥＰＡフィルタは通常０．６μ以上の固
体粒子を９９憾以す捕集する能力を有する。
遺１■ＬＬ＝に
流体ノズルを用いてダクト内に海水を噴霧して含塩空気
を調製した。この含塩空気を１０００ｍ”／ｈの風量で
第２図に示す装置に供給し海塩粒子の除去を行った。本
装置の各構成要素の仕様および実験条件は下記の通りで
ある。
を調製した。この含塩空気を１０００ｍ”／ｈの風量で
第２図に示す装置に供給し海塩粒子の除去を行った。本
装置の各構成要素の仕様および実験条件は下記の通りで
ある。
噴霧加湿器二二流体ノズル、向瀧接触ｑｔ霧氷量：８〜
１６／／ｈ 湿式フィルタ：６１０嗜ｘ６１０Ｈｘ１５０ｔ。
１６／／ｈ 湿式フィルタ：６１０嗜ｘ６１０Ｈｘ１５０ｔ。
プラスチック繊維６材
冷却装置ニブレートフィン付直膨コイル、クロメート表
面処理 冷却能カニ １２，４２０ ｋｃ１１／／ｈデミスタ：
プラス、チックｆｆｌ＊３材１〜１０μ水滴に対（７９
９優捕捉 圧力損失２５萌Ａｑ Ｅ（ＥＰＡフィルタ：６１０酊×６１０醜Ｘ１５０−〇
、６μに対し９９９７壬捕捉 各構成要素から幅量する空気を一定情インピンジャーに
より捕集して吸収液中のナトリウム濃度を原子吸光法に
より求め、この値を換算して気中塩分濃度を求めた。
面処理 冷却能カニ １２，４２０ ｋｃ１１／／ｈデミスタ：
プラス、チックｆｆｌ＊３材１〜１０μ水滴に対（７９
９優捕捉 圧力損失２５萌Ａｑ Ｅ（ＥＰＡフィルタ：６１０酊×６１０醜Ｘ１５０−〇
、６μに対し９９９７壬捕捉 各構成要素から幅量する空気を一定情インピンジャーに
より捕集して吸収液中のナトリウム濃度を原子吸光法に
より求め、この値を換算して気中塩分濃度を求めた。
第１表
（単位：塩分μｆ ／ｒｒｌ ）
蒼 噴ｇ加湿器で並流接触を行った。
蒼繋 噴？１ｔｒｏ湿器と湿式フィルタの順序を逆に
配置した。
配置した。
第１表より、本発明を実施することにより含塩空気中の
海塩粒子を９６壬以上除去できることがわかる。また、
冷却装置とデミスタにより４０ないし６０憾塩分が除去
されてかり、これは気液接触ｆ：置により海塩粒子の粒
径が増大して巨大ミストを形成したことによるものであ
る。
海塩粒子を９６壬以上除去できることがわかる。また、
冷却装置とデミスタにより４０ないし６０憾塩分が除去
されてかり、これは気液接触ｆ：置により海塩粒子の粒
径が増大して巨大ミストを形成したことによるものであ
る。
流入空気ならびに各構成要素出口空気中の海塩粒子の粒
径を測定し、結果を第５図に示す。
径を測定し、結果を第５図に示す。
粒径分布は、アンダー七ンサンブラーにより試料を分級
捕集して吸収液中のナトリウム量を測定することによシ
求めた。第６図より、流入空気に含まれている粒子の平
均粒径は０．７μであり湿式フィルタ出口ではミスト状
となって平均粒径が２μまで増大していることがわかる
。次いで冷却装置により含塩空気は冷却されて粗大ミス
ト状粒子は凝縮するため、冷却装置出口では全体的に細
かい粒子が残存し平均粒径は０．７μとなる。さらにデ
ミスタにより相対的に大粒径の０粒子が除去され、デミ
スタ出口では０．４μと細かい粒子が残存する。これら
の粒子のほとんどは続（ＨＥＩ：ＰＡフィルタにより捕
集される。
捕集して吸収液中のナトリウム量を測定することによシ
求めた。第６図より、流入空気に含まれている粒子の平
均粒径は０．７μであり湿式フィルタ出口ではミスト状
となって平均粒径が２μまで増大していることがわかる
。次いで冷却装置により含塩空気は冷却されて粗大ミス
ト状粒子は凝縮するため、冷却装置出口では全体的に細
かい粒子が残存し平均粒径は０．７μとなる。さらにデ
ミスタにより相対的に大粒径の０粒子が除去され、デミ
スタ出口では０．４μと細かい粒子が残存する。これら
の粒子のほとんどは続（ＨＥＩ：ＰＡフィルタにより捕
集される。
実施例４
本実施例では、従来のフィルタシステムでは捕捉されな
かった海塩粒子の本発明による除去効果を検討した。塩
分濃度２０ないし９０００μ２／ぜの空気をベーンセパ
レータ、デミスタ、中性能フィルタおよびＨＥＰＡフィ
ルタを順次配列したフィルタシステム（図示せず）に概
入させ、次りでフィルタシステムから流出した空気を実
施例１と同様に処理した。結果を第２表上記表より、従
来のフィルタシステムでは捕捉されない微小海塩粒子も
本発明により確実に除去できることがわかる。
かった海塩粒子の本発明による除去効果を検討した。塩
分濃度２０ないし９０００μ２／ぜの空気をベーンセパ
レータ、デミスタ、中性能フィルタおよびＨＥＰＡフィ
ルタを順次配列したフィルタシステム（図示せず）に概
入させ、次りでフィルタシステムから流出した空気を実
施例１と同様に処理した。結果を第２表上記表より、従
来のフィルタシステムでは捕捉されない微小海塩粒子も
本発明により確実に除去できることがわかる。
発明の効果
本発明によれば、念塩空気とクロ湿することにより海塩
粒子の粒僅か飛躍的に増大する。このため、従来の方法
では除去できなかった微小粒子もエアフィルタにより捕
捉され、従来の方法では達成できなかった低濃度除塩空
気を生成することができる。また、加湿に続く減湿操作
によシミスト状となった粒子を凝縮させて最終工程のエ
アフィルタへの粒子負性を低減できフィルタの寿命を飛
躍的に延長できる。さらに、流入空気の塩分ａ＃が増り
０しても卯湿ｅ減湿操作により相当割合の粒子が除去さ
れ処理空気中の塩分濃度を低水準に安定して維持できる
。
粒子の粒僅か飛躍的に増大する。このため、従来の方法
では除去できなかった微小粒子もエアフィルタにより捕
捉され、従来の方法では達成できなかった低濃度除塩空
気を生成することができる。また、加湿に続く減湿操作
によシミスト状となった粒子を凝縮させて最終工程のエ
アフィルタへの粒子負性を低減できフィルタの寿命を飛
躍的に延長できる。さらに、流入空気の塩分ａ＃が増り
０しても卯湿ｅ減湿操作により相当割合の粒子が除去さ
れ処理空気中の塩分濃度を低水準に安定して維持できる
。
第１図は本発明の方法を示す構成図である。
第２図は本発明の好ましい轢様を示す構成図である。第
６図は粒径分布を示す線図である。 １・・・噴霧加湿器 ２・・・湿式フィルタ５
・・・冷却ＷＥ！ｉ ４・・・デミスタ５
・・・ＨＥＰＡフィルタ。 特許出願人新菱冷熱工業株式会社 （外５名） 粧壬（刈
６図は粒径分布を示す線図である。 １・・・噴霧加湿器 ２・・・湿式フィルタ５
・・・冷却ＷＥ！ｉ ４・・・デミスタ５
・・・ＨＥＰＡフィルタ。 特許出願人新菱冷熱工業株式会社 （外５名） 粧壬（刈
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）海塩粒子を含む空気を気液接触装置に導いて前記空
気を加湿し、それにより前記海塩粒子の粒径を増大させ
；得られる加湿空気を冷却装置により冷却して減湿させ
、これにより大粒径の海塩粒子を凝縮させるとともに小
粒径の海塩粒子の粒径を増大させ；そして、この減湿空
気をエアフィルタに通して減湿空気中の残存海塩粒子を
除去する、ことからなる気中海塩粒子の除去方法。 ２）前記気液接触装置が噴霧加湿器と湿式フィルタとか
らなる、特許請求の範囲第１項に記載の方法。 ３）前記エアフィルタはデミスタとＨＥＰＡフィルタと
からなる、特許請求の範囲第１項または第２項に記載の
方法。 ４）前記加湿空気は過飽和状態である、特許請求の範囲
第１項ないし第３項のいずれかに記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22333384A JPS61101223A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | 気中海塩粒子の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22333384A JPS61101223A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | 気中海塩粒子の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61101223A true JPS61101223A (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=16796509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22333384A Pending JPS61101223A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | 気中海塩粒子の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61101223A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6342715A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-23 | Sanpo Denki Kk | 空気等の気体の清浄化方法とその装置 |
| JP2010201366A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Shinryo Corp | 気液接触材料及び該気液接触材料を備えた汚染物質除去装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4421427Y1 (ja) * | 1968-12-28 | 1969-09-10 | ||
| JPS49120272A (ja) * | 1973-03-24 | 1974-11-16 | ||
| JPS52111067A (en) * | 1976-03-13 | 1977-09-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Air purifying method |
| JPS5324178A (en) * | 1976-08-18 | 1978-03-06 | Kojin Kk | Exhaust gas cleaning method and system |
| JPS59136116A (ja) * | 1983-01-27 | 1984-08-04 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 大気中の浮遊塩粒子の除去方法並びにその装置 |
-
1984
- 1984-10-24 JP JP22333384A patent/JPS61101223A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4421427Y1 (ja) * | 1968-12-28 | 1969-09-10 | ||
| JPS49120272A (ja) * | 1973-03-24 | 1974-11-16 | ||
| JPS52111067A (en) * | 1976-03-13 | 1977-09-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Air purifying method |
| JPS5324178A (en) * | 1976-08-18 | 1978-03-06 | Kojin Kk | Exhaust gas cleaning method and system |
| JPS59136116A (ja) * | 1983-01-27 | 1984-08-04 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 大気中の浮遊塩粒子の除去方法並びにその装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6342715A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-23 | Sanpo Denki Kk | 空気等の気体の清浄化方法とその装置 |
| JP2010201366A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Shinryo Corp | 気液接触材料及び該気液接触材料を備えた汚染物質除去装置 |
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