JPS6246189Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6246189Y2 JPS6246189Y2 JP1982063163U JP6316382U JPS6246189Y2 JP S6246189 Y2 JPS6246189 Y2 JP S6246189Y2 JP 1982063163 U JP1982063163 U JP 1982063163U JP 6316382 U JP6316382 U JP 6316382U JP S6246189 Y2 JPS6246189 Y2 JP S6246189Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- pattern
- exposure mask
- transparent substrate
- transmission pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は長尺物に写真的手段により精確なパタ
ーンを作成する際に用いる露光マスク版の構造に
関する。
ーンを作成する際に用いる露光マスク版の構造に
関する。
ラインプリンターのキヤラクターバンドや壁装
用化粧板のように、長さにして150cm以上もある
長尺物に写真的手段によりパターンを露光作成す
ること、それに続いてエツチング等を施して具体
的な凹凸図形を形成することが行なわれている。
写真的手段は、精確なパターンを作成できるので
高品質な製品を製造できる特徴であり、賞用され
ている。しかしながら、長さ150cm以上の長尺物
（実際、化粧板については200cmを超えるものもあ
る）に対応する露光マスク版用の写真乾板という
ものは皆無と言つてよく、従来はその長さに応じ
てパターンを分割して複数回の露光操作を繰り返
していた。しかしながら、このような方法では手
間を要し、パターンの継ぎ目について不都合が生
じ易いものであつた。
用化粧板のように、長さにして150cm以上もある
長尺物に写真的手段によりパターンを露光作成す
ること、それに続いてエツチング等を施して具体
的な凹凸図形を形成することが行なわれている。
写真的手段は、精確なパターンを作成できるので
高品質な製品を製造できる特徴であり、賞用され
ている。しかしながら、長さ150cm以上の長尺物
（実際、化粧板については200cmを超えるものもあ
る）に対応する露光マスク版用の写真乾板という
ものは皆無と言つてよく、従来はその長さに応じ
てパターンを分割して複数回の露光操作を繰り返
していた。しかしながら、このような方法では手
間を要し、パターンの継ぎ目について不都合が生
じ易いものであつた。
本考案は、長尺物に一回の露光操作でパターン
形成できる露光用マスク版を提供するものであ
る。図面に示す本考案の実施例に基いて以下詳細
に説明する。
形成できる露光用マスク版を提供するものであ
る。図面に示す本考案の実施例に基いて以下詳細
に説明する。
第１図の露光マスク版は、ラインプリンター用
のキヤラリターバンドのための実施例であるが、
図において、２個の露光マスク１，１′は文字、
数字記号等からなる印字キヤラクターの透過形パ
ターン２，２′を横長に一連の形で透明ガラス板
３，３′上に形成したもので、約150cmの長さのキ
ヤラクターバンドに対応すべく、この２個の露光
用マスク１，１′を、それぞれの透過形パターン
２，２′が連続性を保持できるように、ガラス製
の透明基板４に配置固定したものである。
のキヤラリターバンドのための実施例であるが、
図において、２個の露光マスク１，１′は文字、
数字記号等からなる印字キヤラクターの透過形パ
ターン２，２′を横長に一連の形で透明ガラス板
３，３′上に形成したもので、約150cmの長さのキ
ヤラクターバンドに対応すべく、この２個の露光
用マスク１，１′を、それぞれの透過形パターン
２，２′が連続性を保持できるように、ガラス製
の透明基板４に配置固定したものである。
複数個の露光用マスク１，１′の透過形パター
ン２，２′を連続的に配置するには、図に示すよ
うに直線関係を出すための位置合せマーク５を活
用する。図の実施例では、位置合せマーク５は透
過形パターン２と位置関係的に平行に１個の露光
用マスクにつき２個ずつ付している。２個の露光
マスク１，１′を正しく配置するには、合計４個
の位置合せマーク５，５′を、基準となる直線ゲ
ージ（図示せず）と合致させることで為しうる。
ン２，２′を連続的に配置するには、図に示すよ
うに直線関係を出すための位置合せマーク５を活
用する。図の実施例では、位置合せマーク５は透
過形パターン２と位置関係的に平行に１個の露光
用マスクにつき２個ずつ付している。２個の露光
マスク１，１′を正しく配置するには、合計４個
の位置合せマーク５，５′を、基準となる直線ゲ
ージ（図示せず）と合致させることで為しうる。
露光用マスク１，１′を透明基板４に固定する
には、接着剤やガラス用ハンダ等の固着剤を用い
るのが一般的であり、第２図に示すように露光マ
スク１の周囲を固着剤６で固めて透明基板４に接
合するのはその例であると言える。ただし透明基
板４と露光用マスクとの間にスキマゲージ７を挿
入して、透過形パターンの高さを調整する。すな
わち、露光マスク１，１′といえど長さ80cm程度
の大形のものであるから、その透明ガラス板３，
３′も第３図にやや誇張して示すように歪みやた
わみを有することが避けられず、また、そのガラ
板３，３′の厚さも均一でないことが多く、特に
左右の露光マスクの継ぎ目において段差が強張さ
れやすい。この段差が数10ミクロン以上となる
と、継ぎ目付近のパターンのいずれかに露光ボケ
を生じる原因となる。スキマゲージ７は、所定厚
さの金属片と言つてよく、これを継ぎ目付近に第
２図に図示するごとく挿入して、継ぎ目付近の高
さを調整し段差を解消するものである。
には、接着剤やガラス用ハンダ等の固着剤を用い
るのが一般的であり、第２図に示すように露光マ
スク１の周囲を固着剤６で固めて透明基板４に接
合するのはその例であると言える。ただし透明基
板４と露光用マスクとの間にスキマゲージ７を挿
入して、透過形パターンの高さを調整する。すな
わち、露光マスク１，１′といえど長さ80cm程度
の大形のものであるから、その透明ガラス板３，
３′も第３図にやや誇張して示すように歪みやた
わみを有することが避けられず、また、そのガラ
板３，３′の厚さも均一でないことが多く、特に
左右の露光マスクの継ぎ目において段差が強張さ
れやすい。この段差が数10ミクロン以上となる
と、継ぎ目付近のパターンのいずれかに露光ボケ
を生じる原因となる。スキマゲージ７は、所定厚
さの金属片と言つてよく、これを継ぎ目付近に第
２図に図示するごとく挿入して、継ぎ目付近の高
さを調整し段差を解消するものである。
本考案の長尺物用露光マスク版は、以上のよう
なものであり、本考案によれば、150cm以上の長
尺物に対して写真的手段により精確なパターンを
形成する際、一回の露光操作で為しうるのであ
り、分割して形成された各々の透過形パターンの
連続性や平面性など、長尺物したがつて、大形の
パターンを精確に作成する際必須とされる諸条件
を全て満足できる構造となつているものである。
なものであり、本考案によれば、150cm以上の長
尺物に対して写真的手段により精確なパターンを
形成する際、一回の露光操作で為しうるのであ
り、分割して形成された各々の透過形パターンの
連続性や平面性など、長尺物したがつて、大形の
パターンを精確に作成する際必須とされる諸条件
を全て満足できる構造となつているものである。
本考案の長尺物用露光マスク版において、一枚
の透明基板上に配置固定できる露光用マスクは上
述の実施例の如く２枚に限られることなく、３枚
以上であつても同様の構成にて適用できることは
明らかであり、長尺物用露光マスク版として本考
案は極めて実用的で優れたものということができ
る。
の透明基板上に配置固定できる露光用マスクは上
述の実施例の如く２枚に限られることなく、３枚
以上であつても同様の構成にて適用できることは
明らかであり、長尺物用露光マスク版として本考
案は極めて実用的で優れたものということができ
る。
第１図は本考案の長尺物用露光マスク版の一実
施例を示す斜視図、第２図は第１図のAA′線にて
切断したところを示す断面図、第３図は露光用マ
スクの透明ガラス板のたわみを示す説明図であ
る。 １，１′……露光用マスク、２，２′……遮光性
パターン、３，３′……透明ガラス板、４……透
明基板、５……位置合せマーク、６……固着剤、
７……スキマゲージ。
施例を示す斜視図、第２図は第１図のAA′線にて
切断したところを示す断面図、第３図は露光用マ
スクの透明ガラス板のたわみを示す説明図であ
る。 １，１′……露光用マスク、２，２′……遮光性
パターン、３，３′……透明ガラス板、４……透
明基板、５……位置合せマーク、６……固着剤、
７……スキマゲージ。
Claims (1)
- 透明ガラス板に少なくとも所望の透過形パター
ンと直線関係を出すための位置合せマークとを具
備するパターン露光用マスクの複数個をそれぞれ
の透過形パターンの連続性を保つて、透明基板に
配置固定してなり、前記パターン露光用マスクと
透明基板との間にスキマゲージを挿入して透過形
パターンの高さを調整してなる長尺物用露光マス
ク版。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982063163U JPS58166644U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 長尺物用露光マスク版 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982063163U JPS58166644U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 長尺物用露光マスク版 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58166644U JPS58166644U (ja) | 1983-11-07 |
| JPS6246189Y2 true JPS6246189Y2 (ja) | 1987-12-11 |
Family
ID=30073273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982063163U Granted JPS58166644U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 長尺物用露光マスク版 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58166644U (ja) |
-
1982
- 1982-04-30 JP JP1982063163U patent/JPS58166644U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58166644U (ja) | 1983-11-07 |
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