JPH0193734U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0193734U JPH0193734U JP19104587U JP19104587U JPH0193734U JP H0193734 U JPH0193734 U JP H0193734U JP 19104587 U JP19104587 U JP 19104587U JP 19104587 U JP19104587 U JP 19104587U JP H0193734 U JPH0193734 U JP H0193734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- picks
- irradiated
- ultraviolet rays
- adhesive strength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図はこの考案による半導体チツプのピツク
アツプ装置を示す側面図、第２図は半導体ウエハ
をチツプに分割するエキスパンド工程を説明する
斜視図、第３図は従来の半導体チツプのピツクア
ツプ装置の作業手順を示す側面図、第４図はピツ
クアツプ不良の状態を示す側面図である。 図において１はフイルム、２ａは半導体ウエハ
、２ｂは半導体チツプ、４は紫外線、５は突き上
げ用針、６はダイコレツト、７ａは光フアイバー
、７ｂはレンズである。なお、図中同一符号は同
一、又は相当する部分を示す。
アツプ装置を示す側面図、第２図は半導体ウエハ
をチツプに分割するエキスパンド工程を説明する
斜視図、第３図は従来の半導体チツプのピツクア
ツプ装置の作業手順を示す側面図、第４図はピツ
クアツプ不良の状態を示す側面図である。 図において１はフイルム、２ａは半導体ウエハ
、２ｂは半導体チツプ、４は紫外線、５は突き上
げ用針、６はダイコレツト、７ａは光フアイバー
、７ｂはレンズである。なお、図中同一符号は同
一、又は相当する部分を示す。
Claims (1)
- 透明又は半透明のフイルムに、紫外線の照射に
より接着力の低下する接着剤により接着された半
導体チツプをピツクアツプする装置において、フ
イルムの裏面より、ピツクアツプする半導体チツ
プのみに紫外線を照射し、接着力を低下させて後
、ピツクアツプすることを特徴とする半導体チツ
プのピツクアツプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19104587U JPH0193734U (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19104587U JPH0193734U (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0193734U true JPH0193734U (ja) | 1989-06-20 |
Family
ID=31481973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19104587U Pending JPH0193734U (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0193734U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011040752A (ja) * | 2009-08-12 | 2011-02-24 | Utechzone Co Ltd | 撮影機能付き半導体チップ突き出し装置 |
-
1987
- 1987-12-15 JP JP19104587U patent/JPH0193734U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011040752A (ja) * | 2009-08-12 | 2011-02-24 | Utechzone Co Ltd | 撮影機能付き半導体チップ突き出し装置 |
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