JPS6266933A - 積層ポリイミドフイルム - Google Patents

積層ポリイミドフイルム

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JPS6266933A
JPS6266933A JP20679485A JP20679485A JPS6266933A JP S6266933 A JPS6266933 A JP S6266933A JP 20679485 A JP20679485 A JP 20679485A JP 20679485 A JP20679485 A JP 20679485A JP S6266933 A JPS6266933 A JP S6266933A
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JP
Japan
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film
anhydride
polyimide
solution
general formula
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JP20679485A
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English (en)
Inventor
太田 隆之
山室 時生
直樹 高宮
門倉 孝雄
坂口 文敏
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Mitsubishi Kasei Corp
Original Assignee
Mitsubishi Kasei Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/032Organic insulating material consisting of one material
    • H05K1/0346Organic insulating material consisting of one material containing N
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/0353Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement
    • H05K1/036Multilayers with layers of different types

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  • Laminated Bodies (AREA)
  • Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は表面粗度が小さくて滑り性の良好な積層ポリイ
ミドフィルムに関する。ポリイミドはその優れた耐熱性
、機械的・電気的性質及び耐薬品性のために古くから宇
宙機器や重電機器に、又最近ではLSIの絶縁膜やフレ
キシブルプリント基板などのエレクトロニクスの分野に
於いて使用されている。
〔従来の技術〕
従来公知のポリイミドフィルムの製造法は一般に、ポリ
イミドの有機溶媒fg液あるいはポリイミド前駆体であ
るポリアミド酸の有機溶媒溶液を加熱ドラム(ベルト)
上に流延し、熱風で溶媒を乾燥除去した後、加熱ドラム
(ベルト)からフィルムを剥離して熱処理を飾すSと1
−1リポリイミドフイルムとする。しかしこのようKし
て得られるポリイミドフィルムは表面が極めて平滑であ
るため、滑り性に著しく劣り、巻1; 取り、倦出しfフィルム製造上及びその後の加工上大き
な問題があった。
滑り性を改良する方法としては加熱ドラム(ベルト)の
表面を粗らすとか無機粒子を添加する方法が考えられる
が、これらの方法では滑り性は改良されるが、表面が著
しく粗れたりして均一な凹凸をつけることが困難であり
、商品価値の著しく劣ったフィルムしか得られなかった
。即ち従来技術では表面が平滑で且つ滑り性の良好なフ
ィルムを得ることは困難であった。
〔発明の目的〕
本発明者らは上記諸問題を解決するため鋭意研究した結
果、%定の構造のポリアミドイミドとの積層フィルムに
することにより、フィルムの両面共に極めて平滑である
にもかかわらず、滑り性の良好なfJt層ポリイミドフ
ィルムが得られることを見出し本発明を完成するに至っ
た。
すなわち本発明の要旨は、一般式(1)(式中、R’V
i%価の有機基であり、RZ Jdコ価の有機基を表わ
す) で示される繰返し単位を有するポリイミド基体フィルム
の少なくとも片面に一般式(II)(式中 Haおよび
R4は7価の置換基を表わす)で示される繰返し単位を
有するポリアミドイミド樹脂層を設けてなる積層フィル
ムに存する。
〔発明の構成〕
本発明を更に詳細に説明する。
前足一般式(1)で示されるポリイミド基体フィルムの
繰返し単位中のR1の例とし、ては下記の構造式の芳香
族化合物残基を挙げることが出来る。
また、前足一般式(1)で示されるポリイミド基体フィ
ルムの繰返し単位中のR2の例としては下記の構造式の
芳香族化合物残基を挙げることが出来る。
前足一般式(II)で示されるポリアミドイミド樹脂の
繰返し単位中のR1、R4の例としてはメチル基、エチ
ル基、プロピル基等のアルキル基、メトキシ基、エトキ
シ基等のアルコキシ基、ニトロ基、フェニル基等のアリ
ール基、及び塩素、フッ素等のハロゲン原子等、7価の
置換基が挙げられる。尚、一般式(It)の中のビフェ
ニル基の量に対して20モルチ以下ならビフェニル基を
上記H1で置きかえることも出来る。
本発明に於いて使用されるポリイミド基体7イルムは、
揮発分の含有量が90重量条以下のポリイミド前駆体で
あるポリアミドmtたはポリアミド酸−ポリイミドフィ
ルムであり、加熱等の処理により紛終的に一般式(1)
で示さ台る繰返し単位を有するポリイミドフィルムとな
るものである。さらに予め熱処理した実質的に揮発分及
びポリアミド酸を含有しないポリイミドフィルムをポリ
イミド基体フィルムとして用いることも出来る。揮発分
含量が%7777重量越えると本発明の目的の一つであ
る表面性、特に表面平滑性に優れた81℃層ポリイミド
フィルムを得るのが難しくなる。
更にポリイミド基体フィルムのポリイミドは97チ濃硫
酸中0.5fldlの濃度且つ30℃の温度で測定した
対数粘度(ηinh )がo、sdl/?以上であるこ
とが機械的強度等の物性上好ましい。特に好ましくは/
、Odt/を以上の範凹のものが選ばれる。
前記ポリイミド基体フィルムは例えばジアミン化合物と
テトラカルボン酸二無水物との公知の反応によって得ら
れたポリアミド酸の有機溶媒溶液を加熱ドラム(ペル゛
ト)上に流延し、熱風で溶媒を乾燥除去した後、加熱ド
ラム(ベルト)からフィルムを珀1離することにより製
造される。必要に応じ流延時脱水剤及び触媒を用いるこ
ともできる。i fr−、フィルムを剥離後引き絖きピ
ンテンター等で両側を肥持しつつ熱処理して実質的に揮
発分及びポリアミド酸を含まないポリイミドフィルムと
して供することもできる。
更に詳細に説明すると、例えはり、y′−ジアミノジフ
ェニルエーテル、%、%’−ジアミノジフェニルメタン
1.2.2−ビス(u −(D−アミノフェノキシ)フ
ェニル〕プロパン、 a、4t’−ビス(9t−7ミノ
フエノキシ)ベンゼン等のジアミン化合物と、ピロメリ
ット酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、オキシ−ジ−7タール酸二無水物等のテトラカル
ボン酸二無水物とを実質的に等モルで仕込み、N、N 
−ジメチルホルムアミド、N、N−ジメチルアセトアミ
ド、N−メチルーコーピロリドン、フェノール、p−ク
ロロフェノール等の有機溶媒中で比較的低湿、例えば5
0℃以下で反応させ、ポリイミド前駆体であるポリアミ
ド酸溶液を得る。
この溶液を前述の如く加熱ドラム(ベルト)上に流延し
、750℃前後のm度の熱風で溶媒を乾燥除去する。こ
の段階ではフィルムは70〜StO″!lc景チの溶媒
等の揮発分を含有していることが好ましい。何故ならば
この後加熱ドラム(ベルト)から剥離するが揮発分がq
Otfgチを越えると剥離性が悪くなり、無理をして剥
離すると表面性が著しく悪くなり最終フィルムの表面性
に悪い影響を与えるからである。一方、揮発分含量が7
0重−9%より少なくなっても剥離性が悪くなり、従っ
て表面性を18ない、本発明のポリイミド基体フィルム
として使用するのは好ましくない。/θ〜ダO重量−の
揮発分含量の段階で剥離した後、更に熱処理して揮発分
を減量ないしは揮発分を実質的に含有しないポリイミド
基体フィルムとして供することが好ましい。揮発分含量
70〜4to重i%の段階のフィルムは少量のポリイミ
ドを含むポリアミド酸であり、乾燥条件によって異なる
がポリイミド含量は通常70重量%以下である。ポリイ
ミド基体フィルムの厚さは、通常5μ7F! % 20
04℃程度のものが好ましい。
ま九必要に応じ流延時にカルボン酸−無水物のような脱
水剤及び塩基のような脱水反応を促進する触媒を用いる
ことも出来る。
カルボン酸−無水物としては脂肪族カルボン酸−無水物
、芳香族カルボン酸−無水物、脂環式カルボン酸−無水
物、複素環式カルボン酸−無水物のいずれも使用出来る
が、その具体例としては酢酸無水物、プロピオン酸無水
物、酪酸無水物、イソ酪酸無水物、吉草酸無水物、ギ酸
無水物、マロン酸無水物、コハク酸無水物、マレイン酸
無水物、フタル酸無水物、安息香酸無水物、0、mおよ
びp−)ルイル酸無水物、mおよびp−エチル安息香酸
無水物、p −n−プロピル安息香酸無水物、p−イソ
プロピル安息香酸無水物、アニル駿無水物、0、mおよ
びp−二トロ安息香酸無水物、0%mおよびp−クロロ
安息香酸無水物、各種のジブロモおよびジクロロ安息香
酸無水物、トリブロモおよびトリクロロ安息香酸無水物
、ヘメリチツク酸無水物、3.4t−キシリル醒無水物
、イソキシリル酸無水物、メシチレニツク酸無水物、ペ
ラトルム酸無水物、トリメトキシ安息香酸無水物、αお
よびβ−ナフトエ酸無水物、p−フェニル安息香酸無水
物、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水7タ
ル酸、メチルへキサヒドロ無水フタル酸、無水メチルナ
ジック酸、ナジック酸無水物、無水クロレンド酸、無水
ニコチン酸、無水イソニコチン酸、無水ピコリン酸、無
水キノ無水物の使用量はポリアミド酸のアミド結合に対
して一モル以上、好ましくは1モル以上の範囲から選ば
れる。
塩基としてはイミダゾール類及び芳香族含窒素化合物が
好ましい。
イミダゾール類としてはイミダゾール、コーフェニルイ
ミダゾール、N−メチルイミダゾール、ベンズイミダゾ
ール、/−シアンエチル−2−メチルイミダゾール、/
−ベンジル−2−メチルイミダゾールなどが盛げられる
芳香族含窒素化合物の例としてはピリジン、キノリン、
イソキノリン、α−ピコリン、β−ピコリン、γ−ピコ
リン、3.j−ルチジン、3.9t−ルチジン、λ、j
−ルチジン、コ賢−ルチジン、ユ、ダ9g−コリジン、
/、、2.弘−トリアジン、ピリミジン、ピラジン、/
、3.s−)リアジン、ピリダジン、ダージメチルアミ
ノピリジン、ダーモルホリノビリジン、ダーピロリジノ
ビリジン、弘−ピペラジノピリジンなどが挙げられる。
しかし、必ずしもこれらに限定されるものではなく、ま
た混合して使用することも可能である。
これらの塩基の使用量はポリアミド酸のアミド結合モル
に対して01001モル以上、好ましくは0,0/〜♂
モルの範囲から選ばれる。
本発明のポリアミドイミド樹脂層は前足一般式(1)で
示される繰り返し単位を有するポリイミド基体フィルム
上に前記一般式〔■〕で示される繰り返し単位を有する
ポリアミドイミド溶液を被覆した後、加熱・乾燥させて
形成される。
ポリアミドイミド樹脂層の厚さは通常/〜jθμm程度
が好ましいが、7〜704mでも十分である。ポリアミ
ドイミド溶液の粘度は通常、30”Qにおいて数ボイズ
−数百ボイズであることが望ましい。
ここで用いられる前足一般式(II)で示される繰り返
し単位を有するポリアミドイミド浴液終lIは次のよう
にして得ることが出来る。例えば3.3′−ジメチルジ
フェニルータキ′−ジイソ7アネートとトリメリット酸
無水物とをN、N−ジメチルアセトアミドのような有機
溶媒中に笑質的に吟モルになるように仕込み、700〜
200℃位の温度で反応させてポリアミドイミド溶液を
得る。
前記ポリイミド基体フィルムに、ポリアミドイミド溶液
を被覆する方法としては原崎勇次著、槙書店、/り7り
年発行、「コーティング方式」に示されるリバースロー
ルコータ、グラビアコータ、ロッドコータ、エアドクタ
コータ、あるいはこれ以外の塗布装置を用いることが出
来る。
〔実施例〕 以下、実施例によって本発明の詳細な説明するが、本発
明はその要旨を越えない限り、下記の実施例によって限
定されるものではない。
動R1擦係数 AsrM−D−/どダダ に基き測定したフィルムとフ
ィルム間の動!i擦係数でフィルムの滑り性を表わし、
動1!!擦係数が小さい程、滑p性が優れていることを
示す。
表面粗度(Ra) ランクテーラーホプソン社製ゝタリステップ“を用い、
0./ X 、2.54m角錐型の触針(スタイラス)
、スタイラス圧3■で測定した。
参考例/ !θtの重合釜に係、り′−ジアミノジフェニルエーテ
ル(以下ODAと略記する)θ、9ダ醇、0−トリジン
(以下OTDと略記する)0.997故及びN、N−ジ
メチルホルムアミド(以下DMFと略記する)29.3
に9を仕込み、/時間撹拌コ、ot岬を少食ずつ添加し
た後、反応温度を2θ℃に保ちつつ、忙拌下に10時間
重合し、粘稠なポリイミド前駆体(ポリアミド酸)溶液
を得た。この溶液の一部をとり、DMFで希釈して0.
!P/dt溶液を調整して対数活用を(ηinh )測
定したところi、sdl/?であった。
この溶液はポリイミド前駆体濃度が72.0%であった
前述のよう圧して得られたポリイミド前躯体f8液j、
、1!弘醇、無水酢酸/、λ/故及びジメチルホルムア
ミド(DMF)%、θ却を2θを攪拌槽に入れ、更に別
の201攪拌槽にポリイミド前駆体溶液40.2jkg
、インキノリン0..27 A9及びDMFj、り7醇
を入れ、各々減圧下に良く混合し均一溶液とした。
次に各々の混合液を定量ポンプを用いてスタチックミキ
サーに同量を供給し、両液を連続的に混合した後、リッ
プ間隙/、Otan、リップ巾4tootraのTダイ
よシ、回転している無端金属ベルトの平滑面上に押し出
した。次いで、約/4tθ℃の熱風を供給して/?チの
揮発分を含有する生乾きのフィルムを形成した。この段
階での赤外線吸収スペクトルからは32rOan−’の
アミド酸吸収(NH)は殆んどなく、/7rOcm−”
及び730cm−’  に強いイミドの吸収が腎められ
九。最後に高温乾燥炉内で横型ピンテンターで把持して
フィルムの伸縮に対応してピンテンターを拡縮しながら
移動し、約250−4100℃の熱風でI)MFを実質
的に除去した。このようにして、約50μのポリイミド
フィルムを連続的に製造した。該フィルムはロ、−ル状
に巻き上げても巻き姿は良好でツブ状の表面欠陥やシワ
は殆んどみられなかった。
参考例2 参考例/に於いて、ジアミンとしてOTDを併用せずO
DAを単独で用いた他は参考例/と全く同様圧してポリ
イミドフィルムを製造した。
ポリアミド酸のηinhはコ、2dll?であった。
参考例3 BTDA 70.jf (0,2!モk及びO1/?の
ソジウムメチラートをDMFに溶解し、この溶液に9.
り′−メチレンビス(フェニルイソシアネート)/コ、
j f (0,06モル)及びトルエンジイソシアネー
ト3%、/ y (0,20モル)を加え、得られた混
合物を700℃で反応混合物の一採取部分の赤外吸収ス
ペクトルがインシアネートの特性吸収帯を全く示さなく
なるまで反応させ730 C1n”及び/7rOcm−
’  に強いイミドの吸収を示すポリイミド溶液を得た
。このポリイミドηinhは0.7dll?であった。
このポリイミド溶液をそのitベルト上に流延し/ダO
℃の熱風で乾燥し揮発分20重量%の生乾きフィルムを
形成し、ベルトから剥離した。更に実施例/と同様にし
て乾燥フィルムを製造した。
実施例/〜弘および比較例/〜ダ N、N−ジメチルアセトアミド(以下DMAcと略記す
る)3θotトリメリツト酸無水物/9.コタ(0,7
モル)及びo、o jtのソジウムメチラートを溶解し
念後これに別途調整したJ、!’−ジメチルジフェニル
ーq1%′−ジイソシアネート26.ダy (o、1モ
ル)とDMAc  /109の溶液を加え750℃で一
時間、200℃で2時間反応した。反応混合物の赤外吸
叙スペクトルからはイソシアネートの特性吸収は全く紹
められず/710Cm  及び730cm  に強いイ
ミドの吸収及び7700G−1にアミドに基づく強い吸
収が認められた。この時点のポリアミドイミドのηin
h ld O,A ! dl / Pであり、30℃に
おける溶液粘度(ポリマー濃度/Q%)は!ボイズであ
った。
参考例/〜3で得られ念押発分を実質的に含まない乾燥
ポリイミドフィルム及びベルトから剥離して得た揮発分
含量/?重勺・チの生乾きフィルムをポリイミド基体フ
ィルムとして用い、下記のようにして積層ポリイミドフ
ィルムを得た。即ち、ベルトと接していたフィルム面に
上記ポリアミドイミド溶液を塗布し、200〜’、to
o℃の温度の加熱炉内を滞留時間約2分で通過させるこ
とにより、乾燥して約jμmgのポリアミドイミド樹脂
層を設けた$AM4フィルムを得た(実施例/〜メ)。
また、上記ポリアミドイミド溶液を塗布しなかったもの
を比較例/〜9とした。表面粗度及び動摩擦係数を測定
し、結果を表/に示した。
比較例! 参考例/で得た乾燥基体フィルム上に参考例/のポリイ
ミド前駆体溶液をDMAcで3重量%に希釈した後、実
施例/と同様の条件で塗布、乾燥イミド化して積層フィ
ルムを作り評価した。
樹脂湘及び基体フィルムの表面粗度は各々tX及び9X
であったが全く滑らなかった。
〔発明の効果〕
本発明の積層フィルムは、耐熱性、機械的・電気的性質
及び耐薬品性に優れ、加えて表゛面が平滑で且つ滑り性
が良好なので宇宙機器や重電機器及びL’Srの絶縁膜
やフレキシブルプリント基板などのエレクトロニクスの
分野において有用である。
出 願 人  三菱化成工業株式会社 代 理 人  弁理士 長谷用   −ほか7名

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)一般式〔 I 〕 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・・・・・
    ・・・〔 I 〕 (式中、R^1は4価の有機基であり、R^2は2価の
    有機基を表わす) で示される繰返し単位を有するポリイミド基体フィルム
    の少なくとも片面に 一般式〔II〕 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・・〔II〕 (式中、R^3およびR^4は1価の置換基を表わす) で示される繰返し単位を有するポリアミドイミド樹脂層
    を設けてなることを特徴とする積層ポリイミドフィルム
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0260934A (ja) * 1988-06-28 1990-03-01 Amoco Corp 中間層絶縁体および基板被膜用の低誘電率、低水分吸収ポリイミドおよびコポリイミド
CN103534092A (zh) * 2011-05-12 2014-01-22 艾伦塔斯Pdg股份有限公司 复合绝缘膜
CN105050811A (zh) * 2012-11-15 2015-11-11 艾伦塔斯Pdg股份有限公司 复合绝缘膜
US10253211B2 (en) 2011-05-12 2019-04-09 Elantas Pdg, Inc. Composite insulating film

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0260934A (ja) * 1988-06-28 1990-03-01 Amoco Corp 中間層絶縁体および基板被膜用の低誘電率、低水分吸収ポリイミドおよびコポリイミド
CN103534092A (zh) * 2011-05-12 2014-01-22 艾伦塔斯Pdg股份有限公司 复合绝缘膜
CN107813570A (zh) * 2011-05-12 2018-03-20 艾伦塔斯Pdg股份有限公司 复合绝缘膜
US10253211B2 (en) 2011-05-12 2019-04-09 Elantas Pdg, Inc. Composite insulating film
US10406791B2 (en) 2011-05-12 2019-09-10 Elantas Pdg, Inc. Composite insulating film
CN105050811A (zh) * 2012-11-15 2015-11-11 艾伦塔斯Pdg股份有限公司 复合绝缘膜
CN110014715A (zh) * 2012-11-15 2019-07-16 艾伦塔斯Pdg股份有限公司 复合绝缘膜

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