JPS62295429A - ウエハ−キヤリヤ− - Google Patents
ウエハ−キヤリヤ−Info
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- JPS62295429A JPS62295429A JP3382086A JP3382086A JPS62295429A JP S62295429 A JPS62295429 A JP S62295429A JP 3382086 A JP3382086 A JP 3382086A JP 3382086 A JP3382086 A JP 3382086A JP S62295429 A JPS62295429 A JP S62295429A
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- JP
- Japan
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- wafer
- carrier
- sidewalls
- wafers
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- Granted
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Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
６発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体工業で取扱うシリコン等からなるウェハ
ーの加工、貯蔵、運搬の際に使用するウェハーキャリヤ
ーに関する。
ーの加工、貯蔵、運搬の際に使用するウェハーキャリヤ
ーに関する。
半導体工業で取扱うシリコン等からなるウェハーは高価
であり、しかももろく、また直径１０ｃ＋ｎ以上、厚み
０．２ｙ＋ｍ以下のものが普通であるため、ウェハーの
加工、貯蔵、運搬に使用されるキャリヤーにはウェハー
の保持、ウェハー相互の隔離、または薬液浸漬後、キャ
リヤー側壁を通してすみやかにウェハー表面を流通する
構造であるべきである。
であり、しかももろく、また直径１０ｃ＋ｎ以上、厚み
０．２ｙ＋ｍ以下のものが普通であるため、ウェハーの
加工、貯蔵、運搬に使用されるキャリヤーにはウェハー
の保持、ウェハー相互の隔離、または薬液浸漬後、キャ
リヤー側壁を通してすみやかにウェハー表面を流通する
構造であるべきである。
然るに、従来のキャリヤー形状では薬液浸漬後、ウェハ
ー表面の流れ、特に流通性が悪いため、しばしばキャリ
ヤー内部で薬液の滞留がおこり、ウェハー処理工程の作
業を困離にする等の問題があった。
ー表面の流れ、特に流通性が悪いため、しばしばキャリ
ヤー内部で薬液の滞留がおこり、ウェハー処理工程の作
業を困離にする等の問題があった。
本発明はウェハーの加工、貯蔵、運搬の際に使用するウ
ェハーキャリヤーにおいて、薬液浸漬後、薬液がウェハ
ー表面にすみやかに流通する構造を有するウェハーキャ
リヤーに関する。
ェハーキャリヤーにおいて、薬液浸漬後、薬液がウェハ
ー表面にすみやかに流通する構造を有するウェハーキャ
リヤーに関する。
本発明者らは前記の問題点を解決するため各種検討した
結果、キャリヤーの形状として、軸線方向に整合したウ
ェハーをその間に支持するための向きあった側壁と、ウ
ェハーを挿入、および取出すための開放頂部および側壁
間を連結する結合部よりなるウェハーキャリヤーであっ
て、該側壁が■開放頂部を上方に向けた際にウェハーを
下方から支持するための取りはずし可能な支持部、■ウ
ェハーを相互に隔離するリブ、■リブを相互に固定する
フランジ、及び■ウェハーがキャリヤー外に突出する事
を防ぐ保持部、を備え、且つウェハーキャリヤーの側壁
の結合部に垂直な面のウェハー収納部分における開放部
分が、該ウェハー収納部分全面積の１５％以上であるウ
ェハーキャリヤーにより本発明を完成するに至った。
結果、キャリヤーの形状として、軸線方向に整合したウ
ェハーをその間に支持するための向きあった側壁と、ウ
ェハーを挿入、および取出すための開放頂部および側壁
間を連結する結合部よりなるウェハーキャリヤーであっ
て、該側壁が■開放頂部を上方に向けた際にウェハーを
下方から支持するための取りはずし可能な支持部、■ウ
ェハーを相互に隔離するリブ、■リブを相互に固定する
フランジ、及び■ウェハーがキャリヤー外に突出する事
を防ぐ保持部、を備え、且つウェハーキャリヤーの側壁
の結合部に垂直な面のウェハー収納部分における開放部
分が、該ウェハー収納部分全面積の１５％以上であるウ
ェハーキャリヤーにより本発明を完成するに至った。
本発明によるキャリヤーは軸線方向に整合したウェハー
をその間に支持するための向きあった側壁と、ウェハー
を挿入、および取出すための開放頂部および側壁間を連
結する結合部よりなり、第１図は本発明のウェハーキャ
リヤーの開放頂部からの上面図、第２図は結合部側から
の側面図、第６図は側壁側からの側面図で、一部側壁の
内側を示したものであり、対抗する平行な側壁■、■、
側壁を結ぎ合わせる結合部■、■、■からなり、側壁は
ウェハーを相互に隔離するリブ■、リブを相互に固定す
るフランジ■、■、ウェハーキャリヤーの外部に突出す
ることを防ぐ保持部■、［相］ウェハーを支持するため
の支持部■、および端部＠よりなり、さらに該支持部は
ビス等により固定されており、使用条件によっては取り
はずし可能である。
をその間に支持するための向きあった側壁と、ウェハー
を挿入、および取出すための開放頂部および側壁間を連
結する結合部よりなり、第１図は本発明のウェハーキャ
リヤーの開放頂部からの上面図、第２図は結合部側から
の側面図、第６図は側壁側からの側面図で、一部側壁の
内側を示したものであり、対抗する平行な側壁■、■、
側壁を結ぎ合わせる結合部■、■、■からなり、側壁は
ウェハーを相互に隔離するリブ■、リブを相互に固定す
るフランジ■、■、ウェハーキャリヤーの外部に突出す
ることを防ぐ保持部■、［相］ウェハーを支持するため
の支持部■、および端部＠よりなり、さらに該支持部は
ビス等により固定されており、使用条件によっては取り
はずし可能である。
第４図は側壁の側面図であり、ウェハー収納部分の面積
Ｓ１は第４図において長波線で示した四辺形内部を示し
、開放部分の面積Ｓ２はリブ■の総数が占める面積、保
持部■、［相］さらに支持部■１５チ以上になるように
したものである。上がＳ。
Ｓ１は第４図において長波線で示した四辺形内部を示し
、開放部分の面積Ｓ２はリブ■の総数が占める面積、保
持部■、［相］さらに支持部■１５チ以上になるように
したものである。上がＳ。
０．１５ 以下では薬液の流通がわるく、薬液の滞留等
の問題が生じ好ましくない。
の問題が生じ好ましくない。
また保持部、支持部の位置及び数はキャリヤーに収納す
るウェハーの径、厚み、種類等により決められるが、−
５が０．１５以上になる条件内で適宜Ｓ。
るウェハーの径、厚み、種類等により決められるが、−
５が０．１５以上になる条件内で適宜Ｓ。
決めることが可能である。
さらに、本発明で云うウェハーキャリヤーは、それ自体
の運搬、移送等の目的で、結合部■、■、■を有する面
等に、ハンドル、把手などをとりつける事も可能である
。
の運搬、移送等の目的で、結合部■、■、■を有する面
等に、ハンドル、把手などをとりつける事も可能である
。
本発明によるウェハーキャリヤーには従来公知の材料、
例えばポリプロピレン等の汎用樹脂、又ナレ はテトラフルオロエタン等のフッ素樹脂、アルミニウム
にフッ素樹脂を被覆した材料、さらにはガラス転移温度
１４０℃以上の樹脂、例えばポリエーテルエーテルケト
ン、液晶性芳香族ポリエステルも好適である。
例えばポリプロピレン等の汎用樹脂、又ナレ はテトラフルオロエタン等のフッ素樹脂、アルミニウム
にフッ素樹脂を被覆した材料、さらにはガラス転移温度
１４０℃以上の樹脂、例えばポリエーテルエーテルケト
ン、液晶性芳香族ポリエステルも好適である。
第１図は本発明のウェハーキャリヤーの開放頂部からの
上面図、第２図は結合部側からの側面図、第３図は側壁
側からの側面図で、一部側壁の内側を示したものである
。第４図は側壁の側面図である。 尚、図中の番号はそれぞれ次の部位を示す。 ■、■ −一一一一側壁 ■、■、■−−−−結合部 ■、■−−−−−−保持部 ０ −−−−−−−一支持部 ＠ −−−−−−−一端部 ■ −一一一一一一一長破線で示した四辺形内のウェハ
ー収納部分
上面図、第２図は結合部側からの側面図、第３図は側壁
側からの側面図で、一部側壁の内側を示したものである
。第４図は側壁の側面図である。 尚、図中の番号はそれぞれ次の部位を示す。 ■、■ −一一一一側壁 ■、■、■−−−−結合部 ■、■−−−−−−保持部 ０ −−−−−−−一支持部 ＠ −−−−−−−一端部 ■ −一一一一一一一長破線で示した四辺形内のウェハ
ー収納部分
Claims (1)
- 軸線方向に整合したウェハーをその間に支持するため
の向きあった側壁と、ウェハーを挿入、および取出すた
めの開放頂部および側壁間を連結する結合部よりなるウ
ェハーキャリヤーであって、該側壁が４開放頂部を上方
に向けた際にウェハーを下方から支持するための取りは
ずし可能な支持部、（ｂ）ウェハーを相互に隔離するリ
ブ、（ｃ）リブを相互に固定するフランジ、及び（ｄ）
ウェハーがキャリヤー外に突出する事を防ぐ保持部を備
え、且つウェハーキャリヤーの側壁の結合部に垂直な面
のウェハー収納部分における開放部分が、該ウェハー収
納部分全面積の１５％以上であるウェハーキャリヤー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3382086A JPH0779123B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | ウエハ−キヤリヤ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3382086A JPH0779123B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | ウエハ−キヤリヤ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62295429A true JPS62295429A (ja) | 1987-12-22 |
| JPH0779123B2 JPH0779123B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=12397120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3382086A Expired - Fee Related JPH0779123B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | ウエハ−キヤリヤ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779123B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990070641A (ko) * | 1998-02-23 | 1999-09-15 | 윤종용 | 슬롯지지대의 고정을 강화한 습식세정장비의 웨이퍼 가이드 |
| WO2009107254A1 (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-03 | ミライアル株式会社 | 裏面支持構造付きウエハ収納容器 |
-
1986
- 1986-02-20 JP JP3382086A patent/JPH0779123B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990070641A (ko) * | 1998-02-23 | 1999-09-15 | 윤종용 | 슬롯지지대의 고정을 강화한 습식세정장비의 웨이퍼 가이드 |
| WO2009107254A1 (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-03 | ミライアル株式会社 | 裏面支持構造付きウエハ収納容器 |
| JP4896260B2 (ja) * | 2008-02-27 | 2012-03-14 | ミライアル株式会社 | 裏面支持構造付きウエハ収納容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0779123B2 (ja) | 1995-08-23 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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