JPS6279970A - 研磨基布及びその製造方法 - Google Patents
研磨基布及びその製造方法Info
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- JPS6279970A JPS6279970A JP60217347A JP21734785A JPS6279970A JP S6279970 A JPS6279970 A JP S6279970A JP 60217347 A JP60217347 A JP 60217347A JP 21734785 A JP21734785 A JP 21734785A JP S6279970 A JPS6279970 A JP S6279970A
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- Japan
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- short fibers
- polishing
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- polyester
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光学レンズ、金属単結晶、半導体、板ガラス、
ブラウン管等の表面研摩用として用いられる研磨基布及
びその製造方法に関する。
ブラウン管等の表面研摩用として用いられる研磨基布及
びその製造方法に関する。
従来、研磨基布はポリエステル短繊維交絡体の空隙部に
ポリウレタンのジメチルフォルムアミド溶液を含浸させ
た後、水を主成分とする非溶媒中に浸漬してポリウレタ
ンを凝固させる等の方法により製造されていた。しかし
ながらこのようにして製造される研磨基布は短繊維交絡
体を構成するポリエステル短繊維が実質的に線状の繊維
であるために研磨基布表面方向に沿って平面的に配列し
た繊維が多数存在しており、この結果、研磨基布表面の
摩擦抵抗が小さく、コロイダルシリカの研磨液を用いて
被研磨物を研磨してもコロイダルシリカが被研磨物表面
に充分作用せず、所謂スリップ現象が生じて被研磨物を
均一かつ効率よく研磨することができなかった。このた
め従来はポリウレタンを凝固せしめて形成した基布の表
面を研削して表面を僅かな起毛状態に形成したり、充分
なニードルパンチングを行って短繊維の交絡状態を高め
る等により表面摩擦抵抗の向上を図っていた。
ポリウレタンのジメチルフォルムアミド溶液を含浸させ
た後、水を主成分とする非溶媒中に浸漬してポリウレタ
ンを凝固させる等の方法により製造されていた。しかし
ながらこのようにして製造される研磨基布は短繊維交絡
体を構成するポリエステル短繊維が実質的に線状の繊維
であるために研磨基布表面方向に沿って平面的に配列し
た繊維が多数存在しており、この結果、研磨基布表面の
摩擦抵抗が小さく、コロイダルシリカの研磨液を用いて
被研磨物を研磨してもコロイダルシリカが被研磨物表面
に充分作用せず、所謂スリップ現象が生じて被研磨物を
均一かつ効率よく研磨することができなかった。このた
め従来はポリウレタンを凝固せしめて形成した基布の表
面を研削して表面を僅かな起毛状態に形成したり、充分
なニードルパンチングを行って短繊維の交絡状態を高め
る等により表面摩擦抵抗の向上を図っていた。
しかしながら、ポリウレタンを凝固せしめて形成した基
布の表面を研削する方法の場合、起毛状態が均一となる
ように研削することはきわめて困難であり、製造工程が
煩雑となるとともに起毛状態が不均一な場合、被研磨物
表面に擦過傷が生じたり研磨量のバラツキを生じ、良好
な研磨を行うことができなかった。しかもこのようにし
て製造された研磨基布の場合、基布を構成する短繊維や
ポリウレタンの基布表面付近は研削によって脱落寸前の
状態となっており、これが研磨中に脱落して研磨液中に
異物として混入する等の問題があった。また充分なニー
ドルパンチングにより交絡状態を高める方法も、ニード
ルパンチングに要する手間が煩雑となるとともに、ニー
ドルパンチングにより交絡状態が高められたとしても木
質的には繊維の直線状態は除去されず、研磨基布表面方
向に沿って平面的に配列した繊維が、未だ多数存在する
ため、大幅な研磨性能の向上は得られなかった。更に従
来の研磨基布は圧縮弾性回復率が必ずしも充分とはいえ
ず、このため研磨加工中に研恋基布がつぶれて弾力性が
減少し、研磨性能が低下し易いという問題もあった。
布の表面を研削する方法の場合、起毛状態が均一となる
ように研削することはきわめて困難であり、製造工程が
煩雑となるとともに起毛状態が不均一な場合、被研磨物
表面に擦過傷が生じたり研磨量のバラツキを生じ、良好
な研磨を行うことができなかった。しかもこのようにし
て製造された研磨基布の場合、基布を構成する短繊維や
ポリウレタンの基布表面付近は研削によって脱落寸前の
状態となっており、これが研磨中に脱落して研磨液中に
異物として混入する等の問題があった。また充分なニー
ドルパンチングにより交絡状態を高める方法も、ニード
ルパンチングに要する手間が煩雑となるとともに、ニー
ドルパンチングにより交絡状態が高められたとしても木
質的には繊維の直線状態は除去されず、研磨基布表面方
向に沿って平面的に配列した繊維が、未だ多数存在する
ため、大幅な研磨性能の向上は得られなかった。更に従
来の研磨基布は圧縮弾性回復率が必ずしも充分とはいえ
ず、このため研磨加工中に研恋基布がつぶれて弾力性が
減少し、研磨性能が低下し易いという問題もあった。
本発明者は上記の点に鑑み鋭意研究した結果、螺旋状捲
縮ポリエステル短繊維を含む短繊維交絡体にポリウレタ
ンを主体とする弾性重合体を充填してなる研磨基布が優
れた研磨性能を有するとともに圧縮弾性回復率に優れ、
研磨性能の低下がきわめて少ないこと、また熱処理によ
り捲縮する潜在捲縮性ポリエステル短繊維を含む短繊維
交絡体を熱処理して潜在捲縮性ポリエステル短繊維を螺
旋状に捲縮せしめた後、空隙部にポリウレタンを主体と
する弾性重合体を凝固充填せしめることにより優れた研
磨性能を有する研磨基布を容易に製造し得ることを見出
し本発明を完成するに至った。
縮ポリエステル短繊維を含む短繊維交絡体にポリウレタ
ンを主体とする弾性重合体を充填してなる研磨基布が優
れた研磨性能を有するとともに圧縮弾性回復率に優れ、
研磨性能の低下がきわめて少ないこと、また熱処理によ
り捲縮する潜在捲縮性ポリエステル短繊維を含む短繊維
交絡体を熱処理して潜在捲縮性ポリエステル短繊維を螺
旋状に捲縮せしめた後、空隙部にポリウレタンを主体と
する弾性重合体を凝固充填せしめることにより優れた研
磨性能を有する研磨基布を容易に製造し得ることを見出
し本発明を完成するに至った。
即ち本発明の要旨の一つは螺旋状捲縮ポリエステル短繊
維を含む短繊維交絡体と、該短繊維交絡体の空隙部に充
填されたポリウレタンを主体とする熱可塑性弾性重合体
とからなることを特徴とする研磨基布にある。また本発
明のいま一つの要旨は熱処理により螺旋状に捲縮する潜
在捲縮性ポリエステル短繊維を含む短繊維交絡体を熱処
理して短繊維交絡体中の潜在捲縮性ポリエステル短繊維
を螺旋状に捲縮せしめ、次いで短繊維交絡体の空隙部に
ポリウレタンを主体とする熱可塑性弾性重合体の水混和
性有機溶媒溶液を充填し、しかる後、非溶媒中に浸漬し
て弾性重合体を凝固せしめることを特徴とする研磨基布
の製造方法にある。
維を含む短繊維交絡体と、該短繊維交絡体の空隙部に充
填されたポリウレタンを主体とする熱可塑性弾性重合体
とからなることを特徴とする研磨基布にある。また本発
明のいま一つの要旨は熱処理により螺旋状に捲縮する潜
在捲縮性ポリエステル短繊維を含む短繊維交絡体を熱処
理して短繊維交絡体中の潜在捲縮性ポリエステル短繊維
を螺旋状に捲縮せしめ、次いで短繊維交絡体の空隙部に
ポリウレタンを主体とする熱可塑性弾性重合体の水混和
性有機溶媒溶液を充填し、しかる後、非溶媒中に浸漬し
て弾性重合体を凝固せしめることを特徴とする研磨基布
の製造方法にある。
本発明において螺旋状捲縮ポリエステル短繊維としては
、熱処理により螺旋状に捲縮する潜在捲縮性ポリエステ
ル短繊維を熱処理して捲縮せしめたものが挙げられ、潜
在捲縮性ポリエステル短繊維としては固有粘度の異なる
ポリエステルを同時に溶融紡糸する等により得られるポ
リエステルのサイドバイサイド接合型繊維が好ましい。
、熱処理により螺旋状に捲縮する潜在捲縮性ポリエステ
ル短繊維を熱処理して捲縮せしめたものが挙げられ、潜
在捲縮性ポリエステル短繊維としては固有粘度の異なる
ポリエステルを同時に溶融紡糸する等により得られるポ
リエステルのサイドバイサイド接合型繊維が好ましい。
上記潜在捲縮性ポリエステル短繊維は、第１図に示すよ
うに熱処理前は線状の繊維であるが、熱処理することに
よって第２図に示すように螺旋状に捲縮する。
うに熱処理前は線状の繊維であるが、熱処理することに
よって第２図に示すように螺旋状に捲縮する。
本発明において螺旋状に捲縮したポリエステル短繊維を
含む短繊維交絡体の空隙部に充填される弾性重合体とし
てはポリウレタンを主体とするものが用いられる。ポリ
ウレタンは通常の研磨基布用に用いられるものであれば
良く、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレン
グリコール、ポリテトラメチレングリコール等のポリエ
ーテルポリオールやポリエチレンアジペート、ポリブチ
レンアジペート、ポリエチレンブチレンアジペート、ポ
リ−ε−カプロラクトン等のポリエステルポリオール等
と、２．４−トリレンジイソシアネート、２．６−）リ
レンジイソシアネート、４゜４′−ジフェニルメタンジ
イソシアネート、４゜４′−ジシクロヘキシルメタンジ
イソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサ
メチレンジイソシアネート等のポリイソシアネートとを
構成成分とするポリウレタンが挙げられる。これらのポ
リウレタンを主体とする弾性重合体中にはボリウレタ゛
ンの凝固速度調節のためにポリエチレングリコール脂肪
酸エステル、ポリエチレングリコールアルキルエーテル
、ジアルキルスルフオサクシネート、ポリエチレングリ
コール、ポリプロピレングリコール−ポリエチレングリ
コールプロ・ツク共重合体等の界面活性剤、ひまし油、
石油、トルエン、キシレン等の疏水性物質等を添加する
ことができる。また耐光性改良のためベンゾトリアゾー
ル系化合物、ヘンシフエノン系化合物、ヒンダードアミ
ン系化合物、フェノール系化合物等を添加することもで
き、更に着色のために顔料を添加しても良い。
含む短繊維交絡体の空隙部に充填される弾性重合体とし
てはポリウレタンを主体とするものが用いられる。ポリ
ウレタンは通常の研磨基布用に用いられるものであれば
良く、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレン
グリコール、ポリテトラメチレングリコール等のポリエ
ーテルポリオールやポリエチレンアジペート、ポリブチ
レンアジペート、ポリエチレンブチレンアジペート、ポ
リ−ε−カプロラクトン等のポリエステルポリオール等
と、２．４−トリレンジイソシアネート、２．６−）リ
レンジイソシアネート、４゜４′−ジフェニルメタンジ
イソシアネート、４゜４′−ジシクロヘキシルメタンジ
イソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサ
メチレンジイソシアネート等のポリイソシアネートとを
構成成分とするポリウレタンが挙げられる。これらのポ
リウレタンを主体とする弾性重合体中にはボリウレタ゛
ンの凝固速度調節のためにポリエチレングリコール脂肪
酸エステル、ポリエチレングリコールアルキルエーテル
、ジアルキルスルフオサクシネート、ポリエチレングリ
コール、ポリプロピレングリコール−ポリエチレングリ
コールプロ・ツク共重合体等の界面活性剤、ひまし油、
石油、トルエン、キシレン等の疏水性物質等を添加する
ことができる。また耐光性改良のためベンゾトリアゾー
ル系化合物、ヘンシフエノン系化合物、ヒンダードアミ
ン系化合物、フェノール系化合物等を添加することもで
き、更に着色のために顔料を添加しても良い。
本発明の研圧基布表面には、表面方向に沿って平面的に
配列した繊維が殆ど存在せず、基布表面には螺旋状に捲
縮した繊維を含むことによって均一で微細な凹凸が形成
される。
配列した繊維が殆ど存在せず、基布表面には螺旋状に捲
縮した繊維を含むことによって均一で微細な凹凸が形成
される。
次に本発明の研磨基布の製造方法について説明する。
まずカード、ニードルパンチング等の通常の方法により
前記潜在捲縮性ポリエステル短繊維を含む短繊維交絡体
を製造し、該交絡体を熱処理して潜在捲縮性ポリエステ
ル短繊維を螺旋状に捲縮せしめる。交絡体の製造に用い
る繊維は、特に均一微細な表面凹凸を有する研磨基布を
得る上で潜在捲縮性ポリエステル短繊維を６０％以上含
有することが好ましい。これは潜在捲縮性繊維が６０％
以上含有されると、他の非捲縮性繊維を含有していても
、熱処理によって潜在捲縮性繊維が捲縮する際に、非捲
縮性繊維が潜在捲縮性繊維に巻き込まれて三次元的に変
形せしめられる結果、潜在捲縮性繊維が６０％未満の場
合に比べてより均一で微細な表面凹凸が形成されるもの
と考えられる。
前記潜在捲縮性ポリエステル短繊維を含む短繊維交絡体
を製造し、該交絡体を熱処理して潜在捲縮性ポリエステ
ル短繊維を螺旋状に捲縮せしめる。交絡体の製造に用い
る繊維は、特に均一微細な表面凹凸を有する研磨基布を
得る上で潜在捲縮性ポリエステル短繊維を６０％以上含
有することが好ましい。これは潜在捲縮性繊維が６０％
以上含有されると、他の非捲縮性繊維を含有していても
、熱処理によって潜在捲縮性繊維が捲縮する際に、非捲
縮性繊維が潜在捲縮性繊維に巻き込まれて三次元的に変
形せしめられる結果、潜在捲縮性繊維が６０％未満の場
合に比べてより均一で微細な表面凹凸が形成されるもの
と考えられる。
また交絡体の製造に用いられる繊維は、予め押込型クリ
ンパ−等により平面的な捲縮を施しておいても良い。交
絡体の熱処理は、万■熱温度１３０〜１７０℃で１〜１
０分程度の条件で行うことが好ましい。次いで短繊維交
絡体をポリウレタンを主体とする熱可塑性弾性重合体の
水混和性有機溶媒溶液に浸漬する等により交絡体の空隙
部に上記弾性重合体の有機溶媒溶液を充填する。ポリウ
レタンを主体とする弾性重合体を溶解せしめる水混和性
有機溶媒としてはジメチルフォルムアミド、アセトン、
ジオキサン、テトラヒドロフラン等が挙げられるが、ジ
メチルフォルムアミドが好ましい。
ンパ−等により平面的な捲縮を施しておいても良い。交
絡体の熱処理は、万■熱温度１３０〜１７０℃で１〜１
０分程度の条件で行うことが好ましい。次いで短繊維交
絡体をポリウレタンを主体とする熱可塑性弾性重合体の
水混和性有機溶媒溶液に浸漬する等により交絡体の空隙
部に上記弾性重合体の有機溶媒溶液を充填する。ポリウ
レタンを主体とする弾性重合体を溶解せしめる水混和性
有機溶媒としてはジメチルフォルムアミド、アセトン、
ジオキサン、テトラヒドロフラン等が挙げられるが、ジ
メチルフォルムアミドが好ましい。
弾性重合体の水混和性有機溶媒溶液を空隙部に充填した
後、短繊維交絡体を非溶媒中に浸漬して水混和性有機溶
媒を非溶媒中に熔解除去し、弾性重合体を凝固せしめる
ことにより研磨基布が得られる。非溶媒としてはポリウ
レタンを主体とする弾性重合体を溶解する有機溶媒とは
親和性を有し、ポリウレタンは溶解しない水を主成分と
する溶媒が挙げられるが、通常は水が用いられる。
後、短繊維交絡体を非溶媒中に浸漬して水混和性有機溶
媒を非溶媒中に熔解除去し、弾性重合体を凝固せしめる
ことにより研磨基布が得られる。非溶媒としてはポリウ
レタンを主体とする弾性重合体を溶解する有機溶媒とは
親和性を有し、ポリウレタンは溶解しない水を主成分と
する溶媒が挙げられるが、通常は水が用いられる。
以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。
実施例１
熱処理前は第１図に示すように綿状を有する固有粘度０
．６８及び０．６０のポリエチレンテレフタレートより
なるサイドバイサイド型接合短繊維（ｈｋ度２．ｏデニ
ール、繊維長５１龍を押込型クリンパ−により）在線数
９山／インチに捲縮させたもので捲縮は実質的に平面的
なｌ巻縮であった。）を用いてカード、クロスラッパー
、ニードルパンチングを行なった後、１５０℃で１０分
間熱処理し、厚さ２．５−■、坪量４７５ ｇ／ｎ？の
短繊維交絡体を得た。この短繊維交絡体における短繊維
は第２図に示すように螺旋状に１巻縮し、Ｊａ縮数３０
山／インチであった。次ぎにポリエチレンブチレンテレ
フタレート、ブタンジオール、４．４′−シフフェニル
メタンジイソシアネートを構成成分とするポリウレタン
（商品名：クリスボン、大日本インキ化学工業■製）の
２０％ジメチルフォルムアミド溶液中に浸漬して該溶液
を短繊維交絡体の空隙部に充填せしめた後、水９０％、
ジメチルフォルムアミド１０％とからなる２０℃の凝固
浴中に浸漬してポリウレタンを凝固させた。充分水洗し
て１２０℃で乾燥した後、スライスマシンにより表裏両
面を漉き取り、厚さ１．５ ｎの研磨基布を得た。
．６８及び０．６０のポリエチレンテレフタレートより
なるサイドバイサイド型接合短繊維（ｈｋ度２．ｏデニ
ール、繊維長５１龍を押込型クリンパ−により）在線数
９山／インチに捲縮させたもので捲縮は実質的に平面的
なｌ巻縮であった。）を用いてカード、クロスラッパー
、ニードルパンチングを行なった後、１５０℃で１０分
間熱処理し、厚さ２．５−■、坪量４７５ ｇ／ｎ？の
短繊維交絡体を得た。この短繊維交絡体における短繊維
は第２図に示すように螺旋状に１巻縮し、Ｊａ縮数３０
山／インチであった。次ぎにポリエチレンブチレンテレ
フタレート、ブタンジオール、４．４′−シフフェニル
メタンジイソシアネートを構成成分とするポリウレタン
（商品名：クリスボン、大日本インキ化学工業■製）の
２０％ジメチルフォルムアミド溶液中に浸漬して該溶液
を短繊維交絡体の空隙部に充填せしめた後、水９０％、
ジメチルフォルムアミド１０％とからなる２０℃の凝固
浴中に浸漬してポリウレタンを凝固させた。充分水洗し
て１２０℃で乾燥した後、スライスマシンにより表裏両
面を漉き取り、厚さ１．５ ｎの研磨基布を得た。
この研磨基布の表面はきわめて平滑性に優れていたが、
電子顕微鏡により表面を観察したところ表面方向に沿っ
て平面的に配列した繊維は全く存在せず、表面には均一
で徽細な凹凸が形成されていた。この研磨基布の半導体
（シリコン）の研磨における加工速度は０．５５μ／分
であり、研磨性能に優れるとともに、圧縮弾性回復率も
９６．１％を有し、研磨加工中の研磨性能の低下も生じ
なかった。
電子顕微鏡により表面を観察したところ表面方向に沿っ
て平面的に配列した繊維は全く存在せず、表面には均一
で徽細な凹凸が形成されていた。この研磨基布の半導体
（シリコン）の研磨における加工速度は０．５５μ／分
であり、研磨性能に優れるとともに、圧縮弾性回復率も
９６．１％を有し、研磨加工中の研磨性能の低下も生じ
なかった。
実施例２
実施例１と同様の潜在捲縮性ポリエステル短繊維７０％
と、非１呑縮性ポリエステル短繊維（繊度３．０デニー
ル、繊維長３８ｍｍ）３０％とを混合して実施例１と同
様の押込型クリンパ−により捲縮数９山／インチに捲縮
させカード、クロスラッパー、ニードルパンチングを行
った後、１５０”Ｃで１０分間熱処理して厚さ３． Ｑ
ｍｍ、坪量５５０ ｇ／ｄの短繊維交絡体を得た。こ
の短繊維交絡体を実施例１と同様のポリウレタンの２５
％ジメチルフォルムアミド溶液中に浸漬した後、実施例
１と同様の凝固浴に浸漬してポリウレタンを凝固せしめ
た。充分に水洗した後、１２０℃で乾燥し、スライスマ
シンにより表裏両面を漉き取り、厚さ１．３■■の研磨
基布を得た。この研磨基布の表面はきわめて平滑性に優
れていたが、電子顕微鏡により表面を観察したところ表
面方向に沿って平面的に配列した繊維はほとんど存在せ
ず、表面には均一で微細な凹凸が形成されていた。この
研磨基布は、実施例１と同様の半導体の研磨における加
工速度が０．６５μ／分であり、研磨性能に優れるとと
もに、圧縮弾性回復率も９１％を有し、研磨加工中の研
磨性能の低下も生しなかった。
と、非１呑縮性ポリエステル短繊維（繊度３．０デニー
ル、繊維長３８ｍｍ）３０％とを混合して実施例１と同
様の押込型クリンパ−により捲縮数９山／インチに捲縮
させカード、クロスラッパー、ニードルパンチングを行
った後、１５０”Ｃで１０分間熱処理して厚さ３． Ｑ
ｍｍ、坪量５５０ ｇ／ｄの短繊維交絡体を得た。こ
の短繊維交絡体を実施例１と同様のポリウレタンの２５
％ジメチルフォルムアミド溶液中に浸漬した後、実施例
１と同様の凝固浴に浸漬してポリウレタンを凝固せしめ
た。充分に水洗した後、１２０℃で乾燥し、スライスマ
シンにより表裏両面を漉き取り、厚さ１．３■■の研磨
基布を得た。この研磨基布の表面はきわめて平滑性に優
れていたが、電子顕微鏡により表面を観察したところ表
面方向に沿って平面的に配列した繊維はほとんど存在せ
ず、表面には均一で微細な凹凸が形成されていた。この
研磨基布は、実施例１と同様の半導体の研磨における加
工速度が０．６５μ／分であり、研磨性能に優れるとと
もに、圧縮弾性回復率も９１％を有し、研磨加工中の研
磨性能の低下も生しなかった。
比較例１
潜在捲縮性を有さないポリエチレンテレフタレート短繊
維（繊度２．０デニール、繊維長３８龍）を用い、カー
ド、クロスラッパー、ニードルパンチングを行って厚さ
２．５龍、坪量４７５ｇの短繊維交絡体を得た。この短
繊維交絡体を実施例１と同様のポリウレタンのジメチル
フルムアミド溶液中に浸漬した後、凝固浴中に浸漬して
ポリウレタンを凝固せしめ、水洗、乾燥及びスライスマ
シンによる表裏両面の漉き取りを行って、厚さ１．３
ｍｗｒの研磨基布を得た。この研磨基布の表面を電子顕
微鏡で観察したところ、表面方向に沿って平面的に配列
した繊維が多数存在していた。また実施例１と同様の半
導体の研磨試験では加工速度０．４２μ／分であり研磨
性能に劣っていたとともに、圧縮弾性回復率が８５．０
％と低く、研磨加工中に研磨性能の低下が生じた。
維（繊度２．０デニール、繊維長３８龍）を用い、カー
ド、クロスラッパー、ニードルパンチングを行って厚さ
２．５龍、坪量４７５ｇの短繊維交絡体を得た。この短
繊維交絡体を実施例１と同様のポリウレタンのジメチル
フルムアミド溶液中に浸漬した後、凝固浴中に浸漬して
ポリウレタンを凝固せしめ、水洗、乾燥及びスライスマ
シンによる表裏両面の漉き取りを行って、厚さ１．３
ｍｗｒの研磨基布を得た。この研磨基布の表面を電子顕
微鏡で観察したところ、表面方向に沿って平面的に配列
した繊維が多数存在していた。また実施例１と同様の半
導体の研磨試験では加工速度０．４２μ／分であり研磨
性能に劣っていたとともに、圧縮弾性回復率が８５．０
％と低く、研磨加工中に研磨性能の低下が生じた。
比較例２
押込型クリンパ−にて３０山／インチに捲縮させ、実質
的に平面的な捲縮を有するポリエチレンテレフタレート
繊維を用いてカード、クロスラッパー、ニードルパンチ
ングを行い、厚さ３．２ｍｍ。
的に平面的な捲縮を有するポリエチレンテレフタレート
繊維を用いてカード、クロスラッパー、ニードルパンチ
ングを行い、厚さ３．２ｍｍ。
坪量５９０ ｇ／＝の短繊維交絡体を得た。この短繊維
交絡体の空隙部に実施例１と同様の方法によりポリウレ
タンを充填凝固せしめ、厚さ７．３ ｍｍの研磨基布を
得た。この研磨基布表面を電子顕微鏡で観察したところ
、表面方向に沿って平面的に配列した繊維が多数存在し
ていた。また実施例１と同様の半導体の研磨試験では加
工速度０．４８μ／分であり研磨性能に劣っていたとと
もに、圧縮弾性回復率が８８％と低く、研磨加工中に研
工性能の低下が生じた。
交絡体の空隙部に実施例１と同様の方法によりポリウレ
タンを充填凝固せしめ、厚さ７．３ ｍｍの研磨基布を
得た。この研磨基布表面を電子顕微鏡で観察したところ
、表面方向に沿って平面的に配列した繊維が多数存在し
ていた。また実施例１と同様の半導体の研磨試験では加
工速度０．４８μ／分であり研磨性能に劣っていたとと
もに、圧縮弾性回復率が８８％と低く、研磨加工中に研
工性能の低下が生じた。
以上説明したように本発明の研磨基布は、螺旋状に捲縮
したポリエステル短繊維を含む短繊維交絡体を用いたこ
とにより、研磨基布表面には表面方向に沿って平面的に
配列した繊維が殆ど存在せず、基布表面は均一で微細な
凹凸を有し、充分な摩擦抵抗を有するため優れた研磨性
能を示すとともに、立体的な螺旋状に捲縮した繊維を含
むために圧縮弾性回復率に優れ、研磨加工中に研磨基布
がつぶれて弾性力が低下し、研磨性能の低下をきたす虞
れがなく、効率良い研磨加工を行うことができる。また
本発明製造方法は、潜在捲縮性ポリエステル短繊維を含
む短繊維交絡体を熱処理して潜在捲縮性繊維を捲縮せし
め、しかる後、交絡体の空隙部にポリウレタンを主体と
する弾性重合体を充填凝固せしめるという、きわめて簡
単な方法により優れた研磨性能を有する研磨基布を効率
良く製造することができる効果を有する。
したポリエステル短繊維を含む短繊維交絡体を用いたこ
とにより、研磨基布表面には表面方向に沿って平面的に
配列した繊維が殆ど存在せず、基布表面は均一で微細な
凹凸を有し、充分な摩擦抵抗を有するため優れた研磨性
能を示すとともに、立体的な螺旋状に捲縮した繊維を含
むために圧縮弾性回復率に優れ、研磨加工中に研磨基布
がつぶれて弾性力が低下し、研磨性能の低下をきたす虞
れがなく、効率良い研磨加工を行うことができる。また
本発明製造方法は、潜在捲縮性ポリエステル短繊維を含
む短繊維交絡体を熱処理して潜在捲縮性繊維を捲縮せし
め、しかる後、交絡体の空隙部にポリウレタンを主体と
する弾性重合体を充填凝固せしめるという、きわめて簡
単な方法により優れた研磨性能を有する研磨基布を効率
良く製造することができる効果を有する。
第１図は実施例１において用いた潜在捲縮性ポリエステ
ル短繊維の熱処理前の状態を示す電子顕微鏡写真（倍率
３５倍）、第２図は熱処理によって捲縮した繊維の電子
顕微鏡写真（倍率３５倍）である。 第１図 第２図 手続有１１正書（自発） 昭和６１年１０月３日 昭和６０年特許願 第２１７３４７号 ２、発明の名称 研磨基布及びその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区大京町２２番地の５名称（００７）
アキレス株式会社 代表者 殿 岡 政 雄 ４、代理人 〒１０１ 住所 東京都千代田区神田佐久間町２−７５、補正命令
の日付
ル短繊維の熱処理前の状態を示す電子顕微鏡写真（倍率
３５倍）、第２図は熱処理によって捲縮した繊維の電子
顕微鏡写真（倍率３５倍）である。 第１図 第２図 手続有１１正書（自発） 昭和６１年１０月３日 昭和６０年特許願 第２１７３４７号 ２、発明の名称 研磨基布及びその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区大京町２２番地の５名称（００７）
アキレス株式会社 代表者 殿 岡 政 雄 ４、代理人 〒１０１ 住所 東京都千代田区神田佐久間町２−７５、補正命令
の日付
Claims (6)
- （１）螺旋状捲縮ポリエステル短繊維を含む短繊維交絡
体と、該短繊維交絡体の空隙部に充填されたポリウレタ
ンを主体とする熱可塑性弾性重合体とからなることを特
徴とする研磨基布。 - （２）螺旋状捲縮ポリエステル短繊維が短繊維交絡体中
に６０％以上含有される特許請求の範囲第１項記載の研
磨基布。 - （３）螺旋状捲縮ポリエステル短繊維が、捲縮発現され
たポリエステルのサイドバイサイド型接合繊維である特
許請求の範囲第１項又は第２項記載の研磨基布。 - （４）熱処理により螺旋状に捲縮する潜在捲縮性ポリエ
ステル短繊維を含む短繊維交絡体を熱処理して短繊維交
絡体中の潜在捲縮性ポリエステル短繊維を螺旋状に捲縮
せしめ、次いで短繊維交絡体の空隙部にポリウレタンを
主体とする熱可塑性弾性重合体の水混和性有機溶媒溶液
を充填し、しかる後、非溶媒中に浸漬して弾性重合体を
凝固せしめることを特徴とする研磨基布の製造方法。 - （５）潜在捲縮性ポリエステル短繊維が短繊維交絡体中
に６０％以上含有される特許請求の範囲第４項記載の研
磨基布の製造方法。 - （６）潜在捲縮性ポリエステル短繊維がポリエステルの
サイドバイサイド型接合繊維である特許請求の範囲第４
項又は第５項記載の研磨基布の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60217347A JPS6279970A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 研磨基布及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60217347A JPS6279970A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 研磨基布及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6279970A true JPS6279970A (ja) | 1987-04-13 |
| JPH0356869B2 JPH0356869B2 (ja) | 1991-08-29 |
Family
ID=16702749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60217347A Granted JPS6279970A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 研磨基布及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6279970A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62268860A (ja) * | 1986-05-15 | 1987-11-21 | 日本バイリーン株式会社 | 繊維質材料およびその製造方法 |
| JPS63278766A (ja) * | 1987-04-14 | 1988-11-16 | ミネソタ マイニング アンド マニユフアクチユアリング カンパニー | 研磨物品 |
| JPH11503077A (ja) * | 1995-06-01 | 1999-03-23 | ノートン カンパニー | カール抵抗性の研磨布紙 |
| JP2001088013A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-03 | Toyobo Co Ltd | 研磨パッド |
| JP2007054910A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Toray Ind Inc | 研磨布 |
| KR100915973B1 (ko) * | 2007-10-15 | 2009-09-10 | 대원화성 주식회사 | 피연마체의 표면 연마용 폴리우레탄 패드 및 그 제조방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55112775A (en) * | 1979-02-13 | 1980-08-30 | Kanai Hiroyuki | Method for manufacturing non-woven abrasive fabric |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP60217347A patent/JPS6279970A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55112775A (en) * | 1979-02-13 | 1980-08-30 | Kanai Hiroyuki | Method for manufacturing non-woven abrasive fabric |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH11503077A (ja) * | 1995-06-01 | 1999-03-23 | ノートン カンパニー | カール抵抗性の研磨布紙 |
| JP2001088013A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-03 | Toyobo Co Ltd | 研磨パッド |
| JP4542647B2 (ja) * | 1999-09-21 | 2010-09-15 | 東洋ゴム工業株式会社 | 研磨パッド |
| JP2007054910A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Toray Ind Inc | 研磨布 |
| JP4645361B2 (ja) * | 2005-08-24 | 2011-03-09 | 東レ株式会社 | 研磨布 |
| KR100915973B1 (ko) * | 2007-10-15 | 2009-09-10 | 대원화성 주식회사 | 피연마체의 표면 연마용 폴리우레탄 패드 및 그 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0356869B2 (ja) | 1991-08-29 |
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