JPS6279994A - ロボツトの発塵防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はロボットの発塵防止装置に係り、特に半導体生
産ライン等の清浄度を要求される環境での使用に好適な
ロボットの発塵防止装置に関する。

〔従来の技術〕

近年、ロボットの発展に伴い、ロボットを半導体生産ラ
インのクリーンルームに配備することが提案されている
。この場合、半導体生産ラインでのクリーンルームは清
浄度を要求されるため、ロボットからの発塵はクリーン
ルームの清浄度を低下させることになる。このクリーン
ルームの清浄度低下を抑えるために「第２回フレキシン
プル・オートメーションシンポジウム」　（昭和６０年
５月２８日〜３０日）°日本自動制御協会における「ク
リーンルーム作業用ロボットの構造」と題する文献に示
されるように、ロボットの回転部等の発塵部に真空ポン
プを接続して、クリーンルーム内への発塵を防止する方
法が提案されている。

〔発明の解決しようとする問題点〕

上記の従来例では、真空ポンプを付設するため。

それに付随する配管が必要となり、設備が大形化すると
いう問題点がある。

本発明は付設機器を必要としない栖造間車なロボットの
発馬防止装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の上記の目的は、関節部の発塵部を備えるロボッ
トにおいて、前記発塵部における大気側の連通部に、磁
性流体とその磁石体とからなるシール手段を設けること
により達成される。

〔作用〕

磁性流体とその磁石体とからなるシール手段はロボット
の発塵部における大気側の連通部に設けられ、発塵部か
らの塵の大気側への流出を抑える。

〔実施例〕 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の装置を備えるロボットの一例を示すも
ので、このロボット１は多数の腕２を連結する関節部３
を備えている。この関節部３の構成は例えば第２図に示
すように一方の腕２内に設けたモータ４のモータ軸５を
他方の腕２に連結し、他方の腕２を一方の腕２に対して
回転可能に構成している。そして、この一方の腕２と他
方の腕２との間には、大気に通ずる連通部６が形成され
るが、この連結部６にはシール手段７が設けられててい
る。

次に上述したシール手段７の一例を第３図によって説明
する。この図において第を図および第２図と同符号のも
のは同一部分である。シール手段７は変形可能な環状の
磁石体８とこれにより保持される磁性流体９とで構成さ
れ、磁性体８は予めＮ極と５Ｖｉ４とを有するように着
磁されており、一方の腕２に形成した環状溝１０に嵌め
込まれている。そして、この磁性体８とこれに対向する
他方の腕との間のすきまに磁性流体９が供給されている
。

このように構成したことにより、関節部３の連通部６を
磁性流体９によって密封することができる。このため、
モータ４、軸受から発生する塵およびこれらの潤滑用グ
リースからの塵挨の漏洩を防止することができる。その
結果無発塵構造のロボットを提供でき、クリーンルーム
内の清浄度を維持することができる。また、磁石体８は
ゴム等で形成され、変形可能な構造であるので、その組
付性も良好である。

なお上述の実施例では磁石体８の断面形状を円形にした
が、第４図に示すように２つの突系８Ａ。

８Ｂを設けて断面口字状の変形自在な磁石体８を用いる
ことも可能である。

この構成によれば、前述した実施例と同様にすきまを密
封することができる。

また第５図に示すように磁石体８と環状溝１０との係合
を強堅にするために、これらの断面形状をダフテイル状
に形成してもよい。

さらに第６図に示すように磁石体８における突条８Ａ、
８Ｂの間隔をその先端で縮むような断面形式に構成して
もよい。このように構成することにより、突条８Ａ、８
Ｂへの磁性流体９の密集が高まり、安定した密封性能が
得られる。

また第７図に示すように磁石体８に３個の突条８Ｃ，８
Ｄ、８Ｅを設け、中央の突条８ＤをＳ極に、その両側の
突条８Ｃ，８ＥをＮ極に着磁して構成してもよい。この
ように構成することにより、３条の突封個所を形成する
ことができるので、密封性能をさらに向上させることが
できる。

さらに、第８図は、一方の腕２が非磁性体の場合も示す
もので、この場合には非磁性体に磁石板１１を取付け、
この磁石板１１の磁極に対して逆磁極に着磁した変形可
能な磁石体８を他方の腕２の環状溝１０に嵌め込んで構
成したものである。

このように構成することにより、すきまでの磁速密度を
高めることができるので、密封力を増大させることがで
きる。

また、第９図に示す実施例において、第８図に示すよう
に磁石体８に複数個の突条８Ｆ、８Ｇ。

８Ｈを設け、これらの突条８Ｆ、８Ｇ、８Ｈの先端を同
極に着磁して構成してもよい。このように構成すること
により、一層高い密封励を得ることができる。

以上述べた実施例は本発明に係るシール手段７を、関節
部に形成される環状すきまに設けたが。

第１０図に示すように端面すきま１２に設けることも可
能である。また、変形可能な磁石体８として環状形状の
ものを用いたが、棒状のもの変形させて用いてもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、簡単な構成でロボットの関節部から発
生する塵を抑えることができるので、このロボットを使
用する雰囲気の清浄度を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の装置の一例を備えたロボットの一例
を示す斜視図、第２図は本発明の装置の一例を備えたロ
ボット関節部の一例を示す縦断面図、第３図〜第９図は
それぞれ本発明の装置の実施例を示す縦断面図、第１０
図は本発明の装置の一例を適用するロボット関節部の他
の例を示す縦断面図である。 １・・・ロボット、２・・・腕、３・・・関節部、４・
・・モータ、５・・・モータ軸、６・・・すきま、７・
・・シール手段、８・・・磁石体、９・・・磁性流体。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、関節部等の発塵部を備えるロボットにおいて、前記
   発塵における大気側の連通部に、磁性流体とその磁石体
   とからなるシール手段を設けたことを特徴とするロボッ
   トの発塵防止装置。 ２、前記シール手段における磁石体は着磁された変形可
   能な棒状磁石体であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載のロボットの発塵防止装置。 ３、前記シール手段における磁石体を着磁された変形可
   能な環状磁石体であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載のロボットの発塵防止装置。 ４、前記変形可能な磁石体はすきま部に磁性流体を保持
   するように、発塵部における大気側の連通部を構成する
   いずれか一方の部材に装設したことを特徴とする特許請
   求の範囲第２項または第３項記載のロボットの発塵防止
   装置。