JPS6271834A

JPS6271834A - ウエハ異物検査システム

Info

Publication number: JPS6271834A
Application number: JP21280785A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Taniuchi; 谷内　俊明
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-09-26
Filing date: 1985-09-26
Publication date: 1987-04-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業Ｉ１の利用分ツｆ］この発明は、ウェハの異物検査を行うウエハ異物検査ン
ステムに関し、特に、ウェハの保持に関連した改良に関
する。

［従来の技術コウェハ％　物’Ｏ査システムにおいては、ウェハをウエ
ハ保持面に負圧吸Ｘｔシて保持した杖態で異物検査を行
うのが一般的である。

そのような従来のウエハ保持Ａ装置では、ウエハ保ｔ．
ｒ面に比較的大きな１つの吸気｛−１が設けられ、この
吸気［１により吸気して、ウェハをその中央部分だけで
吸着するような構成となっている。

［Ｍ決しようとする問題点］このように、ウェハは中央部分たけで吸着されるため、
ウェハの反りを吸収できなかったり、あるいは、ウェハ
に反りが生じさせ、この反りはウェハが大きくなるほど
顕著であった。

このようなウェハの反りがあると、ウエハ表面の人物を
検出するための光学系の焦点をｌ　Ｊ、“、Ｃたけで調
整して固定したのでは、検合鞘度が低ドするため、検へ
点の移動に従って随時調節するための自動焦点調整機構
が必・易となり、システムが複剥１化するとともに、そ
の焦点調整操作により検査時間が増加するという問題が
あった。

［発明の目的コこの発明は、そのような問題点に鑑みなされたもＣであ
り、ウェハのＪ父りを防市し、異物検ｊｌ　ｉの焦点の
随時調整を不易にしたウェハ人物検出シ７テムを提供す
ることを１．１的とするものである。

［問題点を解決するための丁・段］そのよ６な目的を性成するために、この発明によれば、
ウニ／・保持装置の平坦なウェハ保持面に、その１．に
載置されたウェハの下面をほぼ全面的にｆ’ｌ圧吸前吸
着ための吸気領域が設けられる。

よりμ体内には、その吸気領域には、複数の吸気１１が
分散させられて、没けられ、さらには、その吸’、：ｔ
　ｌ　Ｉに接続し２゛こ１１１１）が延在せしめられる
。

［作用］このように、この発明によれば、ウェハは吸気領域でほ
ぼ仝面内に負圧吸着されて、・１４川なウェハ保持面に
保持されるため、負ｊ１°吸着力はウェハ全体にほぼ均
等に作用し、ウェハの反りは防ＩＩされる。

［実施例］以Ｆ１この発明の−・実ｈｔｈ例について、図面を参照
し説明する。

第１図は、この発明によるウェハ異物検査システムの概
略構成を示す。この図において、ウェハ保持装置１０は
、回転円板１２の：（ｉ、坦なに而（ウェハ保持面）に
ウェハ１４を位置決めし、負圧吸着にて保持するもので
ある。ウェハは搬送ベルト１６により回転円板１２１へ
搬入され、また回転円板１２から搬出される。回転円板
１２に搬送ベルト１６により搬入されたウェハは、後に
詳述するように、回転円板１２の１−而の噴気［１より
斜めｌ−へ噴出するエアーにより、矢線１８の方向へ移
送される。そして、位置決めピン２０により係止位置決
めされる。詳細は後述するが、回転円板１２には、ウェ
ハサイズ毎に、複数の通孔が同心円状に形成されており
、扱うウェハ１４のサイズ（１径）に対応した通孔に、
位置決めビン２０が挿通され、回転円板１２の１−面よ
り突出せしめられる。

この荀置決めの際、位置決めビン２０の弾性によりウェ
ハ１４が入線２２の方向へはじかれ、ウェハ１４が振動
し、停止するまでに時間がかかるという問題が起こりや
すい。そこで、位置決め時に、ブツシャ−２４が図示の
ような位置（後述のように、この位置も扱うウェハ１４
のサイズによって５°になる）へ移動せしめられ、その
突出部２４Ａの先端で、ウェハ１４の矢線２２の方向へ
の移動を阻：［几、ウェハ１４の振動を抑制して位１η
決めＩ＋、’ｉ間の短縮を図っている。

プソンヤ−２４は、支持部２６．２８に固定されたガイ
ド、・ヤフト３０に摺動自在に支持されていおり、また
スクリューシャフト３２と螺合している。したがって、
モータ３４によりスクリューシャフト３２をＩＩＥ回転
させる志、プッシャー２４は矢線１８の方向へ移動（前
進）し、逆回転させるとブツシャ−２４は矢線２２の方
向へ移動（後退）する。なお、ガイドシャフト３０およ
びスクリューシャフト３２は、図ｔＪ＜のように傾けら
れているため、プッシャー２４は前進するに従いｌ　’
ｊ＋’し、後退するに従い降ドする。位置決め時以外の
期間には、ブツシャ−２４は、搬送ベルト１６より低い
鎖線２４Ｂの位置に退避せしめられる。

位置決めがなされると、回転円板１２の１−而に形成さ
れた吸気Ｄ　（後述）より、ウェハ１４と回転円板１−
而との間のエアーが抜かれ、同時に噴気「ＩＤ）らのエ
アーの噴出が市められる。しかして、ウェハ１４は、負
圧吸着により回転円板１２＋−に保持される。その後、
位置決めピン２０は引き抜かれ、ま起ブツシャ−２４は
後退せしめられる。

異物検査を終わり、ウェハ１４を搬出する場合、回転円
板１２は第１図の位置から１８０°回転せしめられ、噴
気１」よりエアーが噴出せしめられ、また吸気［１より
のエアー吸引が停止させられる。

しかして、噴出エアーによりウェハ１４はχ線２２の方
向へ送られ、搬送ベルト１８１に１４１出される。この
時、搬送ベルトｉ６は搬出用の力量へ回動せしめられて
おり、ウエノ１１４は搬送ベルト１６により搬出される
。

なお、搬出用の搬送ベルトを別に設けてもよく、その場
合、その搬送ベルトにウエノ１１４を排出できるような
角度に、回転円板１２を回転させ、同様な動作により搬
出できる。

このように、位置決めピン２０を回転円板１２の通孔よ
り抜去するから、同一の噴気［１からのエアーにより、
ウェハの搬入位置決めと搬出の両方を行うことができる
。

次に、第２図を参照し、回転円板１２について詳細に説
明する。この図に示されるように、回転円板１２の内部
には、中心部より放射状に延びたエアー通路４０，４２
．４４．４８．４８が形成されている。

エアー通路４０は吸着用エアーを通すためのものであり
、吸気Ｌ」５０により回転円板１２の１・、而に開ＩＩ
＋せしめられている。それぞれの吸気口５０に連通して
、同心円状のｉ＋＋／ｉ　５２が形成されている。

ウェハが回転円板上にセットされている場合％　ＩＩ’
）５２の近傍のエアーが吸着１ｊ５０へ導かれるため、
吸気１１５０は実質的に回転円板１−面のほぼ全域に拡
大されたと同様である。換汀すれば、エアー吸引作用の
観点からは、溝５２は吸着Ｌ１５０の延長部分とみなし
得るものであり、吸着［１５０と溝５２により、ウェハ
をほぼ全面的に負圧吸着するための広い吸気領域を実現
している。

ただし、後述するように、最外周の１本の溝５２は、５
インチウェハの扱い時には使用されず、４インチウェハ
の扱い時には、外周側の２木の溝５２は使用されない。

エアー通路４２，４４．４６．４８は、ウェハ移送用の
エアーを送るためのものである。エアー通路４４，４Ｅ
３からは、エアー通路４４Ａ、４６Ａが分岐し、ている
。回転円板１２の］−面には、エアー通路４４Ａ、４４
Ｂの間に挟まれて凹部１２Ａが形成されている。この凹
部１２Ａは、他の部分よりわずかに低くなっており、Ｉ
ｌｌ記プッシャー２４の突出部２４Ａは、位置決め時に
、この凹部１２Ａに、ウェハサイズに応じた：１１たけ
侵入させられるようになっている。エアー通路４２．４
４゜４４Ａ、４６，４ｅＡ、４８の近傍ニハ、ソレラと
連通した噴気１ｉＦ、４が形成されている。各噴気１１
５４は、ある角度だけ傾けて形成されており、回転円板
１２が図示の角度にあるときに、矢線１８の力量にウェ
ハを移送するためのエアーを、斜めＬ方に噴出するもの
である。

また、回転円板５２には、図中左゛１へ分鋼に位置大め
ビンを挿通するための通孔５６が同心円状に配列形成さ
れている。また、回転円板１２の動的Ｉ＼ランスをとる
ために、回転円板１２の右半分側に、ダミー通孔５８か
同心円状に設けられている。

次に第３図も参照し、回転円板１２と、その駆動機構な
どについて説明する。

まず、エアー通路４１０に関連して説明する。このエア
ー通路４０の外周側部分は径大部４０Ａとなっている（
第２図参！！！　）。この径大部４ＯＡには、穴埋めロ
ッド６０が挿入され、回転円板１２の下面のり欠き６２
より挿着されたＯリング６４により脱出をと１１市され
、また側方より回転円板１２に螺入された固定ねじ６６
によって進退および回転できないように固定される。穴
埋めロッド６０の側面には、その先端から最外周位置の
吸気１１５０に臨む位置まで延在する溝６８と、外側よ
り２つ１１の吸気［１５０に臨む位置まて廷在した溝６
９とが形成されている。また、穴埋めロッド６０の先端
は、外側から３番１１の吸気［１５０より外側に占位す
るような長さとなっている。６５はエアーシールである
。

６インチのウェハを扱う場合、穴埋めロッド６０は、ｉ
ｈ８εが１−側に来るように回し固定される。

つまり、第３図の状態となり、外側の２つの吸気］１５
０は、いずれも溝６８を介してエアー通路４０と連通ず
る。この場合、最外周の溝５２の内側領域が実質的に吸
気領域として作用する。

５インチのウェハを扱う場合、穴埋めロッド６０は、？
Ａ６９が１−側になるように回されて固定される。その
結果、外側から２つ１−１の吸気＋１５０はｒ＋Ｗ　６
９を介してエフ′−通路４Ｑと連通ずるか、最外周の通
気１１５０は穴埋めロッド６０の側面でふさがれ、エア
ー通に’ｓ：４０から切りＪｉｌｔされるため、外側か
ら２つ１１のＩ異５２の内側領域が吸−１領域として働
く。

４インチのウユハの取り扱い時にｌヨ、穴埋めロンドロ
０は、ｌＩ′１シロ８．６９のいずれも：・、倶しこな
らないような角度で固定されるため、外側の２つの吸気
１１５０は、両刃ともエアー通路４０から遮断される。

その結果、外側から３つ「１の溝５２がら内側の領域が
吸気領域となる。

第３図に示すように、回転円板１２の中心部より、回転
軸部７０がド向きに延設されている。この回転軸部７０
の内、隼には、前記エアー通路４０と連通した縦方向の
エアー通路７２と、前記エアー通路４２，４４，４６．
４８と連通した縦方向のエアー通路７４が形成されてい
る。各エアー通路７２　＋　７４の先端部７２Ａ、７４
Ａは、同転軸部７８の側面に開１」シている。

回転軸部７０は、その］−ド端において、ボールベアリ
ング７ｅを介しで筒体７８に回転自在に支承されている
。１１体７８の内面には、エアー通路７２の先端部７２
Ａに対応して１対のエアーシール８０Ａが設けられてい
る。船体７８の内面には、この１対のＪアーシール８０
Ａに挾まれた空間に臨む開「１（図示せず）が設けられ
ており、この開１−１は図示しないパイプを介して外部
のｆ〔空ポンプ系に接続される。またｎ体７８の内面に
は、ｌ−側のエアーシール８０Ａと」−側のボールベア
リング７６との間の空間に臨む開１−１（図示せず）が
形成されており、この開Ｙコも図示しないパイプを介し
て外用＜のコンプレッサ系と接続されている。なお、後
者の開［−１を挟むように、エアーシールを設けてもよ
い。

筒体７８は、−１−ドにわずかな出離（例えば数＋＋ｕ
＋＋）だけ移動可能なように支持ブロック８４に取り付
けられおり、モータ８６により図示しない偏心カム機構
などを介して一１ニドに駆動されるようになっている。

モータ８６は支持ブロック８４に固定されている。支持
ブロック８４は、スライドブロック８８に固定されてい
る。

９０は位置決めピン２０が６本植設さｎたピンプレート
であり（ピン配列は第１図参！！（（）　１４インチ、
５インチ、６インチの各ウェハサイズ毎に月１意されて
おいる。このピンプレー：・９０は、シフ。

降板９２に植設されたボルト９４と蝶ナツト９６によっ
て、シミ′降板９２に着脱容易に締Ａｔされる。

昇降板９２はプリング９８によってη１．隋せしめられ
るか、このｈ’降を案内するため；こ、支持ブロック８
４に固′・ｒされたベアリングｉｏ２により摺動１″口
１に支承されたガイドンヤフ＋−１００が５＋’　ｎ　
板９２に固着されている。このような↑１」ｋにおいて
、プリング９８により昇降板９２を１−ｙｉ’させるこ
とにより、それに取り付けられたピンプレート９０の位
置決めピン２０を、対応する通孔５６に一斉に挿入し、
回転円板１２の１−而より突出させることができる。位
置決めピン２０を作用させない期間には、シ！１降板９
２は第２図に、ｊζＴ＋：′ｂさまてド降せしめられ、
位置決めピン２０の先端は回転円板１２の下面よりさろ
にド方に重布する。

同転軸部７０の上端部は、力、プリング１０４を介して
モータ１０６の回転軸と結合されている。

このモータ１０６はスライドブロック８８に固定されて
いる。カンプリング１０４は、モータ１０６の回転軸と
回転軸部７０との相対的回転は、１′１さないが、軸方
向（ｔ−、ド方向）については、わずかな（たとえば数
■程度の）相対的移動を許容するものである。このよう
なカップリング１０４としては、入力端の回転力を板ば
ね部材を介して出力側へ伝達するような型式のものを用
いることができる。このようなカップリング１０４によ
り結合するため、モータ１０Ｂなどを４・、−ドさせる
ことなく、回転円板１２の高さ位置を調整して、光学系
（後述）の焦Ｊ、−１合わせを行うことができる。

スライドブロック８８は、その前面および背面が固定べ
−・ス１１０と滑合せしめられ、固定ベース１１０に対
して矢線１８，２２の方向へスライドできるように支持
されている。スライドブロック８８は、固定ベースｌｌ
ｏ側に回転自在に設けられたスクリューシャフト１１２
と螺合しており、このスクリューシャフト１１２を回転
することにより、実線１８，２２の方向に移動するよう
になっている。１１４はスクリューシャツ）ｉ１２を１
１１１転駆動するためのモータである。

ここで、異物検出系の構成と人物検出Ｉ３’、理につい
て、第１図を参Ｈｊ（（Ｌ説明する。この異物検出系２
００にあっては、Ｓ偏光レーザ光振器２１６から放射さ
れるＳ偏光レーザビーム・か、ンリンドリカルレンズ２
１８によりトドノ」向（Ｚ方向）に絞られてから、ウェ
ハ１４の１−而に例えば２°の１（（１射角度にて斜め
に！！（１射される。照射点にソ４物があると、Ｓ偏光
レーザビームは異物の表面（微小の凹凸がある）により
故乱し、偏光面が乱れるため、Ｚ方向への反射レーザ光
には、Ｐ偏光成分が多１ｉｌに含まれる。

反射レーザ光は対物レンズ２２０により集光され、視野
制限用のスリット２２２を経出し、Ｓ偏光カット用の偏
光板２２４へ入射せしめられる。

この偏光板２２４により、反射レーザ光のＰ偏光成分が
抽出されてホトマルチプライヤ２２６に人射し、電−（
信シシーに変換される。この光電変換信ジノ・は図示し
ない比較；Ｓによりある閾値と比較され、その閾値を越
えた場合に、Ｓ偏光レーザビームの１（Ｊ１１射にン４
物かあると判定される。

Ｓ偏光レーザビームの１１（１射点にパターンか存在す
る場合、２方向への反射光；ｌがかなり多くなることが
ある。しかし、パターンの表面は微視的には平滑である
ため、Ｚ方向への反射レーザ光に含まれるＰ偏光成分は
わずかである。したがって、パターンは異物と弁別され
、異物としては検出されない。

照射点に異物もパターンもない場合、Ｒ（ｉ耐レーザビ
ームはほぼ全ｔｉ１が正反射されるため、ホトマルチプ
ライヤ２２６の出力借りは１−分低レベルである。した
がって、その信号・のレベル比較により、異物なしと判
定される。

次に、ウェハ保持装置１０によるウェハの位置決め吸着
動作、ウェハの搬入搬出を、′）′ｌ！ｌ接物動作と関
連させて説明する。

まず、ウェハの搬入が行われる。この時、回転円板１２
がウェハ搬入位置に來るように、七−多１１４によりス
ライドブロック８８が移動せしめられる。回転円板１２
は、第２図の角度までモータｌＯ６により回転せしめら
れる。また、プッシャー２４は、第１図の鎖線２４Ｂの
イ１）置まで後退せしめられる。その後、シリンダ９８
によりピンプレート９０が押しｌ−げられ、位置決めピ
ン２０は通孔５６を挿通し回転円板１２より突出せしめ
られる。なお、ここでは、６インチウェハを扱うものと
すれば、ピンプレート９０として、第２図および第３図
に示すようなピン配置のものが昇降板９２に取り付けら
れる。位置決めピン２０は、芽２２図に小すように、最
外周の側孔５ｅに挿通されるこおになる。

この状態で、搬送ベルト１６によりウェハが回転円板１
２　Ｌ：に搬入される。なお、ウエノ・の先端が回転円
板１２の端を越えた時点で、ウェハ移送用のエアーが噴
気Ｌ１５４より（噴出せしめられている。搬入されたウ
ェハ１４は噴出エアーにより実線１８の方向へ移送され
るか、これとほぼ同時に、プッシャ−２４が第１図の実
線に小すような位置まで前進せしめられる。ここでは６
インチウェハを、固定しているから、プッシャ−２４の
突出部２４Ａの先端が、最外周のダミー通孔５８よりや
や外側に占位するように、ブツシャ−２４の前進位置が
制御される。つまり、突出部２４Ａの先端き、回転円板
１２の中心からの距離は、３インチ（ウエノ・半径）よ
りわずかに大きくなる。

エアーで移送されたウェハ１４は位置決めピン２０に衝
突し、位置決めピン２０の弾性により実線２２の方向に
はね返される。ブツシャ−２４がないと、つＪ−ハ１４
はかなりの距離後退した後、ｉｌＦびエアーにより位置
決めピン２０側へ運ばれ、＋１びはね返される。このよ
うにして、ウェハ１４は、実線１８．２２の方向に振動
し、位置決め完γまでの１．ｖ間が長くなってし２まう
。

これに対し、このウェハ吸着装置ｌＯでは、ブツシャ−
２４が役けられており、その突出部２４Ａの先端でウェ
ハ１４の後退が阻止されるため、ウェハ１４の振動が大
幅に抑制される。したがうて、ウェハ１４は比較的短時
間に位置決めピン２０に係１１・、され位置決めされる
。これで、ウェハ１４の中心と回転円板１２の中心とが
・致する。

このようにして（１’／：　１１ｖｉ”決ｔが終ｒする
と、吸気１１５０（ここでは６インチウェハであるから
、す八゛。

ての吸気＋１５０）による吸気が開始せしめられ、ｉｌ
’＞　５２を介してウェハ１４の下面のほぼ全域と回転
円板との間のエアーがυｉ、出され、ウェハ１４の下面
にほぼ全面的に負圧吸着力が作用し、ウェハ１４は、反
りを起こすことな（、回転円板■２に１而実に吸？′ｉ
保ｔ、ｒされる。また、吸着動作の開始とほぼ同時に、
ウェハ移送用エアーの噴出は停車せしめられる。

そして、ブンンヤ−２４が後退せしめられ、また位置決
めピン２０か通孔５６より抜去せしめられる。

次に、＋Ｊ１１！物検出系２００におけるＳ偏光レーザ
ビームがつ１ハ１４の外周近傍に照射されるように、モ
ータ１１４に、上りスライドブロック８８がづ（線１８
の方向へ移動せしめられる。その後、モータ１０３が起
動され、回転円板１２が高速回転せしめられ、同時に、
モータ１１４により、スライドブロック８８は入線２２
の方向に　・定速度で移動せしめられる。かくして、ウ
ェハ′１４の１−而は、外周側Ｊ：り中心へ向かい、Ｓ
偏光レーザビームにより螺旋状に走査される。

そして、各走査点の異物の有無が、ホトマルチプライヤ
２２６の出力・：３号に基づき判定され、異物検査が実
行される。

ウェハ１４の中心まで走査が進み、異物検査を終−ｒす
るき、モータ１１４が停車せしめられる。

また、回転円板１２が第１図に示す向きがら１８０°回
転した向きになるようにして、モータ１０６が停車せし
められる。ただし、排出用の搬送ベルトが別に存在する
場合は、その搬送ベルトに穴埋めＬＩ　Ｊドロ０の：Ｍ
＜分が対向するような角度で回転円板１２は停■１・せ
しめられる。

この状態で、ウェハ移送用のエアーが噴出せしめられ、
そのエアーによりウェハ１４は搬送ベルト１６（または
搬出用の搬送ベルト）上にｔＪＦ出され、その搬送ベル
トにより搬出される。

なお、５インチウェハを扱う場合、外側がら２番１１の
通孔５６に対応させて位置決めピン２０を植゛設したピ
ンプレート９０がシ？降板９２に取り付ｉｉられる。搬
入位置決め１１、冒こ、プンシャー２４は、その突１１
１部２４Ａの先端と回転板１２の中ＩＬ％との間隔が２
．５インチよりやや人きくなるような位置まで１）１１
進せしめられる。また、穴埋めロッド６０は、５インチ
ウェハに対応した溝６９が１−側に東るように回転させ
られ、最外周の吸気Ｌ１５０がふさがれる。したかって
、サイズ外周の吸気「１５０からエアー漏れが生じるこ
とはなく、それ以外の吸−（１，’＋　５０と、その拡
大部分である溝５２に、より、ウェハはほぼ全面にわた
ってＩ’ｌｌＩ′吸着され、反りを生じることがない。

４インチウェハを扱う場合、外側から３番［Ｉの通孔５
６に対応さゼて位置決めピン２０を植設したピンプレー
ト９０が昇降板９２に取り付けられる。搬入位置決め時
に、プッシャー２４は、その突出部２４Ａの先端と回転
板１２の中心との間隔が２インチよりやや大きくなるよ
うな位置まで前進せしめられる。また、穴埋めロッド６
０は、溝ｅｓ、８９のない而が１−側になるように回転
せしめられ、外側から１番［」と２番［１の吸気［１５
０がふさがれる。したがって、外側の２つの吸気１−１
５０からのエアー漏れは起こらず、それ以外の吸気ｌ二
１５０と、それに接続した溝５２により、ウェハはほぼ
全面的に吸着され、ウェハの反りも生じない。

このようにピンプレート９０の交換と穴埋めロッド６０
の回転操作を行うたけで、ソ４サイズのウェハを位置決
めして確実に負圧吸着することができ、そのサイズ変更
操作は容易である。

また、位置決めピン２０は位置決め時に回転円板に挿入
されるものであり、それ以外の期間には抜去されるから
、共通の噴気口５４からの噴出エアーにより、ウェハの
搬入と搬出の両方を行うことができる。また、回転円板
１２の向きを調節するだけで、ウェハの搬出力量を任意
に選ぶことができる。

なＰ：τ、異物検出系２００の対物レンズ２２０とウェ
ハ而との焦点合わせは、モータ８６により円筒°体７８
とともに回転円板１２を１−ドに移動させることにより
ｌ：われる。この時、同転円板ｉ２の回転中ＪＢ’ｌ＜
７０．と７固定されたモータ１０６の回転軸との１−上
方向の相文・１移動は、カンプリング１０４により吸収
される。もし、そのようなカップリング！０４を介在さ
せない場合、モータ１０６を含めで１−ド移動させなけ
ればならず、関連機構の複雑化、駆動力の増大などを伴
いやすい。この点で、この実施例の構造は優れている。

以！−１この発明の一実施例について説明したが、この
発明は適宜変形して実施できるものである。

例えば、吸気Ｌｌ　５０と溝５２の配置、形態、個数も
、適宜変型してよい。倒えば、吸気領域に多数の吸気１
丁１を分散配置して溝を省いたり、溝を多数放射状に設
け、中心部の吸気１１と接続したり、あるいは、螺旋状
の連続した溝を１本または複数４設けたりしてもよい。

穴埋めロンドロ０に相当ケる挿入部材を、エアー通路４
０の長さ方向に移動させることにより、吸気に１５０を
選択的に塞ぐようにしてもよい。あるいは、ウェハサイ
ズ毎に挿入部材を用意し、吸Ｆｉｔべきウェハのサイズ
に応じて挿入部材を交換することもｊｒｌ能である。

なお、各吸気［１に弁を設けるか、エアー通路を各吸気
Ｌ１毎に独立させ、そのエアー通路に弁を設け、その弁
を選択的に開閉して、前述のような吸気「１の選択遮断
を行うことも可能であろう。ただし、そのような構成は
装置の複雑化を招きやすく、特に前記実施例の回転円板
１２のように、而部材を高速回転させるような場合、そ
のような弁を用いる構成の実現は極めて困難である。こ
の点に関し、前記実施例の構成によれば、装置構造を簡
略化でき、回転面部材の場合でも実現容易である。

前記実施例において、サイズ対応のピンプレート９０の
交換により、位置決めピン２０の挿通位置の切り替えを
社っているが、ビンプレート９０に各サイズに対応した
位置決めピンを配設しておき、特定のサイズの位置決め
ピンだけを回転円板の通孔に挿通させるようにしてもよ
い。具体的には、各サイズの通孔５６に対応付けて各サ
イズ用のイー、：置決めピン２０をピンプレート９０に
配設し、前記最大サイズ用の位置決めピンを最も長（し
、中間サイズ用の位置決めピンをその次に長（し、最小
サイズ用の位置決めピンを最も短くしておき、ピンプレ
ート９０のｌ二昇高さをウエノ＼サイズに応じて変える
ようにすることができる。

あるいは、ピンプレート９０に位置決めピンを移動＋１
Ｊ能に取り付けておき、サイズに応じて位置決めピンを
移動させてから、４４？、させるようにしてもよい。位
置決めピンを該当する通孔５６の直ドに位置させるよう
に、ビンプレート９０を移動させてもよい。

位置決めピン２０および通孔５６の個数オヨヒ配列は、
前記実施例のものに限らない。ただし、ウェハにはオリ
フラ（オリエンテーションフラット）と呼ばれる切欠き
部分があるため、位置決めピンを３木以」−１円弧状に
配列すれば、ウニ／Ｘを任、αの向きで搬入して、位置
決めすることができるという利点かある。

プッシャー２４は、回転円板１２の１一方より７讐に応
じて降ドさせるようにしてもよい。また、プッシャー２
４の駆動機構も適宜変型してよい。

才た、ウェハが位置決め保持される而部材は前記回転円
板１２のような板状のものに限らず、また、それは静１
１−シていてもよい。

［発明の効果］この発明は以東に説明した通りであるから、ウェハをほ
ぼ全面的に吸着し、ウエノ１の反りを防＋１して確実に
保持できるため、ウエノ１の１点で異物検出系の焦点合
わせを行うだけで高精度の異物検出が可能となり、複雑
高価な随時焦点調整機構などを設ける７認がな（、装置
を簡略化でき、また随時焦点調整を行った場合よりも検
査時間を短縮できる、などの効果を達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるウェハ異物検査システムの概略
構成を示す概略正面図、第２図は回転円−の構成を示す
概略平面図、第３図は回転円板とその駆動機構などの構
成を小す一部断面概略＋Ｅ面図である。１０・・・ウェハ保持装置、１２・・・回転円板（面部
材）、１４・・・つ１ハ、１６・・・搬送ベルト、２０
・・・位置決めビン、２４・・・ブッンヤー、４０．４
２゜４４．４６．４６・・・エアー通路、５０・・・吸
気［１，５２・・・溝、５４・・・噴気１１．６０・・
・穴埋めロッド、６８．６９・・・溝、７０・・・回転
軸ｉ％、８０Ａ・・・エアーンール、８６，１０８．１
１４・・・モータ、９０・・・ピンプレート、９２・・
・昇降板、９８・・・シリンダ、１０４・・・カップリ
ング、１１２・・・スクリューシャフト。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ウェハを保持するウェハ保持装置と、このウェハ
保持装置に保持されたウェハの表面の異物を光学的に検
出する異物検出系とを備え、前記ウェハ保持装置は、平
坦なウェハ保持面を有し、このウェハ保持面には、その
上に載置されたウェハの下面をほぼ全面的に負圧吸着す
るための吸気領域が設けられていることを特徴とするウ
エハ異物検査システム。
（２）前記吸気領域には、複数の吸気口が分散させられ
て設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のウェハ異物検査システム。
（３）前記吸気領域には、前記吸気口に接続した溝が延
在せしめられていることを特徴とする特許請求の範囲第
２項記載のウェハ異物検査システム。
（４）前記溝は同心円状の溝であることを特徴とする特
許請求の範囲第３項記載のウェハ異物検査システム。