JPS6257278B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6257278B2
JPS6257278B2 JP56176944A JP17694481A JPS6257278B2 JP S6257278 B2 JPS6257278 B2 JP S6257278B2 JP 56176944 A JP56176944 A JP 56176944A JP 17694481 A JP17694481 A JP 17694481A JP S6257278 B2 JPS6257278 B2 JP S6257278B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mercury
board
tip
needle
syringe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP56176944A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5878478A (ja
Inventor
Junpei Suzuki
Fumikazu Oohira
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP56176944A priority Critical patent/JPS5878478A/ja
Publication of JPS5878478A publication Critical patent/JPS5878478A/ja
Publication of JPS6257278B2 publication Critical patent/JPS6257278B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R3/00Electrically-conductive connections not otherwise provided for
    • H01R3/08Electrically-conductive connections not otherwise provided for for making connection to a liquid

Landscapes

  • Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
  • Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は超伝導素子実装用マイクロコネクタを
形成する部品の一つの超伝導素子(チツプ)から
の配線と配線モジユール上の配線とを電気的に接
続する水銀球を収容するボードの製作方法に関
し、特に該ボードを形成するボード基板に設けら
れた多数の水銀キヤビテイに水銀を注入する方法
に関するものである。
超伝導素子(チツプ)と配線モジユールとを接
続する超伝導素子実装用マイクロコネクタ(たと
えばIEEE Spectrum.1979May p.26.W.
ANACKER:“Computing at 4 degrees
Kelvin”)のボードとしては、該ボードを形成す
るボード基板に設けられた多数の水銀キヤビテイ
に該チツプからの配線と該配線モジユール上の配
線とを電気的に接続するための直径が0.3〜0.4mm
φの水銀球を注入収容する必要がある。これら水
銀球を該水銀キヤビテイに注入する用具として通
常の医療用の注射器を用いると、該注射器の注射
針の内径は細いもので0.16mmφであり、小加圧
力、短時間の条件で水銀を吐出させた場合、吐出
される水銀球(少量の場合表面張力でほぼ球状に
なる)の直径は0.7〜0.8mmφと比較的大きく、前
記した0.3〜0.4mmφの水銀球を得ることができな
い。一般に直径のさらに小さい注射針(金属性)
を作製することは極めて難かしい。
このため従来は、細径管に加工できるガラス製
スポイトを用いて、第1図に示す水銀注入の方法
が採られていた。
(1)ガラス製スポイト1に水銀2を注入し加圧力
と加圧時間の調節が可能なデイスペンサ(図示せ
ず)を用いて該水銀2を加圧すると、ガラス製ス
ポイト1の先端に小径の水銀球2aが出てくるも
ののガラスと水銀の濡れ性が良いため水銀が離れ
ない。(2)そこでボードを形成する第1のボード基
板3aの水銀キヤビテイ3にガラス製スポイト1
の先端の水銀球2aを接触させて、(3)ガラス製ス
ポイト1を水銀キヤビテイ3から垂直上方に引き
離すと、水銀球2aはガラス製スポイト1の先端
から引きちぎれて水銀キヤビテイ3内に残る。(4)
以上の作業を多数の水銀キヤビテイ3に対してく
り返し行なつた後、該第1のボード基板3aの水
銀キヤビテイ3以外の平面部に接着剤4(極低温
に耐え得るもの、たとえばエポキシ系接着剤(セ
メダイン〓製“セメダイン1500”))を塗布してか
ら、もう一枚の第2のボード基板3bを位置合わ
せして重ね合わせて該第1及び第2のボード基板
を接着することによりボードを完成させていた。
この方法ではガラス製スポイト1の先端の水銀
球2aと該第1のボード基板3aの水銀キヤビテ
イ3を接触させるときに、しばしばガラス製スポ
イトとSiウエハでできた該第1のボード基板3a
とがぶつかり合うことがあり、極細径のガラス製
スポイト1が折れたり第1のボード基板3aがか
けたりする欠点があつた。
本発明は注射器の注射針に該注射針の内径より
細いワイヤを挿入し、該注射針の断面積を小さく
したことを特徴とし、その目的は極微少量の水銀
球を該注射針から吐出させることにより安定性お
よび信頼性の高いボード基板の水銀キヤビテイへ
の水銀注入を可能とすることにある。
第2図は本発明の水銀注入法の実施例を説明す
る図であつて、ステンレス製注射針5の内径より
わずかに細いステンレス製ワイヤ6を挿入した注
射針5をシリンジ7に装着し、該シリンジ7に水
銀2を注入し、該シリンジ7の管末が加圧力と加
圧時間を調節できるデイスペンサ(図示せず)に
配管された加圧調節系8に取り付けてある。
ステンレスと水銀との濡れ性はガラスと水銀ほ
ど良くないため、加圧により注射針5の先端に吐
出された水銀球2aは注射針5の先端に突出した
ステンレスワイヤ6をつたわつて該ステンレスワ
イヤ6の先端に移動したあと落下する。したがつ
てステンレスワイヤ6の先端の直下に第1のボー
ド基板3aの水銀キヤビテイ3を位置させてお
き、所定の加圧をすれば水銀球2aは水銀キヤビ
テイ3内に収容される。以上の作業を多数の水銀
キヤビテイ3に対してくり返し行なつた後、第1
図の4と同様にしてもう一枚の第2ボード基板3
bを該ボード基板3aに接着することにより多数
の水銀球を収容したボードが完成する。
実際には内径が0.16mmのステンレス製の注射針
に0.12mmのステンレスワイヤを挿入し、断面積を
小さくし、加圧力0.4〜1.0Kg/cm2、加圧時間0.05
〜0.2秒の条件で直径が0.3〜0.4mmの水銀球を確実
に吐出できた。
以上説明したように水銀の吐出ノズルとなる注
射針先端とボード基板とは接触することがないの
で該吐出ノズルとなる注射針先端を傷めることは
ない。また注射針の中に細線を入れることにより
水銀と該吐出ノズルとなる注射針との濡れ性の問
題を解消しているから、通常の注射器の注射針を
用いて安定性および信頼性の高いボード基板の水
銀キヤビテイへの水銀注入が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の水銀注入法、第2図は本発明の
水銀注入法である。 1……ガラス製スポイト、2……水銀、2a…
…水銀球、3……水銀キヤビテイ、3a,3b…
…第1及び第2のボード基板、4……接着剤、5
……ステンレス製注射針、6……ステンレス製ワ
イヤ、7……シリンジ、8……加圧調節系。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 超伝導素子実装用マイクロコネクタを形成す
    る部品の一つの超伝導素子からの配線と配線モジ
    ユール上の配線とを電気的に接続する水銀球を収
    容するボードの製作方法において、注射針の内径
    より細い金属ワイヤを該注射針の先端から突出す
    る状態に挿入した該注射針を装着したシリンジに
    水銀を収容し、該シリンジ内の水銀を加圧して該
    注射針の先端に極微少量の水銀球を吐出させ、該
    吐出した水銀球を前記注射針の先端に突出した金
    属ワイヤをつたわつて該金属ワイヤの先端に移動
    せしめ、該水銀球を該金属ワイヤの先端の直下に
    位置した前記ボードを形成する第1のボード基板
    に設けた水銀キヤビテイに収容した後、第2のボ
    ード基板を該第1のボード基板と位置合せをして
    接着剤により該第1のボード基板に接着してなる
    ことを特徴とする超伝導素子実装用ボードの製作
    方法。
JP56176944A 1981-11-04 1981-11-04 超伝導素子実装用ボ−ドの製作方法 Granted JPS5878478A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56176944A JPS5878478A (ja) 1981-11-04 1981-11-04 超伝導素子実装用ボ−ドの製作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56176944A JPS5878478A (ja) 1981-11-04 1981-11-04 超伝導素子実装用ボ−ドの製作方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5878478A JPS5878478A (ja) 1983-05-12
JPS6257278B2 true JPS6257278B2 (ja) 1987-11-30

Family

ID=16022462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56176944A Granted JPS5878478A (ja) 1981-11-04 1981-11-04 超伝導素子実装用ボ−ドの製作方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5878478A (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3869148D1 (de) * 1987-01-27 1992-04-23 Victor Company Of Japan Geraet zur magnetischen aufzeichnung und/oder wiedergabe.

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5878478A (ja) 1983-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6844216B2 (en) Method of attaching solder balls to BGA package utilizing a tool to pick and dip the solder ball in flux
US6234379B1 (en) No-flow flux and underfill dispensing methods
US20060243483A1 (en) Semiconductor device assemblies with compliant spring contact structures
US5883438A (en) Interconnection structure for attaching a semiconductor to substrate
JP2003007761A (ja) ボールグリッドアレイパッケージ及びその製造方法
JPS6257278B2 (ja)
JP3455626B2 (ja) 半導体装置の製造方法および製造装置
JP2014123752A (ja) タイトピッチのフリップチップ集積回路のパッケージを作る方法
JP2687856B2 (ja) バンプの製造方法及び製造装置
JPS59177957A (ja) チツプ実装方法
JPH01249163A (ja) ディスペンサー用ノズル及びそれを備えたダイボンダー
JPH02232946A (ja) ハンダバンプとパッドとの接合構造
JPS6257277B2 (ja)
JPH0567648A (ja) 半導体実装方法とその装置
JPH06104311A (ja) フリップチップおよびフリップチップの封止方法
JP2770361B2 (ja) ダイボンディング装置
JP2585801B2 (ja) プロ―ブカ―ド
JPS6473654A (en) Semiconductor package
JPS6116696Y2 (ja)
JP2753408B2 (ja) 半導体チップの接続方法
JP2960398B1 (ja) 半導体装置の製造方法
JPS60115237A (ja) デイスペンサ
JPH04112550A (ja) 半導体試験方法
KR940004278Y1 (ko) Cot 패키지
JPH0584038B2 (ja)