JPS6231200A - 薄板基板の保持装置 - Google Patents
薄板基板の保持装置Info
- Publication number
- JPS6231200A JPS6231200A JP60169830A JP16983085A JPS6231200A JP S6231200 A JPS6231200 A JP S6231200A JP 60169830 A JP60169830 A JP 60169830A JP 16983085 A JP16983085 A JP 16983085A JP S6231200 A JPS6231200 A JP S6231200A
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- JP
- Japan
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- substrate
- board
- thin
- thin plate
- holding
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- Pending
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はプリント基板やセラミック基板等の薄板基板の
保持装置にかかわり、特に、上記基板へ部品を搭載する
とき、電気的特性”を検査するとき、搭載された部品の
形状を検査するとき等において板に反りを有する薄板基
板を保持するに好適な保持装置に関するものである。、
□〔発明の背景〕 ゛従来のこの種の装置として、喜光装・置において、基
板の反りや、平面度を改善して、パ基板表ｉ面を水平な
平坦面にして露光、することＩ／Ｃより、歩留りの向上
を図った例がある。 ・′ □しかし、上記の露
光装置に用いられてい゛る平坦化チャックを、プリント
基板やセラきツ夛基板へ部品を搭載する装置や検査装置
等に適用すると、種々な不具合が生じる。以下、これに
ついて詳説する。 ・−′近年の
プリント基板は、高密度実襄のため多層化が進み、多い
ものでは２０７ｉｔ程度の面路板痴らできているものも
ある。しかも、これらの多層プリント基板は、大型計算
機に用いられるものが多く、寸法も大きいもので５００
ｍＦＷ Ｘ ６００ｍｍ程度のもめもある。これらのプ
リント基板では、基板の積層工程で反りを生じ、大きい
ものでは中心部と周辺部とで２〜５ｍｍ程度の反りを生
じることもある。これらの反りのある基板に部品を搭載
する際、上記した従来の基板平坦化装置を用いて基板表
面を平にして部品を搭載すると、部品搭載後、基板の復
元力、すなわち元の反っている状態に戻る力によって、
搭載した部品に応力が加わり、部品の搭載状態が不″ゲ
定になりたり１部品のｗｒ載不良を生じる恐れがある。
保持装置にかかわり、特に、上記基板へ部品を搭載する
とき、電気的特性”を検査するとき、搭載された部品の
形状を検査するとき等において板に反りを有する薄板基
板を保持するに好適な保持装置に関するものである。、
□〔発明の背景〕 ゛従来のこの種の装置として、喜光装・置において、基
板の反りや、平面度を改善して、パ基板表ｉ面を水平な
平坦面にして露光、することＩ／Ｃより、歩留りの向上
を図った例がある。 ・′ □しかし、上記の露
光装置に用いられてい゛る平坦化チャックを、プリント
基板やセラきツ夛基板へ部品を搭載する装置や検査装置
等に適用すると、種々な不具合が生じる。以下、これに
ついて詳説する。 ・−′近年の
プリント基板は、高密度実襄のため多層化が進み、多い
ものでは２０７ｉｔ程度の面路板痴らできているものも
ある。しかも、これらの多層プリント基板は、大型計算
機に用いられるものが多く、寸法も大きいもので５００
ｍＦＷ Ｘ ６００ｍｍ程度のもめもある。これらのプ
リント基板では、基板の積層工程で反りを生じ、大きい
ものでは中心部と周辺部とで２〜５ｍｍ程度の反りを生
じることもある。これらの反りのある基板に部品を搭載
する際、上記した従来の基板平坦化装置を用いて基板表
面を平にして部品を搭載すると、部品搭載後、基板の復
元力、すなわち元の反っている状態に戻る力によって、
搭載した部品に応力が加わり、部品の搭載状態が不″ゲ
定になりたり１部品のｗｒ載不良を生じる恐れがある。
また、基板の裏面に部品を搭載するときには、表面に搭
載した部品のはんだ接続部が、基板の反りを矯正する力
により応力を受け、部品が取り外れたりして、プリント
基板の信頼性が低下する恐れもある。また、部品が組立
配線された基板が正常に動作するか否かを検査する検査
装置において、プリント基板の所定の位置にピンプａ−
グを押し当℃て、導通チェックや電気特性を検査する際
に、上記した従来の平坦化装置を用いると、検査中基板
に曲げ応力がかかり、基板に搭載されている部品が取り
外れたり、はんだ接合部に接触不良が生じる恐れもあり
、検査の信頼性が低下することもある。以上のように、
上記した露光装置に用いられている従来の装置は、プリ
ント基板等の大きく反っている薄板基板や、部品が搭載
されている薄板基板の保持装置としては不向きである。
載した部品のはんだ接続部が、基板の反りを矯正する力
により応力を受け、部品が取り外れたりして、プリント
基板の信頼性が低下する恐れもある。また、部品が組立
配線された基板が正常に動作するか否かを検査する検査
装置において、プリント基板の所定の位置にピンプａ−
グを押し当℃て、導通チェックや電気特性を検査する際
に、上記した従来の平坦化装置を用いると、検査中基板
に曲げ応力がかかり、基板に搭載されている部品が取り
外れたり、はんだ接合部に接触不良が生じる恐れもあり
、検査の信頼性が低下することもある。以上のように、
上記した露光装置に用いられている従来の装置は、プリ
ント基板等の大きく反っている薄板基板や、部品が搭載
されている薄板基板の保持装置としては不向きである。
また、上記したような平坦な保持装置を用いて上記のプ
リント基板に部品を搭載すると、プリント基板が反りて
いるために、基板と保持装置間に間隙のある部分は、部
品を搭載するたびに、搭載時に基板属加わる外力によっ
て変形を繰り返すことになり、基板に搭載されている部
品が取れたり、はんだ接合部に接触不良が生じる恐れが
ある。さらに、検査装置に用いても同様で、ビンプａ−
プの押し当て力により基＠に曲げ応力がかかり、同様な
問題が生じる。
リント基板に部品を搭載すると、プリント基板が反りて
いるために、基板と保持装置間に間隙のある部分は、部
品を搭載するたびに、搭載時に基板属加わる外力によっ
て変形を繰り返すことになり、基板に搭載されている部
品が取れたり、はんだ接合部に接触不良が生じる恐れが
ある。さらに、検査装置に用いても同様で、ビンプａ−
プの押し当て力により基＠に曲げ応力がかかり、同様な
問題が生じる。
以上のように、従来の薄板基板の保持ｆｃｔにおいては
、反っている薄板基板に部品が搭載されている場合、こ
の基板を保持すると、薄板基板が変形し、薄板基板上に
搭載されている部品の接合部へ応力が加わることは考慮
されていなかった。また、薄板基板に外力がかかる場合
、薄板基板が外力により変形し、この変形のために薄板
基板上の部品あるいは部品接合部へ応力が加わることも
同様に考慮されていなかった。
、反っている薄板基板に部品が搭載されている場合、こ
の基板を保持すると、薄板基板が変形し、薄板基板上に
搭載されている部品の接合部へ応力が加わることは考慮
されていなかった。また、薄板基板に外力がかかる場合
、薄板基板が外力により変形し、この変形のために薄板
基板上の部品あるいは部品接合部へ応力が加わることも
同様に考慮されていなかった。
さらに、薄板基板上に固定されている部品のはんだ接合
部の不良等の欠陥を、エア等を吹き付け【検査する鉄直
においては、従来の薄板基板の保持装置を用いると、検
出されるｍ勤が、不良部品による振動か、基板による撮
動か区別ができず、検査の信頼性を低下させる問題点も
生じていた。
部の不良等の欠陥を、エア等を吹き付け【検査する鉄直
においては、従来の薄板基板の保持装置を用いると、検
出されるｍ勤が、不良部品による振動か、基板による撮
動か区別ができず、検査の信頼性を低下させる問題点も
生じていた。
本発明の目的は、板に反りを有する薄板基板に静的ある
いは動的な外力が作用しても、該薄板基板の変形を低減
することができる薄板基板の保持装置を提供することに
ある。
いは動的な外力が作用しても、該薄板基板の変形を低減
することができる薄板基板の保持装置を提供することに
ある。
〔発明の概要〕・
本発明は、上記目的を達成するため、保持装置の保持部
を、載置される薄板基板と接する部分が、常に該薄板基
板の変形のないときの本来の載ａ側の面とほぼ同−曲面
上に存在するように構成することを特声とし、これによ
り、薄板基板の変形を低減し、薄板基板と保持部との接
触部の損傷等を大幅に低減されるように図ったものであ
る。
を、載置される薄板基板と接する部分が、常に該薄板基
板の変形のないときの本来の載ａ側の面とほぼ同−曲面
上に存在するように構成することを特声とし、これによ
り、薄板基板の変形を低減し、薄板基板と保持部との接
触部の損傷等を大幅に低減されるように図ったものであ
る。
以下１本発明の一実施例を第１図により説明する。
図において、中央部が凸形状の薄板基板１は水平方向を
ガイド部３で保持されており、薄板基板ホルダ２の内部
にはｔＡＣ体４が封入されている。薄板基板１および薄
板基板ホルダ２と接触する接触部５は、薄くて変形しや
すい材料で構成されている。ここで、流体４の圧力は一
載直しようとする薄板基板１の弾性変形係数と該基板の
荷重とによって決まる基板の変形力よりも小さい圧力に
しておく。
ガイド部３で保持されており、薄板基板ホルダ２の内部
にはｔＡＣ体４が封入されている。薄板基板１および薄
板基板ホルダ２と接触する接触部５は、薄くて変形しや
すい材料で構成されている。ここで、流体４の圧力は一
載直しようとする薄板基板１の弾性変形係数と該基板の
荷重とによって決まる基板の変形力よりも小さい圧力に
しておく。
次に、薄板基板１を薄板基板ホルダの接触部５上にのぜ
ると、薄板基板１の自重により、接触部５は基板の下面
の形状に変形し、基板の下面と接触部５とが密着する。
ると、薄板基板１の自重により、接触部５は基板の下面
の形状に変形し、基板の下面と接触部５とが密着する。
すなわち、第１図の保持装置は、家庭で用いる空気柱や
水枕のように、容易に任意の形状に変形することができ
る。また、薄板基板１の任意の位置に押付力が作用して
も、基板の変形としては、薄板基板ホルダ２の内部に存
在する流体４の圧縮に基づくわずかな変形しかないため
、基板の変形は大幅に低減できる。なお、上記の流体４
としては、空気や水、油類等が考えられる。また、流体
の代わりに同様な作用をなすものとして、シリコーンゴ
ム等の粘性の大ざい物質を用いても有効である。
水枕のように、容易に任意の形状に変形することができ
る。また、薄板基板１の任意の位置に押付力が作用して
も、基板の変形としては、薄板基板ホルダ２の内部に存
在する流体４の圧縮に基づくわずかな変形しかないため
、基板の変形は大幅に低減できる。なお、上記の流体４
としては、空気や水、油類等が考えられる。また、流体
の代わりに同様な作用をなすものとして、シリコーンゴ
ム等の粘性の大ざい物質を用いても有効である。
第１図に示した薄板基板の保持装置は、剣山状の治具を
押し付けて、基板上、の被検査部の電気的な導通、絶縁
等を検査する基板テスタ等に好適に使用することができ
る。
押し付けて、基板上、の被検査部の電気的な導通、絶縁
等を検査する基板テスタ等に好適に使用することができ
る。
第２図に本発明の他の実施例乞示す。図において、薄板
基板６は、基板チャック７に、軟質のゴム８を介して真
空吸引されている。基板チャック７には真空用の導通穴
９が設けられていて、薄板基板６全体を真空吸引するよ
うにしている。基板の上側には被検査用のＬＳｌｌｏが
取り付けてあり、基板の下側には抵抗等の部品１１が取
り付けである。基板チャック７上方のゴム８は、基板の
下側に固定されている部品１１との接触を避けるため、
薄板基板６と部分的に接触するように配しである。
基板６は、基板チャック７に、軟質のゴム８を介して真
空吸引されている。基板チャック７には真空用の導通穴
９が設けられていて、薄板基板６全体を真空吸引するよ
うにしている。基板の上側には被検査用のＬＳｌｌｏが
取り付けてあり、基板の下側には抵抗等の部品１１が取
り付けである。基板チャック７上方のゴム８は、基板の
下側に固定されている部品１１との接触を避けるため、
薄板基板６と部分的に接触するように配しである。
上記構成におりて、基板チャック７を用い、真空吸引し
て基板を吸着させると、薄板基板６の自重によりゴム８
が変形する。さらＫ、真空吸引することにより、ゴム８
には基板全体に作用する圧縮力が作用し、コム８が薄板
基板６の形状に倣って変形し、ゴム８と基板は＠着する
。
て基板を吸着させると、薄板基板６の自重によりゴム８
が変形する。さらＫ、真空吸引することにより、ゴム８
には基板全体に作用する圧縮力が作用し、コム８が薄板
基板６の形状に倣って変形し、ゴム８と基板は＠着する
。
本装置では、基板チャックＺ自体に導通穴９があげであ
るため、真空吸引力が局部的に過大になることはな（、
ゴム８の硬度を適当に選択することにより、真空吸引時
の基板形状の変形を大幅に低減することができる。
るため、真空吸引力が局部的に過大になることはな（、
ゴム８の硬度を適当に選択することにより、真空吸引時
の基板形状の変形を大幅に低減することができる。
第２図に示した薄板基板の保持装置は、乱流空気噴流を
検査対象である複数個所のはんだ付は部に吹き付け、レ
ーザビームを用いて振動を検知して、プリント基板上の
ＬＳＩ等のはんだ接合不良を検査する装置に好適に使用
することができる。すなわち、従来の保持装置では、基
板が反っているとエア吹き付は力によって基板自体が加
振してしまうことがあり、良品と不良品とを判別できな
い不具合を生じたが、本装置では、ゴムと基板が密着し
ているため、基板の上方からエアを吹き付けても基板は
ほとんど振動することはなく、検査対象のみの振動を検
出することができる。
検査対象である複数個所のはんだ付は部に吹き付け、レ
ーザビームを用いて振動を検知して、プリント基板上の
ＬＳＩ等のはんだ接合不良を検査する装置に好適に使用
することができる。すなわち、従来の保持装置では、基
板が反っているとエア吹き付は力によって基板自体が加
振してしまうことがあり、良品と不良品とを判別できな
い不具合を生じたが、本装置では、ゴムと基板が密着し
ているため、基板の上方からエアを吹き付けても基板は
ほとんど振動することはなく、検査対象のみの振動を検
出することができる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、次のような効果が得られる。
ビ）保持部の接触部分が、反りを有する薄板基板の形状
と同じような形状に変形するので、基板を変形させるこ
とがない。
と同じような形状に変形するので、基板を変形させるこ
とがない。
［ａｌ このため、本発明の装置を部品搭載機や基板
試験機に適用すると、基板が変形しないため信頼性の同
上とともに、基板へのダメージを著しく低減することが
できる。
試験機に適用すると、基板が変形しないため信頼性の同
上とともに、基板へのダメージを著しく低減することが
できる。
し−１また、基板上のＬＳＩｖのリード不良を検査する
装置に適用すると、基板の振動を大幅に低減できるため
、倹亙稍度を大幅に向上できる。
装置に適用すると、基板の振動を大幅に低減できるため
、倹亙稍度を大幅に向上できる。
第１図は本発明による薄板基板の保持装置の一実施例の
縦断面図、第２図は他の実施例の縦断面図である。 １・・・薄板基板 ２・・・薄板基板ホルダ３・
・・ガイド部 ４・・・流体５・・・接触部
６・・・薄板基板７・・・基板チャック ８・
・・ゴム９・・・導通穴 １０・・・ＬＳｌｌ
ｌ・・・部品
縦断面図、第２図は他の実施例の縦断面図である。 １・・・薄板基板 ２・・・薄板基板ホルダ３・
・・ガイド部 ４・・・流体５・・・接触部
６・・・薄板基板７・・・基板チャック ８・
・・ゴム９・・・導通穴 １０・・・ＬＳｌｌ
ｌ・・・部品
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、板に反りを有し、かつ該板に静的または動的な外力
が作用する薄板基板を保持する装置であって、載置され
る薄板基板と接する部分が、常に該薄板基板の本来の載
置側の面とほぼ同一曲面となる保持部を有することを特
徴とする薄板基板の保持装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の薄板基板の保持装置に
おいて、前記保持部は前記薄板基板と接する部分を、薄
くて変形しやすい部材で形成され、内部に流体または高
粘性材を入れて構成されたものであることを特徴とする
薄板基板の保持装置。 ３、特許請求の範囲第１項記載の薄板基板の保持装置に
おいて、前記保持部は緩衝材を用いて構成されたもので
あることを特徴とする薄板基板の保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169830A JPS6231200A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 薄板基板の保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169830A JPS6231200A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 薄板基板の保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231200A true JPS6231200A (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=15893702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60169830A Pending JPS6231200A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 薄板基板の保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231200A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04267600A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-09-24 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 電子部品の実装時に回路板を支持する装置 |
| JP2007214227A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板保持装置、基板保持方法、並びに該装置及び方法を利用する部品実装装置、部品実装方法 |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP60169830A patent/JPS6231200A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04267600A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-09-24 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 電子部品の実装時に回路板を支持する装置 |
| JP2007214227A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板保持装置、基板保持方法、並びに該装置及び方法を利用する部品実装装置、部品実装方法 |
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