JPS62299728A - 光学素子 - Google Patents
光学素子Info
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- JPS62299728A JPS62299728A JP14304986A JP14304986A JPS62299728A JP S62299728 A JPS62299728 A JP S62299728A JP 14304986 A JP14304986 A JP 14304986A JP 14304986 A JP14304986 A JP 14304986A JP S62299728 A JPS62299728 A JP S62299728A
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- Japan
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- light
- intensity
- prism
- heat
- signal
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- Pending
Links
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
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- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は光学素子に係り、特に、光学素子を通過または
反射する光の強度をモニタするのに好適な光学素子に関
する。
反射する光の強度をモニタするのに好適な光学素子に関
する。
従来の装置は、特開昭５４−８０７９１号公報に記載の
ように、光源強度や光の強度を測定するため、試料への
照射光など必要な光（以下−次光と記載する）の一部を
ビームスプリンタで分！妓し、分岐した光を検出してそ
の強度をｊＩｑ定していた。しかし、光の分岐による一
次光の強度の損失については考慮されていなかった。
ように、光源強度や光の強度を測定するため、試料への
照射光など必要な光（以下−次光と記載する）の一部を
ビームスプリンタで分！妓し、分岐した光を検出してそ
の強度をｊＩｑ定していた。しかし、光の分岐による一
次光の強度の損失については考慮されていなかった。
上記従来技術は、−次光を分岐し強度でモニタすること
に起因する一次光強度の減少について考慮がされておら
ず、試料への照射光などの減少という問題があった。
に起因する一次光強度の減少について考慮がされておら
ず、試料への照射光などの減少という問題があった。
本発明の目的は、−次光の分岐による強度の減少を回避
し、−次光の強度をモニタできる光学素子を堤供するこ
とにある。
し、−次光の強度をモニタできる光学素子を堤供するこ
とにある。
上記目的は、光学系を構成するレンズやミラーなどの光
学素子に光の強度を測定する機能を持たせることにより
達成させる。
学素子に光の強度を測定する機能を持たせることにより
達成させる。
光がレンズやプリズムなどのガラス部品を通過すると、
光のエネルギの一部は熱エネルギに変換され、光音響信
号や熱波が発生する。また、全反射ミラー１３などで光
を反射する場合にも、光のエネルギの一部は吸収され、
光音ｅ （、’？号や熱波に変換される。光音響信号や
熱波の強度は、光の強度に比例するので、光学素子で発
生する光音響信号や熱波の強度を測定することにより、
光学素子に到達した光の強度を知ることができる。従っ
て。
光のエネルギの一部は熱エネルギに変換され、光音響信
号や熱波が発生する。また、全反射ミラー１３などで光
を反射する場合にも、光のエネルギの一部は吸収され、
光音ｅ （、’？号や熱波に変換される。光音響信号や
熱波の強度は、光の強度に比例するので、光学素子で発
生する光音響信号や熱波の強度を測定することにより、
光学素子に到達した光の強度を知ることができる。従っ
て。
圧電材料や焦電材料により光学素子に発生した光音響信
号や熱波を測定すれば、モニタ用の光を分岐することな
く、−次光の強度を測定することができる。
号や熱波を測定すれば、モニタ用の光を分岐することな
く、−次光の強度を測定することができる。
以下、本発明の実施例を第１図ないし第３図により説明
する。
する。
第１図は、プリズムに関する本発明の一実施例を示す。
プリズム１の入射面と出射面に対向する面に焦電素子２
を接着する。プリズム１を通過する一次光の一部はプリ
ズムに吸収されて熱となる。
を接着する。プリズム１を通過する一次光の一部はプリ
ズムに吸収されて熱となる。
発生した熱は焦電材料２により検出される。焦電信号は
電極端子３，４から電圧測定回路へ入力され、増巾され
る。焦電信号強度と一次光強度が比例することから、−
次光強度をモニタする。
電極端子３，４から電圧測定回路へ入力され、増巾され
る。焦電信号強度と一次光強度が比例することから、−
次光強度をモニタする。
第２図は、全反射ミラーに関する本発明の一実施例を示
す、全反射ミラー６の母材６は圧電性のセラミクスであ
り、鏡面に研摩した面にアルミニウム蒸着層を形成し１
反射面７とした０反射面７では一次光の一部を吸収し、
光音響信号を発生する。特に、−次光の強度が正弦波や
短形波に変調されている場合、光音響信号はロックイン
アンプにより増巾でき、微弱光でも精度良く検出するこ
とができる。光音響信号は母材の圧電セラミクス６によ
り検出さ胆、電極端子８，９から増巾装置へ入力される
。光音響信号の強度から、−次光の強度をモニタする。
す、全反射ミラー６の母材６は圧電性のセラミクスであ
り、鏡面に研摩した面にアルミニウム蒸着層を形成し１
反射面７とした０反射面７では一次光の一部を吸収し、
光音響信号を発生する。特に、−次光の強度が正弦波や
短形波に変調されている場合、光音響信号はロックイン
アンプにより増巾でき、微弱光でも精度良く検出するこ
とができる。光音響信号は母材の圧電セラミクス６によ
り検出さ胆、電極端子８，９から増巾装置へ入力される
。光音響信号の強度から、−次光の強度をモニタする。
第３図ａ）には、本発明による光学素子を用いた光音響
分光装置の構成の一例を示す、また、比較のため第３図
ｂ）には、従来の一次光強度モニタを利用した場合の光
音響分光装置の構成を示す。
分光装置の構成の一例を示す、また、比較のため第３図
ｂ）には、従来の一次光強度モニタを利用した場合の光
音響分光装置の構成を示す。
第３図ａ）の全反射ミラー１４は、第２図に示した全反
射ミラーと同一のものであり、セル１１への入射光２３
の強度モニタとなっている。全反射ミラー１４からの信
号はロックインアンプ１５により増巾される。ロックイ
ンアンプ１５は、セルからの光音響信号２０の増巾器で
もある６一方、従来の光強度モニタを用いた例Ｃ）では
、ハーフミラ−１６でレーザ光１０からの光（−次光）
を分岐し、光センサ１７でその強度を測定する。そのた
め、セル１１への入射光２３の強度は、ハーフミラ−１
６で分岐された分だけ、ａ）の実施例より減少する。光
音響分光法では、感度は入射光強度に比例するため、入
射光強度の減少により感度は低下する。本例のハーフミ
ラ−の分岐比は１０：２であるため、従来例ｂ）の装置
の感度は実施例ａ）の装置の感度より２０％低い。また
。
射ミラーと同一のものであり、セル１１への入射光２３
の強度モニタとなっている。全反射ミラー１４からの信
号はロックインアンプ１５により増巾される。ロックイ
ンアンプ１５は、セルからの光音響信号２０の増巾器で
もある６一方、従来の光強度モニタを用いた例Ｃ）では
、ハーフミラ−１６でレーザ光１０からの光（−次光）
を分岐し、光センサ１７でその強度を測定する。そのた
め、セル１１への入射光２３の強度は、ハーフミラ−１
６で分岐された分だけ、ａ）の実施例より減少する。光
音響分光法では、感度は入射光強度に比例するため、入
射光強度の減少により感度は低下する。本例のハーフミ
ラ−の分岐比は１０：２であるため、従来例ｂ）の装置
の感度は実施例ａ）の装置の感度より２０％低い。また
。
本実施例ａ）では、従来例ｂ）に比較して、ハーフミラ
−１６，光センサ１７．プリアンプ１８゜除算器１９が
必要なく１本発明により装置構成を著しく単純化するこ
とができる０図中１２は光変調器、２１は参照信号、２
２は記録計、２４は光音響信号である。
−１６，光センサ１７．プリアンプ１８゜除算器１９が
必要なく１本発明により装置構成を著しく単純化するこ
とができる０図中１２は光変調器、２１は参照信号、２
２は記録計、２４は光音響信号である。
本発明によれば、光強度を測定するために光を分岐する
必要がなく、光強度モニタによる光強度の低下を防ぐこ
とができる。
必要がなく、光強度モニタによる光強度の低下を防ぐこ
とができる。
光強度を測定するための光学系、検出器は必要なく、光
学装置の構成を単純化することができる。
学装置の構成を単純化することができる。
第１図は本発明の一実施例のプリズムへの適用を示す説
明図、第２図は本発明の全反射ミラーへの適用例図、第
３図は本発明を応用した光音響分光装置の例を示す図で
ある。
明図、第２図は本発明の全反射ミラーへの適用例図、第
３図は本発明を応用した光音響分光装置の例を示す図で
ある。
Claims (1)
- １、素子の一部に圧電材料、あるいは焦電材料を接触さ
せ、光が前記素子を通過する時に発生する光音響信号や
熱波を検出し、前記素子を通過した光の強度を測定する
ことを特徴とする光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14304986A JPS62299728A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14304986A JPS62299728A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 光学素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62299728A true JPS62299728A (ja) | 1987-12-26 |
Family
ID=15329718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14304986A Pending JPS62299728A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 光学素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62299728A (ja) |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP14304986A patent/JPS62299728A/ja active Pending
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