JPS6230873A - バツチ式真空蒸着装置用蒸発源収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し産業上の利用分野１ 本発明は、バッチ式真空蒸着装置用蒸発源収納装置に関
するものである。

［従来の技術］ 従来、バッチ式真空蒸着装置どしては種々の型式のもの
が提案されており、例えば、実公昭４９−１８１２１号
公報、特公昭４３−　１１３７０号公報、特公昭５８−
３０３２号公報および特公昭５８−１７８２９号公報等
に記載のものを公知例としてあげることができる。

これらの公知の装置はいずれも真空容器から成る蒸着室
内に被処理物と蒸発源とを対向させて配置し、真空中で
物質を加熱して蒸発させ、その蒸気を被処理物上に凝縮
させて薄膜を形成するように構成されている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、このようなバッチ式真空蒸着装置においては
、蒸着作業が終了すると、蒸着室を大気に開放し【被処
理物の入れ換えを行なう必要がある。この場合、蒸着作
業終了直後に大気を導入すると、蒸発源は、急冷される
ため損傷することがある。このため蒸着作業終了毎、蒸
発源がある程度冷却されるまで蒸着室を大気に開放する
のを待つ必要がある。その結果、１バツチ当りに要づる
時間が長くなり、生産性が悪い。

また、蒸着作業終了毎に蒸発源が大気中に晒されるので
、酸化等が起こり、消耗が早く、メンデナンス費用が増
大する傾向があった。

一方、蒸着室と蒸発源室とを別個に設け、これらの画室
を大口径のバルブで仕切り、蒸発源室を常に真空状態に
保持し、蒸着室のみを大気圧にするようにした二室式真
空然着装置も提案されているが、蒸着室内の被処理物と
蒸発源室内の蒸発源とは対抗させて位置決めしなければ
ならないため、装置の開成が自ずと制限を受け、しかも
蒸着室と蒸発源室との間に大口径のバルブを設置ノる必
要があるので、蒸着室内の被処理物と蒸発源室内の蒸発
源との距離に゛ついても制約を受けることになる。

そこで、本発明は、Ｖ述のような従来技術の問題点を解
決して、１バッヂ当りの作業時間を大幅に短縮でき、し
かも蒸発源を毎回大気に晒さずに作動させることのぐき
るバッチ式真空蒸着装置用蒸発源収納装置を提供するこ
とを目的としている。

［問題点を解決するだめの手段］ 上記の目的を達成するために、本発明によるバッチ式真
空蒸ｒ：ｊ装置用蒸発源収納装置は、内部に基板と蒸発
源とを挿置し、上記蒸発源から蒸発さけた蒸着物質蒸気
を上記基板上に凝縮させて蒸着を行なうようにした真空
蒸着室と、上記真空蒸着室に仕切弁を介して連結し、真
空を維持できるようにした蒸発源収納室とを有し、上記
真空蒸着室と上記蒸発源収納室との間で上記蒸発源を移
動できるようにしたことを特徴としている。

し作　　　用１ 本発明によるバッチ式真空蒸着装置用蒸発源収納装置に
おいては、真空蒸着室に仕切弁を介して連結して別個に
蒸発源収納室が設けられ、蒸着処理中蒸発源は蒸発源収
納室から真空蒸着室内の被処理物に対向する位置に搬入
され、蒸着処理終了後の被処理物の取出し時には再び蒸
発源収納室内に収納される。これにより、蒸発源を大気
に晒すことなしに全工程を行なうことができる。

［実　施　例］ 以下、添附図面を参照して本発明の実施例について説明
する。

第１図には本発明の一実施例によるバッチ式真空蒸′ｒ
：を装置用蒸発源収納装置の要部を概略的に示し、１は
蒸発源収納室で、その内側に断熱材１ａが施されており
、従って保温室を構成している。

この蒸発源収納室１は仕切バルブ２含介して真空蒸着室
３に連結されている。蒸発源収納室１内には蒸発源４を
搬送するための搬送ローラ５が一平面上に配列されてお
り、各搬送ローラ５は、第２図に示すように、外部の駆
動系６（図面にはそのうちの一つだけを示す）を介して
駆動制御され得る。図面には示してないが、真空蒸着室
３内にも搬送【］−ラ５と同様な搬送ローラが上記搬送
ローラ５の平面と実質的に同一の平面上に同じ向きで配
列される。蒸発源収納゛全１内の上部には二つのヒータ
７が艮ｆ方向に沿って設けられ、電極端子８を介して外
部電源（図示してない）に接続され、また各ヒータ７と
組み合わせて蒸発源収納室１の土壁には温度制御用の熱
電対９（一方のみを第１図に示す）が設けられている。

これらのヒータ７および熱電対９の作用により、蒸発源
４の温度は一定温度に維持され得る。一方、蒸発源収納
室１内の下部にはキルアリアガス導入管１ｏが配設され
て１１１３す、このキャリアガス導入管１ｏは外部の図
示してない適当なキャリアガス導入管に連結され、不活
性ガスを蒸発源収納室１内に供給して蒸発源４内の蒸発
物質の蒸発を抑えると共に蒸発源４を周囲からの汚染か
ら保護する。また蒸発源収納室１は、その−に部に設け
た排気口１１を介して排気系に連結され、常に所定の真
空レベルに維持され得る。

このように構成した図示装置の動作においては、真空蒸
着室３内において被処理物（図示してない）に対する所
要の蒸着作業が終了すると、まず、真空蒸着室３と蒸発
源収納室１との間の仕切バルブ２を開き、蒸発源収納室
１および真空蒸着室３内の搬送ローラ５を外部の駆ｖＪ
系６により駆動して真空蒸着室３内に位置している蒸発
源４を高温真空状態に保たれた蒸発源収納室１へ搬出す
る。しかる後、仕切パル７２を閉じ、真空蒸着室３を人
気に開放して真空蒸着室３内の蒸着処理の終った被処理
物を取り出す。その優、処理すべさ′別の被処理物を真
空蒸着室３内に装着し、再び真空、Ａ容室３内を排気づ
る。排気終了後、仕切バルブ２を開き、搬送ローラ５を
逆方向に駆動して高温状態に保たれている蒸発源４を真
空蒸着室３内に搬入し、仕切バルブ２を閉じて蒸着作業
を再開する。

このような動作を繰返すことによって〜連の蒸着作業を
行なうことができる。

なお、図示実施例では、キャリアガス導入管１０は蒸発
源収納室１の下部に配設されているが、代りに蒸発源収
納室１の上部または左右両側部に設けてもよく、ヒータ
７についでもその数および位置を適宜変更することがで
きる。また、搬送ローラの代りに他の適当な搬送機構、
例えばベルト式やチェーン式等の搬送手段を使用しても
よい。

また図示実施例では、−・つの蒸発源が使用されている
が、当然処理目的に応じて複数個の蒸発源を用いてもよ
く、ま１ζ蒸発源の型式についても種々の型式のものに
対して同様に適用できる。さらに各部の動作は、自動的
に制御しても手動で制御してもよい。

［発明の効果］ 以上、説明してきたように、本発明によれば、内部に基
板とｔＡ発源とを挿置し、上記蒸発源から蒸発させた蒸
着物質蒸気を上記基板りに凝縮させて蒸着を行なうよう
にした真空蒸着室と、上記真空蒸着室に仕切弁を介して
連結し、真空を維持できるようにした蒸発源収納室とを
有し１、に記貞空蒸着室と上記蒸発源収納室との間で上
記蒸発源を移動できるように構成しているので、蒸着終
了後従来性なわれていた蒸発源の冷却を省くことができ
、１バッチ当りの作業ｖｉ間が短かくなり、その分生産
性を向上させることができる。また、蒸発源が蒸着終了
毎に大気に晒されないので、常に安定した品質で蒸着を
行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図、第２図は
第１図の装置の横断面図である。 図中、１：蒸発源収納室、１ａ　：所熱材、２：仕切バ
ルブ、３：真空蒸着室、４：蒸発源、５：搬送ローラ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内部に基板と蒸発源とを挿置し、上記蒸発源から蒸発さ
   せた蒸着物質蒸気を上記基板上に凝縮させて蒸着を行な
   うようにした真空蒸着室と、上記真空蒸着室に仕切弁を
   介して連結し、真空を維持できるようにした蒸発源収納
   室とを有し、上記真空蒸着室と上記蒸発源収納室との間
   で上記蒸発源を移動できるようにしたことを特徴とする
   バッチ式真空蒸着装置用蒸発源収納装置。