JPS6281553A - 整列性検査装置 - Google Patents
整列性検査装置Info
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- JPS6281553A JPS6281553A JP60222137A JP22213785A JPS6281553A JP S6281553 A JPS6281553 A JP S6281553A JP 60222137 A JP60222137 A JP 60222137A JP 22213785 A JP22213785 A JP 22213785A JP S6281553 A JPS6281553 A JP S6281553A
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- Japan
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ある所定の間隔で配列された部材が正規の配
列であるか否かを判定する装置に関する。
列であるか否かを判定する装置に関する。
産業上、ある所定の間隔で配列された部材の整列性、す
なわち、部材が正規の配列であるか否かの判定を必要と
する分野は多い。例えば、半導体製造において、ＩＣ−
？ＬＳＩのソードの曲がりは、リード成形作業あるいは
ソケットへの挿入作業などに支障をきたすため、リード
の整列性を検査する必要がある。
なわち、部材が正規の配列であるか否かの判定を必要と
する分野は多い。例えば、半導体製造において、ＩＣ−
？ＬＳＩのソードの曲がりは、リード成形作業あるいは
ソケットへの挿入作業などに支障をきたすため、リード
の整列性を検査する必要がある。
従来、このような部材の整列性を検査する装置には、発
光ダイオードあるいはレーザなどの発光部とホトダイオ
ードなどの受光部を組みあわせ配列された部材の各々に
対し順次投光し、部材により光が遮光される時間間隔の
変化から１部材の配列間隔の良否を判定する方式の装置
が多かった。
光ダイオードあるいはレーザなどの発光部とホトダイオ
ードなどの受光部を組みあわせ配列された部材の各々に
対し順次投光し、部材により光が遮光される時間間隔の
変化から１部材の配列間隔の良否を判定する方式の装置
が多かった。
上述した従来の検査装置は光の断続を検出するのみであ
るため、第３図（Ｃ）に示すような部材の配列間隔のず
れは検出できるが、第３図（ｂ）に示すような配列部材
の上下あるいは左右方向の位置ずれは検出できないとい
う重大な欠点があった。
るため、第３図（Ｃ）に示すような部材の配列間隔のず
れは検出できるが、第３図（ｂ）に示すような配列部材
の上下あるいは左右方向の位置ずれは検出できないとい
う重大な欠点があった。
本発明は、ある所定の間隔で配列された部材が正規の配
列であるか否かを判定する装置において、部材の各々に
対し配列方向に順次投光する手段と、部材からの反射光
を受光する手段と、この受光手段からの出力に基づいて
前記投光された位置にある部材の上下あるいは左右方向
の位置ずれを検出する手段と、部材の配列間隔が正常で
あるかを判断する手段とからなる。
列であるか否かを判定する装置において、部材の各々に
対し配列方向に順次投光する手段と、部材からの反射光
を受光する手段と、この受光手段からの出力に基づいて
前記投光された位置にある部材の上下あるいは左右方向
の位置ずれを検出する手段と、部材の配列間隔が正常で
あるかを判断する手段とからなる。
〔実施例〕
次に本発明について図面を譲照して説明する。
第３図は本発明の検査対象である部材の整列性を説明す
るための説明図であり、（ａ）は正常な配列、（ｂ）は
上下あるいは左右方向の位置ずれ、（Ｃ）は配列間隔の
不良を示す図である。第３図（ａ） 、 （ｂ） 、
（Ｃ）において１−１１〜１−！ｆｉは部材であり、１
−２３および１−３３ が整列性不良の部材である。
るための説明図であり、（ａ）は正常な配列、（ｂ）は
上下あるいは左右方向の位置ずれ、（Ｃ）は配列間隔の
不良を示す図である。第３図（ａ） 、 （ｂ） 、
（Ｃ）において１−１１〜１−！ｆｉは部材であり、１
−２３および１−３３ が整列性不良の部材である。
なお、整列性不良には、第３図（ｂ）および（Ｃ）の複
合した配列間隔が不良であり、かつ上下あるいは左右の
位置すれを生じる場合もある。
合した配列間隔が不良であり、かつ上下あるいは左右の
位置すれを生じる場合もある。
第７図は従来技術の原理を説明するための原理図であり
、（ａ）は遮光状態、（ｂ）は受光状態を示す図である
。第７図において、１は部材、２１は投光部、２２は受
光部、３１は照射光である。第７図（ａ）に示す如く、
投光部２１と受光部２２がら構成される光路中に部材１
が存在すると照射光３１が遮断され、また第７図（ｂ）
に示す如く、光路中に部材ｌが存在しないときは照射光
３１が受光部２２に達するので、配列された部材の各々
に順次投光するとき、受光部２２にて受光する光が断続
するため、受光部２２は後述する第６図（Ｃ）のような
受光信号４を生じ、信号の時間間隔の変化から第３図（
Ｃ）に示すような部材の配列間隔のずれを検出できるが
、第３図（ｂ）に示すような配列部材の上下あるいは左
右方向のずれは検出できないという欠点があった。
、（ａ）は遮光状態、（ｂ）は受光状態を示す図である
。第７図において、１は部材、２１は投光部、２２は受
光部、３１は照射光である。第７図（ａ）に示す如く、
投光部２１と受光部２２がら構成される光路中に部材１
が存在すると照射光３１が遮断され、また第７図（ｂ）
に示す如く、光路中に部材ｌが存在しないときは照射光
３１が受光部２２に達するので、配列された部材の各々
に順次投光するとき、受光部２２にて受光する光が断続
するため、受光部２２は後述する第６図（Ｃ）のような
受光信号４を生じ、信号の時間間隔の変化から第３図（
Ｃ）に示すような部材の配列間隔のずれを検出できるが
、第３図（ｂ）に示すような配列部材の上下あるいは左
右方向のずれは検出できないという欠点があった。
第１図は本発明の構成を示すためのブロック図である。
第１図において、１−１〜１−ｆｉは整列性の検査対象
である部材、２１は投光部、２２は受光部、３１は照射
光、３２は反射光、４は受光信号、５は受光した信号波
形にもとづき整列性を判定する整列性判定回路、５１は
郵相の上下あるいは左右方向の位置ずれを検出する位置
ずれ判定回路、５２は部材の配列間隔の良否を判定する
間隔判定回路、６は整列性判定信号である。第１図にお
いて、部材１−＋〜１−ｆｉに対し投光部２１から順次
照射光３１を投光し、部材１からの反射光３２を受光部
２２にて受光し、受光信号４を出力する。整列性判定回
路５は、この受光した信号波形にもとづき、位置ずれ判
定回路５１にて部材の上下あるいは左右方向の位置ずれ
を検出し、また間隔判定回路５２にて部材の配列間隔の
良否を検出し、整列性判定信号６を出力する。
である部材、２１は投光部、２２は受光部、３１は照射
光、３２は反射光、４は受光信号、５は受光した信号波
形にもとづき整列性を判定する整列性判定回路、５１は
郵相の上下あるいは左右方向の位置ずれを検出する位置
ずれ判定回路、５２は部材の配列間隔の良否を判定する
間隔判定回路、６は整列性判定信号である。第１図にお
いて、部材１−＋〜１−ｆｉに対し投光部２１から順次
照射光３１を投光し、部材１からの反射光３２を受光部
２２にて受光し、受光信号４を出力する。整列性判定回
路５は、この受光した信号波形にもとづき、位置ずれ判
定回路５１にて部材の上下あるいは左右方向の位置ずれ
を検出し、また間隔判定回路５２にて部材の配列間隔の
良否を検出し、整列性判定信号６を出力する。
第２図は本発明の一実施例を説明するためのブロック図
であり、本実施例はフラットパッケージＬＳＩのリード
曲り検査への適用例である。第２図において、１１はＬ
ＳＩ、１２は部材に相当するＬＳＩのリード、２は光学
式距離計、２１は投光部、２２は受光部、２３は信号処
理回路、３１は照射光、３２は反射光、４は受光信号、
５は整列性判定回路、５１は位置ずれ判定回路、５２は
間隔判定回路、６は整列性判定信号、７は不良品排除機
構、である。
であり、本実施例はフラットパッケージＬＳＩのリード
曲り検査への適用例である。第２図において、１１はＬ
ＳＩ、１２は部材に相当するＬＳＩのリード、２は光学
式距離計、２１は投光部、２２は受光部、２３は信号処
理回路、３１は照射光、３２は反射光、４は受光信号、
５は整列性判定回路、５１は位置ずれ判定回路、５２は
間隔判定回路、６は整列性判定信号、７は不良品排除機
構、である。
第２図において、光学式距離計２の投光部２１より照射
光３１をＬ８１１１のリード１２に順次投光し、リード
１２よりの反射光３２を受光部２２で受光する。この受
光結果にもとづき、信号処理回路２３は後述する測定原
理（第５図参照）Ｋより距離計２とり一ド１２との距離
を算出し受光信号４を出力する。このとき、リード１２
の配列に対し順次投受光することにより配列リードの距
離を順次測定し、整列性判定回路５は、受光信号４を受
けて、内部の位置ずれ判定回路５１および間隔判定回路
５２で、後述する信号波形比較法（第６図参照）により
リードの整列性を判定し、整列性判定信号６を出力する
。さらに、不良品排除機構７は、整列性判定信号６を受
け、判定結果が不良の場合には不良品であるＬＳＩを排
除する。ここで、配列したリードに対し順次投光する手
段には、ＬＳＩ１１を移動走査する方式または、距離計
２を移動走査する方式、あるいは他の伺らかの手段を用
いることができる。また、排除機構７および距離計２に
は既存の各臘手段を用いることができる。
光３１をＬ８１１１のリード１２に順次投光し、リード
１２よりの反射光３２を受光部２２で受光する。この受
光結果にもとづき、信号処理回路２３は後述する測定原
理（第５図参照）Ｋより距離計２とり一ド１２との距離
を算出し受光信号４を出力する。このとき、リード１２
の配列に対し順次投受光することにより配列リードの距
離を順次測定し、整列性判定回路５は、受光信号４を受
けて、内部の位置ずれ判定回路５１および間隔判定回路
５２で、後述する信号波形比較法（第６図参照）により
リードの整列性を判定し、整列性判定信号６を出力する
。さらに、不良品排除機構７は、整列性判定信号６を受
け、判定結果が不良の場合には不良品であるＬＳＩを排
除する。ここで、配列したリードに対し順次投光する手
段には、ＬＳＩ１１を移動走査する方式または、距離計
２を移動走査する方式、あるいは他の伺らかの手段を用
いることができる。また、排除機構７および距離計２に
は既存の各臘手段を用いることができる。
第４図は第３図に示した実施例の、ＬＳＩのリード曲り
の様子を示す外観囚であり、（ａ）はリードの並び方向
と垂直方向の曲り、すなわち上下方向の位置ずれの例を
示す図、（ｂ）はリードの並び方向の曲り、すなわち配
列間隔の不良の例を示す図であり、図中の矢符は曲り方
向を示す。第４図において、１１はＬＳＩ、１２はＬ’
８Ｉのリード、１３は整列性不良のリードである。
の様子を示す外観囚であり、（ａ）はリードの並び方向
と垂直方向の曲り、すなわち上下方向の位置ずれの例を
示す図、（ｂ）はリードの並び方向の曲り、すなわち配
列間隔の不良の例を示す図であり、図中の矢符は曲り方
向を示す。第４図において、１１はＬＳＩ、１２はＬ’
８Ｉのリード、１３は整列性不良のリードである。
第５図は光学式距離計の測定原理の一方式を説明するた
めの原理図である。第５図において、１は測定対象部材
の表面、２１は投光部、２４はレーザ光源、２５は投光
レンズ系、２２は受光部、２６は結像レンズ系、２７は
ポジションセンサ、３１は照射光、３２は反射光、３３
はレーザ光のスポット、３４はポジションセンサ上の入
射光点、２３は信号処理回路、４は受光信号、４１．４
２は電流信号である。第５図において、レーザ光源２４
から発せられ、投光レンズ系２５で収束された照射光３
１は部材１０表面にスポット３３を生ずる。スポット３
３で散乱した反射光３２は結像レンズ系２６により結像
され、ポジションセンサ２７上に入射光点３４として入
射する。ポジションセンサ２７は、両端に２つの出力電
極を有し、センサ上の入射光点３４から各電極までの距
離に比例した電流信号４１および４２を生じる。信号処
理回路２３は、電流信号４１および４２の比よりポジシ
ョンセンサ上の入射光点の位置を算出し。
めの原理図である。第５図において、１は測定対象部材
の表面、２１は投光部、２４はレーザ光源、２５は投光
レンズ系、２２は受光部、２６は結像レンズ系、２７は
ポジションセンサ、３１は照射光、３２は反射光、３３
はレーザ光のスポット、３４はポジションセンサ上の入
射光点、２３は信号処理回路、４は受光信号、４１．４
２は電流信号である。第５図において、レーザ光源２４
から発せられ、投光レンズ系２５で収束された照射光３
１は部材１０表面にスポット３３を生ずる。スポット３
３で散乱した反射光３２は結像レンズ系２６により結像
され、ポジションセンサ２７上に入射光点３４として入
射する。ポジションセンサ２７は、両端に２つの出力電
極を有し、センサ上の入射光点３４から各電極までの距
離に比例した電流信号４１および４２を生じる。信号処
理回路２３は、電流信号４１および４２の比よりポジシ
ョンセンサ上の入射光点の位置を算出し。
第６図に示すような受光信号を出力する。ここで、部材
１が正規の配列位置にある場合、入射光点３４は常にポ
ジションセン？２フ上の一定の位置、例えば中心位置に
て受光され電流信号４１と４２の比は一定となるが、部
材ｌが正規の位置よりＤだけずれ１′の位置にあるとす
ると、入射光点位置がｄだけずれ、３４′の位置に入射
し、電流信号４１と４２の比が変化する。そこで、逆に
信号処理回路２３にて電流信号４１と４２の比の変化か
らポジションセンサ２７上の入射光点３４の位置変化を
検出することにより部材１の距離変化を検出できる。
１が正規の配列位置にある場合、入射光点３４は常にポ
ジションセン？２フ上の一定の位置、例えば中心位置に
て受光され電流信号４１と４２の比は一定となるが、部
材ｌが正規の位置よりＤだけずれ１′の位置にあるとす
ると、入射光点位置がｄだけずれ、３４′の位置に入射
し、電流信号４１と４２の比が変化する。そこで、逆に
信号処理回路２３にて電流信号４１と４２の比の変化か
らポジションセンサ２７上の入射光点３４の位置変化を
検出することにより部材１の距離変化を検出できる。
第６図は信号波形比較法の原理を説明するための波形図
であＩＩ）、（ａ）は正規の配列の部材に対する受光信
号、（ｂ）は上下あるいは左右方向の位置ずれのある配
列部材に対する受光信号、（Ｃ）は配列間隔か不良であ
る配列部材に対する受光信号である。
であＩＩ）、（ａ）は正規の配列の部材に対する受光信
号、（ｂ）は上下あるいは左右方向の位置ずれのある配
列部材に対する受光信号、（Ｃ）は配列間隔か不良であ
る配列部材に対する受光信号である。
→舟 笛ら１ｉｉ７１／３）−１ＡｔＴＪａ々隷顛糾
ニー田の＾Ｐ万＋ｌＦぐけ１トる信号を示す。第６図に
おいて、４は受光信号、４３は整列性不良の部材に対す
る受光信号である。
ニー田の＾Ｐ万＋ｌＦぐけ１トる信号を示す。第６図に
おいて、４は受光信号、４３は整列性不良の部材に対す
る受光信号である。
次に、信号波形比較法の原理を説明する。前述の（第１
図参照）整列性判定回路５の位置ずれ判定回路５１およ
び間隔判定回路５２はあらかじめ第６図（ａ）に示す正
規配列に対する信号をリファレンス信号として記憶して
おき、測定時Ｋ、受光部２２から出力される受光信号４
を受け、あらかじめ記憶したリファレンス信号との比較
を行ない整列性を判定する。ここで、配列部材の上下あ
るいは左右方向の位置ずれは第６図（ｂ）に示すように
受光信号の振幅変化から、また部材の配列間隔の良否は
第７図（Ｃ）に示すように受光信号の間隔変化から、配
列部材の整列性を検出することができる。
図参照）整列性判定回路５の位置ずれ判定回路５１およ
び間隔判定回路５２はあらかじめ第６図（ａ）に示す正
規配列に対する信号をリファレンス信号として記憶して
おき、測定時Ｋ、受光部２２から出力される受光信号４
を受け、あらかじめ記憶したリファレンス信号との比較
を行ない整列性を判定する。ここで、配列部材の上下あ
るいは左右方向の位置ずれは第６図（ｂ）に示すように
受光信号の振幅変化から、また部材の配列間隔の良否は
第７図（Ｃ）に示すように受光信号の間隔変化から、配
列部材の整列性を検出することができる。
なお、位置ずれ判定回路５１と間隔判定回路５２は、そ
れぞれ別個の回路ではなく、１つの回路で位置ずれおよ
び間隔を判定してもよい。
れぞれ別個の回路ではなく、１つの回路で位置ずれおよ
び間隔を判定してもよい。
以上説明したように、本発明によれば、ある所定の間隔
で配列された部材が正規の配列であるか否かを判定する
装置において、部材の各々に対して配列方向に順次投光
する手段と、部材からの反射光を受光する手段とをそな
え、信号波形比較法により部材の上下あるいは左右方向
の位置ずれと配列間隔の良否を検出することにより、従
来不可能であった部材の上下あるいは左右方向の位置す
れを検出できるとともに、検査の精度を大幅に向上させ
ることができるという効果がある。
で配列された部材が正規の配列であるか否かを判定する
装置において、部材の各々に対して配列方向に順次投光
する手段と、部材からの反射光を受光する手段とをそな
え、信号波形比較法により部材の上下あるいは左右方向
の位置ずれと配列間隔の良否を検出することにより、従
来不可能であった部材の上下あるいは左右方向の位置す
れを検出できるとともに、検査の精度を大幅に向上させ
ることができるという効果がある。
第１図は本発明の構成を示すためのブロック図、第２図
は本発明の一実施例を説明するためのブロック図、第３
図は本発明の検査対象である部材の整列性を説明するた
めの説明図、第４図はＬＳＩのソード曲がりの様子を示
す外観図、第５図は光学式距離計の測定原理の一方式を
説明するための原理図、第６図は信号波形比較法の原理
を説明するための波形図、第７図は従来技術の原理を説
明するための原理図である。 ｌ・・・・・・部材、１１・・・・・・ＬＳＩ、１２・
・・・・・ＬＳＩのリード、１３・・・・・・整列性不
良のリード、２・・・・・・光学式距離計、２１・・・
・・・投光部、２２・・・・・・受光部、２３・・・・
・・信号処理回路、２４・・・・・・レーザ光源、２５
・・・・・・投光レンズ系、２６・・・・・・結像レン
ズ系、２７・・・・・・ボジシ、ンセンサ、３１・・・
・・・照射光、３２・・・…反射光、３３・・・・・・
レーザ光のスポット、３４°°。 ・・・入射光点、４・・・・・・受光信号、４１．４２
・・・・・・電流信号、４３・・・・・・整列性不良の
部材に対する受光信号、５・・・・・・整列性判定回路
、５１・・・・・・位置ずれ判定回路、５２・・・・・
・間隔判定回路、６・・・・・・整列性゛ 判定信号、
７・・・・・・不良品排除機構。 ＠＋−１ １Ｎ 。 千３図 （勾 （ｂ）千４図 第６図 区 ト 脹
は本発明の一実施例を説明するためのブロック図、第３
図は本発明の検査対象である部材の整列性を説明するた
めの説明図、第４図はＬＳＩのソード曲がりの様子を示
す外観図、第５図は光学式距離計の測定原理の一方式を
説明するための原理図、第６図は信号波形比較法の原理
を説明するための波形図、第７図は従来技術の原理を説
明するための原理図である。 ｌ・・・・・・部材、１１・・・・・・ＬＳＩ、１２・
・・・・・ＬＳＩのリード、１３・・・・・・整列性不
良のリード、２・・・・・・光学式距離計、２１・・・
・・・投光部、２２・・・・・・受光部、２３・・・・
・・信号処理回路、２４・・・・・・レーザ光源、２５
・・・・・・投光レンズ系、２６・・・・・・結像レン
ズ系、２７・・・・・・ボジシ、ンセンサ、３１・・・
・・・照射光、３２・・・…反射光、３３・・・・・・
レーザ光のスポット、３４°°。 ・・・入射光点、４・・・・・・受光信号、４１．４２
・・・・・・電流信号、４３・・・・・・整列性不良の
部材に対する受光信号、５・・・・・・整列性判定回路
、５１・・・・・・位置ずれ判定回路、５２・・・・・
・間隔判定回路、６・・・・・・整列性゛ 判定信号、
７・・・・・・不良品排除機構。 ＠＋−１ １Ｎ 。 千３図 （勾 （ｂ）千４図 第６図 区 ト 脹
Claims (3)
- （１）所定の間隔で配列された部材が正規の配列である
か否かを判定する整列性検査装置において、前記部材の
各々に対して前記配列方向に順次投光する手段と、前記
部材からの反射光を受光する手段と、前記受光手段から
の出力に基づいて前記投光された位置にある前記部材の
上下あるいは左右方向の位置ずれを検出する手段と、前
記部材の配列間隔が正常であるかを判断する手段とを備
えて成ることを特徴とする整列性検査装置。 - （２）特許請求の範囲第（１）項において、部材に順次
投光する光はレーザ光であることを特徴とする整列性検
査装置。 - （３）特許請求の範囲第（１）項において、前記部材の
上下あるいは左右方向の位置ずれを検出する手段および
配列間隔が正常であるかを判断する手段は、あらかじめ
記憶した正常配列のリファレンス信号と、受光した信号
波形とを比較する信号波形比較法に基づく手段であるこ
とを特徴とする整列性検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222137A JPS6281553A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 整列性検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222137A JPS6281553A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 整列性検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6281553A true JPS6281553A (ja) | 1987-04-15 |
Family
ID=16777751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60222137A Pending JPS6281553A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 整列性検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6281553A (ja) |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP60222137A patent/JPS6281553A/ja active Pending
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