JPS6249923B2 - - Google Patents
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- JPS6249923B2 JPS6249923B2 JP55029946A JP2994680A JPS6249923B2 JP S6249923 B2 JPS6249923 B2 JP S6249923B2 JP 55029946 A JP55029946 A JP 55029946A JP 2994680 A JP2994680 A JP 2994680A JP S6249923 B2 JPS6249923 B2 JP S6249923B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
-
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、質量分析型ヘリウムリークデイテク
ターによりヘリウムの漏洩を検知する方法に係
り、被検知用ガス中のヘリウム濃度を高め、検出
感度の向上を図ることを主目的としたものであ
る。一般に真空装置、あるいは配管類の漏洩を検
知するには高真空排気系を有する質量分析型のヘ
リウムリークデイテクターによつて行うのが普通
であるが、従来の検知感度が低いことから種々不
都合のあることはよく知られている。例えば第１
図は、一般的なヘリウムリークデイテクターにお
ける漏洩感知部を示したもので被試験体よりテス
トポート１に流入したヘリウムは絞り弁２を介し
て拡散ポンプ３により吸引され、排気管４より排
気される過程で質量分析管５によつて感知され
る。この場合、質量分析管５中の全圧は、フイラ
メント保護のため10-4Torr以下に保つよう高真
空に排気される必要があり、前記テストポート１
に流入されたガスは絞り弁２で絞られた後高真空
側に流入するようになつている。ここで絞り弁２
前段の全圧Ｐ1Aを一定、ヘリウム分圧Ｐ1Hを （ｔ；ヘリウムがテストポート１に流入してか
らの経過時間η；ヘリウム濃度） と仮定し、質量分析管５中のヘリウム分圧をＰ2
Ｈ、絞り弁２のコンダクタンスをCv、拡散ポン
プ３の実効排気速度をSv、該ポンプ３高真空側
の体積をＶとすると、漏洩感知の最適条件下での
Ｐ2Hは、 Ｐ2H（ｔ）＝10-4η（１−e-Ｓｖ＋Ｃｖ／ｖｔ）……
(1) で表わされる。従つて従来の検知方法によると、
質量分析管５中のヘリウム分圧は10-4ηTorrと
なり、非常に小さなヘリウム分圧を感知しなけれ
ばならないことになる。これは漏洩検知の正確さ
を欠く要因になるし、質量分析管５に比較的大き
な流量のプローブガスが導入されるため、全圧を
10-4torrに維持するには質量分析管５に連通する
真空排気系の容量を大きくせねばならない等の不
都合がある。又質量分析管５を有する高真空側
と、被試験体をもつ低真空側とは、絞り弁２のみ
によつて隔絶されているため、ダスト、ヒユーム
等により質量分析管５が汚染したり、絞り弁２が
閉塞する等の欠点がある。
ターによりヘリウムの漏洩を検知する方法に係
り、被検知用ガス中のヘリウム濃度を高め、検出
感度の向上を図ることを主目的としたものであ
る。一般に真空装置、あるいは配管類の漏洩を検
知するには高真空排気系を有する質量分析型のヘ
リウムリークデイテクターによつて行うのが普通
であるが、従来の検知感度が低いことから種々不
都合のあることはよく知られている。例えば第１
図は、一般的なヘリウムリークデイテクターにお
ける漏洩感知部を示したもので被試験体よりテス
トポート１に流入したヘリウムは絞り弁２を介し
て拡散ポンプ３により吸引され、排気管４より排
気される過程で質量分析管５によつて感知され
る。この場合、質量分析管５中の全圧は、フイラ
メント保護のため10-4Torr以下に保つよう高真
空に排気される必要があり、前記テストポート１
に流入されたガスは絞り弁２で絞られた後高真空
側に流入するようになつている。ここで絞り弁２
前段の全圧Ｐ1Aを一定、ヘリウム分圧Ｐ1Hを （ｔ；ヘリウムがテストポート１に流入してか
らの経過時間η；ヘリウム濃度） と仮定し、質量分析管５中のヘリウム分圧をＰ2
Ｈ、絞り弁２のコンダクタンスをCv、拡散ポン
プ３の実効排気速度をSv、該ポンプ３高真空側
の体積をＶとすると、漏洩感知の最適条件下での
Ｐ2Hは、 Ｐ2H（ｔ）＝10-4η（１−e-Ｓｖ＋Ｃｖ／ｖｔ）……
(1) で表わされる。従つて従来の検知方法によると、
質量分析管５中のヘリウム分圧は10-4ηTorrと
なり、非常に小さなヘリウム分圧を感知しなけれ
ばならないことになる。これは漏洩検知の正確さ
を欠く要因になるし、質量分析管５に比較的大き
な流量のプローブガスが導入されるため、全圧を
10-4torrに維持するには質量分析管５に連通する
真空排気系の容量を大きくせねばならない等の不
都合がある。又質量分析管５を有する高真空側
と、被試験体をもつ低真空側とは、絞り弁２のみ
によつて隔絶されているため、ダスト、ヒユーム
等により質量分析管５が汚染したり、絞り弁２が
閉塞する等の欠点がある。
本発明はこのようなことから提案されたもの
で、その特徴は、ヘリウムを選択的に透過する例
えばポリスチレン等でなる膜に被検知ガスを透過
せしめることにより、ヘリウム濃度を高めた後、
10-4torrより高真空の質量分析管で感知するよう
にしたことにある。以下に本発明の詳細を図によ
つて説明する。
で、その特徴は、ヘリウムを選択的に透過する例
えばポリスチレン等でなる膜に被検知ガスを透過
せしめることにより、ヘリウム濃度を高めた後、
10-4torrより高真空の質量分析管で感知するよう
にしたことにある。以下に本発明の詳細を図によ
つて説明する。
第２図は第１図における絞り弁２の代りに透過
膜６を設けたものでテストポート１より流入した
被検知ガス（主として空気と微量ヘリウムとから
なる混合ガス）は透過膜６を通り拡散ポンプ３を
経て排気される過程で質量分析管５により感知さ
れるが、このとき透過膜６は第１図における絞り
弁２と同様、質量分析管５中の全圧を10-4torrに
保つと共にヘリウム濃度を高める役割を果す。
膜６を設けたものでテストポート１より流入した
被検知ガス（主として空気と微量ヘリウムとから
なる混合ガス）は透過膜６を通り拡散ポンプ３を
経て排気される過程で質量分析管５により感知さ
れるが、このとき透過膜６は第１図における絞り
弁２と同様、質量分析管５中の全圧を10-4torrに
保つと共にヘリウム濃度を高める役割を果す。
ここで第１図の場合と同様透過膜６前段の全圧
Ｐ1Aを一定、ヘリウム分圧Ｐ1Hを、 と仮定し、質量分析管５中のヘリウム分圧を
P′2H、透過膜６のヘリウムに対するコンダクタン
スをＣH、又空気に対するコンダクタンスをＣA、
拡散ポンプ３の実効排気速度をＳM、該ポンプ３
高真空側の体積をＶとすると、漏洩感知の最適条
件下でのP′2Hは、 P′2H（ｔ）＝10-4×η×ＣＨ（ＳＭ＋ＣＡ）／ＣＡ（
ＳＭ＋ＣＨ） ×（１−e-ＳＭ＋ＣＨ／Ｖｔ） ……(2) で表わされる。又、ＳM≫ＣAでかつＳM≫ＣHとす
ると式(2)は、 P′2H（ｔ）＝10-4×η×ＣＨ／ＣＡ ×（１−ｅ−ＳＭ／Ｖｔ） ……(3) となる。従つて被検知ガスを透過膜６を透過させ
ることにより質量分析管５中のヘリウム分圧を最
大ＣH／ＣA倍まで増大させ得ることが判る。
Ｐ1Aを一定、ヘリウム分圧Ｐ1Hを、 と仮定し、質量分析管５中のヘリウム分圧を
P′2H、透過膜６のヘリウムに対するコンダクタン
スをＣH、又空気に対するコンダクタンスをＣA、
拡散ポンプ３の実効排気速度をＳM、該ポンプ３
高真空側の体積をＶとすると、漏洩感知の最適条
件下でのP′2Hは、 P′2H（ｔ）＝10-4×η×ＣＨ（ＳＭ＋ＣＡ）／ＣＡ（
ＳＭ＋ＣＨ） ×（１−e-ＳＭ＋ＣＨ／Ｖｔ） ……(2) で表わされる。又、ＳM≫ＣAでかつＳM≫ＣHとす
ると式(2)は、 P′2H（ｔ）＝10-4×η×ＣＨ／ＣＡ ×（１−ｅ−ＳＭ／Ｖｔ） ……(3) となる。従つて被検知ガスを透過膜６を透過させ
ることにより質量分析管５中のヘリウム分圧を最
大ＣH／ＣA倍まで増大させ得ることが判る。
本発明は以上に説明した如き知見に基づくもの
であり比較的高いヘリウム分圧を感知でき、かつ
質量分析管５に流入するプローブガスの流量を小
さくできるよう構成できるので装置の小型化を図
ることができる。又、透過膜６がフイルターの役
割をも果すものでダスト、ヒユーム等により質量
分析管５の汚染等の不都合を解消できる。
であり比較的高いヘリウム分圧を感知でき、かつ
質量分析管５に流入するプローブガスの流量を小
さくできるよう構成できるので装置の小型化を図
ることができる。又、透過膜６がフイルターの役
割をも果すものでダスト、ヒユーム等により質量
分析管５の汚染等の不都合を解消できる。
第３〜第６図は本発明の実施例を示したもの
で、第３図は、被試験体Ａをロータリーポンプ等
の主排気ポンプ２１で排気し、かつ被試験体Ａ又
は主排気ポンプ２１との間に配管２２、又は２
２′を介してヘリウムリークデイテクターＢを連
設したものである。ヘリウムリークデイテクター
Ｂはテストポート１、絞り弁７，８，９、透過膜
６、質量分析管５、拡散ポンプ３およびロータリ
ーポンプ１０，１１よりなるもので、被試験体Ａ
内から管２２又は２２′を介してプローブガスが
吸引されてテストポート１内に流入する。テスト
ポート１内に流入したプローブガスは、絞り弁７
を通つた後、透過膜６を透過することにより該ガ
ス中のヘリウム分圧が高められて質量分析管５に
至り感知され、ついで絞り弁８を経て、拡散ポン
プ３、ロータリーポンプ１０により排気される。
ここで質量分析管５中の全圧およびプローブガス
がテストポート１内に流入してから質量分析管５
に達するまでの時定数は、絞り弁７，８および９
により調整されるため、テストポート１における
全圧の変化に対応して透過膜の効果を最大限発揮
することができる。なお、ロータリーポンプ１１
は透過膜６に流入するプローブガスを置換するた
めのものであり、絞り弁９は該ポンプ１１の実効
排気速度を調整するために設けられたもので、絞
り弁９以降の配管を拡散ポンプ３とロータリーポ
ンプ１０とを結ぶ管４に連設することによりロー
タリーポンプ１１を省略することができる。又、
ロータリーポンプ１１は透過膜６に流入するプロ
ーブガスの圧力に応じて他の真空ポンプあるいは
吸込ポンプに代えることも可能である。
で、第３図は、被試験体Ａをロータリーポンプ等
の主排気ポンプ２１で排気し、かつ被試験体Ａ又
は主排気ポンプ２１との間に配管２２、又は２
２′を介してヘリウムリークデイテクターＢを連
設したものである。ヘリウムリークデイテクター
Ｂはテストポート１、絞り弁７，８，９、透過膜
６、質量分析管５、拡散ポンプ３およびロータリ
ーポンプ１０，１１よりなるもので、被試験体Ａ
内から管２２又は２２′を介してプローブガスが
吸引されてテストポート１内に流入する。テスト
ポート１内に流入したプローブガスは、絞り弁７
を通つた後、透過膜６を透過することにより該ガ
ス中のヘリウム分圧が高められて質量分析管５に
至り感知され、ついで絞り弁８を経て、拡散ポン
プ３、ロータリーポンプ１０により排気される。
ここで質量分析管５中の全圧およびプローブガス
がテストポート１内に流入してから質量分析管５
に達するまでの時定数は、絞り弁７，８および９
により調整されるため、テストポート１における
全圧の変化に対応して透過膜の効果を最大限発揮
することができる。なお、ロータリーポンプ１１
は透過膜６に流入するプローブガスを置換するた
めのものであり、絞り弁９は該ポンプ１１の実効
排気速度を調整するために設けられたもので、絞
り弁９以降の配管を拡散ポンプ３とロータリーポ
ンプ１０とを結ぶ管４に連設することによりロー
タリーポンプ１１を省略することができる。又、
ロータリーポンプ１１は透過膜６に流入するプロ
ーブガスの圧力に応じて他の真空ポンプあるいは
吸込ポンプに代えることも可能である。
第３図実施例の場合は、被試験体のリークが大
きいとき、即ち、被試験体内が高真空を保持でき
ないときの検知法として有効である。例えば、被
試験体内の圧力が10-1torrでそのヘリウム濃度が
100ppmであり、質量分析管内の圧力が10-5torr
の場合、従来法によると質量分析管内のヘリウム
分圧は10-9torrであつた。しかるにヘリウムに対
するコンダクタンスが１×10-4l／Ｓ、空気に対
するコンダクタンスが1.25×10-6l／Ｓの透過膜を
使用して本発明を実施した場合、１秒後で14倍、
５秒後で50倍のヘリウム分圧が得られた。
きいとき、即ち、被試験体内が高真空を保持でき
ないときの検知法として有効である。例えば、被
試験体内の圧力が10-1torrでそのヘリウム濃度が
100ppmであり、質量分析管内の圧力が10-5torr
の場合、従来法によると質量分析管内のヘリウム
分圧は10-9torrであつた。しかるにヘリウムに対
するコンダクタンスが１×10-4l／Ｓ、空気に対
するコンダクタンスが1.25×10-6l／Ｓの透過膜を
使用して本発明を実施した場合、１秒後で14倍、
５秒後で50倍のヘリウム分圧が得られた。
第４図の実施例は、被試験体Ａを主排気系の拡
散ポンプ３１とロータリーポンプ３２によつて排
気すると共に、拡散ポンプ３１の背圧側に管３３
を介して前記第３図実施例と同様のヘリウムリー
クデイテクターを連設して漏洩検知するものであ
る。この実施例は通常背圧法と呼ばれる方法であ
り、第３図実施例と同様な効果が期待できる。
散ポンプ３１とロータリーポンプ３２によつて排
気すると共に、拡散ポンプ３１の背圧側に管３３
を介して前記第３図実施例と同様のヘリウムリー
クデイテクターを連設して漏洩検知するものであ
る。この実施例は通常背圧法と呼ばれる方法であ
り、第３図実施例と同様な効果が期待できる。
第５図の実施例は、被試験体Ａ内をヘリウムも
しくはヘリウムを成分ガスとするプローブガスに
より大気圧以上に加圧し、ヘリウムリークデイテ
クターＢのテストポート１に真空ホース４１によ
つて接続されたスニフアーノズル４２により被試
験体Ａの外部にリークしてくるヘリウムを検知す
る方法である。この方法は通常スニフアー法と呼
ばれる検知方法であるが、従来のこの方法に使用
されるスニフアーノズルは、大気圧とヘリウムリ
ークデイテクターの高真空側との圧力差を保つ必
要上、その先端は微細な孔をもつた構造となつて
いるため、ダスト等による目詰りを起す不都合が
あつた。しかるに本発明によると、スニフアーノ
ズルの先端部は比較的大きな孔で構成できるので
このような不都合を解消し得ると共に検知能力を
格段に向上できる。例えば、被試験体内を100％
ヘリウムで加圧し質量分析管内を10-5torrに保つ
と共にヘリウムに対するコンダクタンスが１×
10-6l／Ｓ空気に対するコンダクタンスが1.25×
10-8l／Ｓの透過膜を使用して実施した処、質量
分析管内のヘリウム分圧を0.1秒以下の応答時間
で従来より約80倍高めることができた。なお、ス
ニフアー法の場合には、スニフアーノズル先端部
を細孔の代わりに透過膜で構成することにより、
従来に比して、小さなスニフアーノズルの吸込量
で大きなヘリウム分圧が得られるので、感度の増
大とともに排気系の小型化が図れる。
しくはヘリウムを成分ガスとするプローブガスに
より大気圧以上に加圧し、ヘリウムリークデイテ
クターＢのテストポート１に真空ホース４１によ
つて接続されたスニフアーノズル４２により被試
験体Ａの外部にリークしてくるヘリウムを検知す
る方法である。この方法は通常スニフアー法と呼
ばれる検知方法であるが、従来のこの方法に使用
されるスニフアーノズルは、大気圧とヘリウムリ
ークデイテクターの高真空側との圧力差を保つ必
要上、その先端は微細な孔をもつた構造となつて
いるため、ダスト等による目詰りを起す不都合が
あつた。しかるに本発明によると、スニフアーノ
ズルの先端部は比較的大きな孔で構成できるので
このような不都合を解消し得ると共に検知能力を
格段に向上できる。例えば、被試験体内を100％
ヘリウムで加圧し質量分析管内を10-5torrに保つ
と共にヘリウムに対するコンダクタンスが１×
10-6l／Ｓ空気に対するコンダクタンスが1.25×
10-8l／Ｓの透過膜を使用して実施した処、質量
分析管内のヘリウム分圧を0.1秒以下の応答時間
で従来より約80倍高めることができた。なお、ス
ニフアー法の場合には、スニフアーノズル先端部
を細孔の代わりに透過膜で構成することにより、
従来に比して、小さなスニフアーノズルの吸込量
で大きなヘリウム分圧が得られるので、感度の増
大とともに排気系の小型化が図れる。
次に第６図は被試験体が比較的高真空の場合に
適した実施例で、被試験体Ａ内の排気を該試験体
Ａと管５１で接続されたヘリウムリークデイテク
ターB′がもつ排気系のみで行うか、もしくは、管
５２で連設された拡散ポンプ５３およびロータリ
ーポンプ５４でなる別途の排気系を作動しつつ漏
洩検知する方法である。即ち、テストポート１よ
りヘリウムリークデイテクターB′内に流入したプ
ローブガスは、絞り弁５５を通つて拡散ポンプ３
に吸引され、次いでロータリーポンプ１０により
排気されるが一部のガスは拡散ポンプ３とロータ
リーポンプ１０との間に設けられた透過膜６を透
過することによりヘリウム分圧を高められ、分岐
回路５６を流れて質量分析管５により感知された
後、絞り弁５７を介して拡散ポンプ３に吸引され
る。なお、絞り弁５７は質量分析管５に対する拡
散ポンプ３の実効排気速度を調整するためのもの
である。
適した実施例で、被試験体Ａ内の排気を該試験体
Ａと管５１で接続されたヘリウムリークデイテク
ターB′がもつ排気系のみで行うか、もしくは、管
５２で連設された拡散ポンプ５３およびロータリ
ーポンプ５４でなる別途の排気系を作動しつつ漏
洩検知する方法である。即ち、テストポート１よ
りヘリウムリークデイテクターB′内に流入したプ
ローブガスは、絞り弁５５を通つて拡散ポンプ３
に吸引され、次いでロータリーポンプ１０により
排気されるが一部のガスは拡散ポンプ３とロータ
リーポンプ１０との間に設けられた透過膜６を透
過することによりヘリウム分圧を高められ、分岐
回路５６を流れて質量分析管５により感知された
後、絞り弁５７を介して拡散ポンプ３に吸引され
る。なお、絞り弁５７は質量分析管５に対する拡
散ポンプ３の実効排気速度を調整するためのもの
である。
以上に説明した通り本発明は、ヘリウムに対し
て選択的に透過性の大きい高分子膜にプローブガ
スを透過させ、該ガス中のヘリウム濃度を高めて
質量分析管により検知せしめることを特徴とした
もので使用される高分子透過膜としては比較的ヘ
リウムと空気に対する分離係数（ヘリウムに対す
る透過率÷空気に対する透過率）が大きく、かつ
ヘリウムの透過率が少くともコンダクタンスに換
算して10-4l／Ｓ以上あるのが望ましい。（多孔質
膜は透過率が大きいが分離係数が数倍しかなくほ
とんど効果がない）又、薄膜加工が容易に可能な
ものが望ましいが、このような条件を満たすもの
としては、ポリスチレン、テフロン、酢酸セルロ
ース等の高分子の薄膜（膜厚11μｍ以下）や該膜
と多孔質膜とからなる複合膜、あるいは膜の一方
の面が非多孔性を、またもう一方の面が多孔性を
有する非対象性高分子膜が有効であつた。
て選択的に透過性の大きい高分子膜にプローブガ
スを透過させ、該ガス中のヘリウム濃度を高めて
質量分析管により検知せしめることを特徴とした
もので使用される高分子透過膜としては比較的ヘ
リウムと空気に対する分離係数（ヘリウムに対す
る透過率÷空気に対する透過率）が大きく、かつ
ヘリウムの透過率が少くともコンダクタンスに換
算して10-4l／Ｓ以上あるのが望ましい。（多孔質
膜は透過率が大きいが分離係数が数倍しかなくほ
とんど効果がない）又、薄膜加工が容易に可能な
ものが望ましいが、このような条件を満たすもの
としては、ポリスチレン、テフロン、酢酸セルロ
ース等の高分子の薄膜（膜厚11μｍ以下）や該膜
と多孔質膜とからなる複合膜、あるいは膜の一方
の面が非多孔性を、またもう一方の面が多孔性を
有する非対象性高分子膜が有効であつた。
次に本発明がもつ作用効果を述べると質量分析
管内のヘリウム分圧が増大し、感度の著るしい向
上が望める他、透過膜がもつフイルター効果によ
り質量分析管内を常に清浄に保つことができる。
又、微細な孔構造をもつ絞り弁や、スニフアーノ
ズルを使用する必要がないため、ダスト等による
目詰りによつて生じた不都合を全く解消できる。
更に大きな効果としては、ヘリウムリークデイテ
クターが備える排気系を小さくできることであ
る。例えば従来拡散ポンプの排気速度が100〜
200l／Ｓでその背圧を排気するロータリーポンプ
の排気速度が100〜200l／minの排気能力をもつも
のが本発明を適用することにより排気速度、1l／
Ｓの拡散ポンプと、1l／minのロータリーポンプ
で済むのでヘリウムリークデイテクターを著るし
く小型化できる。
管内のヘリウム分圧が増大し、感度の著るしい向
上が望める他、透過膜がもつフイルター効果によ
り質量分析管内を常に清浄に保つことができる。
又、微細な孔構造をもつ絞り弁や、スニフアーノ
ズルを使用する必要がないため、ダスト等による
目詰りによつて生じた不都合を全く解消できる。
更に大きな効果としては、ヘリウムリークデイテ
クターが備える排気系を小さくできることであ
る。例えば従来拡散ポンプの排気速度が100〜
200l／Ｓでその背圧を排気するロータリーポンプ
の排気速度が100〜200l／minの排気能力をもつも
のが本発明を適用することにより排気速度、1l／
Ｓの拡散ポンプと、1l／minのロータリーポンプ
で済むのでヘリウムリークデイテクターを著るし
く小型化できる。
第１図は一般的ヘリウムリークデイテクターに
おける漏洩感知部の図、第２図は第１図の絞り弁
の代りに透過膜を設けた図、第３図は被試験体を
主排気ポンプで排気し、かつ被試験体又は主排気
ポンプの間に配管を設け又は配管を介してヘリウ
ムデイテクターを連結したものの図、第４図は被
試験体を主排気系の拡散ポンプとロータリーポン
プによつて排気し、拡散ポンプの背圧側に管を介
して第３図と同じヘリウムデイテクターを連設し
たものの図、第５図は被試験体内をヘリウムもし
くはヘリウムを成分ガスとするプローブガスによ
り大気圧以上に加圧し、ヘリウムデイテクターの
テストポートに真空ホースによつて接続されたス
ニフアーノズルによつて、被試験体外部にリーク
して来るヘリウムを検知する方法の図、第６図は
被試験体内の排気をこの被試験体と管で接続され
たヘリウムデイテクターがもつ排気系のみで行な
うか又は管で連設された拡散ポンプおよびロータ
リーポンプよりなる別の排気系を作用しつつ漏洩
検知する方法の図である。 Ａ…被試験体、Ｂ，B′…ヘリウムリークデイテ
クター、１…テストポート、２…絞り弁、３…拡
散ポンプ、４…排気管、５…質量分析管、６…透
過膜、７，８，９…絞り弁、１０，１１…ロータ
リーポンプ、２１…主排気ポンプ（ロータリーポ
ンプ）、２２，２２′…管、３１…拡散ポンプ、３
２…ロータリーポンプ、３３…管、４１…真空ホ
ース、４２…スニフアーノズル、５１，５２…
管、５３…拡散ポンプ、５４…ロータリーポン
プ、５５…絞り弁、５６…分岐回路、５７…絞り
弁。
おける漏洩感知部の図、第２図は第１図の絞り弁
の代りに透過膜を設けた図、第３図は被試験体を
主排気ポンプで排気し、かつ被試験体又は主排気
ポンプの間に配管を設け又は配管を介してヘリウ
ムデイテクターを連結したものの図、第４図は被
試験体を主排気系の拡散ポンプとロータリーポン
プによつて排気し、拡散ポンプの背圧側に管を介
して第３図と同じヘリウムデイテクターを連設し
たものの図、第５図は被試験体内をヘリウムもし
くはヘリウムを成分ガスとするプローブガスによ
り大気圧以上に加圧し、ヘリウムデイテクターの
テストポートに真空ホースによつて接続されたス
ニフアーノズルによつて、被試験体外部にリーク
して来るヘリウムを検知する方法の図、第６図は
被試験体内の排気をこの被試験体と管で接続され
たヘリウムデイテクターがもつ排気系のみで行な
うか又は管で連設された拡散ポンプおよびロータ
リーポンプよりなる別の排気系を作用しつつ漏洩
検知する方法の図である。 Ａ…被試験体、Ｂ，B′…ヘリウムリークデイテ
クター、１…テストポート、２…絞り弁、３…拡
散ポンプ、４…排気管、５…質量分析管、６…透
過膜、７，８，９…絞り弁、１０，１１…ロータ
リーポンプ、２１…主排気ポンプ（ロータリーポ
ンプ）、２２，２２′…管、３１…拡散ポンプ、３
２…ロータリーポンプ、３３…管、４１…真空ホ
ース、４２…スニフアーノズル、５１，５２…
管、５３…拡散ポンプ、５４…ロータリーポン
プ、５５…絞り弁、５６…分岐回路、５７…絞り
弁。
Claims (1)
- １ 被試験体にヘリウムガスを供給して、被試験
体の漏洩個所からのヘリウムガスを含むプローブ
ガスを質量分析型ヘリウムリークデイテクターに
より検知するにあたり、プローブガスを吸引する
排気系のガスをヘリウムを選択的に透過する非多
孔質高分子膜を介して前記ヘリウムリークデイテ
クターに吸引せしめて、プローブガス中のヘリウ
ム濃度を高めることによつて質量分析管内のヘリ
ウム分圧を高めることを特徴とするヘリウム漏洩
検知方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2994680A JPS56126733A (en) | 1980-03-10 | 1980-03-10 | Detecting method for leakage of helium |
| US06/325,435 US4419882A (en) | 1980-03-10 | 1981-03-06 | Leakage detection method using helium |
| PCT/JP1981/000048 WO1981002631A1 (en) | 1980-03-10 | 1981-03-06 | Leakage detection method using helium |
| EP81900554A EP0047324B1 (en) | 1980-03-10 | 1981-03-06 | Leakage detection method using helium |
| DE8181900554T DE3176358D1 (en) | 1980-03-10 | 1981-03-06 | Leakage detection method using helium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2994680A JPS56126733A (en) | 1980-03-10 | 1980-03-10 | Detecting method for leakage of helium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56126733A JPS56126733A (en) | 1981-10-05 |
| JPS6249923B2 true JPS6249923B2 (ja) | 1987-10-22 |
Family
ID=12290145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2994680A Granted JPS56126733A (en) | 1980-03-10 | 1980-03-10 | Detecting method for leakage of helium |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4419882A (ja) |
| EP (1) | EP0047324B1 (ja) |
| JP (1) | JPS56126733A (ja) |
| DE (1) | DE3176358D1 (ja) |
| WO (1) | WO1981002631A1 (ja) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2123153A (en) * | 1982-06-30 | 1984-01-25 | Boc Group Plc | Leak detector |
| US4558587A (en) * | 1984-08-29 | 1985-12-17 | Varian Associates, Inc. | Ball-type vacuum valve for leak detection apparatus |
| US4785666A (en) * | 1986-12-19 | 1988-11-22 | Martin Marietta Corporation | Method of increasing the sensitivity of a leak detector in the probe mode |
| US5022265A (en) * | 1987-03-31 | 1991-06-11 | Finn-Aqua | Method and apparatus for leak testing fluid conducting freeze-drying apparatus |
| EP0365042A1 (de) * | 1987-03-31 | 1990-04-25 | FINN-AQUA SANTASALO-SOHLBERG GmbH | Verfahren zur Lecküberwachung von fluidführenden Leitungssystemen bei Gefriertrocknungseinrichtungen und für die Durchführung dieses Verfahrens geeignete Gefriertrocknungseinrichtung |
| FR2653558B1 (fr) * | 1989-10-23 | 1994-06-10 | Cit Alcatel | Systeme de detection de fuites a gaz traceur. |
| DE9202350U1 (de) * | 1992-02-24 | 1992-04-16 | Leybold AG, 6450 Hanau | In Flüssigkeiten einsetzbare Gassonde |
| DE4228085A1 (de) * | 1992-08-24 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis eines leichten Testgases in einer Flüssigkeit |
| JPH0661680U (ja) * | 1993-02-04 | 1994-08-30 | 光雄 柳澤 | 低床荷台付自動自転車 |
| DE4326264A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Testgasdetektor mit Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
| DE4326267A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Lecksuchgerät |
| US5375456A (en) * | 1993-11-18 | 1994-12-27 | Trw Vehicle Safety Systems Inc. | Leak testing apparatus and method |
| SE502355C2 (sv) * | 1994-02-17 | 1995-10-09 | Hans Stymne | Sätt jämte anordning för att avge små mängder gas från ett ämne i kondenserad form till omgivningen med kontrollerbar hastighet |
| ES2192568T3 (es) * | 1994-12-23 | 2003-10-16 | Unaxis Balzers Ag | Procedimiento para el analisis de gases y analizador de gases. |
| FR2734633B1 (fr) * | 1995-05-24 | 1997-06-20 | Cit Alcatel | Installation pour detecter la presence d'helium dans un circuit de fluide |
| US6401465B1 (en) * | 2000-10-19 | 2002-06-11 | Carrier Corporation | Absorption chiller leak detection and location and checking hydrogen removing cells |
| JP2004521057A (ja) * | 2000-12-22 | 2004-07-15 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | 半導体成長用の結晶引上機の気体環境をモニタするためのプロセス |
| SE518522C2 (sv) * | 2001-03-21 | 2002-10-22 | Sensistor Ab | Metod och anordning vid täthetsprovning och läcksökning |
| DE10324596A1 (de) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
| DE102004045803A1 (de) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Inficon Gmbh | Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung |
| DE102005021909A1 (de) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
| US7497110B2 (en) | 2007-02-28 | 2009-03-03 | Varian, Inc. | Methods and apparatus for test gas leak detection |
| US20080202210A1 (en) * | 2007-02-28 | 2008-08-28 | Varian, Inc. | Test gas leak detection using a composite membrane |
| US7905132B1 (en) | 2007-08-14 | 2011-03-15 | LACO Technologies, Inc. | Leak testing using tracer gas permeable membrane |
| US9429494B1 (en) | 2012-11-21 | 2016-08-30 | Western Digital Technologies, Inc. | Leakage test method for a hermetically sealed disk drive enclosure |
| CN103175662A (zh) * | 2013-03-20 | 2013-06-26 | 厦门松芝汽车空调有限公司 | 大中型汽车空调生产时的检漏方法 |
| RU2560109C2 (ru) * | 2013-09-30 | 2015-08-20 | Открытое акционерное общество "Моринформсистема-Агат-КИП" | Способ контроля герметичности оболочек твэлов |
| CN104913193B (zh) * | 2015-06-30 | 2016-10-26 | 宜昌江峡船用机械有限责任公司 | 一种夹层低温容器内容器的检漏方法和装置 |
| CN105092182A (zh) * | 2015-08-14 | 2015-11-25 | 中广核工程有限公司 | 核电厂功率运行阶段凝汽器真空氦气查漏法 |
| CN107389498B (zh) * | 2017-07-07 | 2024-01-12 | 金华职业技术学院 | 一种测量甲烷透过率的方法 |
| WO2020005273A1 (en) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | Hyperloop Transportation Technologies, Inc. | Tube transportation systems using a gaseous mixture of air and helium |
| CN112098008A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-12-18 | 广东鸿图科技股份有限公司 | 一种用于工件气密性检测的装置 |
| CN116558730B (zh) * | 2023-07-10 | 2023-09-19 | 华能淮阴第二发电有限公司 | 一种便捷式机组真空系统检漏装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1181312A (fr) * | 1957-08-20 | 1959-06-15 | Commissariat Energie Atomique | Perfectionnement aux méthodes de mesure d'étanchéité |
| DE1648367A1 (de) * | 1967-06-05 | 1971-04-15 | Varian Mat Gmbh | Diffusionsmembran-Anordnung,insbesondere fuer Lecksuchroehren |
| JPS462709Y1 (ja) * | 1967-08-11 | 1971-01-29 | ||
| US3591827A (en) * | 1967-11-29 | 1971-07-06 | Andar Iti Inc | Ion-pumped mass spectrometer leak detector apparatus and method and ion pump therefor |
| FR2058661A5 (ja) * | 1969-09-19 | 1971-05-28 | Commissariat Energie Atomique | |
| FR2082765A5 (ja) * | 1970-03-26 | 1971-12-10 | Commissariat Energie Atomique | |
| US3867631A (en) * | 1972-09-28 | 1975-02-18 | Varian Associates | Leak detection apparatus and inlet interface |
| FR2207598A5 (en) * | 1972-11-17 | 1974-06-14 | Veeco Sa | Mass spectrometry leak testing - is rapid and does not impose mechanical stresses of vacuum testing |
| DE2926112A1 (de) * | 1979-06-28 | 1981-01-08 | Bosch Gmbh Robert | Testleck-sonde |
-
1980
- 1980-03-10 JP JP2994680A patent/JPS56126733A/ja active Granted
-
1981
- 1981-03-06 EP EP81900554A patent/EP0047324B1/en not_active Expired
- 1981-03-06 DE DE8181900554T patent/DE3176358D1/de not_active Expired
- 1981-03-06 US US06/325,435 patent/US4419882A/en not_active Expired - Lifetime
- 1981-03-06 WO PCT/JP1981/000048 patent/WO1981002631A1/ja not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56126733A (en) | 1981-10-05 |
| EP0047324A1 (en) | 1982-03-17 |
| EP0047324B1 (en) | 1987-08-12 |
| US4419882A (en) | 1983-12-13 |
| WO1981002631A1 (en) | 1981-09-17 |
| EP0047324A4 (en) | 1983-12-23 |
| DE3176358D1 (en) | 1987-09-17 |
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