JPH01251616A - アッシャー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、特に処理後のウェハを冷却するのに好適なア
ッシャ−に関するものである。

〔従来の技術〕

有機物を灰化除去するアッシャ−は、従来、特開昭６２
−１６５９２５号に記載されているように、ウェハ搬送
装置から７ツシヤー処理室内のステージにウェハを載置
し、オゾンを含む酸素の反応ガスを流して紫外線をウェ
ハに照射するか、上記反応ガスをウェハの近傍から噴射
してアッシングを実施し、上記アッシング終了後のウェ
ハを搬送装置によりカセットに収納しており、アッシン
グ処理後の高温ウェハを冷却する手段は特に設けていな
い。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、アッシングの処理後における高温ウェ
ハの冷却について積極的な配慮がされておらず、加熱さ
れた高温状態のウェハを搬送ベルト上に載せると、上記
搬送ベルトが高温によってウェハに溶着したり、あるい
は、収納するカセットの材質に高温に耐える材料を選ぶ
必要があった。

本発明の目的は、強制冷却などにより周囲の雰囲気の気
流を乱すことなく、できるだけ短時間にウェハを冷却し
、アッシングのスループットを向上させることにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、アッシング処理後のウェハをカセットに収
納する前に、上記ウェハを冷却ステージに置いて冷却す
ることによって達成される。しかも、上記冷却ステージ
がウェハを載せて冷却している間に、搬送ロボットが通
常の搬送動作を支障なく動作できるようにすることによ
り、上記ウェハの冷却と搬送動作とは平行して行われる
。

上記のような冷却ステージにウェハを置いて冷却する方
法は、冷却ガスなどをウェハに吹付けて冷却する方法で
はないため冷却時間も早く、かつ、ウェハ周囲の雰囲気
を乱すことがないので、塵埃が上記ウェハ表面に付着す
るのを防止できる。

〔作　　用〕

本発明による冷却ステージは、ウェハのほぼ全面を蔽う
大きさを有し、しかも、ウェハは上記冷却ステージに密
着するようになっているため、冷却する速度が早い。な
お、上記冷却ステージは、ウェハ搬送ロボットの動きを
妨害しないように動作するので、アッシング処理後にお
けるウェハの冷却とつぎに処理するウェハの搬送動作と
が平行して行われるため、処理時間全体の能率がよく装
置のスループットが向上する。また、上記ウェハは上記
冷却ステージにより十分に冷却できるので、カセットに
は特別な耐熱材料を使用しなくてもよく、搬送ベルトに
ウェハが溶着することがない。

さらに冷却が冷却ステージへの熱伝導により行われるた
め、冷却ガスの吹付けなどによるウェハ周辺の雰囲気を
乱すことがなく、上記ウェハに対する塵埃の付着を防止
できる。

〔実施例〕

つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する。

第１図は本発明によるアッシャ−の一実施例における構
成を示す平面図、第２図は上記実施例における搬送ロボ
ットと冷却ステージの動きを説明する正面図で、（ａ）
はウェハ搬送中の状態を示す図、（ｂ）はウェハの冷却
状態を示す図、第３図は上記搬送ロボットと冷却ステー
ジの動きを説明する何面図、第４図は冷却方法によるウ
ェハ温度の時間的変化を示す図である。第１図において
、本発明によるアッシャ−は、搬送ロボット５を中心と
して第１処理室１と第２処理室２とが配置され、上記第
１処理室１および第２処理室２にそれぞれ対向する位置
に、ウェハローダ３およびウェハアンローダ４が配設さ
れている。上記搬送ロボット５はウェハローダ３のカセ
ットからウェハを取出し、第１処理室１または第２処理
室２のステージに上記ウェハを載置し、第２処理室２ま
たは第１処理室１におけるアッシング処理後のウェハを
取出し、ウェハアンローダ４に搬送してカセットに収納
するが、上記ウェハを取出したのちウェハアンローダ４
に搬送する前に、上記搬送ロボット５上に設けられた冷
却ステージ６に載置して冷却する。上記搬送ロボット５
は、その概要を第２図の正面図と第３図の側面図に示す
が１回転駆動部１３上に設置された摺動部８に沿って摺
動アーム９が前後に移動し、上記摺動アーム９に設けた
アーム７に、ウェハ１０を真空吸着して搬送する。第１
または第２の処理室１または２でアッシング処理を完了
したウェハ１０は、アーム７に吸着されて上記搬送ロボ
ット５に設置された冷却ステージ６上に載せた薄い石英
板１１の上に移され、第２図（ｂ）に示すように冷却中
のウェハ１２として冷却ステージ６上で冷却される。上
記冷却ステージ６は熱伝導度が大きいアルミニウムから
なり、上記ウェハ１の全周面積を十分に覆う広さで密接
しているので、上記冷却ステージ６を介して放熱される
ウェハの冷却効果は極めてよい。上記冷却期間中に、摺
動アーム９の前後移動や回転駆動部１３の回転によって
、上記アーム７は別のウェハ１０の搬送作業を行う。別
のウェハ１０のアッシング処理中に、上記アーム７は冷
却ステージ６の下方を移動することによって、冷却中の
ウェハ１２を受取りウェハアンローダ４のカセットに収
納する。

ここで、上記冷却ステージ６上におけるウエハ１２の冷
却速度を第４図に示す。ウェハ１２の冷却にはアルミニ
ウムなどの金属にそのまま密着させた方が冷却速度は早
いが、時にはウェハを金属に直接接触させることを嫌う
場合がある。上記の場合にはアルミニウムの冷却ステー
ジ６上に石英板を置き、石英板を介して冷却することに
なるが、上記石英板を介した場合でも第４図に示すよう
に冷却は速やかに行われる。第４図には、参考までにＮ
２ガスなどをウェハ裏面から吹付けて冷却する場合も併
せ示しているが、Ｎ２ガス吹付による冷却時間は冷却ス
テージ６による冷却の約２倍以上を必要とする。処理後
のウェハを収納するカセットの材質によっては、ウェハ
の温度を１００℃以下にする必要があり、例えば３００
℃の処理温度では１００℃以下にするのに通常数１０秒
の冷却時間が必要である。本発明による冷却ステージ６
による冷却の場合でも、第４図に示すように５〜６秒必
要であるが、上記時間の間、搬送ロボット５をそのまま
冷却のためにだけ使えば、処理能率であるスループット
（通常１時間当りの処理枚数）に占める割合が無視でき
なくなるので、本実施例のように、ウェハの冷却と搬送
とを同時に平行して行う方が望ましいのは明白である。

上記冷却ステージ６は１本実施例のように搬送ロボット
５に設置する以外に、例えば処理室１または２とウェハ
アンローダ４との間のように別の位置に設置してもよく
、１２送ロボツトからウェハを移された冷却ステージが
、上記搬送ロボットの動きを妨げない位置に移動してウ
ェハの冷却を行うようにする。

〔発明の効果〕

上記のように本発明によるアッシャ−は、紫外線と反応
ガスと熱とによりウェハ上の有機物を灰化除去するアッ
シャ−において、上記灰化除去処理ののちウェハをカセ
ットに収納する間に、上記ウェハを冷却する手段を設け
たことにより、搬送ロボットの動きと平行してウェ、ハ
の冷却が十分にできるので、アッシャ−全体の処理能率
を向上させる効果がある。従来のように冷却ガスを吹付
けて冷却する場合よりもウェハの冷却時間が短かく。

また、冷却と平行して搬送作業を行うため、実質的に処
理能率に影響しないレベルの冷却時間で、ウェハを十分
に冷却するアッシャ−を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるアッシャ−の一実施例における構
成を示す平面図、第２図は上記実施例における搬送ロボ
ットと冷却ステージの動きを説明する正面図で、（ａ）
はウェハ搬送中の状態を示す図、（ｂ）はウェハの冷却
状態を示す図、第３図は上記搬送ロボットと冷却ステー
ジの動きを説明する側面図、第４図は冷却方法によるウ
ェハ温度の時間的変化を示す図である。 １・・・第１処理室　　　　２・・・第２処理室３・・
・ウェハローダ　　　４・・・ウェハアンローダ５・・
・搬送口ボッ１へ６・・・冷却ステージ１１．１２・・
・ウェハ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、紫外線と反応ガスと熱とによりウェハ上の有機物を
   灰化除去するアッシャーにおいて、上記灰化除去処理の
   のちウェハをカセットに収納する間に、上記ウェハを冷
   却する手段を設けたことを特徴とするアッシャー。 ２、上記ウェハを冷却する手段は、冷却ステージに上記
   ウェハを載置することを特徴とする特許請求の範囲第１
   項に記載したアッシヤー。 ３、上記冷却ステージは、ウェハ搬送ロボット上に設け
   たことを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載したア
   ッシャー。 ４、上記冷却ステージは、ウェハ搬送ロボットの動作に
   障害を与えないように動作することを特徴とする特許請
   求の範囲第２項または第３項に記載したアッシヤー。