JPS6039046U - マスク板 - Google Patents

マスク板

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Publication number
JPS6039046U
JPS6039046U JP1983130549U JP13054983U JPS6039046U JP S6039046 U JPS6039046 U JP S6039046U JP 1983130549 U JP1983130549 U JP 1983130549U JP 13054983 U JP13054983 U JP 13054983U JP S6039046 U JPS6039046 U JP S6039046U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
peripheral
mask plate
transparent substrate
mask board
shielding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1983130549U
Other languages
English (en)
Inventor
久野　輝雄
Original Assignee
凸版印刷株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 凸版印刷株式会社 filed Critical 凸版印刷株式会社
Priority to JP1983130549U priority Critical patent/JPS6039046U/ja
Publication of JPS6039046U publication Critical patent/JPS6039046U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のマスク板の一例を示す平面図、第２図は
第１図のＡ−Ａ’線により切ったところを示す断面図で
あり、第３図は従来のマスク板の欠点を示す説明図であ
り、第４図は本考案のマスク板の一実施例を示す平面図
、第５図は第４図のＢ−Ｂ’線により切ったところを示
す断面図である。 １・・・透明基板、２・・・パターン部、３，３′・・
・外周陰蔽部、４・・・位置合わせマーク、５・・・識
別記号、６・＝・周辺部、７・・・側面、８・・・粉片
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 透明基板の片面に感光性樹脂の感光波長領域を遮断する
    遮光膜からなるパターン部を有し、該パターン部を取り
    巻くように外周陰蔽部を有するマスク板において、該外
    周陰蔽部が、前記透明基板の周辺部を除いて形成されて
    いることを特徴とするマスク板。
JP1983130549U 1983-08-24 1983-08-24 マスク板 Pending JPS6039046U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1983130549U JPS6039046U (ja) 1983-08-24 1983-08-24 マスク板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1983130549U JPS6039046U (ja) 1983-08-24 1983-08-24 マスク板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6039046U true JPS6039046U (ja) 1985-03-18

Family

ID=30295436

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1983130549U Pending JPS6039046U (ja) 1983-08-24 1983-08-24 マスク板

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6039046U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57130421A (en) * 1981-02-04 1982-08-12 Nec Corp Photo mask
JPS5868748A (ja) * 1981-10-21 1983-04-23 Hitachi Ltd ホトマスクおよびそれを用いた現像方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57130421A (en) * 1981-02-04 1982-08-12 Nec Corp Photo mask
JPS5868748A (ja) * 1981-10-21 1983-04-23 Hitachi Ltd ホトマスクおよびそれを用いた現像方法

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