JPS63190928A - 動圧軸受 - Google Patents
動圧軸受Info
- Publication number
- JPS63190928A JPS63190928A JP62023243A JP2324387A JPS63190928A JP S63190928 A JPS63190928 A JP S63190928A JP 62023243 A JP62023243 A JP 62023243A JP 2324387 A JP2324387 A JP 2324387A JP S63190928 A JPS63190928 A JP S63190928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- housing
- magnet
- face
- cover part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 9
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 4
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0427—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for axial load mainly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
- F16C17/026—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with helical grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. herringbone grooves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、流体の動圧により軸を支持する動圧軸受に
関する。
関する。
〈従来の技術〉
従来より、動圧軸受としては第５図のようなものがある
。第５図において、ｌは外周面に動圧を発生させる溝３
を有する軸であり、２は上記軸ｌの一部を収納するハウ
ジングである。上記軸ｌの端面１ａの中心に、軸方向外
側に突出させて先端にネジを有する支持部６を設けてい
る。また、上記端面１ａには、軸Ｉの半径よりも大きな
小径を有すると共に、中央に上記支持部６を貫通させる
孔５ａを有する外側磁石５を、その孔５ａに上記支持部
６を貫通させてロックナツト７によって固定している。
。第５図において、ｌは外周面に動圧を発生させる溝３
を有する軸であり、２は上記軸ｌの一部を収納するハウ
ジングである。上記軸ｌの端面１ａの中心に、軸方向外
側に突出させて先端にネジを有する支持部６を設けてい
る。また、上記端面１ａには、軸Ｉの半径よりも大きな
小径を有すると共に、中央に上記支持部６を貫通させる
孔５ａを有する外側磁石５を、その孔５ａに上記支持部
６を貫通させてロックナツト７によって固定している。
したがって、外側磁石５の内端面５ｂの一部は軸１の外
側に突出している。上記ハウジング２の外側磁石５に対
向する端面２ａには、中央に上記軸ｌを貫通させる孔４
ａを有する内側磁石４を固定している。上記内側磁石４
の外端面４ｂは、上記外側磁石５の内端面５ｂに対向さ
せ、かつ、同極を対向さけることにより、外側磁石５と
内側磁石４との間に発生する反発力によって、スラスト
方向に軸１を相対的に支持している。
側に突出している。上記ハウジング２の外側磁石５に対
向する端面２ａには、中央に上記軸ｌを貫通させる孔４
ａを有する内側磁石４を固定している。上記内側磁石４
の外端面４ｂは、上記外側磁石５の内端面５ｂに対向さ
せ、かつ、同極を対向さけることにより、外側磁石５と
内側磁石４との間に発生する反発力によって、スラスト
方向に軸１を相対的に支持している。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、上記従来の動圧軸受は外側磁石５および
内側磁石４の反発力のみによって、スラスト方向に軸１
を相対的に支持しているので、第６図に示すように、軸
１のハウジング２に対する相対的な回転に伴って、軸ｌ
にハウジング２に対する相対的な軸方向の微振動が発生
し、また、衝撃的な外乱か生じた場合、軸方向に大きな
振幅の振動が発生するという問題がある。
内側磁石４の反発力のみによって、スラスト方向に軸１
を相対的に支持しているので、第６図に示すように、軸
１のハウジング２に対する相対的な回転に伴って、軸ｌ
にハウジング２に対する相対的な軸方向の微振動が発生
し、また、衝撃的な外乱か生じた場合、軸方向に大きな
振幅の振動が発生するという問題がある。
そこで、この発明の目的は、軸のハウジングに対する相
対的な微振動または衝撃的な外乱による振動を速やかに
減衰することができ、しかも構造の簡単な動圧軸受を提
供することにある。
対的な微振動または衝撃的な外乱による振動を速やかに
減衰することができ、しかも構造の簡単な動圧軸受を提
供することにある。
〈問題点を解決するための手段〉
上記目的を達成するため、この発明の動圧軸受は、ハウ
ジングに軸の一部を収納すると共に、上記ハウジングの
内周面または軸の外周面の少なくとも一方に溝を設けて
上記軸とハウジングとの相対的な回転により袖とハウジ
ングとの間の流体に動圧を発生させてラジアル方向に軸
を支持するようにし、さらに、上記軸の端面とハウジン
グの端面とにそれぞれ磁石を同極を向かい合わ什て設置
し、上記軸の端面の磁石と上記ハウジングの端面の磁石
の反発力でスラスト方向に軸を支持するようにした動圧
軸受であって、軸の端面の磁石とハウジングの端面の磁
石との間の流体を密封するカバー部と、上記カバー部に
よって密封された空間を外部に連通させる絞り通路を備
えたことを特徴としている。
ジングに軸の一部を収納すると共に、上記ハウジングの
内周面または軸の外周面の少なくとも一方に溝を設けて
上記軸とハウジングとの相対的な回転により袖とハウジ
ングとの間の流体に動圧を発生させてラジアル方向に軸
を支持するようにし、さらに、上記軸の端面とハウジン
グの端面とにそれぞれ磁石を同極を向かい合わ什て設置
し、上記軸の端面の磁石と上記ハウジングの端面の磁石
の反発力でスラスト方向に軸を支持するようにした動圧
軸受であって、軸の端面の磁石とハウジングの端面の磁
石との間の流体を密封するカバー部と、上記カバー部に
よって密封された空間を外部に連通させる絞り通路を備
えたことを特徴としている。
く作用〉
振動あるいは衝撃的な外乱によって、軸がハウジングに
対して相対的に変位さ仕ろ力が発生すると、カバー部に
よって密封され、かつ、絞り通路によって外部に連通さ
れた空間内の流体のダンパ効果によって、上記力は速や
かに吸収される。したがって、軸のハウジングに対する
相対的な微振動または衝撃的な外乱による振動を速やか
に減衰することができる。
対して相対的に変位さ仕ろ力が発生すると、カバー部に
よって密封され、かつ、絞り通路によって外部に連通さ
れた空間内の流体のダンパ効果によって、上記力は速や
かに吸収される。したがって、軸のハウジングに対する
相対的な微振動または衝撃的な外乱による振動を速やか
に減衰することができる。
〈実施例〉
以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。
第１図において、＋１は非磁性材でなるハウジング１２
に収納した固定軸である。上記固定軸ＩＩの外周面には
動圧発生用の溝１７を設け、端面１．Ｉａに内側磁石１
５を固定している。上記ハウジング１２の一部を構成す
ると共に、上記内側磁石１５を覆うカバー部１３の内面
１３ａには、上記内側磁石Ｉ５の外側端面１５ａに外側
磁石■６の内側端面１６ａを対向させ、かっ、同極を対
向させるようにして、上記外側磁石Ｉ６を嵌合している
。したがって、上記外側磁石１６と上記内側磁石Ｉ５の
反発力によって軸１１はスラスト方向に相対的に支持さ
れろと共に、外側磁石１６の内端面１６ａと内側磁石１
５の外端面１５ａとは一定間隔をおいて離れて、空間２
０が形成される。
に収納した固定軸である。上記固定軸ＩＩの外周面には
動圧発生用の溝１７を設け、端面１．Ｉａに内側磁石１
５を固定している。上記ハウジング１２の一部を構成す
ると共に、上記内側磁石１５を覆うカバー部１３の内面
１３ａには、上記内側磁石Ｉ５の外側端面１５ａに外側
磁石■６の内側端面１６ａを対向させ、かっ、同極を対
向させるようにして、上記外側磁石Ｉ６を嵌合している
。したがって、上記外側磁石１６と上記内側磁石Ｉ５の
反発力によって軸１１はスラスト方向に相対的に支持さ
れろと共に、外側磁石１６の内端面１６ａと内側磁石１
５の外端面１５ａとは一定間隔をおいて離れて、空間２
０が形成される。
上記軸ＩＩの外周面と上記ハウジング１２の内周面との
間の隙間１９には、上記軸１１のハウジング１２に対す
る相対的な回転によって発生する上記Ｔｌ４１７のポン
プ作用により、ラジアル方向に輔１１を支持する流体圧
が発生ずる。また、この実施例では、上記隙間１９の間
隔を上記空間２０の内側磁石１５と外側磁石１６の間の
間隔に比較して十分小さく設定しである。したがって、
空間２０に対して外部より流体が自由に出入りすること
ができず、上記隙間１９は上記空間２０を外部に連通さ
せる絞り通路としての作用を有する（以下上記隙間１９
を絞り通路と言う）。したかって、空間２０内の流体は
不完全ながら密封状態になり、輔１１のハウジング１２
に対する軸方向の相対的変位に対して、空間２０に外部
より適里の流体が出入りすることにより、空間２０内に
密封された流体はダンパ効果を有することになる。
間の隙間１９には、上記軸１１のハウジング１２に対す
る相対的な回転によって発生する上記Ｔｌ４１７のポン
プ作用により、ラジアル方向に輔１１を支持する流体圧
が発生ずる。また、この実施例では、上記隙間１９の間
隔を上記空間２０の内側磁石１５と外側磁石１６の間の
間隔に比較して十分小さく設定しである。したがって、
空間２０に対して外部より流体が自由に出入りすること
ができず、上記隙間１９は上記空間２０を外部に連通さ
せる絞り通路としての作用を有する（以下上記隙間１９
を絞り通路と言う）。したかって、空間２０内の流体は
不完全ながら密封状態になり、輔１１のハウジング１２
に対する軸方向の相対的変位に対して、空間２０に外部
より適里の流体が出入りすることにより、空間２０内に
密封された流体はダンパ効果を有することになる。
上記構成の動圧軸受は、軸１１がカバー部Ｉ３に対して
相対的に近付く方向に変位させる力が発生すると、上記
内側磁石１５と上記外側磁石１６の内側端面の反発力に
よって上記力は抑圧されると共に、空間２０内に密封さ
れた流体のダンパ効果によって上記力は速やかに吸収さ
れ、上記両磁石１５．１６の反発力によって、軸１１は
速やかに元の位置に戻る。また、軸Ｉｌがカバー部１３
に対して、相対的に遠ざかる方向に変位させる力が発生
ずると、空間２０内に密封された流体のダンパ効果によ
って上記力は速やかに吸収されて、軸１１は速やかに元
の位置に戻る。したうくって、軸１１のハウジング１２
に対する相対的な微振動または衝撃的な外乱による振動
を速やかに減衰することがてき、第・１図に示すように
、軸１１の軸方向の相対変位は、仙１１のハウジング１
２に対する相対的な回転に対して、非常に安定している
。
相対的に近付く方向に変位させる力が発生すると、上記
内側磁石１５と上記外側磁石１６の内側端面の反発力に
よって上記力は抑圧されると共に、空間２０内に密封さ
れた流体のダンパ効果によって上記力は速やかに吸収さ
れ、上記両磁石１５．１６の反発力によって、軸１１は
速やかに元の位置に戻る。また、軸Ｉｌがカバー部１３
に対して、相対的に遠ざかる方向に変位させる力が発生
ずると、空間２０内に密封された流体のダンパ効果によ
って上記力は速やかに吸収されて、軸１１は速やかに元
の位置に戻る。したうくって、軸１１のハウジング１２
に対する相対的な微振動または衝撃的な外乱による振動
を速やかに減衰することがてき、第・１図に示すように
、軸１１の軸方向の相対変位は、仙１１のハウジング１
２に対する相対的な回転に対して、非常に安定している
。
上記ハウジングＩ２は非磁性材で作成されているので、
上記外側磁石１６．内側磁石１５等から発生する微細な
磁性粉が、上記絞り通路１９に付着して円滑な回転を妨
げるようなこともない。磁石１５．１６の表面をテフロ
ン等でコーティングして上述のような磁性粉の発生を防
止することも可能である。
上記外側磁石１６．内側磁石１５等から発生する微細な
磁性粉が、上記絞り通路１９に付着して円滑な回転を妨
げるようなこともない。磁石１５．１６の表面をテフロ
ン等でコーティングして上述のような磁性粉の発生を防
止することも可能である。
第２図に示す他の実施例では、ハウジング２２の外端部
の内周面にネジ２２ａを設け、カバー部２３の外周面に
ネジ２３ａを設け、カバー部２３をハウジング２２に螺
合している。また、カバー部２３の端面２３ａに外側磁
石２６を内側磁石１５に同極を対向させて埋め込んで固
定している。したがって、上記カバー部２３を回転する
ことによってハウジング２２の軸１１に対する位置を正
確に調整することができる。
の内周面にネジ２２ａを設け、カバー部２３の外周面に
ネジ２３ａを設け、カバー部２３をハウジング２２に螺
合している。また、カバー部２３の端面２３ａに外側磁
石２６を内側磁石１５に同極を対向させて埋め込んで固
定している。したがって、上記カバー部２３を回転する
ことによってハウジング２２の軸１１に対する位置を正
確に調整することができる。
第３図に示す他の実施例では、ハウジング３２の一部を
構成しているカバー部３３の中心にネジ孔３３ａを設け
、上記ネジ孔３３ａにボルト、４１を螺合している。空
間４０内に外側磁石３６を内側磁石１５に同極を対向し
て移動自在に収納し、上記外側磁石３６の外側端面３６
ａに上記ボルト４１の先端を当接して、外側磁石３６を
支持している。
構成しているカバー部３３の中心にネジ孔３３ａを設け
、上記ネジ孔３３ａにボルト、４１を螺合している。空
間４０内に外側磁石３６を内側磁石１５に同極を対向し
て移動自在に収納し、上記外側磁石３６の外側端面３６
ａに上記ボルト４１の先端を当接して、外側磁石３６を
支持している。
したがって、ボルト４１を回転することによって、ハウ
ジング３２の軸１１に対する位置を正確に調整すること
ができる。
ジング３２の軸１１に対する位置を正確に調整すること
ができる。
上記実施例はいずれも、軸１１の外周面とハウジング１
２，２２．３２の内周面との間の隙間て上記絞り通路Ｉ
９を形成している。しかし、かならずし乙ぞの必要はな
く、例えば、上記隙間と空間２０．３０．４０とを連通
さ什ずに、ハウジング１２゜２２．３２に空間２０，３
０．４０を外部に連通ずる絞り通路を設けてもよい。
２，２２．３２の内周面との間の隙間て上記絞り通路Ｉ
９を形成している。しかし、かならずし乙ぞの必要はな
く、例えば、上記隙間と空間２０．３０．４０とを連通
さ什ずに、ハウジング１２゜２２．３２に空間２０，３
０．４０を外部に連通ずる絞り通路を設けてもよい。
〈発明の効果〉
以上より明らかなように、この発明の動圧軸受は、スラ
スト方向に軸を支持するため軸の端面の磁石とハウジン
クの端面の磁石を有し、さらに、上記軸の端面の磁石と
ハウジングの端面の磁石との間の流体を密封するカバー
部と、上記カバー部によって密封された空間を外部に連
通させる絞り通路を備えたので、上記空間内に密封され
た流体のダンパ効果によって、軸のハウジングに対する
相対的な振動、あるいは、衝撃的な外乱による大きな振
幅の振動を速やかに減衰することができる。
スト方向に軸を支持するため軸の端面の磁石とハウジン
クの端面の磁石を有し、さらに、上記軸の端面の磁石と
ハウジングの端面の磁石との間の流体を密封するカバー
部と、上記カバー部によって密封された空間を外部に連
通させる絞り通路を備えたので、上記空間内に密封され
た流体のダンパ効果によって、軸のハウジングに対する
相対的な振動、あるいは、衝撃的な外乱による大きな振
幅の振動を速やかに減衰することができる。
したがって、非常に簡単な構造で、しかも微振動がなく
、ショックに対しても安定した動圧軸受を得ることがで
きる。
、ショックに対しても安定した動圧軸受を得ることがで
きる。
また、組立時などに軸に対してハウジングを逆さにした
り衝撃を加えたりしてら、上述のようなダンパ効果によ
りハウジングは直ぐには軸から抜は落ちることがなく作
業性が良好となる。
り衝撃を加えたりしてら、上述のようなダンパ効果によ
りハウジングは直ぐには軸から抜は落ちることがなく作
業性が良好となる。
第１図はこの発明の一実施例である動圧軸受の部分断面
図、第２図は第１図と異なる実施例の部分断面図、第３
図は第１．２図と異なる実施例の部分断面図、第４図は
第１図の実施例における回転数に対する軸の軸方向の相
対変位を示す図、第５図は従来の動圧軸受の部分断面図
、第６図は第５図の従来例における回転数に対する軸の
軸方向の相対変位を示す図である。 １１・・・軸、 １２，２２．３２・・・ハウジン
グ、ｔ３，２３．３３・・・カバー部、 １５・・内側
磁石、１６．２３．３６・・・外側磁石、 １７・・ラジアル動圧発生用溝、ｔ９・・絞り通路、２
０．３０．４０・・・密封空間。
図、第２図は第１図と異なる実施例の部分断面図、第３
図は第１．２図と異なる実施例の部分断面図、第４図は
第１図の実施例における回転数に対する軸の軸方向の相
対変位を示す図、第５図は従来の動圧軸受の部分断面図
、第６図は第５図の従来例における回転数に対する軸の
軸方向の相対変位を示す図である。 １１・・・軸、 １２，２２．３２・・・ハウジン
グ、ｔ３，２３．３３・・・カバー部、 １５・・内側
磁石、１６．２３．３６・・・外側磁石、 １７・・ラジアル動圧発生用溝、ｔ９・・絞り通路、２
０．３０．４０・・・密封空間。
Claims (1)
- （１）ハウジングに軸の一部を収納すると共に、上記ハ
ウジングの内周面または軸の外周面の少なくとも一方に
溝を設けて上記軸とハウジングとの相対的な回転により
軸とハウジングとの間の流体に動圧を発生させてラジア
ル方向に軸を支持するようにし、さらに、上記軸の端面
とハウジングの端面とにそれぞれ磁石を同極を向かい合
わせて設置し、上記軸の端面の磁石と上記ハウジングの
端面の磁石の反発力でスラスト方向に軸を支持するよう
にした動圧軸受において、 上記軸の端面の磁石と上記ハウジングの端面の磁石との
間の流体を密封するカバー部と、 上記カバー部によって密封された空間を外部に連通させ
る絞り通路を備えたことを特徴とする動圧軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62023243A JPS63190928A (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | 動圧軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62023243A JPS63190928A (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | 動圧軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63190928A true JPS63190928A (ja) | 1988-08-08 |
Family
ID=12105160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62023243A Pending JPS63190928A (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | 動圧軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63190928A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0314316U (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-13 | ||
| JPH0322120U (ja) * | 1989-07-14 | 1991-03-06 | ||
| KR19980065822A (ko) * | 1997-01-15 | 1998-10-15 | 김광호 | 자성물질을 이용한 저어널 유체 베어링 장치 |
| JP2013040623A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Lixil Corp | 回転ユニット |
| JP2021025548A (ja) * | 2019-07-31 | 2021-02-22 | 日本電産株式会社 | 気体動圧軸受、モータ、ファンモータおよび直列式ファンモータ |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990144A (ja) * | 1972-12-27 | 1974-08-28 | ||
| JPS5321348A (en) * | 1976-08-11 | 1978-02-27 | Hitachi Ltd | Rotary device for pneumatic bearing utilizing magnetic floating |
| JPS5659027A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Magnetic bearing |
| JPS61259224A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-17 | Copal Electron Co Ltd | 光偏向器の流体軸受 |
| JPS61294218A (ja) * | 1985-06-24 | 1986-12-25 | Canon Inc | 流体軸受装置 |
| JPS6231720A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-10 | Copal Electron Co Ltd | 磁気軸受のダンパ装置 |
-
1987
- 1987-02-03 JP JP62023243A patent/JPS63190928A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990144A (ja) * | 1972-12-27 | 1974-08-28 | ||
| JPS5321348A (en) * | 1976-08-11 | 1978-02-27 | Hitachi Ltd | Rotary device for pneumatic bearing utilizing magnetic floating |
| JPS5659027A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Magnetic bearing |
| JPS61259224A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-17 | Copal Electron Co Ltd | 光偏向器の流体軸受 |
| JPS61294218A (ja) * | 1985-06-24 | 1986-12-25 | Canon Inc | 流体軸受装置 |
| JPS6231720A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-10 | Copal Electron Co Ltd | 磁気軸受のダンパ装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0314316U (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-13 | ||
| JPH0322120U (ja) * | 1989-07-14 | 1991-03-06 | ||
| KR19980065822A (ko) * | 1997-01-15 | 1998-10-15 | 김광호 | 자성물질을 이용한 저어널 유체 베어링 장치 |
| JP2013040623A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Lixil Corp | 回転ユニット |
| JP2021025548A (ja) * | 2019-07-31 | 2021-02-22 | 日本電産株式会社 | 気体動圧軸受、モータ、ファンモータおよび直列式ファンモータ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2777011B2 (ja) | 面対向型モータ | |
| US4934781A (en) | Light deflecting system with rotating mirror | |
| JPS63190928A (ja) | 動圧軸受 | |
| JPH09163677A (ja) | スピンドルモータ | |
| JPS62127513A (ja) | スピンドル | |
| JP2568797Y2 (ja) | 動圧軸受 | |
| JP3013969B2 (ja) | 動圧軸受装置 | |
| JPH049455Y2 (ja) | ||
| JP3431723B2 (ja) | 動圧軸受装置 | |
| JPS6231720A (ja) | 磁気軸受のダンパ装置 | |
| JPH07332354A (ja) | 動圧軸受装置 | |
| JPH0439455Y2 (ja) | ||
| JPS62131737A (ja) | モ−タスピンドル | |
| JPH02304514A (ja) | 回転体支持装置 | |
| JPH102329A (ja) | 軸受装置 | |
| JPH02190610A (ja) | 軸受構造体 | |
| KR100267696B1 (ko) | 디스크 구동용 전동기 | |
| JPS5829291Y2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| GB2303413B (en) | Dynamic pressure bearing device | |
| JPH02184251A (ja) | モータ | |
| JPS63214578A (ja) | 磁性流体シ−ルユニツト | |
| JP2002156385A (ja) | 加速度計のマス支持装置 | |
| JP2521190Y2 (ja) | 動圧軸受 | |
| JPH04171316A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH02240439A (ja) | イナーシャダンパー |