JPS6231720A - 磁気軸受のダンパ装置 - Google Patents
磁気軸受のダンパ装置Info
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- JPS6231720A JPS6231720A JP60169254A JP16925485A JPS6231720A JP S6231720 A JPS6231720 A JP S6231720A JP 60169254 A JP60169254 A JP 60169254A JP 16925485 A JP16925485 A JP 16925485A JP S6231720 A JPS6231720 A JP S6231720A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 241000252203 Clupea harengus Species 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 235000019514 herring Nutrition 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0427—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for axial load mainly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C27/00—Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野ン
本発明は磁気軸受のダンノミ装置に関する。更に詳説す
れば光偏向器の多面鏡を塔載した磁気浮上型流体軸受の
ダンノミ装置に関する。
れば光偏向器の多面鏡を塔載した磁気浮上型流体軸受の
ダンノミ装置に関する。
（従来の技術）
従来より用いられている磁気浮上型の流体軸受において
は、流体軸受が回転作動中に生じるスラスト方向の固有
振動を阻止するためにダンパ装置を採用している。以下
添付図面第４図にもとづきその構成全説明する。第５図
は、従来より光偏向器の回転多面鏡に採用されている磁
気浮上型流体軸受の代表的な一例を示す。
は、流体軸受が回転作動中に生じるスラスト方向の固有
振動を阻止するためにダンパ装置を採用している。以下
添付図面第４図にもとづきその構成全説明する。第５図
は、従来より光偏向器の回転多面鏡に採用されている磁
気浮上型流体軸受の代表的な一例を示す。
筐体ａは上フレーム１、下フレーム２、側面フレーム３
とで構成され、その内部に下フレーム２に固定４された
シャフト５とこのシャフトの外周に回転自在に嵌挿され
た円筒状回転軸６並に回転軸６に装着した関係部材より
なる回転体ＲＴｈ収芥する。回転軸の関係部材とは、こ
の回転軸外周に７ランジ７に支承されて装着した多面鏡
８、フランジ７の下側の回転軸外周に設けたマグネット
９゜このマグネットの下端に装着したスラスト受１０と
スラスト受下側に固定した永久磁石１１とよりなる。こ
の回転体比と固定シャフト５との間には適宜な間隙ｃｆ
保持する。又回転軸６の外周には動圧発生用溝例えばヘ
リングぎ一ン溝ｈｌ刻設する。マグネット９に対向する
側面フレーム３の側にはコイルよりなるステータ１２を
設ける。符号１３はホール素子１４の支持板であり、こ
の素子により回転体Ｒの回転数の検出並にその制御が行
われる。
とで構成され、その内部に下フレーム２に固定４された
シャフト５とこのシャフトの外周に回転自在に嵌挿され
た円筒状回転軸６並に回転軸６に装着した関係部材より
なる回転体ＲＴｈ収芥する。回転軸の関係部材とは、こ
の回転軸外周に７ランジ７に支承されて装着した多面鏡
８、フランジ７の下側の回転軸外周に設けたマグネット
９゜このマグネットの下端に装着したスラスト受１０と
スラスト受下側に固定した永久磁石１１とよりなる。こ
の回転体比と固定シャフト５との間には適宜な間隙ｃｆ
保持する。又回転軸６の外周には動圧発生用溝例えばヘ
リングぎ一ン溝ｈｌ刻設する。マグネット９に対向する
側面フレーム３の側にはコイルよりなるステータ１２を
設ける。符号１３はホール素子１４の支持板であり、こ
の素子により回転体Ｒの回転数の検出並にその制御が行
われる。
スラスト受１０の下端に装着した永久磁石１１と対面す
るように下フレーム２にもつ一つの永久磁石１５全ダン
ツク装置１６によジ上下動可能に設ける。前記永久磁石
１１．１５は互にその極性を同一とする。更に永久磁石
１５の下方下フレーム内に前述のダンパ装置１６全収納
する。このダンノミ装置は例えば弾性部材等よ！ｌｌな
る。
るように下フレーム２にもつ一つの永久磁石１５全ダン
ツク装置１６によジ上下動可能に設ける。前記永久磁石
１１．１５は互にその極性を同一とする。更に永久磁石
１５の下方下フレーム内に前述のダンパ装置１６全収納
する。このダンノミ装置は例えば弾性部材等よ！ｌｌな
る。
先づステータ１２のコイルを励磁するとこのステータコ
イルと回転軸６に設けたマグネット９との共働作用によ
り、回転軸６が多面鏡８と共に所定方向に回転する。こ
の回転に応じて流体吸入口（図示せず〕より供給した流
体は、間隙ｃｆ通過してヘリングゼーン溝りに流入して
動圧を発生させて、回転軸６をラジアル方向に維持しつ
＼所定方向に回転させると同時にスラスト受１０の下端
に設けた磁石１５と下フレーム２上に設けた磁石１５と
の反発作用により、回転軸６をスラスト方向に浮上させ
、固定シャフト５の上面と回転体几の内側で形成する間
隙ｄを適宜な間隔に保持しっ＼回転体Ｒは円滑に回転す
るように構成されている。
イルと回転軸６に設けたマグネット９との共働作用によ
り、回転軸６が多面鏡８と共に所定方向に回転する。こ
の回転に応じて流体吸入口（図示せず〕より供給した流
体は、間隙ｃｆ通過してヘリングゼーン溝りに流入して
動圧を発生させて、回転軸６をラジアル方向に維持しつ
＼所定方向に回転させると同時にスラスト受１０の下端
に設けた磁石１５と下フレーム２上に設けた磁石１５と
の反発作用により、回転軸６をスラスト方向に浮上させ
、固定シャフト５の上面と回転体几の内側で形成する間
隙ｄを適宜な間隔に保持しっ＼回転体Ｒは円滑に回転す
るように構成されている。
然し乍ら回転中にスラスト方向に固有振動が発生するお
それがあるので、この振動を吸収するために、第４図に
図示のようなダンノミ装置１６を下フレームに設けてい
る。ダンノミ装置は弾性体よりなり、スラスト方向の流
体圧力に応じて磁石１５を上下動させることにより流体
圧力を調整してダンピング作用を果している。
それがあるので、この振動を吸収するために、第４図に
図示のようなダンノミ装置１６を下フレームに設けてい
る。ダンノミ装置は弾性体よりなり、スラスト方向の流
体圧力に応じて磁石１５を上下動させることにより流体
圧力を調整してダンピング作用を果している。
（発明の解決すべき問題点）
上述の従来例のダンツク装置は相反発する磁石に接して
設けられてあり、両磁石のスラスト方向の固有振動を直
接吸収する構成であるから、その構成は複雑且犬型にな
らざるを得ない等の問題点がろった。
設けられてあり、両磁石のスラスト方向の固有振動を直
接吸収する構成であるから、その構成は複雑且犬型にな
らざるを得ない等の問題点がろった。
（問題点全解決するための手段、作用）本発明において
は、回転多面鏡を装着した回転体と固定軸との回転中に
おける固有振動を吸収するために、回転体と固定軸とで
形成するラジアル方向の空隙のサイズを調整するか又は
回転体の回転浮上により形成される流体圧力を調整する
ことにより固有振動を吸収するために、回転体と固定軸
とで構成する間隙に流体が外部より供給される孔部全穿
設した構成を提供するもので、この孔部は回転体又は固
定軸に穿設される。
は、回転多面鏡を装着した回転体と固定軸との回転中に
おける固有振動を吸収するために、回転体と固定軸とで
形成するラジアル方向の空隙のサイズを調整するか又は
回転体の回転浮上により形成される流体圧力を調整する
ことにより固有振動を吸収するために、回転体と固定軸
とで構成する間隙に流体が外部より供給される孔部全穿
設した構成を提供するもので、この孔部は回転体又は固
定軸に穿設される。
回転体が固定軸に支承されて回転中に、一対の極性の相
反する磁石の反発力と回転体の質量によって決定される
固有振動と回転数との比が整数倍になったとき、共振現
象が惹起され、この振動が次第に大きくなろうとすると
き、回転体と固定軸とで形成するラジアル方向の空隙が
共振エネルギを吸収するように構成するか又は前記ラジ
アル方向の空隙がこのエネルギーを吸収できなくなった
際には、前記孔部を介して外部より供給された流体が回
転体と、固定軸とで形成する間隙に出入するから、いわ
ゆるダンノミ効果が発生し、共振による振動エネルギー
を吸収するから、関係部材による共振現象の発生を阻止
できる。
反する磁石の反発力と回転体の質量によって決定される
固有振動と回転数との比が整数倍になったとき、共振現
象が惹起され、この振動が次第に大きくなろうとすると
き、回転体と固定軸とで形成するラジアル方向の空隙が
共振エネルギを吸収するように構成するか又は前記ラジ
アル方向の空隙がこのエネルギーを吸収できなくなった
際には、前記孔部を介して外部より供給された流体が回
転体と、固定軸とで形成する間隙に出入するから、いわ
ゆるダンノミ効果が発生し、共振による振動エネルギー
を吸収するから、関係部材による共振現象の発生を阻止
できる。
（実施例）
以下添付図面を参照して本発明の実施例について説明す
る。添付図面第１図、第２図、第３図、第４図それぞれ
別々の実施例を図示する路線図で、それぞれ筐体その他
附属部材を省略した状態の固定軸、回転体を示す。
る。添付図面第１図、第２図、第３図、第４図それぞれ
別々の実施例を図示する路線図で、それぞれ筐体その他
附属部材を省略した状態の固定軸、回転体を示す。
符号２１は附属部材を省略した回転体で、下フレーム２
２に固定した固定軸２３に回転自在に嵌挿される。回転
体２１の内側面と固定軸２３の外周とのラジアル方向に
第１空隙２４が存在し、更に固定軸２３の上面と回転体
２１の内側面とは第２空隙２６全形成する。前記回転軸
２１には、外部より第２空隙２６に連通する孔部２８を
穿設する。回転体２１の下端には磁石３０全又下フレー
ム２２の上面には前記磁石３０に対面するように別の磁
石３２を設ける。前記磁石３０．３２は互に同ｒｉｆ形
成するように着磁される。
２に固定した固定軸２３に回転自在に嵌挿される。回転
体２１の内側面と固定軸２３の外周とのラジアル方向に
第１空隙２４が存在し、更に固定軸２３の上面と回転体
２１の内側面とは第２空隙２６全形成する。前記回転軸
２１には、外部より第２空隙２６に連通する孔部２８を
穿設する。回転体２１の下端には磁石３０全又下フレー
ム２２の上面には前記磁石３０に対面するように別の磁
石３２を設ける。前記磁石３０．３２は互に同ｒｉｆ形
成するように着磁される。
回転体２１が回転し、流体が第１空隙２４、第２空隙２
６内を移動し、磁石２８．３０の反発力により、回転体
２１は浮上回転しつ＼自由に上下方向に移動可能となる
。しかして前記磁石３０゜３２の相互反発力と回転体２
１の質量によって定められる固有振動と回転数との比が
整数倍になったときに共振現象を発生し、振動は益々大
きくなろうとする。
６内を移動し、磁石２８．３０の反発力により、回転体
２１は浮上回転しつ＼自由に上下方向に移動可能となる
。しかして前記磁石３０゜３２の相互反発力と回転体２
１の質量によって定められる固有振動と回転数との比が
整数倍になったときに共振現象を発生し、振動は益々大
きくなろうとする。
この際第１図に図示の第１空隙２４の形状を工夫して共
振の益々大きくなろうとするの全防止できる。すなわち
第１空隙２４が共振エネルギーを吸収できるだけの空隙
を、固定軸２３と回転体２１との間に設定すればよい。
振の益々大きくなろうとするの全防止できる。すなわち
第１空隙２４が共振エネルギーを吸収できるだけの空隙
を、固定軸２３と回転体２１との間に設定すればよい。
然し乍ら回転体の回転数が（ｒｐｍ）更に向上して第１
空隙だけでは共振エネルギーの全面吸収が不可能となっ
た段階では、回転体２１の外部に存在する流体例えば空
気が第２図に図示の貫通孔２８金介して回転体２１と固
定軸２３とで形成する第２空隙２６に出入することによ
り、いわゆるダン・ξ効果をもたらし、振動エイ・ルギ
ーを吸収するので、共振現象による関係部材の振動を阻
止する。
空隙だけでは共振エネルギーの全面吸収が不可能となっ
た段階では、回転体２１の外部に存在する流体例えば空
気が第２図に図示の貫通孔２８金介して回転体２１と固
定軸２３とで形成する第２空隙２６に出入することによ
り、いわゆるダン・ξ効果をもたらし、振動エイ・ルギ
ーを吸収するので、共振現象による関係部材の振動を阻
止する。
第３図は本発明に係る別の実施例である。流体は固定軸
２３に穿設した貫通孔３０を介して第２空隙２６に外部
より出入する構成である。又第４図は第２図、第３図に
図示した実力別を結合した構成全図示する。すなわち回
転体２１に穿設した孔部２８と固定軸２３に穿設した孔
部２９とのそれぞれ全弁して、流体を外部より第２空隙
２６に出入てせることにより、共振現象による関係部（
オの振動全防止する。尚又固定軸、回転体に制振鋼全採
用することにより同一の目的全達成できることは勿論で
ある。
２３に穿設した貫通孔３０を介して第２空隙２６に外部
より出入する構成である。又第４図は第２図、第３図に
図示した実力別を結合した構成全図示する。すなわち回
転体２１に穿設した孔部２８と固定軸２３に穿設した孔
部２９とのそれぞれ全弁して、流体を外部より第２空隙
２６に出入てせることにより、共振現象による関係部（
オの振動全防止する。尚又固定軸、回転体に制振鋼全採
用することにより同一の目的全達成できることは勿論で
ある。
（発明の効果）
本発明においては、従来例に採用てれているような複雑
な構成を具えた磁気浮上型流体軸受けのダンノミ装置全
採用することナクシて、固定軸と回転体で形成するラジ
アル方向の空隙のサイズ全調整するか又は極めて簡単な
形状の貫通孔を回転体又は固定軸に穿設することにより
、共振現象に起因する軸受部材の振動を容易に吸収する
ことができる等の効果を有する。
な構成を具えた磁気浮上型流体軸受けのダンノミ装置全
採用することナクシて、固定軸と回転体で形成するラジ
アル方向の空隙のサイズ全調整するか又は極めて簡単な
形状の貫通孔を回転体又は固定軸に穿設することにより
、共振現象に起因する軸受部材の振動を容易に吸収する
ことができる等の効果を有する。
第１図は本発明に係るダンパ装置に具えた磁気浮上型流
体軸受の一実施例の路線断面図。第２図は別の実施例の
路線断面図。第３図にも一つの実施ＦＪの路線断面図。 第４図はも一つの実施例の路線断面図。第５図は従来例
のダン、６装置を具備した磁気浮上型流体軸受の断面図
。 ２１・・・回転体 ２２・・・下フレーム２３・
・・固定軸 ２４・・・第１空隙２６・・・第２
空隙 ２８・・・孔部２９・・・孔部 ３
０・・・磁石３２・・・磁石
体軸受の一実施例の路線断面図。第２図は別の実施例の
路線断面図。第３図にも一つの実施ＦＪの路線断面図。 第４図はも一つの実施例の路線断面図。第５図は従来例
のダン、６装置を具備した磁気浮上型流体軸受の断面図
。 ２１・・・回転体 ２２・・・下フレーム２３・
・・固定軸 ２４・・・第１空隙２６・・・第２
空隙 ２８・・・孔部２９・・・孔部 ３
０・・・磁石３２・・・磁石
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁気浮上型流体軸受において、軸受内におけるスラ
スト方向の流体圧力を調整するために、固定軸と回転軸
との間に、スラスト圧力を吸収可能な空隙を設けるか又
は外部と連通する孔部を回転軸に穿設したことを特徴と
する磁気軸受のダンパ装置。 ２、固定軸に外部よりの流体の出入を可能となした孔部
を穿設した特許請求の範囲第１項に記載の磁気軸受のダ
ンパ装置。 ３、回転軸と固定軸とに外部よりの流体の出入を可能と
なした孔部をそれぞれ穿設した特許請求の範囲第１項に
記載の磁気軸受のダンパ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169254A JPS6231720A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 磁気軸受のダンパ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169254A JPS6231720A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 磁気軸受のダンパ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231720A true JPS6231720A (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=15883098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60169254A Pending JPS6231720A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 磁気軸受のダンパ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231720A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63190928A (ja) * | 1987-02-03 | 1988-08-08 | Koyo Seiko Co Ltd | 動圧軸受 |
| JPS6420527U (ja) * | 1987-07-28 | 1989-02-01 | ||
| DE102012108823A1 (de) | 2011-09-20 | 2013-03-21 | Sii Nano Technology Inc. | Zusammengesetzte Ladungsteilchenstrahlvorrichtung |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4812820U (ja) * | 1971-06-22 | 1973-02-13 | ||
| JPS4985436A (ja) * | 1972-12-22 | 1974-08-16 | ||
| JPS5590761A (en) * | 1978-12-29 | 1980-07-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Fluid bearing apparatus and assembly thereof |
| JPS5659027A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Magnetic bearing |
| JPS56150619A (en) * | 1980-04-22 | 1981-11-21 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Magnetic bearing |
| JPS5834227A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-02-28 | Nippon Seiko Kk | 動圧形流体軸受 |
| JPS5923319A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-02-06 | Toshiba Corp | 回転体支持装置 |
| JPS59164413A (ja) * | 1983-03-05 | 1984-09-17 | Canon Inc | 回転駆動モ−タ |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP60169254A patent/JPS6231720A/ja active Pending
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| DE102012108823A1 (de) | 2011-09-20 | 2013-03-21 | Sii Nano Technology Inc. | Zusammengesetzte Ladungsteilchenstrahlvorrichtung |
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