JPS6277535A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS6277535A JPS6277535A JP60216207A JP21620785A JPS6277535A JP S6277535 A JPS6277535 A JP S6277535A JP 60216207 A JP60216207 A JP 60216207A JP 21620785 A JP21620785 A JP 21620785A JP S6277535 A JPS6277535 A JP S6277535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- floor
- air flow
- clean room
- vane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はクリーンルームに係り、特にダウンフロー型に
設計されたクリーンルームに関するものである。
設計されたクリーンルームに関するものである。
半導体産業を始めとし、各種の産業分野で清浄空間が必
要とされるなかで、清浄空間を作りだす部屋、すなわち
クリーンルームの清浄度向上に対する要求が年々厳しく
なっている。従来、そのような超清浄空間を実現するク
リーンルームとして提案されている構造としては、天井
全面に高性能で塵埃を除去するエアフィルタを設け、床
は格子状あるいは多くの穴のある床板材で敷きつめ、前
記フィルタから床に垂直に清浄空気を吹き出すことによ
り、室内で発生した塵埃も拡散することなく床に向かっ
て垂直に流出させることを図った全面ダウンフロ一方式
があった。この全面ダウンフロ一方式を第４図、第５図
に示す。
要とされるなかで、清浄空間を作りだす部屋、すなわち
クリーンルームの清浄度向上に対する要求が年々厳しく
なっている。従来、そのような超清浄空間を実現するク
リーンルームとして提案されている構造としては、天井
全面に高性能で塵埃を除去するエアフィルタを設け、床
は格子状あるいは多くの穴のある床板材で敷きつめ、前
記フィルタから床に垂直に清浄空気を吹き出すことによ
り、室内で発生した塵埃も拡散することなく床に向かっ
て垂直に流出させることを図った全面ダウンフロ一方式
があった。この全面ダウンフロ一方式を第４図、第５図
に示す。
まず第４図において、外気取入口１は空調空気循環管２
を介し、エアフィルタ、熱交換器などが組み込まれた空
気調和機３に接続されている。この空気調和機３の出口
には空調空気用の導気管４が接続されており、クリーン
ルーム天井裏の給気口５に接続されている。さらにクリ
ーンルーム天井裏には送風機６、高性能エアフィルタ７
を有する空気清浄ｍ８が設置されており、天井面とほぼ
同一面である空気清浄機出口には、吹出口９が天井はぼ
全面に設けられている。一方、クリーンルーム床面のほ
ぼ全面は格子状床１０となっており、格子状床１０の下
方は吸込室１１とされているとともに、空気調和機３に
近い床下壁面には吸込口１２が設けられている。さらに
、該吸込口１２には還気管１３と空調空気循環管２が接
続しており、還気管１３は、天井裏の運気用給気口１４
に接続されている。また空調空気循環管２は途中で分岐
した構造となっており、一方は、空気調和機３に接続さ
れており、他方は排気管１５となり排気ファン１６を介
し、排気口１７に接続されている。
を介し、エアフィルタ、熱交換器などが組み込まれた空
気調和機３に接続されている。この空気調和機３の出口
には空調空気用の導気管４が接続されており、クリーン
ルーム天井裏の給気口５に接続されている。さらにクリ
ーンルーム天井裏には送風機６、高性能エアフィルタ７
を有する空気清浄ｍ８が設置されており、天井面とほぼ
同一面である空気清浄機出口には、吹出口９が天井はぼ
全面に設けられている。一方、クリーンルーム床面のほ
ぼ全面は格子状床１０となっており、格子状床１０の下
方は吸込室１１とされているとともに、空気調和機３に
近い床下壁面には吸込口１２が設けられている。さらに
、該吸込口１２には還気管１３と空調空気循環管２が接
続しており、還気管１３は、天井裏の運気用給気口１４
に接続されている。また空調空気循環管２は途中で分岐
した構造となっており、一方は、空気調和機３に接続さ
れており、他方は排気管１５となり排気ファン１６を介
し、排気口１７に接続されている。
この様に構成された第４図に示すクリーンルームにおい
ては、外気取入口１がら空調空気循環管２を通り空気調
和［３に導かれた空気は、空気調和機３で所定の温湿度
に調整された後、クリーンルーム天井裏に送られ、さら
に空気清浄ｍ８に導びかれ、高性能エアフィルタフによ
って除塵され、吹出口９からクリーンルーム内に送風さ
れる。
ては、外気取入口１がら空調空気循環管２を通り空気調
和［３に導かれた空気は、空気調和機３で所定の温湿度
に調整された後、クリーンルーム天井裏に送られ、さら
に空気清浄ｍ８に導びかれ、高性能エアフィルタフによ
って除塵され、吹出口９からクリーンルーム内に送風さ
れる。
クリーンルームに吹出された清浄空気は、室内で発生し
た塵埃とともに格子状床１０から吸込室１１を介して吸
込口１２に吸い込まれ、一部は還気管１３を通り運気用
給気口１４に送られ、また一部は、空調空気循環管２が
ら空気調和機３に送られ、さらに、一部は、排気ファン
１６を介し排気口１７から放出される構成となっている
。
た塵埃とともに格子状床１０から吸込室１１を介して吸
込口１２に吸い込まれ、一部は還気管１３を通り運気用
給気口１４に送られ、また一部は、空調空気循環管２が
ら空気調和機３に送られ、さらに、一部は、排気ファン
１６を介し排気口１７から放出される構成となっている
。
しかし、この様に床下の壁に吸込口１２を設けた吸込方
式のクリーンルームでは、天井の吹出口９から吹出され
た空気は、床面に近づく程、吸込口方向に引きよせられ
る傾向を示し、室内の気流は垂直流とはほど遠い横流れ
の状態に近（なることが実験によって明らかとなった。
式のクリーンルームでは、天井の吹出口９から吹出され
た空気は、床面に近づく程、吸込口方向に引きよせられ
る傾向を示し、室内の気流は垂直流とはほど遠い横流れ
の状態に近（なることが実験によって明らかとなった。
その結果、クリーンルーム内で作業している作業者や機
器から発生した塵埃は、横流れの気流により、すみやか
に床から排除されることなく、クリーンルーム内に拡散
し、室内を広範囲に汚染させる問題を有していた。そこ
で、この問題を解決させる手段として第５図に示ず吹出
、吸込方式のクリーンルームが検討されている。
器から発生した塵埃は、横流れの気流により、すみやか
に床から排除されることなく、クリーンルーム内に拡散
し、室内を広範囲に汚染させる問題を有していた。そこ
で、この問題を解決させる手段として第５図に示ず吹出
、吸込方式のクリーンルームが検討されている。
第５図において、第４図と異なる点は、格子床１０の下
方にさらに床を設けた二重床構造とし、この二重床１８
の一部に二重床吸込口１９を備え、二重床吸込口１９の
下方を吸込室１１とし、さらに二重床下の壁面に吸込口
１２を設けたことである。この様な構成のクリーンルー
ムにおいては、天井部の吹出口９から吹出された空気は
室内で発生した塵埃とともに格子状床１０を通過し、二
重床吸込口１９を介し、吸込室１１を通り吸込口１２に
吸込まれる構成となっている。
方にさらに床を設けた二重床構造とし、この二重床１８
の一部に二重床吸込口１９を備え、二重床吸込口１９の
下方を吸込室１１とし、さらに二重床下の壁面に吸込口
１２を設けたことである。この様な構成のクリーンルー
ムにおいては、天井部の吹出口９から吹出された空気は
室内で発生した塵埃とともに格子状床１０を通過し、二
重床吸込口１９を介し、吸込室１１を通り吸込口１２に
吸込まれる構成となっている。
しかし、第５図に示したような二重床吸込方式において
も、吸込口１２に近い二重吸込口１９の吸込量が吸込口
１２に遠い二重吸込口１９の吸込み量に比べ著しく多い
ため、第４図に示したクリーンルームよりも幾分かはク
リーンルーム内気流の横流れは減少するものの、本発明
者らの実験では、１６ｍの大きさのクリーンルームにお
いて格子床１０から１ｍの高さで垂直方向に対し５０゜
の横流れ風が存在することを確認した。したがって第５
図に示す方式においても室内で発生した塵埃は、横流れ
の気流によって拡散され、クリーンルームの超清浄化を
達成するにあたり、大きな障害となる問題点を有してい
る。
も、吸込口１２に近い二重吸込口１９の吸込量が吸込口
１２に遠い二重吸込口１９の吸込み量に比べ著しく多い
ため、第４図に示したクリーンルームよりも幾分かはク
リーンルーム内気流の横流れは減少するものの、本発明
者らの実験では、１６ｍの大きさのクリーンルームにお
いて格子床１０から１ｍの高さで垂直方向に対し５０゜
の横流れ風が存在することを確認した。したがって第５
図に示す方式においても室内で発生した塵埃は、横流れ
の気流によって拡散され、クリーンルームの超清浄化を
達成するにあたり、大きな障害となる問題点を有してい
る。
本発明の目的は上述した問題点に鑑みてなされたもので
、ダウンフロー型に設計されたクリーンルームにおいて
、クリーンルーム内の気流を実質的に垂直流にさせるこ
とにより、塵埃の拡散を極力低減させるようにしたクリ
ーンルームを提供するにある。
、ダウンフロー型に設計されたクリーンルームにおいて
、クリーンルーム内の気流を実質的に垂直流にさせるこ
とにより、塵埃の拡散を極力低減させるようにしたクリ
ーンルームを提供するにある。
〔発明の要旨〕
二重床吸込方式のクリーンルーム内での気流の横流れの
原因が二重床吸込口の吸込風量の不均一であることを実
験で確認したことから、前記の目的を達成するために、
個々の二重床吸込口での吸込風量を同一にするため、二
重床吸込口に自動で風量を調整できる風量調整弁を設置
した構成としたものである。
原因が二重床吸込口の吸込風量の不均一であることを実
験で確認したことから、前記の目的を達成するために、
個々の二重床吸込口での吸込風量を同一にするため、二
重床吸込口に自動で風量を調整できる風量調整弁を設置
した構成としたものである。
以下、図に示す実施例を用いて本発明の詳細な説明する
。
。
第１図は本発明に係るクリーンルームの構成の一実施例
を示す簡略構成図で、第４図、第５図と同一部分には同
一符号を付しである。
を示す簡略構成図で、第４図、第５図と同一部分には同
一符号を付しである。
第１図において、第５図に示す二重床吸込方式のクリー
ンルームの構造と異なる点は、格子状床１０の下方に配
置された床１８に吸込口１９と定風量調整弁２０を設け
たことである。この定風量調整弁２０は自動風量調整構
造となっている。
ンルームの構造と異なる点は、格子状床１０の下方に配
置された床１８に吸込口１９と定風量調整弁２０を設け
たことである。この定風量調整弁２０は自動風量調整構
造となっている。
今、前記定風量調整弁２０の構成を第２図を用いて詳細
に説明する。定風量調整弁２０は、前記吸込口１９の開
度を変えるために上方の開口面積の方が下方の開口面積
に比べて広くなるよう形成された弁側板２１と、弁側板
２１内に配置された羽２２とから成り、更に該別２２に
はばね２３の下端が接続されており、ばね２３の上端は
、弁側板２１の上部に横架された治具２４に支持された
構成となっている。従って、この様な定風量調整弁２０
を備えたクリーンルームにおいては、吹出口９から吹出
された清浄空気は、室内で発生した塵埃とともに格子状
床１０を通過し、吸込口１９から吸込室１１を介して吸
込口１２に吸込まれるようになっている。ここで、吸込
口１９に取付けられた定風量調整弁２０の働きは、格子
状床１０を通過し、吸込口１９に吸込まれる空気の速度
によって羽２２を押す力が異なるため、設定風量の風速
より大きな風速で吸込まれようとすると、羽２２が押さ
れて下方に移動し、弁側板２１と羽２２の間のすき間が
小さくなる。逆に、設定風量の風速より小さな風速とな
ると、羽−２２を押す力が小さいため、羽２２は殆ど移
動せず、弁側板２１と羽２２の間のすき間は大きな状態
で維持される。このようにして、実質的に吸込風量は個
々の吸込口１９で同一にできる。
に説明する。定風量調整弁２０は、前記吸込口１９の開
度を変えるために上方の開口面積の方が下方の開口面積
に比べて広くなるよう形成された弁側板２１と、弁側板
２１内に配置された羽２２とから成り、更に該別２２に
はばね２３の下端が接続されており、ばね２３の上端は
、弁側板２１の上部に横架された治具２４に支持された
構成となっている。従って、この様な定風量調整弁２０
を備えたクリーンルームにおいては、吹出口９から吹出
された清浄空気は、室内で発生した塵埃とともに格子状
床１０を通過し、吸込口１９から吸込室１１を介して吸
込口１２に吸込まれるようになっている。ここで、吸込
口１９に取付けられた定風量調整弁２０の働きは、格子
状床１０を通過し、吸込口１９に吸込まれる空気の速度
によって羽２２を押す力が異なるため、設定風量の風速
より大きな風速で吸込まれようとすると、羽２２が押さ
れて下方に移動し、弁側板２１と羽２２の間のすき間が
小さくなる。逆に、設定風量の風速より小さな風速とな
ると、羽−２２を押す力が小さいため、羽２２は殆ど移
動せず、弁側板２１と羽２２の間のすき間は大きな状態
で維持される。このようにして、実質的に吸込風量は個
々の吸込口１９で同一にできる。
したがって、二重吸込方式において吸込口の吸込風量が
場所に関係なく常に同一であることから、室内の気流の
横流れは防止され、実質的に垂直流となり、室内で発生
した塵埃は拡散することなく、真下の格子状床１０から
すみやかに室外に排出され、クリーンルーム内の清浄度
が維持されることになる。
場所に関係なく常に同一であることから、室内の気流の
横流れは防止され、実質的に垂直流となり、室内で発生
した塵埃は拡散することなく、真下の格子状床１０から
すみやかに室外に排出され、クリーンルーム内の清浄度
が維持されることになる。
第３図は第２図に示した定風量調整弁の他の実施例を示
すもので、前記実施例と異なるのは、第２図の定風量調
整弁２０では、風速の設定値の調節をばね２３の引張り
強さで行なっているのに対し、第３図の定風量調整弁２
０ではカウンターウェイト２５の重量によって風速設定
を行なうよう構成したものである。なお、２６．２７は
カウンターウェイト２５を羽２２までの間を連結する連
結部である。この様に構成しても上述した第１実施例と
同様な効果が得られる。
すもので、前記実施例と異なるのは、第２図の定風量調
整弁２０では、風速の設定値の調節をばね２３の引張り
強さで行なっているのに対し、第３図の定風量調整弁２
０ではカウンターウェイト２５の重量によって風速設定
を行なうよう構成したものである。なお、２６．２７は
カウンターウェイト２５を羽２２までの間を連結する連
結部である。この様に構成しても上述した第１実施例と
同様な効果が得られる。
なお、以上の構成に限定されるものではなく、弁の開度
を風速の大小に合わせ自動的に変化できる風ｆｆ１ｌｌ
整弁であればどのようなものでもよい。
を風速の大小に合わせ自動的に変化できる風ｆｆ１ｌｌ
整弁であればどのようなものでもよい。
以上説明したように、本発明に係るクリーンルームによ
れば、開口を有する床の下方にさらに別途床を設け、該
床に自動で風量を調整できる弁が備えられた空気の吸込
口を設けた構成としたので、クリーンルーム内の気流を
実質的に垂直流にさせることができ、塵埃の拡散を極力
低減させることができるという効果を奏する。
れば、開口を有する床の下方にさらに別途床を設け、該
床に自動で風量を調整できる弁が備えられた空気の吸込
口を設けた構成としたので、クリーンルーム内の気流を
実質的に垂直流にさせることができ、塵埃の拡散を極力
低減させることができるという効果を奏する。
第１図は本発明に係るクリーンルームの一実施例を示す
簡略構成図、第２図は第１図の定風量調整弁の一部破断
拡大斜視図、第３図は定風量調整弁の他の実施例を示す
一部破断斜視図、第４図、第５図はそれぞれ従来のクリ
ーンルームの一例を示す簡略構成図である。 ９・・・吹出口、 １０・・・格子状床、 １２・・・
吸込口、 １８・・・床、 １９・・・吸込口、 ２
０・・・定風量調整弁。 出願人 日立プラント建設株式会社 第１図 １０：玲）（＜床 ２０」箋訂範酊 １２・吸込口 １８：床 第２図 第３図 第４図 第５図
簡略構成図、第２図は第１図の定風量調整弁の一部破断
拡大斜視図、第３図は定風量調整弁の他の実施例を示す
一部破断斜視図、第４図、第５図はそれぞれ従来のクリ
ーンルームの一例を示す簡略構成図である。 ９・・・吹出口、 １０・・・格子状床、 １２・・・
吸込口、 １８・・・床、 １９・・・吸込口、 ２
０・・・定風量調整弁。 出願人 日立プラント建設株式会社 第１図 １０：玲）（＜床 ２０」箋訂範酊 １２・吸込口 １８：床 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (2)
- （１）天井部に取付けられた吹出口から清浄空気を吹き
出すとともに、室内の空気を開口を有する床を通過させ
、床下の吸込口から吸い込ませるよう構成したクリーン
ルームにおいて、前記開口を有する床の下方にさらに別
途床を設け、該床に、自動で風量を調整できる弁が備え
られた空気の吸込口を設けたことを特徴とするクリーン
ルーム。 - （２）前記自動で風量を調整できる弁は、吸込風速の大
きさに応じて弁開度が機械的に変化できる定風量調整構
造としたことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記
載のクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60216207A JPS6277535A (ja) | 1985-10-01 | 1985-10-01 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60216207A JPS6277535A (ja) | 1985-10-01 | 1985-10-01 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6277535A true JPS6277535A (ja) | 1987-04-09 |
Family
ID=16684952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60216207A Pending JPS6277535A (ja) | 1985-10-01 | 1985-10-01 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6277535A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023020253A (ja) * | 2021-07-30 | 2023-02-09 | 東急建設株式会社 | クリーン化システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4412547Y1 (ja) * | 1964-04-24 | 1969-05-24 | ||
| JPS4829245U (ja) * | 1971-08-13 | 1973-04-10 | ||
| JPS55663A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-07 | Toshiba Corp | Frequency synthesizer |
-
1985
- 1985-10-01 JP JP60216207A patent/JPS6277535A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4412547Y1 (ja) * | 1964-04-24 | 1969-05-24 | ||
| JPS4829245U (ja) * | 1971-08-13 | 1973-04-10 | ||
| JPS55663A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-07 | Toshiba Corp | Frequency synthesizer |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023020253A (ja) * | 2021-07-30 | 2023-02-09 | 東急建設株式会社 | クリーン化システム |
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