JPS6234078A - パタ−ン発生器 - Google Patents

パタ−ン発生器

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JPS6234078A
JPS6234078A JP60173194A JP17319485A JPS6234078A JP S6234078 A JPS6234078 A JP S6234078A JP 60173194 A JP60173194 A JP 60173194A JP 17319485 A JP17319485 A JP 17319485A JP S6234078 A JPS6234078 A JP S6234078A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、LSI等を試験するための半導体試験装置に
おけるパターン発生器に係り、特に高性能マイクロプロ
セッサ等の試験に使用される長大な数のテストパターン
を高速で発生するのに好適とされたテストパターン発生
器に関するものである。
〔発明の背景〕
一般にマイクロプロセッサ等のロジックLSIの試験に
際しては、予めテストパターンを試験装置におけるメモ
リに格納しておき、これを順次読み出すことによってテ
ストパターンを発生したうえ試験対象に与えるようにな
っている。
ところで、近年のマイクロプロセッサ等のLSIの高機
能化により、その試験には数100に−といった具合に
、長大な数のテストパターンを必要としているのが実状
である。更に半導体素子の高速化に伴い50 MHz=
100MHzといった具合に非常に高速にテストパター
ンを発生することが要求されるようになっている。した
がって、このような長大な数のテストパターンを高速に
発生するには、大容量のメモリを高速で動作させなけれ
ばならない。
しかしながら、実際には容量の大きいメモリは動作が遅
く、これとは逆に動作の遅いメモリはまた容量が小さい
ため、大容量低速のメモリを用いて見かけ上、高速に読
出動作させる、いわゆるインターリーフ制御方式がしば
しば採用されるようになっている。これは、低速のメモ
リを複数個用い、あるサイクルに1つのメモリの続出を
開始し、次のサイクルでは別のメモリの続出を開始し、
更に次のサイクルでは、更に別のメモリといった具合に
、N個のメモリを用いることにより1つのメモリの読み
出し速度のN倍の速さでデータを読み出す方式である。
ところで、上記の方式による場合、メモリの続出順序が
あるメモリから別のメモリへ、そして更に別のメモリへ
といった具合に順番になっている時に限り効果がある。
1つ1つのメモリは低速であるために、続出を開始した
メモリはNサイクル後までの間、次の続出を開始し得な
いものである。
よって、例えばあるサイクルで、あるメモリの続出を開
始し、引き続き同一メモリにおける別のアドレスのデー
タを読み出す必要がある場合には、数サイクル分の無効
な時間が発生することになる。
ここで、これまでの試験装置におけるテストパターン発
生器は第9図に示すように構成されるようになっている
。パターンデータを予め格納したパターンメモリ91と
、このパターンメモリ91に対して続出アドレス120
を指示するアドレス発生器90とから構成されているも
のである。この場合アドレス発生器90は更に、アドレ
ス120.180の発生順序を制御する命令が格納され
た制御メモリ81と、制御メモリ81の続出を制御する
プログラムカウンタ80と、読み出された命令を解釈・
実行することによってパターンメモリ91へのアドレス
120を発生する制御部95とから構成されたものとな
っている。制御部95は更に制御メモリ81からの命令
を解釈する制御器82と、パターンメモリ91へのアド
レス120を実際に発生するアドレス発生部83とから
なるものとなっている。制御メモリ81には情報圧縮さ
れた形で命令が格納されているが、制御器82は制御メ
モリ81からの命令181の内容にもとづきプログラム
カウンタ80に対しインクリメント信号やロード(プリ
セット)信号を制御信号183として与えるものとなっ
ている。このような事情はアドレス発生部83に対して
も同様となっている。インクリメント信号によってはプ
ログラムカウンタ80、アドレス発生部83でのアドレ
スが+1更新され、ロード信号によっては制御メモリ8
1より読み出されたオペランド182がアドレスとして
プログラムカウンタ80、アドレス発生部83にロード
されるものである。なお、情報圧縮された形で命令が制
御メモリ81に格納される場合は、プログラムカウンタ
80、アドレス発生部83各々で発生されるアドレス1
80.120は一般に一致しないものとなっている。
さて、アドレス発生器で実行される命令には同一アドレ
スの繰り返し、分岐、サブルーチン分岐等の豊富な機能
が必要とされ、実際のテストパターン発生時にはこれら
の機能が活用されるものとなっている。しかしながら、
インターリーフ制御方式をテストパターン発生器に採用
する場合は、アドレス分岐等の続出順序を変更する命令
を実行する毎に無効なサイクルが発生し、試験装置とし
て不都合である。そこで、分岐時にも無効サイクルを発
生しないように工夫をし、しかもインターリーフ制御方
式を採用した高速パターン発生器としては、例えば、特
開昭54−128646号公報や特開昭57−1310
76号公報に開示された装置、更には「日経エレクトロ
ニクス誌J  (1980年3月31日号)のp88〜
p106に解説されている装置が知られている。これら
の技術はインターリーフ動作する低速大容量メモリの出
力を一旦高速小容量メモリに書き込み、この高速メモリ
において各種続出順序を実現しようというものである。
しかしながら、分岐先となるアドレスの範囲は、この高
速メモリ容量によって制限され、一定以上離れたアドレ
スへ分岐する場合には、やはり無効サイクルが発生する
等、機能上での制約は免れ得ないものとなっている。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、長大な数のテストパターンを任意の順
序で高速に発生することが可能なパターン発生器を供す
るものである。
〔発明の概要〕
この目的のため本発明は、インターリーフ動作する複数
の低速大容量メモリの他に設けられた高速小容量メモリ
に、分岐後のテストパターンを予め記憶させておき、順
次テストパターンを読み出す場合は低速大容量メモリか
ら読み出す一方、続出順序に分岐が生じた場合には高速
小容量メモリに切り換え、再び低速大容量メモリから続
出可能となるまでの間高速小容量メモリからテストパタ
ーンを読み出すべくなしたものである。特に高速小容量
メモリと低速大容量メモリとの切換制御を行なう構成に
その特徴が存するものとなっている。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を第1図から第8図により説明する。
先ず本発明によるパターン発生器について説明すれば、
第1図はその全体の一例での概要構成を示したものであ
る。これによると全体は2つに大別されパターンメモリ
部91とアドレス発生器90より構成されるようになっ
ている。図示の如く本例でのパターンメモリ部91は4
個の低速大容量メモリ11〜14からデータを読み出す
べく、低速大容量メモリ11〜14をインターリーフ動
作させるインターリーフ制御器20とそれらメモリ11
〜14からの読出データを選択出力する選択器61とが
、また、続出に分岐が生じた場合に高速小容量メモリ5
0からデータを読み出すべく制御する高速メモリアクセ
ス制御器40が、更には分岐時に再び低速大容量メモリ
11〜14からのデータ続出が可能となるまでの間、デ
ータ続出を低速大容量メモリ11〜14側から高速小容
量メモリ50側に切り換えておく選択器62がそれぞれ
備えられたものとなっている。また、アドレス発生器9
0はアドレスの発生順序を指示した命令が予め格納され
ている制御メモリ81と、制御メモリ81に対して命令
を読み出すぺ(アドレス180を与えるプログラムカウ
ンタ80と、読み出された命令を解釈し、プログラムカ
ウンタ80とアドレス発生部83に該当する制御信号1
83.185を与える一方分岐命令の時には分岐信号1
30を高速メモリアクセス制御器40に出力する制御器
82と、制御器82の指示に従いアドレス120を発生
するアドレス発生部83とから構成されるようになって
いる。
なお、制御器82はアドレス発生部83からのアドレス
184をも考慮し制御信号183を発生するものとなっ
ている。
第2図(a)〜(Q)は低速大容量メモリと高速小容量
メモリに格納されるテストパターンの例を制御メモリに
格納されるテストプログラムとともに示したものである
。但し、テストプログラムには各メモリ11.12.1
3.14.50より読み出されるべきテストパターンも
併せて示されているが、図示のようにテストプログラム
は続出順序を制御するシーケンス命令よりなるものとな
っている。ここで、シーケンス命令のrNOPJは次の
アドレスに進むことを指示し、また、rJUMPJは分
岐を指示している。第2図(a)に示す例では制御メモ
リ上でのアドレスは「0」→「1」→「2」→「9」→
r13J −r14J→「15」→・・・・といった順
で更新され各々のシーケンス命令に対応したテストパタ
ーンが読み出され発生されるようになっているものであ
る。
ここで、テストパターンのメモリ11〜14.50への
格納態様について説明すれば、第2図山)に示すように
、低速メモリの場合にはインターリーフ動作が行なわれ
るため、低速大容量メモリ11.12゜13、14の順
に制御メモリ上のアドレス「0」。
rlJ、r2J、r3Jに対応したテストパターンが格
納されるものとなっている。また、高速メモリ50は分
岐時にのみ使用されるので、テストプログラムrJUM
PJ命令に対応した分岐先のテストパターン、図示のと
例ではアドレス「9」。
「13」対応のテストパターンが格納される。更に、高
速メモリ50からの続出は、分岐実行後に再び低速メモ
リからの続出が可能となるまで続行可能となっている。
即ち、第1図に示す例では、低速メモリの4 wayイ
ンターリーフ動作が行なわれているため、分岐開始後最
悪の場合でも4サイクル後には低速メモリからの続出が
可能となる。そこで、高速メモリには分岐開始後3サイ
クル分のテストパターンが格納されるようになっている
。具体的には第2図(C1に示すように、テストプログ
ラム中にはアドレス「9」への分岐とアドレス「13」
への分岐が存在するため、高速メモリにはアドレス「9
」への分岐に対応してはアドレス「9」。
rlOJ、  rill対応のテストパターンが、また
、アドレス「13」への分岐に対応してはアドレスr1
3J、  r14J、  r15J対応のテストパター
ンが格納されるものである。
以下では本発明によるパターン発生器の動作や構成部分
の一部についての具体的構成について説明するが、その
前に制御メモリに格納されるテストプログラムについて
詳細に説明すれば以下のようである。
即ち、第3図は第2図(a)に示すテストプログラムが
制御メモリに如何に圧縮されて格納されるが、その圧縮
されたものとの関係を示したものである。
既述した如く第2図fa)に示すテストプログラムは、
シーケンス命令を実行することによってアドレス発生部
83から発生されるアドレス120を「0」−「1」→
「2」→「9」→「13」→「14」 ・・・といった
順に発生させることを指示しているが、このプログラム
を実際に制御メモリ81に格納する場合には第3図に示
す如く圧縮されたものとして格納されるというものであ
る。これは制御メモリ81の容量を抑えるために他なら
ない。1つの命令はプログラムカウンタ制御命令、アド
レス発生部制御命令および圧縮アドレスの組合せとして
構成されるものである。例えばプログラムアドレス「0
」の命令は、テストプログラムにおけるアドレスrOJ
、rlJの命令に対応している。プログラムアドレス「
0」では、アドレス発生部制御命令“インクリメント′
を実行することによりアドレス発生部83でのアドレス
120はその内容が+1更新される。一方プログラムカ
ウンタ制御命令″N OP untilアドレス=1″
によってはプログラムカウンタ80はアドレス発生部8
3からのアドレス184、即ち、アドレス120の内容
が1と一致するまでそのアドレス180はそのままその
値に保持され、アドレス120が「1」と一致した後に
初めてプログラムカウンタ80は+1更新されプログラ
ムアドレスは「1」となるものである。次にプログラム
アドレス「1」ではJUMP3”命令によりプログラム
カウンタ8oには「3」 (オペランド182の一部)
がロードされる一方、同様にアドレス発生部制御命令“
ロード9”によってはアドレス発生部83に「9」がロ
ードされ、アドレス120はr9Jにおかれるものであ
る。この時、同時に「0」 (オペランド182の一部
)が出力され圧縮アドレス140として高速メモリ5o
の続出に供されるわけである。
このように高速メモリ59をアクセスするためのアドレ
スは、制御メモリ81内において分岐命令とともに、予
め高速メモリ50のアドレスに対応するアドレスとして
格納しておき、これを読み出すことによって発生し得る
。別の方法としては、上記のようにアドレスを格納して
お(ことな(、プログラムカウンタ80のアドレス18
0をそのまま高速メモリ50のアドレスとして使用して
もよい。但し、このようにする場合は圧縮アドレス14
0は連続したものとしては得られなく、また、高速メモ
リ50は全てのアドレスが有効に利用されなく容量とし
ては2倍程度多く要されることになる。
さて、本発明によるパターン発生器の動作について説明
する。既述した如く連続したアドレスより順次データを
読み出す場合は、インターリーフ動作する低速大容量メ
モリから読み出すようにし、分岐が生じた場合には、再
び低速大容量メモリからデータを読み出せる状態になる
までの間、高速小容量メモリからデータを読み出すが、
この読出動作を第4図により説明すれば以下のようであ
る。
即ち、第2図(a)に示すテストプログラムの例に従い
発生されるアドレスrOJ→「1」→「2」は連続した
アドレスであるため、低速メモリ11゜12、13とい
った順で続出が行なわれることになる。
しかしながら、次にはrJUMPJ命令により分岐が生
じていることから、アドレス「9」の低速メモリ14か
らの続出は不可能となる。これは、アドレス「9」に対
応したデータは低速メモ1月4には格納されていないか
らである。よって、高速メモリ50側に切り換えて続出
を行なうものである。
ところで、次のアドレス「13」における命令も分岐命
令であり低速メモリ14からの読出が不可能なため、引
き続き高速メモリ50より続出が行なわれることになる
更にこの後に読み出すべきテストパターンはアドレス「
14」対応のものであるが、この時点で続出可能な順番
にあるものは依然として低速メモリ14である。しかし
、この低速大容量メモリ14内には第2図(blに示す
ようにアドレス14対応のテストパターンは格納されて
いないことから、高速小容量メモリ50から引き続きア
ドレス「14」対応のテストパターンの続出が行なわれ
るものである。しかしながら、次に読み出すべきアドレ
ス「15」対応のテストパターンは低速大容量メモリ1
4内に格納されていることから、このサイクル以後は低
速メモリ側からテストパターンを順次読み出すことが再
び可能となる。そこで、アドレス「15」〜「17」 
・・・については低速大容量メモリ14.11゜12・
・・から順に読み出すようにするものである。
ところで、本発明の特徴的部分は低速メモリからの続出
が可能か否かの判断と、その判断にもとづくメモリの切
換制御にあるが、これを第5図により説明する。
第5図は第1図に示す低速メモリ制御側の詳細な構成を
示したものであり、第6図はその動作を示したものであ
る。
4nayインタ一リーブ動作を行なう低速大容量メモリ
11〜14は通常lサイクルづつアクセスタイミングが
ずれるので、各メモリ11〜14よは各々アドレスを保
持するためのレジスタ23〜26が設けられている。ま
た、選択器61は低速大容量メモリ11〜14からの出
力111〜114を順に選択出力するためのものである
。これらレジスタ23〜24および選択器61に対する
制御は、本例では4nayインタ一リーブ動作であるた
め、2ビツトのカウンタ21により行なわれるようにな
っているこのカウンタ21出力のデコーダ22によるデ
コード結果がレジスタ23〜26ヘロードイネーブル制
御信号125〜X28として与えられる一方、選択器6
1への選択信号129はカウンタ21出力をディレィレ
ジスタ27により遅延させたものとなっている。したが
って、カウンタ21の出力2ビツトは、次に何れのメモ
リが続出可能なのか示していることになる。よって、ア
ドレス発生器90からのアドレス120に対応したテス
トパターンの続出が可能か否かの判断は、カウンタ21
の出力2ビツトとアドレス120の下位2ビツトを比較
器28で比較することにより行なえる。即ち、一致して
いれば続出可能であり、不一致であれば、低速メモリか
らの続出は不可能と判断されるものである。そこで、比
較器28の出力132により、カウンタ21のカウント
動作を制御するとともに、その出力132はまたディレ
ィレジスタ29で遅延されるたとによって低速メモリと
高速メモリの切換を行なう選択器62への選択信号13
1として用い得るものである。なお、レジスタ23〜2
6へのアドレス120のセントは、クロンク信号100
の立上りに同期して行なわれ、また、4wayインター
リーフを行なっているためアドレス120のγ位2ビッ
トはレジスタ23〜26では不要である。
第7図は第1図に示す高速メモリ制御側の詳細な構成を
、また、第8図はその動作をし示したものである。以下
、第8図を用いその構成の動作を詳細に説明すれば、ア
ドレス発生器90は分岐(不連続)が生じると、それに
対応した圧縮アドレス140と分岐信号130を高速メ
モリ50側に対し出力するものとなっている。第2図(
a)に示すテストプログラムの例によりば、アドレス1
20は「0」=「1」→「2」→「9」→「13」・・
・といった順に発生され、アドレス「2」から「9」へ
、アドレス 「9」から「13」へと分岐が発生するが
、第8図に示すように、先ずアドレス120の内容が「
2」である時、圧縮アドレス「0」と分岐信号130が
入力される。この分岐信号130は第7図において、レ
ジスタ41のロードイネーブル信号として入力され、次
のクロック100によりその圧縮アドレスrOJがレジ
スタ41に取り込まれるようになっている。一方、分岐
信号130は、選択出力部70におけるカウンタ71の
同期クリア信号として使用され、圧縮アドレス「0」が
レジスタ41に取り込まれると同時に、カウンタ71は
クリアされるようになっている。ところで、本例での高
速メモリ50は同一アドレス空間をもつ3つのメモリ5
1〜53よりなり、高速メモリ51は1サイクルタイム
の間にデータの続出が可能なもので、レジスタ41から
のアドレスrOJ対応のデータガ出力151として読み
出されるようになっている。この場合にはカウンタ71
がクリアされていることから、選択器72はカウンタ出
力142によって高速メモリ51の出力151を選択出
力するところとなるものである。この選択器出力154
はディレィレジスタ73によって本例では4サイクル分
遅延され、ディレィレジスタ73の出力150は試験用
パターンデータとして出力されるものである。
さて、続くサイクルも分岐であ\ることから、圧縮アド
レス「1」と分岐信号130が与えられ、次のクロック
でレジスタ41には圧縮アドレス「1」が取り込まれる
と同時に、カウンタ71はクリアされる。上記と同様に
して、圧縮アドレス「1」対応のデータが高速メモリ5
1より読み出されるものである。この後の次のサイクル
では分岐が発生しないため、分岐信号130および圧縮
アドレス140は人力されない。したがってレジスタ4
1の出力に変化はない。また、カウンタ71はクリアさ
れないため、クロックにより+1更新動作が丘なわれる
よって選択器72はこのサイクルでは高速メモリ52の
出力152を選択出力するところとなるものである。更
にこの後のサイクルでも分岐がないため、クロックによ
りカウンタ42は更に+1更新されることから選択器7
2は高速メモリ53の出力153を選択出力するところ
となるわけである。
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したように本発明によれば、通常はパタ
ーンを格納した低速大容量メモリをN wayインター
リーフ動作させてパターンを読み出す一方、分岐時には
分岐後のパターンが予め格納されている高速メモリから
必要なパターンを読み出すようにしたので、高速大容量
のパターンバッファを得ることができる。また、分岐が
生じて高速メモリからのパターンの続出があったとき、
低速大容量メモリからのパターンの続出が可能となるま
で、引き続き高速メモリからのパターンの続出を可能と
したので、無効なサイクルを生じることなく、ランダム
なアクセスが可能となる。特にパターン発生器からのア
ドレスの下位側ビットと低速大容量メモリ指定用カウン
タ出力とを比較することによって、低速大容量メモリと
高速メモリとの切換が容易に行なわれるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明によるパターン発生器の一例での概要
構成を示す図、第2図(al、 (bl、 (Clは、
その構成における制御メモリ、低速大容量メモリ、高速
小容量メモリにそれぞれ格納されるテストプログラム、
テストパターンの例を示す図、第3図、 は、第2図(
a)に示すテストプログラムの制御メモリへの圧縮格納
態様を示す図、第4図は、本発明によるパターン発生器
の全体的な動作を説明するための図、第5図、第6図は
、第1図におけるインターリーフ制御器とその周辺の詳
細な構成とその動作を示す図、第7図、第8図は、第1
図における高速メモリアクセス制御器とその周辺の詳細
な構成とその動作を示す図、第9図は、これまでのパタ
ーン発生器の構成を示す図である。 11〜14・・・低速大容量メモリ、20・・・インタ
ーリーフ制御器、21・・・カウンタ、28・・・比較
器、40・・・高速メモリアクセス制御器、50・・・
高速メモリ、61.62・・・選択器、90・・・アド
レス発生器。 代理人 弁理士  秋 本 正 実 第 1 図 第2面(a) 〒ストア02゛°うへ 第7図 第 9 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 不連続なアドレスを一定周期で連続的に発生するアドレ
    ス発生器と、該発生器からのアドレスにもとづき該アド
    レス対応のテストデータが読み出されるデータメモリと
    からなるパターン発生器であって、データメモリを高速
    小容量メモリとインターリーフ動作するN(≠1)個の
    低速大容量メモリとから構成し、アドレス発生器からの
    アドレスの下位側ビットと低速大容量メモリ指定用のN
    進カウンタの出力との比較結果が一致する間においては
    、該カウンタの出力を一致の度に更新するとともに、低
    速大容量メモリよりテストデータを読み出す一方、不一
    致の間においては高速小容量メモリよりテストデータを
    読み出す構成を特徴とするパターン発生器。
JP60173194A 1985-08-08 1985-08-08 パタ−ン発生器 Expired - Fee Related JPH0750157B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007093318A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Yokogawa Electric Corp 検査信号生成装置及び半導体検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007093318A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Yokogawa Electric Corp 検査信号生成装置及び半導体検査装置
JP4640077B2 (ja) * 2005-09-28 2011-03-02 横河電機株式会社 検査信号生成装置及び半導体検査装置

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