JPS6272138A

JPS6272138A - 検査装置のウエハ位置決め保持装置

Info

Publication number: JPS6272138A
Application number: JP21280485A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Taniuchi; 谷内　俊明
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-09-26
Filing date: 1985-09-26
Publication date: 1987-04-02
Also published as: JPH0142139B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分ＩＪ！ｆコこの発明は、ウェハを面部材の一面に位置決めし吸着保
持するウェハ位置決め保持装置に関する。

［従来の技術］ウェハは、面部材の一面に位置決めし吸着保持する必要
がしばしばある。例えば、ウェハ異物検査装置において
は、ウェハを面部材の一面に位置決めし負圧吸着により
保持した杖態で、ウェハの表面の異物の検査を行う。

そのような従来のウェハ位置決め保持装置は、特定のウ
ェハサイズに専用の装置として作られており、位置決め
手段は特定サイズのウェハだけを位置決めできるように
構成されている。

［解決しようとする問題点］近年、ＬＳＩなどの半導体デバイスの製造に用いられる
ウェハの大型化がめざましく、４インチ、５インチ、６
インチなどの様々なサイズのウェハを扱う場合が増加し
ている。しかるに、従来のウェハ位置決め保持装置は、
特定のウェハサイズにｔＩｆ用であり、ウェハサイズの
変史は容易でないため、様々なサイズのウェハを扱う１
−場などでは、各ウェハサイズ毎に設置しなければなら
ないという不都合があった。

また、ウェハをエアーで移送してピンに係止させること
により、ウェハの位置決めを行う構成の場合、ウェハが
振動し、位置決めに時間がかかるという問題もあった。

［発明の目的コこの発明の［１的は、そのような従来の技術の問題点に
鑑み、異サイズのウェハに容易に対応できるウェハ位置
決め保持装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］この特定発明によれば、ウェハを面部材の一面に位置決
めし吸着保持するウェハ位置決め保持装置において、前
記面部材には複数種類のウェハサイズのそれぞれに対応
させた位置に通孔が形成されるとともに、保持すべきウ
ェハのサイズに対応した特定の前記通孔にピン部材を挿
通させ前記面部材の前記−・面より突出せしめる１段を
具備せしめられ、前記・血より突出せしめられた１）；
ｊ記ピン部材でウェハを係１１．シて位置決めするよう
に構成される。

この関係発明によれば、さらに、前記面部祠にはウェハ
を特定方向へ移送させるための噴気１−１が形成される
とともに、前記面部材上のウェハの前記特定方向と反対
の方向への移動を駆出するための１段とが具備せしめら
れ、ウェハは前記噴気口からの噴気により前記特定方向
へ移送されＮ　１１’Ｊ記−・面より突出せしめられた
前記ピン部材に係止位置決めされるように構成される。

［作用］前述のような構成の特定発明によれば、ウェハと係合ピ
ン部材を挿通せしめる通孔の選択だけで、異サイズのウ
ェハの位置決めが＋＋ｌ能であり、ウェハサイズの変史
に容易に対応できる。

さらに、前述のような関係発明によれば、位置決め時の
ウェハの振動を抑制し、様々なサイズのウェハを短時間
に位置決めすることができる。

［実施例］以ド、この発明の一実施例について、図面を参照し説明
する。

この実施例は、ウェハ異物検査装置のウェハ位置決め保
持装置であり、その概略構成を第１図に示す。また、ウ
ェハ位置決め保持装置の−・部を除いた詳細構成を第２
図および第３図に示す。

第１図において、ウェハ位置決め保持装置１０は、回転
円板１２のＬ而にウェハ１４を位置決めし、負圧吸着に
て保持するものである。ウェハは搬送ベルト１６により
回転円板１２４−へ搬入され、また回転円板１２から搬
出される。回転円板１２に搬送ベルト１６により搬入さ
れたウェハは、後に詳述するように、回転円板１２の１
一面の噴気［−１より斜め１−へ噴出するエアーにより
、矢線１８の方向へ移送される。そして、位置決めピン
２０により係ｄ二位置決めされる。詳細は後述するが、
回転円板１２には、ウェハサイズ毎に、複数の通孔が同
心円状に形成されており、扱うウェハ１４のサイズ（直
径）に対応した通孔に、位置決めピン２０が挿通され、
回転円板１２の１一面より突出せしめられる。

この位置決めの際、位置決めビン２０の弾性によりウェ
ハ１４が矢線２２の方向へはじかれ、ウェハ１４が振動
し、停止１・するまでに時間がかがるという問題か起こ
りやすい。そこで、位置決め時に、ブツシャ−２４が図
／Ｊ＜のような位置（後述のように、この位置も汲うウ
ェハ１４のサイズによって異なる）へ移動せしめられ、
その突出部２４Ａの先端で、ウェハ１４の矢線２２の方
向への移動を駆出し、ウェハ１４の振動を抑制して位置
決め時間の短縮を図っている。

プンンヤ−２４は、支持ｍ＜２８．２８に固定されたガ
イドシャフト３０に摺動自在に支持されていおり、また
スクリューンヤフト３２と螺合している。したかって、
モータ３４によりスクリューシャフト３２を１１・回転
させると、プッシャー２４は矢線１８のノ」向へ移動（
前進）し、逆回転させるとプンンヤ−２４は矢線２２の
方向へ移動（後退）する。なお、ガイドシャフト３０お
よびスクリューンヤフト３２は、図示のように傾けられ
ているため、プツシ？−２４は前進するに従い１シ１゛
し、後退するに従い降ドする。位置決め時以外の期間に
は、ブソンヤ−２４は、搬送ベルト１６より低い鎖、ａ
ｉ１２４　Ｂのイ装置に退避せしめられる。

位置決めがなされると、回転円板１２の１一面に形成さ
れた吸気「１（後述）より、ウェハ１４と回転円板１一
面との間のエアーが抜かれ、同時に噴気［」からのエア
ーの噴出が１トめられる。しかして、ウェハ１４は、負
圧吸着により回転円板１２１−に保持される。その後、
位置決めビン２０は引き抜かれ、またプッシャー２４は
後退せしめられる。

異物検査を終わり、ウェハ１４を搬出する場合、同転円
板１２は第１図の位置から１８０°回転せしめられ、噴
気１−１よりエアーが噴出せしめられ、また吸気口より
のエアー吸引が停止１−、させられる。

しかして、噴出エアーによりウェハ１４は矢線２２の方
向へ送られ、搬送ベルト１８１にｔｅｌ出される。この
時、搬送ベルト１６は搬出用の方向へ回動せしめられて
おり、ウェハ１４は搬送ベルト１６により搬出される。

なお、搬出用の搬送ベルトを別に設けてもよく、その場
合、その搬送ベルトにウェハ１４を排出できるような角
度に、回転円板１２を回転させ、同様な動作により搬出
できる。

このように、位置決めビン２０を回転円板１２の通孔よ
り抜去するから、同一の噴気１１からのエアーにより、
ウェハの搬入位置決めと搬出の両方を行うことができる
。

次に、第２図を参照し、回転円板１２について詳細に説
明する。この図に示されるように、回転円板１２の内部
には、中心部より放射状に廷びたエアー通路４０．４２
，４４，４８．４８が形成されている。

エアー通路４０は吸着用エアーを通すためのものであり
、吸気１１５０により回転円板１２の」一面に開「１せ
しめられている。それぞれの吸気Ｄ　５０に連通して、
同心円状の溝５２が形成されている。

ウェハが同転円板１−にセットされている場合、溝５２
の近傍のエアーが吸ν目」５０へ導かれるため、吸気１
１５０は実質的に回転円板１一面のほぼ全域に拡大され
たと同様である。換１；すれば、エアー吸引作用の観点
からは、１１１１ｓ５２は吸着１１５０の延長部分とみ
なし得る。ただし、後述するように、最外周の１本の溝
５２は、５インチウニ／％の扱い時には使用されず、４
インチウェハの扱い時には、外周側の２木の溝５２は使
用されない。

エアー通路４２，４４．４６．４８は、ウェハ移送用の
エアーを送るためのものである。エアー通路４４．４６
からは、エアー通路４４Ａ、４６Ａが分岐している。回
転円板１２の１一面には、エアー通路４４Ａ、４４Ｂの
間に挟まれて凹部１２Ａが形成されている。この凹ｍ＜
１２Ａは、他の部分よりわずかに低くなっており、前記
プッンヤ−２４の突出部２４Ａは、位置決め時に、この
四部１２Ａに、ウェハサイズに応した；１１だけ侵入さ
せられるようになっている。エアー通路４２．４４゜４
４Ａ、４６．４６Ａ、４８の近傍には、それらと連通し
た噴気ｒ−１５４が形成されている。各噴気１１＋５４
は、ある角度だけ傾けて形成されており、回転円板１２
が図示の角度にあるときに、矢線１８のノＪ向にウェハ
を移送するためのエアーを、斜め！方に噴出するもので
ある。

また、回転円板５２には、図中左下針側に位置決めビン
を挿通するための通孔５６か同心円状に配列形成されて
いる。また、回転円板１２の動的バランスをとるために
、回転円板１２の右゛Ｆ分側に、ダミー通孔５８が同心
円状に設けられている。

＋１びエアー通路４０に関連して説明する。このエアー
通路４０の外周側部分は径大部４０Ａとなっている。こ
の径大部４０Ａには、第３図に明瞭に小されるように、
穴埋めロッド６０が挿入され、回転円板１２のド面の切
欠き６２より挿着されたリング６４により脱出を阻１１
・され、また側方より回転円板１２に螺入された固定ね
じ６６によって進月および回転できないように固定され
る。

穴埋めロッド６０の側面には、その先端から最外周位置
の吸気１１５０に臨む位置まで延７１する溝６８と、外
側より２つ１１の吸気１１５０に臨む位置まで延在した
溝６９とか形成されている。また、穴埋めロンドロ０の
先端は、外側から３准１１の吸気ｌｌ５０より外側に占
（＋’！するような長さとなっている。６５はエアーシ
ールである。

６インチのウェハを扱う場合、穴埋めロッド６０は、溝
６８が１側に来るように回し固定される。

つまり、第３図の状態となり、外側の２つの吸気［１５
０は、いずれも溝６８を介してエアー通路４０と連通ず
る。５インチのウェハを扱う場合、穴埋めロッド６０は
、溝６９が１・、側になるように回されて固定される。

しかして、外側から２つ１１の吸気口５０は溝６９を介
してエアー通路４０と連通ずるが、最外周の通気［１５
０は穴埋めロット６０の側面でふさがれ、エアー通路４
０から切り離される。４インチのウェハの取り扱い時に
は、穴埋めロッド６０は、ｌ＋？ｉ６８．６９のいずれ
もＩ−側にならないような角度で固定されるため、外側
の２つの吸気１１５０は、両方ともエアー通路４０から
分離される。

第３図を参照する。回転円板１２の中心部より、回転軸
部７０が下向きに延設されている。この回転軸部７０の
内部には、前記エアー通路４０と連通した縦方向のエア
ー通路７２と、前記エアー通路４２，４４，４６．４８
と連通した縦方向のエアー通路７４が形成されている。

各エアー通路７２．７４の先端部７２Ａ、７４Ａは、回
転軸部７８の側面に開１１シている。

回転軸部７０は、その１“、ド端において、ボールベア
リング７６を介して筒体７８に回転円７１に支承されて
いる。筒体７８の内面には、エアー通路７２の先端部７
２Ａに対応して１対のエアー７−ル８０Ａが設けられて
いる。筒体７８の内面には、この１対のエアーシール８
０Ａに挟まれた空間に臨む開１１（図示せず）が設けら
れており、この開１１は図示しないパイプを介して外部
の１°〔空ポンプ系に接続される。また筒体７８の内面
には、ト、側のエアーシール８０Ａと１−側のボールベ
アリング７６との間の空間に臨む開ｌ−１（図示せず）
が形成されており、この間１１も図中しないパイプを介
して外部のコンプレンサ系と接続されている。なお、後
者の開［ｌを挟むように、エアーシールを設けてもよい
。

筒体７８は、トドにわずかな距＃ｉ（例えば数ｍｍ）だ
け移動Ｉｔ）能なように支持ブロック８４に取り付けら
れおり、モータ８６により図示しない偏心カム機構なと
を介して１・、ドに駆動されるようになっている。モー
タ８６は支持ブロック８４に固定されている。支持プロ
１り８４は、スライドブロンク８８に固定されている。

９０は位置決めビン２０が６本植設されたピンプレート
であり（ピン配列は第２図参照）、４インチ、５インチ
、６インチの各ウェハサイズ毎に用意されている。この
ピンプレート９０は、５＋’降板９２に植設されたボル
ト９４と蝶ナツト９６によってＮ　ｈ“降板９２に着脱
容易に締着される。シ１″降板９２はシリンダ９８によ
ってシ１′降せしめられるが、このｈ’−Ｒを案内する
ために、支持ブロック８４に固定されたベアリング１０
２により摺動自在に支承されたガイド／ヤフトｌＯＯが
シ、＋、降板９２に固着されている。

このような構成において、シリンダ９８により５１′、
降板９２を＋：５４させることにより、それに取り付け
られたビンプレート９０の（１″ｌ置決めビ／２０を、
対応する通孔５６に一斉に挿入し、回転円板１２の１一
面より突出させることかてきる。荀置決めビン２０を釣
用させない期間には、シ１°降板９２は第３図の商さま
でド降せしめられ、（ｌ’＋置決めビン２０の先端は回
転円板１２のド面よりさらにト方に高位する。

回転軸部７０の上端部は、カップリング１０４を介して
モータ１０６の回転軸と結合されている。

このモータ１０６はスライドブロック８８に固定されて
いる。カップリング１０４は、モータ１０６の回転軸と
回転軸部７０との相対的回転は許さないが、軸方向（１
・、ド方向）については、わずかな（たとえば数ｆｆ１
ｌＩＩ程度の）相対的移動を許容するものである。この
ようなカンプリング１０４としては、入力端の回転力を
板ばね部材を介して出力側へ伝達するような型式のもの
を用いることができる。このような力、ブリング１０４
により結合するため、モータ１０６なとを１−ドさせる
ことなく、回転円板１２の高さ位置を調整して、光学系
（後述）の焦点合わせを１１うことかてきる。

スライドブロック８８は、その前面および背面が固定ベ
ース１１０と滑合せしめられ、固定ベース１１０に対し
て入線１８．２２の方向へスライドできるように支持さ
れている。スライドプロ。

り８８は、固定ベース１１０側に回転目イ」に設けられ
たスクリューシャフト１１２と螺合しており、このスク
リューシャフト１１２を回転することにより、入線１８
，２２の方向に移動するようになっている。１１４はス
クリュー７ヤフト１１２を回転駆動するためのモータで
ある。

ここで、異物検出系の構成と異物検出原理について、第
１図を参！ｔ（（Ｌ説明する。この異物検出系２００に
あっては、Ｓ偏光レーザ発振器２１６から放射されるＳ
偏光レーザビームが、シリンドリカルレンズ２１８によ
り十ド方向（Ｚ方向）に絞られてから、ウェハ１４の１
一面に例えば２°の！！（１射角度にて斜めに照射され
る。照射点にン４物があると、Ｓ偏光レーザビームは％
物の表面（＠小の凹凸がある）により散乱し、偏光面が
乱れるため、２方向への反射レープ光には、Ｐ偏光成分
が多１．ｌに３よれる。

反射レーザ光は対物レンズ２２０により集光され、視！
Ｉす制限用のスリット２２２を経＋ｌ、Ｓ偏光カット用
の偏光数２２４へ入射せしめられる。

この偏光板２２４により、反射レーザ光のＰ偏光成分が
抽出されてホトマルチプライヤ２２６に入射し、電気信
シ３・に変換される。この光電変換信号は図示しない比
較器によりある閾値と比較され、その閾値を越えた場合
に、Ｓ偏光レーザビームの照射点に異物があると判定さ
れる。

Ｓ偏光レーザビームの照射点にパターンが存在する場合
、Ｚ方向への反射光：ｉｌ′がかなり多くなることがあ
る。しかし、パターンの表面は微視的にはｌ’　Ｉｔ’
？であるため、Ｚ方向への反射レーザ光に含まれるＰ偏
光成分はわずかである。したがって、パター７は５“シ
物と弁別され、異物としては検出されない。

！！（１射点に異物もパターンもない場合、！！（１射
レーザビームはほぼ全１１（が正反射されるため、ホト
マルチプライヤ２２６の出力（＋、−Ｊは１分低レベル
である。したがって、その信−じのレベル比較により、
異物なしと判定される。

次に、ウェハ位置決め保持装置１０によるウェハの位置
決め保持動作、ウェハの搬入搬出を、人物検査動作と関
連させて説明する。

まず、ウェハの搬入が行われる。この時、回転円板１２
かウェハ搬入位置に来るように、モータ１１４によりス
ライドブロック８８が移動せしめられる。回転円板１２
は、第２図の角度までモータ１０６により回転せしめら
れる。また、プッシャー２４は、第１図の鎖線２４Ｂの
位置まで後退せしめられる。その後、ンリンダ９８によ
りビンプレート９０が押し１−げられ、位置決めビン２
０は通孔５６を挿通し回転円板１２より突出せしめられ
る。なお、ここでは、６インチウェハを扱うものとすれ
ば、ビンプレート９０として、第２図および第３図に示
すようなビン配置のものがＹ＋’降板９２に取り付けら
れる。位置決めビン２０は、第２図に示すように、最外
周の通孔５６に種通することになる。

この状態で、搬送ベルト１６によりウェハが回転円板１
２１．に搬入される。なお、ウエノ）の後端が回転円板
１２の端を越えた１１．５点では、少なくともウェハ移
送用のエアーが噴気１１５４より噴出せしめられている
。搬入されたウェハ１４は噴出エアーにより入線１８の
方向へ移送されるが、これとほぼ同時に、プッシャー２
４が第１図の実線に小すような位置まで前進せしめられ
る。ここでは６インチウェハを想定しているから、プッ
シャ−２４の突出部２４Ａの先端が、最外周のダミー通
孔５８よりやや外側に占位するように、ブツシャ−２４
の１）ｉｉ　１位置が制御される。つまり、突出部２４
Ａの先端と、回転円板１２の中心からの距離は、３イン
チ（ウェハ゛１′径）よりわずかに人き（なる。

エアーで移送されたウェハ１４は位置決めピン２０に衝
突し、位置決めピン２０の弾性により失’ｆ３ｄ　２２
の力向にはね返される。ブノ／ヤ−２４がないと、ウェ
ハ１４はかなりのＭ［ｉ後退した後、１１Ｔびエアーに
より位置決めピン２０側へ辻ばれ、ｉｌ）びはね返され
る。このようにして、ウエノ１１４は、実線１８．２２
の方向に振動し、位置決め完了までの時間が長（なって
しまう。

これに対し、このウェハ位置決め保持装置１０では、ブ
ツシャ−２４が設けられており、その突出部２４Ａの先
端でウエノＸ１４の後退がＩＱＩ　＋Ｌされるため、ウ
ェハ１４の振動が大幅に抑制される。

したがって、ウェハ１４は比較的短時間に位置決めピン
２０に係止し、位置決めされる。これで、ウェハ１４の
中心と回転円板１２の中心とが一致する。

このようにして位置決めが終ｒすると、吸気ｌｌ５０に
よる吸気が開始せしめられ、溝５２を介してウェハ１４
のド面と回転円板との間のエアーが排出され、ウニ／Ｘ
１４は負圧により回転円板１２に吸着保持される。また
、吸着動作の開始とほぼ同時に、ウェハ移送用エアーの
噴出は停止１．せしめられる。

そして、ブツシャ−２４が後退せしめられ、またイ☆置
決めピン２０が通孔５６より抜去せしめられる。

次に、異物検出系２００におけるＳ偏光レーザビームか
ウェハ１４の外周近傍に照射されるように、モータ１１
４によりスライドブロック８８が実線１８の）Ｊ向へ移
動せしめられる。その後、モータ１０６が起動され、同
転円板１２が高速回転せしめられ、同時に、モータ１１
４により、スライドブロック８８は実線２２の力向に−
・定速度で移動せしめられる。かくして、ウェハ１４の
−１一面は、外周側より中心へ向かい、Ｓ偏光レーザビ
ームにより螺旋状に走査される。

そして、各走査点の異物の有５１１（が、ホトマルチプ
ライヤ２２６の出カイ１１号に基づき判定され、異物検
査が夫１］゛される。

ウェハ１４の中心まで走査が進み、異物検査を終ｒする
と、モータ１１４が停止１・、せしめられる。

また、回転円板１２が第２図に７１＜す向きから１８０
°回転した向きになるようにして、モータ１０６が停止
ｌ・、せしめられる。たたし、ｔＪｔ出川の用送ベルト
が別に存在する場合は、その搬送ベルトに穴埋めロッド
６０の部分が対向するような角度で回転円＆１２は停止
１せしめられる。

この状態で、ウェハ移送用のエアーが噴出せしめられ、
そのエアーによりウェハ１４は搬送ベルト１６（または
搬出用の搬送ベルト）］−にυト出され、その搬送ベル
トにより搬出される。

なお、５インチウェハを扱う場合、外側から２番目の通
孔５６に対応させて位置決めピン２０を植設したピンプ
レート９０が昇降板９２に取り付けられ、また、搬入位
置決め時に、プノ７ヤ−２４は、その突出部２４Ａの先
端と回転板１２の中心との間隔が２．５インチよりやや
大きくなるような位置まで前進せしめられる。穴埋めロ
ッド６０は、５インチウェハに対応した溝６９が」ユ側
に来るように回転させられ、最外周の吸気１」５０がふ
さがれる。

４インチウェハを扱う場合、外側から３番１１の通孔５
６に対応させて位置決めピン２０を植設したピンプレー
ト９０が昇降板９２に取り付けられ、また、搬入ｂ’を
置決め時に、ブ、ンヤー２４は、その突出ｆｆ１ｓ２４
Ａの先端と回転板１２の中心との間隔か２イン千よりや
や大きくなるような（☆置まで前進せしめられる。穴埋
めロッド６０は、溝６８゜６９のない而か１側になるよ
うに回転せしめられ、外側からＩＭｌｌと２番］１の吸
気１１５０がふさがれる。

このようにピンプレート９０の交換と穴埋め口、ドロ０
の回転操作を行うだけで、異サイズのウェハを扱うこと
ができ、そのサイズ変更は容易である。また、位置決め
ピン２０は位置決め時に回転円板に挿入されるものであ
り、それ以外の期間には抜去されるから、共通の噴気口
５４からの噴出エアーにより、ウェハの搬入と搬出の両
方を行うことができる。また、回転円板１２の向きを調
節するたけで、ウェハの搬出方向を任、８′に選ぶこと
ができる。

なお、５（物検出系２００の対物レンズ２２０とウェハ
而との焦点合わせは、モータ８６により円筒体７８とと
もに回転円板１２を−１−ドに移動させることにより１
１われる。この時、回転円板１２の回転軸部７０と、固
定されたモータ１０６の回転軸との１．ド方向の相対移
動は、カップリング１０４により吸収される。もし、そ
のようなカップリング１０４を介イｌさせない場合、モ
ータ１０６を含めて１−、上移動させなければならす、
関連機構の複雑化、駆動力の増大などを伴いやすい。こ
の点で、この実施例の構造は優れている。

以１−１この発明の−・実施例について説明したが、こ
の発明は適宜変形して実施できるものである。

例えば、前記実施例において、サイズ対応のピンプレー
ト９０の交換により、位置決めピン２０の挿通位置の切
り替えを行っているが、ピンプレート９０に各サイズに
対応した位置決めピンを配設しておき、特定のサイズの
位置決めピンだけを回転円板の通孔に挿通させるように
してもよい。

３↓体的には、各サイズの通孔５６に対応付けて各サイ
ズ用の位置決めピン２０をピンプレート９０に配設し、
前記最大サイズ用の位置決めピンを最も長＜シ、中間サ
イズ用の位置決めピンをその次に長くし、最小サイズ用
の位置決めピンを最も短くしておき、ビンプレート９０
の１・、　！ｒ凸Ｓ−ムさをウェハサイズに応して変え
るようにすることができる。

あるいは、ビンプレート９０に位置決めピンを移動ＩＩ
）能に取り付けておき、サイズに応じて位置決めピンを
移動させてから、Ｉ・、’ｙｒさせるようにしてもよい
。

位置決めピン２０および通孔５６の個数および配列は、
前記実施例のものに限らない。たたし、ウェハにはオリ
フラ（オリエンチー／ジンフラット）と叶ばれる切欠き
部分があるため、位置決めピンを３木以１−１円弧状に
配列すれば、ウェハを任、Ｃ（の向きで搬入して、位置
決めすることができるという利点がある。

プンンヤ−２４は、回転円板１２の１一方より必認に応
じて降ドさせるようにしてもよい。また、ブツシャ−２
４の駆動機構も適宜変更してよい。

また、吸着用の吸気［」５０を穴埋めロンドロ０で選択
的にふさくようにしているが、各サイズ対応の吸気１１
５０に別々にエアー通路７２を設け、それぞれのエアー
通路に選択的に真空ポンプ系を接続することにより、ウ
ェハサイズに応じて、２認な吸気１１５０だけを作用さ
せることできる。ただし、そのような構成は、前記実施
例の構成よりも＝一般に構造が複雑化する傾向がある。

吸気＋１５０と溝５２の配置、形態、個数も、適宜変更
してよい。ただし、前記実施例のような構成であると、
ウェハをほぼ前面的に吸着できため、ウェハの中心部だ
けを吸着するような構成の場合に生じゃすいウェハの反
りなとの問題を解消でき、異物検査系２００の焦点を固
定して検査できるという利点がある。

また、ウェハが位置決め保持される面部材は前記回転円
板１２のような板状のものに限らず、また、それは静屯
していてもよい。

さらに付言すれば、この発明は、前述のようなりｄ物検
査装置以外の用途に用いられる同様なウェハ位置決め保
持装置にも、適用しｊＩＩるものである。

［発明の効果コこの発明は以上に説明した通りであるから、異サイズの
ウェハに容し已に対応−〇き、しかも様々なサイズのウ
ニ・・をχすｌ＋、’１間にイＩ買Ｉ’ｊ決めすること
ができる、なとの効果を達成てきるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はウェハＷ物＋′Ａ装置に適用されたこの発明に
よるウェハ４ｉ″ｌ置決め保持装置吉異物検出系を小す
概略１１而図、第２図は同ウェハ位置決め保ｔ、ｉ装置
の　都の詳細構成と関連した機構を拡大して小す・部断
面市面図、第３図は回転円板の１°１面の構成を拡大し
て小す概略・ｌ・、面図である。１０・・・ウニハイ☆置決め保ｔ、ν装置、１２・・・
回転円板（面部材）、１４・・・ウェハ、１６・・・搬
送ベルト、２０・・・位置決めピン、２４・・・プッシ
ャー、５０・・・吸気Ｉ＋、５２・・・溝、５４・・・
噴気１−１．６０・・・穴埋めロッド、７０・・・回転
軸部、８０Ａ・・・エフ　−７−ル、８６．１０６，１
１４・・・モータ、９０・・・ピンプレート、９２・・
・シ１１降板、９８・・・／リング、１０４・・・勾ノ
ブリング、１１２・・・スクリューンヤフＩ・。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ウェハを面部材の一面に位置決めし吸着保持する
ウェハ位置決め保持装置であって、前記面部材には複数
種類のウェハサイズのそれぞれに対応させた位置に通孔
が形成されるとともに、保持すべきウェハのサイズに対
応した特定の前記通孔にピン部材を挿通させて前記面部
材の前記一面より突出せしめる手段を備え、前記一面よ
り突出せしめられた前記ピン部材にウェハを係止させて
位置決めするようにしてなることを特徴するウェハ位置
決め保持装置。
（２）前記各ウェハサイズ対応の通孔は同心円状に複数
個配列され、前記ピン部材は複数本挿入されることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェハ位置決め保
持装置。
（３）ウェハを面部材の一面に位置決めし吸着保持する
ウェハ位置決め保持装置において、前記面部材にはウェ
ハを特定方向へ移送させるための噴気口、および複数種
類のウェハサイズのそれぞれに対応させた位置に通孔が
それぞれ形成されるとともに、保持すべきウェハのサイ
ズに対応した特定の前記通孔にピン部材を挿通させて前
記面部材の前記一面より突出せしめる手段と、前記面部
材上のウェハの前記特定方向と反対の方向への移動を阻
止する手段とを備え、ウェハは前記噴気口からの噴気に
より前記特定方向へ移送され、前記一面より突出せしめ
られた前記ピン部材に係止されて位置決めされるように
してなることを特徴とするウェハ位置決め保持装置。
（４）前記反対の方向への移動を阻止する手段は、ウェ
ハの位置決め期間に、特定位置にて可動部材の少なくと
も一部を前記一面より突出せしめ、該特定位置は該可動
部材の一部が位置決めすべきウエハのサイズに関連した
間隔にて前記一面に突出せしめられた前記ピン部材と対
向する位置であることを特徴とする特許請求の範囲第３
項記載のウェハ位置決め保持装置。