JPS6272139A

JPS6272139A - ウエハ吸着装置

Info

Publication number: JPS6272139A
Application number: JP21280585A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Taniuchi; 谷内　俊明
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-09-26
Filing date: 1985-09-26
Publication date: 1987-04-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、ウェハを面部材の一面にｆ″ｉｌｌ：１１
着するウェハ吸着装置に関する。

［従来の技術］例えば、ウェハ異物検査／ステムにおいては、ウェハを
面部材の＝・面にｎ＋＋吸着して異物検査を行うのが一
般的である。

そのような従来のウェハ吸着装置は、比較的大きな１つ
の吸気［１が面部材に設けられ、この吸気［−１により
吸気して、ウェハをその中央部分だけて吸着するような
構成となっている。

［解決しようとする問題点］このように、ウェハは中央部分たけで吸着されるため、
ウェハの反りを１吸収できなかったり、あるいは、ウェ
ハに反りか十したりするという問題があった。

この問題はウェハか人きくなるほと、顕著であった。

［発明の目的］この発明は、そのような問題点に鑑みなされたものであ
り、様々なサイズのウェハを、反りを防１１シて確実に
吸ｉｔできるウェハ吸？ｆ”Ａ置を提供するこ七を［ｉ
的とするものである。

［問題点を解決するための下段コそのような１１的を達成するために、この発明にあって
は、Ｎ数個の吸着用吸気［−１を、面部材の一部に分ｉ
攻して設ける。また、この発明にあっては、それらの吸
気口に連通ずるエアー通路を面部材の内部に形成し、そ
のエアー通路に挿入部材を挿入し、その挿入１部材によ
り吸気口とエアー通路との間を吸？？すべきウェハのサ
イズに応して選択的に遮断させる。

［（′１用コこのように、この発明によれば、分散したＩｌｌ気１１
によりウェハは広い範囲について吸（１されるため、ウ
ェハの反りを防１１できる。

ここで、あるサイズのウェハに合わせて吸気口を配設し
ただけでは、それより小サイズのウェハをセントとした
場合、　・部の吸気［−１がウェハの外側になり、そこ
からエアーが漏れてしまい吸着不ｉ”ｉＩ能になる。こ
れに対処するために、最小サイズのウェハに合わせて吸
着１−１を配設したのでは、大型ウェハの場合に、吸着
範囲が中心部分に限られてしまい、吸？ｒｌｌを分散し
た効果を部分得られない。

これに対し、この発明によれば、前述のように挿入部材
により各吸気Ｌ１と前記エアー通路との間を吸着すべき
ウェハのサイズに応じて選択的に遮断させることにより
、いずれのサイズのウェハについても、エアー漏れを防
Ｉｔ−，Ｌ　、ウェハを広い範囲について確実に吸着で
き、またウェハの反りを防止できる。

なお、各吸気口に弁を設けるか、エアー通路を３吸気ｌ
１１１１に独＼”ｆさせ、その工°ｒ−通路に弁を設け
、その弁を選択的に開閉して、前述のような吸気口の選
択遮断を１１うこともｌＩ■能であろう。しかし、その
ような構成は装置の複雑化を招きやすく、特に面部材を
１１Ｘ、速回転させるような場合、そのような弁を用い
る構成の実現は極めて困難である。

この点に関し、前記のようなこの発明の構成によ＋ｔば
、装置＋ｌ■造を簡略化でき、回転面部材の場合ても実
現容弓である。

［実施例コ以ド、この発明の・実施例について、図面を参ＩＲ（Ｊ
、説明する。

この実施例は、ウエハソ４物検合システムに用いられた
ウェハ吸着装置であり、その概略構成とソ４物検出系を
第３図に示す。また、ウェハ吸ｉ”を装置の−・部を除
いた計則構成を第１図および第２図に小す・第３図において、ウェハ吸着装置１０は、回転円板１２
の１而にウェハ１４を荀置夫めし、ｆ″Ｉ１１吸（°゛
ｔにて保１、ｉするものである。ウェハは搬送ベルト１
６により回転円板１２１．へ搬入され、また回転円板１
２から搬出される。回転円板１２に搬送ベルト１６によ
り搬入されたウェハは、後に詳述するように、回転円板
１２の１−而の噴気１１より斜め１・、へ噴出するエア
ーにより、矢線１８の］」向へ移送される。そして、位
置決めピン２ｏにより係１１〕位置決めされる。詳細は
後述するが、回転円板１２には、ウェハサイズ毎に、複
数の通孔が同心固状に形成されており、扱うウェハ１４
のサイズ（直径）に対応した通孔に、位置決めピン２ｏ
が挿通され、回転円板１２の１・、而より突出せしめら
れる。

この位置決めの際、位置決めピン２０の弾性によりウェ
ハ１４が矢線２２の方向へはじかれ、ウェハ１４が振動
し、停市するまでに時間がかがるという問題が起こりや
すい。そこで、位置決め時に、プッシャー２４が図示の
ような位置（後述のように、この位置も扱うウェハ１４
のサイズによって異なる）へ移動せしめられ、その突出
部２４Ａの先端で、ウェハ１４の矢線２２の方向への移
動を阻１１シ、ウェハ１４の振動を抑制してイ１“Ｉ置
決め時間の短縮を図っている。

プノ／ヤー２４は、支持部２８．２８に固定されたがイ
ド／セフ１−３０に摺動自在に支持されていおり、また
スクリュー／セット３２と螺合している。したかって、
モー９３４によりスクリューシャフト３２を１１回転さ
せると、プノンヤ−２４は矢線１８の方向へ移動（前、
Ｉｎ）シ、逆回転させるとブソンヤ−２４は矢線２２の
方向へ移動（後退）する。なお、ガイドシャフト３０お
よびスクリュー／セット３２は、図、ドのように傾けら
れているため、ブソンヤ−２４は前進するに従い１−５
？し、後退するに従い降下する。位置決め時以外の期間
には、プン７ヤー２４は、搬送ベルト１６より低い鎖線
２４Ｂの位置に退避せしめられる。

位置決めがなされると、回転円板１２の１・、而に形成
された吸気口（後述）より、ウェハ１４と回転円板１１
面との間のエアーが抜かれ、同時に噴気１１からのエア
ーの噴出か止められる。しかして、ウェハ１４は、負圧
吸？“ｔにより回転円板１２１−に保（、シされる。そ
の後、（１旨６°決めピン２０は引き抜かれ、またブノ
／ヤ−２４は後退せしめられる。

ＶＬ物検査を終わり、ウェハ１４を搬出する場合、回転
円板１２は第１図の位置から１８０°回転せしめられ、
噴気１１よりエアーが噴出せしめられ、また吸気口より
のエアー吸引が停止Ｉさせられる。

しかして、噴出エアーによりウェハ１４は矢線２２の方
向へ送られ、搬送ベルト１６１・にυ１出される。この
時、搬送ベルト１６は搬出用の方向へ回動せしめられて
おり、ウェハ１４は搬送ベルト１６により搬出される。

なお、搬出用の搬送ベルトを別に説けてもよく、その場
合、その搬送ベルトにウェハ１４を０１出できるような
角度に、回転円板１２を回転させ、同様な動作により搬
出できる。

このように、位置決めピン２０を回転円板１２の通孔よ
り抜去するから、同一の噴気１１からの１アーにより、
ウェハの搬入位置決めと搬出の両刃を行うことができる
。

次に、第１図を参１ｊ（ｊ　Ｌ　、回転円板１２につい
て１、Ｙ細に説明する。この図に示されるように、回転
円板１２の内部には、中心部より放射状に鉦びたエアー
通路４０，４２，４４，４６．４８が形成されている。

エアー通路４０は吸着用エアーを通すためのものであり
、吸気口５０により回転円板１２の１・、而に開１１せ
しめられている。それぞれの吸気口５０に連通して、同
心円状の満５２が形成されている。

ウェハが回転円板１・にセットされている場合、溝５２
の近傍のエアーが吸着［１５０へ導かれるため、吸気口
５０は実質的に回転円板１−而のほぼ全域に拡大された
き同様である。換ニー１°すれば、エアー吸引作用の観
点からは、溝５２は吸着１１５０の延長部分とみなし？
Ｊる。たたし、後述するように、最外周の１本の尚５２
は、５インチウェハの扱い時には使用されず、４インチ
ウェハの扱い１ｌＩＦには、外周側の２木のｉＭ　５２
は使用されない。

エアー通路４２．４４．４６．４８は、ウェハ移送用の
エアーを送るためのものである。エアー通路４４．４６
からは、エアー通路４４Ａ、４６Ａが分岐している。回
転円板１２の１面には、エアー通路４４Ａ、４４Ｂの間
に秋まれて凹部１２Ａが形成されている。この凹部１２
Ａは、他の部分よりわずかに低くなっており、前記ブソ
／ヤ−２４の突出部２４Ａは、イ１７置決め１１νに、
この凹１シ（り１２Ａに、ウェハサイズに応した；１１
だけ侵入させられるようになっている。エアー通路４２
，４４゜４４Ａ、４８．４６Ａ、４８の近傍には、それ
らと連通した噴気１１５４が形成されている。古噴気［
１５４は、ある角１１だけ傾けて形成されており、回転
円板１２が図示の角度にあるときに、矢線１８の方向に
ウェハを移送するためのエアーを、♀１め１ユ方に噴出
するものである。

また、回転円板５２には、図中左゛１′分側にイ１冒、
ｙ、を決めピンを挿通するための通孔５６か同心固状に
配列形成されている。また、回転円板１２の動的バラン
スをとるために、回転円板１２の右゛１′分側に、ダミ
ー通孔５８が同心固状に設けられている。。

＋ｌＦびエアー通路４０に関連して説明する。このエア
ー通路４０の外周側部分は径大部４０Ａとなっでいる。

この径大部４０Ａには、第２図に明瞭に小されるように
、穴埋めロッド６ｏが挿入され、回転円板１２のト面の
ＬＩＪ欠き６２より挿７ｔされた０リング６４により脱
出を阻１１され、また側力より回転円板１２に螺入され
た固定ねじ６６によって進退および回転できないように
固定される。穴埋め口、ドロ０の側面には、その先端が
ら最外周（Ｉ’ｔ：　ｉｃｅの吸気口５０に臨む位置ま
で延在する溝６８と、外側より２つＩＩの吸気口５ｏに
臨む位置まで延７１シたｉＭ　６９とが形成されている
。また、穴埋めロッド６０の先端は、外側から３洛１１
の吸気口５０より外側に占位するような長さとなってい
る。

６５はエアーシールである。

６インチのウェハを吸う場合、穴埋めロンドロ０は、溝
６８か１８側に来るように回し固定される。

つまり、第２図の状態きなり、外側の２つの吸気口５０
は、いずれもｌＩｖ＃６８を介してエアー通路４０と連
通ずる。５インチのウェハを扱う場合、穴埋めロッド６
０は、ｆ＋〜６９が−Ｌ側になるように回されて固定さ
れる。しかして、外側がら２っ１１の吸気口５０は１１
■６９を介してエアー通路４０と連通ずるが、最外周の
通気１１５０は穴埋め口、トロ０の側面でふさがれ、エ
アー通路４０から切り離される。４インチのウェハの取
り扱い時には、穴埋めロッド６０は、溝６８．８９のい
ずれも１．側にならないような角度で固定されるため、
外側の２つの吸気［１５０は、両刃上もエアー通路４０
から遮断される。

第２図を参照する。回転円板１２の中心部より、回転軸
部７０がド向きに延設されている。この回転軸部７０の
内部には、前記エアー通路４０と連通した縦方向のエア
ー通路７２と、前記エアー通路４２，４４．４８．４８
と連通した縦方向のエアー通路７４が形成されている。

各エアー通路７２．７４の先端部７２Ａ、７４Ａは、回
転軸部７８の側面に開［１している。

回転軸部７０は、その１−ド端において、ボールベアリ
ング７６を介して筒体７８に同転自在に支承されている
。筒体７８の内面には、エアー通路７２の先端部７２Ａ
に対応して１対のエアーシール８ＯＡか設けられている
。筒体７８の内面には、この１対のエアー７−ル８０Ａ
に挟まれた空間に臨む開１１（同車せす）が設けられて
おり、この開［１は同車しないパイプを介して外部の１
“〔空ポンプ系に接続される。また筒体７８の内面には
、１−側のエアー７−ル８０ＡとＩ−側のボールベアリ
ング７６との間の空間に臨む開１１（図示せず）が形成
されており、この１）旧１も同車しないパイプを介して
外部のコンプレッサ系と接続されている。なお、後者の
開］１を挟むように、エアーノールを設けてもよい。

筒体７８は、１・、ドにわすかな距離（例えば数ｍｍ）
だけ移動可能なように支ｔ、ジブロック８４に取り付け
られおり、モータ８６により図、１＜シない偏心カム機
構なとを介して１−トに駆動されるようになっている。

モー９８６は支持ブロック８４に固定されている。支持
ブロック８４は、スライドプロ。

り８８に固定されている。

９０は位置決めピン２０　Ｍ　６本植設されたピンプレ
ートであり（ピン配列は第１図参照）、４インチ、５イ
ンチ、６インチの各ウェハサイズ毎に用意されておいる
。このビンプレート９０は、９１１降板９２に植設され
たボルト９４と蝶ナツト９６によって、昇降＆９２に着
脱容易に締着される。

９／降板９２はシリンダ９８によって昇降せしめられる
が、この昇降を案内するために、支持ブロック８４に固
定されたベアリング１０２により摺動自在に支承された
ガイドシャフト１００が９７降板９２に固着されている
。このような構成において、シリンダ９８によりｈ１降
板９２をＩｌ’ｌさせることにより、それに取り付けら
れたビンプレート９０の位置決めピン２０を、対応する
通孔５６に一斉に挿入し、回転円板１２の１ユ而より突
出させることができる。位置決めピン２０を作用させな
い期間には、昇降板９２は第２図に示す高さまでド降せ
しめられ、位置決めピン２０の先端は回転円板１２のド
面よりさらに下方に占位する。

回転軸部７０の下端部は、カップリング１０４を介して
モータｌＯ６の回転軸と結合されている。

このモータ１０６はスライドブロック８８に固定されて
いる。カップリング１０４は、モータ１０６の回転軸と
回転軸部７０との相対的回転は１．７１さないが、輔力
向（ＩＪ）ｉ　１ｕｌｌ　）については、わずかな（た
とえば数ｍｍ稈度の）相対的移動を１．′ｌ容するもの
である。このようなカップリング１０４としては、入力
側の回転力を板ばね部材を介して出力側へ伝達するよう
なＩＱＪ式のものを用いることができる。このようなカ
ップリング１０４により結合するため、モータｌＯ６な
どを１．ドさせることなく、回転円板１２の高さ位置を
調整して、光学系（後述）の焦点合わせを１１−うこと
ができる。

スライドブロック８８は、その１）１１而および背面が
固定ベース１１０．！＝滑合せしめられ、固定ベース１
１０に対して矢線１８，２２の方向へスライドできるよ
うに支持されている。スライドプロ。

り８８は、固定ベース１１０側に回転自イＩに設けられ
たスクリュー／ナフト１１２と螺合しており、このスク
リュー７ヤフト１１２を回転することにより、矢線１８
．２２の方向に移動するようになっている。１１４はス
クリュー７ヤフト１１２を回転駆動するためのモータで
ある。

ここで、異物検出系の（１■成とＷ物検出ｊ皇理につい
て、第３図を参照し説明する。この異物検出系２００に
あっては、Ｓ偏光レーザ発振器２１Ｂから放射されるＳ
偏光レーザビームが、／リントリカルレンズ２１８によ
り１・、ト方向（Ｚ〕」向）に絞られてから、ウェハ１
４の１°、而に例えば２°の照射角度にて斜めにＩＫ１
射される。照射点に異物があると、５（ｆｉｔ光レーザ
ビームは異物の表面（微小の凹凸がある）により故乱し
、偏光面が乱れるため、Ｚ方向への反射レーザ光には、
Ｐ偏光成分が多：、１に含まれる。

反射レーザ光は対物レンズ２２０により集光され、視野
制限用のスリット２２２を経由し、Ｓ偏光カット用の偏
光板２２４へ入射せしめられる。

この偏光板２２４により、反射レーザ光のＰ偏光成分が
抽出されてホトマルチプライヤ２２６に入射し、電気信
りに変換される。この先電変換信−ノは図示しない比較
器によりある闇値と比較され、その閾値を基えた場合に
、Ｓ偏光レーザビームのｊ！（１射点に異物かある七判
定される。

Ｓ偏光レーザビームの照射点にパターンが存在する場合
、Ｚ方向への反射光：１１′がかなり多くなることがあ
る。しかし、パターンの表面は微視的には・１／・滑で
あるため、Ｚ方向への反射レーザ光に含まれるＰ偏光成
分はわずかである。したがって、パターンは５〜物と弁
別され、異物としては検出されない。

！！（１射点に５■物もバタ・−ンもない場合、照射レ
ーザビームはほぼ全ｊｌｔが１１：、反射されるため、
ホトマルチプライヤ２２６の出力信吋は］−９低レベル
である。したかって、その信吋のレベル比較により、異
物なしと判定される。

次に、ウェハ吸着装置１０によるウェハの位置決め吸ｉ
？動作、ウェハの搬入搬出を、異物検査動作と関連させ
て説明する。

ます、ウェハの搬入が行われる。このｌ＋、￥、同転円
板１２がウェハ搬入位置に来るように、モータ１１４に
よりスライドブロック８８が移動せしめられる。回転円
板１２は、第１図の角度までモータ１０６により回転せ
しめられる。また、プノ／ヤー２４は、第３図の鎖線２
４Ｂのイ）’ｌ’、　ｉｉｊまで後退せしめられる。そ
の後、シリンダ９８によりピンプレート９０が押し１・
、げられ、荀置決めピン２０は通孔５６を種通し回転円
板１２より突出せしめられる。なお、ここでは、６イン
チウェハを扱うものとすれば、ピンプレート９０として
、第１図および第２図に示すようなピン配置のものがｈ
’降板９２に取り付けられる。位置決めピン２０は、第
１図に示すように、最外周の通孔５６に挿通されること
になる。

この状態で、搬送ベルト１６によりウェハが回転円板１
２　Ｉｔに搬入される。なお、ウェハの先端が同転円板
Ｉ２の端を越えた時点で、ウェハ移送用のエアーが噴気
１１５４より噴出せしめられている。搬入されたウェハ
１４は噴出エアーにより矢線１８の方向へ移送されるが
、これとほぼ同時に、プッシャー２４が第３図の実線に
４＜すような位置まで前進せしめられる。ここでは６イ
ンチウェハを想定しているから、ブツシャ−２４の突出
部２４Ａの先端か、最外周のダミー通孔５８よりやや外
側に占イ）“ｌするように、プ、／ヤー２４の前進旬間
か制御される。つまり、突出部２４Ａの先端と、回転円
板１２の中心からの距４１は、３インチ（ウェハ゛１′
径）よりわずかに大きくなる。

エアーで移送されたウェハ１４は旬間決めピン２０に？
３ｉ突し、位置決めピン２０の弾性により矢線２２の方
向にはね返される。ブツシャ−２４かないと、ウェハ１
４はかなりの距離後退した後、＋ｌＩｒびエアーにより
位置決めピン２０側へ運ばれ、１１トびはね返される。

このようにして、ウェハ１４は、矢線１８，２２の方向
に振動し、位置決め完ｒまでの時間が長（なってしまう
。

これに対し、このウェハ吸着装置ＩＯでは、ブＩンヤ−
２４か１設けられており、その゛突出部２４Ａの先端で
ウェハ１４の後退か阻１１．されるため、ウェハ１４の
振動が大幅に抑制される。したがって、ウェハ１４は比
較的短時間に位置決めピン２０に係ＩＩ・され位置決め
される。これて、ウェハ１４の中心と回転円板１２の中
心とか−・致する。

このようにしてイ１“ｌ置決めが柊ｒすると、吸気口５
０（ここでは６インチウェハであるから、すへての吸気
口５０）による吸気が開始せしめられ、溝５２を介して
ウェハ１４のド面のほぼ全域と回転円板との間のエアー
が０１出され、ウェハ１４のド面にほぼ全面的に負圧吸
？を力が作用し、ウェハ１４は、反りを起こすことなく
、回転円板１２に確実に吸着保持される。また、吸着動
作の開始とほぼ同時に、ウェハ移送用エアーの噴出は停
市せしめられる。

そして、プノ／ヤー２４が後退せしめられ、また位置決
めピン２０が通孔５６より抜去せしめられる。

次に、異物検出系２００におけるＳ偏光レーザビームが
ウェハ１４の外周近傍に！Ｖ１射されるように、モー９
１１４によりスライドブロック８８が矢線１８の方向へ
移動せしめられる。その後、モータ１０６が起動され、
回転円板１２が高速回転せしめられ、同時に、モータ１
１４により、スライドブロック８８は矢線２２の方向に
一定速瓜で移動せしめられる。かくして、ウェハ１４の
１〕而は、外周側より中心へ向かい、Ｓ偏光レーザビー
フ・により螺旋状に走査される。

そして、各走合点の異物の自ｊ！！（が、ホトマルチプ
ライヤ２２６の出力４＋：”Ｊ“に基づき判定され、異
物＋ｌｉ！沓が実’４＋される。

ウェハ１４の中心まで走りが進み、異物検査をイ冬ｒす
ると、モータ１１４が停止１・せしめられる。

また、回転円板１２か第１図に、１りず向きから１８０
°同転した向きになるようにして、モータｌＯ６か停止
１・せしめられる。ただし、υ１出用の搬送ベルトか別
に存在する場合は、その搬送ベルトに穴埋めロッド６０
の部分が対向するような角度で回転円板１２は停止１せ
しめられる。

この状咀て、ウェハ移送用のエアーが噴出せしめられ、
そのエアーによりウェハ１４は搬送ベルト１６（または
搬出用の搬送ベルト）１．に（）１出され、その搬送ベ
ルトにより搬出される。

なお、５インチウェハを扱う場合、外側から２番１１の
通孔５６に対応させて位置決めピン２０を植設したピン
プレート９０がｈ’降板９２に取り付けられる。搬入位
置決め時に、ブノ／ヤ−２４は、その突出部２４Ａの先
端と回転板１２の中心との間隔が２．５インチよりやや
人き（なるようなｆ台間まで前進せしめられる。また、
穴埋め口’ｙドロ０は、５インチウェハに対応した溝６
９が１・側に来るように回転させられ、最外周の吸気口
５０かふさがれる。したがって、サイズ外周の吸気口５
０からエアー漏れが牛しることはなく、それ以外の吸気
口５０と、その拡大部分である溝５２により、ウェハは
ほぼ全面にわたって負月吸着され、反りを生じることが
ない。

４インチウェハを扱う場合、外側から３番！１の通孔５
６に対応させて位置決めピン２０を植設したピンプレー
ト９０が屍降板９２に取り付けられる。搬入位置決め時
に、プッシャー２４は、その突出部２４Ａの先端と回転
板１２の中心との間隔が２インチよりやや大きくなるよ
うな位置まで前進せしめられる。また、穴埋めロッド６
０は、ｌ＋％６８．６９のない而が１・、側になるよう
に回転甘しめられ、外側から１番ＩＩと２番１１の吸気
口５０かふさがれる。したがって、外側の２つの吸気口
５０からのエアー−れは起こらす、それ以外の吸気口５
０と、それに接続した溝５２により、ウェハはほぼ全曲
的に吸着され、ウェハの反りも１１しない。

い。

このようにビンプレート９０の交換と穴埋めロアドロ０
の回転操作を１１うたけて、５“ｄサイズのウェハを位
置決めして確実にｆｉｌｌ吸１１することができ、その
サイズ変更操作は容易である。

また、位置決めピン２０は位置決め時に回転円板に挿入
されるものであり、それ以外の期間には抜去されるから
、共通の噴気１１５４からの噴出エアーにより、ウェハ
の搬入と搬出の両方を行うことができる。また、回転円
板１２の向きを調節するたけて、ウェハの搬出方向を任
こ（に選ぶことができる。

なお、異物検出系２００の対物レンズ２２０とウェハ而
との焦点合わせは、モータ８６により円ｉ＋？１体７８
とともに回転円に１２を１−ドに移動させることにより
１１われる。この時、回転円＆１２の回転軸部７０と、
固定されたモータｌＯ６の回転軸との１・、ド方向の相
対移動は、カップリング１０４により吸収される。もし
、そのようなカップリング１０４を介ンｌさせない場合
、モータｌＯ６を含めて１−上移動させなければならす
、関連機構の？Ｓ！雑化、駆動力の増大などを伴いやす
い。この点で、この実施例の構造は優れている。

以１−１この発明の一実施例について説明したが、この
発明は適宜変形して実施できるものである。

例えば、吸気口５０と１１■５２の配置、形態、個数も
、適宜変更してよい。

穴埋めロンドロ０に相当する挿入部材を、エアー通路４
０の長さ方向に移動させることにより、吸気「１５０を
選択的に塞ぐようにしてもよい。あるいは、ウェハサイ
ズ毎に挿入部材を用伍し、吸Ｉｔｔべきウェハのサイズ
に応じて挿入部材を交換することもｌ１能である。

前記実施例において、サイズ対応のビンプレート９０の
交換により、位置決めビン２０の挿通ｂ’ｒ置の切り替
えを？１゛っているが、ビンプレート９０に各サイズに
対応した位置決めビンを配設しておき、特定のサイズの
位置決めビンだけを回転円板の通孔に挿通させるように
してもよい。４体的には、各サイズの通孔５６に対応付
けて各サイズ用の位置決めビン２０をビンプレート９０
に配設し、前記最大サイズ用の位置決めピンを最も長く
し、中間サイズ用の位置決めピンをその次に長くし、最
小サイズ用の位置決めピンを最も短くしておき、ビンプ
レート９０の］−昇品さをウェハサイズに応して変える
ようにすることができる。

あるいは、ビンプレート９０に位置決めピ／を移動ＩＩ
ｆ能に取り付けておき、サイズ゛に応じて位置決めビン
を移動させてからＮ　　ｌ−！ｎ’させるようにしても
よい。位置決めピンを該当する通孔５６の直ドに位置さ
せるように、ビンプレート９０を移動させてもよい。

位置決めピン２０および通孔５６の個数および配列は、
前記実施例のものに限らない。たたし、ウェハにはオリ
フラ（オリエッチ−／、ｌンフラ。

ト）と呼ばれるＱノ欠き部分があるため、（１°ｌ置決
めビンを３水辺１−１円弧状に配列すれば、ウェハを任
意の向きで搬入して、位置決めすることができるという
利点がある。

プッシャー２４は、同転円＆１２のＩ・方より２四に応
じて降ドさせるようにしてもよい。また、プッシャ−２
４の駆動機構も適宜変更してよい。

また、ウェハが位置決め保持される面部材は前記回転円
板１２のような板状のものに限らす、また、それは静市
していてもよい。

さらに付１′Ｆすれば、この発明は、前述のような冗物
検杏ンステム以外の用途に用いられる同様なウェハ吸着
装置にも、適用しくりるものである。

［発明の効果コこの発明は以上に説明した通りであるから、異サイズの
ウェハについて、分散した吸気口により広い範囲につい
て吸着し、反りを防屯して確実に保持できるとともに、
面部材を回転させるような場合でも、吸気［−１の選択
遮断に関連したす１■造などの複雑化を招くことなく装
置を実現できる、なとの効果を達成できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるウェハ吸着装置の回転円板の詳
細構成を示す・部断面１１而図、第２図は同ウェハ吸着
装置の・部の詳細構成と関連した機構を小す　部断面Ｉ
Ｌ面図、第３図は同ウェハ吸着装置と異物検出系を示す
概略市面図である。１０・・・ウェハ吸着装置、１２・・・回転円板（面部
材）、１４・・・ウェハ、１６・・・搬送ベルト、２０
・・・位置決めビン、２４・・・プソ／ヤー、４０．４
２゜４４．４６．４８・・・エアー通路、５０・・・吸
気［１，５２・・・ＩＬ５４・・・噴気１１．６０・・
・穴埋めロッド、６８．６９・・・溝、７０・・・同転
軸部、８０Ａ・・・エアーノール、８６，１０６．１１
４・・・モータ、９０・・・ピンプレート、９２・・・
シ１１降板、９８・・・シリンダ、１０４・・・カップ
リング、１１２・・・スクリューシャフト。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ウェハを面部材の一面に負圧にて吸着するウェハ
吸着装置であって、前記面部材の一面には複数個の吸着
用の吸気口が分散して設けられ、それら吸気口に連通す
るエアー通路が前記面部材の内部に形成され、そのエア
ー通路に挿入部材が挿入され、その挿入部材により前記
各吸気口と前記エアー通路との間が吸着すべきウェハの
サイズに応じて選択的に遮断されることを特徴とするウ
ェハ吸着装置。
（２）前記挿入部材は前記エアー通路と嵌合する円形断
面部材であり、その側面には長手方向に延びた長さの異
なる溝が複数本形成されており、それぞれの溝は前記面
部材の一面側に向けられると、特定の前記吸気口と前記
エアー通路との連絡通路として作用するものであり、前
記挿入部材の回転角度の調節により、前記エアー通路か
ら遮断される前記吸気口の選択がなされることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のウェハ吸着装置。
（３）前記各吸気口は、前記面部材の一面においてほぼ
円形の溝に拡大せしめられてることを特徴とする特許請
求の範囲第１項または第２項に記載のウェハ吸着装置。