JPS58166644U - 長尺物用露光マスク版 - Google Patents
長尺物用露光マスク版Info
- Publication number
- JPS58166644U JPS58166644U JP1982063163U JP6316382U JPS58166644U JP S58166644 U JPS58166644 U JP S58166644U JP 1982063163 U JP1982063163 U JP 1982063163U JP 6316382 U JP6316382 U JP 6316382U JP S58166644 U JPS58166644 U JP S58166644U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure mask
- mask plate
- long objects
- pattern
- transmission pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の長尺物用露光マスク版の一実施例を示
す斜視図、第2図は第1図のAA’線にて切断したとこ
ろを示す断面図、第3図は露光用マスクの透明ガラス板
のたわみを示す説明図である。 1、 1”・・・露光用マスク、2,2′・・・遮光性
パターン、3,3′・・・透明ガラス板、4・・・透明
基板、5・・・位置合せマーク、6・・・固着剤、7・
・・スキマゲージ。
す斜視図、第2図は第1図のAA’線にて切断したとこ
ろを示す断面図、第3図は露光用マスクの透明ガラス板
のたわみを示す説明図である。 1、 1”・・・露光用マスク、2,2′・・・遮光性
パターン、3,3′・・・透明ガラス板、4・・・透明
基板、5・・・位置合せマーク、6・・・固着剤、7・
・・スキマゲージ。
Claims (1)
- 透明ガラス板に少なく、とも所望の透過形パターンと直
線関係を出すための位置合せマークとを具備するパター
ン露光用マスクの複数個をそれぞれの透過形パターンの
連続性を保って、透明基板に配置固定してなり、前記パ
ターン露光用マスクと透明基板との間にスキマゲージを
挿入して透過形パターンの高さを調整してなる長尺物用
露光マスク版。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1982063163U JPS58166644U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 長尺物用露光マスク版 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1982063163U JPS58166644U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 長尺物用露光マスク版 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58166644U true JPS58166644U (ja) | 1983-11-07 |
JPS6246189Y2 JPS6246189Y2 (ja) | 1987-12-11 |
Family
ID=30073273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1982063163U Granted JPS58166644U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 長尺物用露光マスク版 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58166644U (ja) |
-
1982
- 1982-04-30 JP JP1982063163U patent/JPS58166644U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6246189Y2 (ja) | 1987-12-11 |
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