JPS6263109U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6263109U JPS6263109U JP15585485U JP15585485U JPS6263109U JP S6263109 U JPS6263109 U JP S6263109U JP 15585485 U JP15585485 U JP 15585485U JP 15585485 U JP15585485 U JP 15585485U JP S6263109 U JPS6263109 U JP S6263109U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sleeve
- wafer
- push
- chips
- breaking device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図〜第４図はこの考案の一実施例を示すウ
エハブレーク装置のブレーク工程図、第５図は従
来のウエハチツプボンデイング装置、第６図〜第
９図は従来方式のウエハブレーク装置のブレーク
工程図、第１０図は従来のブレーク方式により発
生したチツプの欠けを示す図、第１１図は従来の
装置によるウエハチツプの突上げ時の他のチツプ
の引込みを示す断面図である。 １……セミフルカツトされたウエハ、１ａ……
ブレークされたウエハチツプ、１ｂ……突上げ時
に引込まれているチツプ、１ｄ……カツト溝、１
ｙ……ウエハチツプの欠け部分、２……シート、
３……リードフレーム、１０……コレツト、１１
……スピンドル、１２……スリーブ、１３……突
上げ台部、１４……突上げ台、１５……突上げピ
ン、２２……スリーブ、２２ａ……テーパ面、２
２ｂ……テーパ面の外周部、２４……突上げ台、
２４ａ……テーパ面。
エハブレーク装置のブレーク工程図、第５図は従
来のウエハチツプボンデイング装置、第６図〜第
９図は従来方式のウエハブレーク装置のブレーク
工程図、第１０図は従来のブレーク方式により発
生したチツプの欠けを示す図、第１１図は従来の
装置によるウエハチツプの突上げ時の他のチツプ
の引込みを示す断面図である。 １……セミフルカツトされたウエハ、１ａ……
ブレークされたウエハチツプ、１ｂ……突上げ時
に引込まれているチツプ、１ｄ……カツト溝、１
ｙ……ウエハチツプの欠け部分、２……シート、
３……リードフレーム、１０……コレツト、１１
……スピンドル、１２……スリーブ、１３……突
上げ台部、１４……突上げ台、１５……突上げピ
ン、２２……スリーブ、２２ａ……テーパ面、２
２ｂ……テーパ面の外周部、２４……突上げ台、
２４ａ……テーパ面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) シート上に貼られたセミフルカツトされた
ウエハのチツプを吸着するスピンドルと、このス
ピンドルの外周に上下方向に摺動するスリーブと
、このスリーブに対向しかつウエハを搭載する突
上げ台とを備えたウエハブレーク装置において、
前記スリーブは吸着チツプ以外の外周のチツプを
加圧するテーパ状の押圧面を有し、前記突上げ台
はこの押圧面と対向するテーパ状の受面を有する
ことを特徴としたウエハブレーク装置。 (2) 前記スリーブの押圧面と突上げ台の受面と
がほぼ平行に形成することを特徴とした実用新案
登録請求の範囲第１項記載のウエハブレーク装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15585485U JPS6263109U (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15585485U JPS6263109U (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263109U true JPS6263109U (ja) | 1987-04-20 |
Family
ID=31076928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15585485U Pending JPS6263109U (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263109U (ja) |
-
1985
- 1985-10-11 JP JP15585485U patent/JPS6263109U/ja active Pending
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