JPS62193258A - ウエハ−キヤリヤ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔彦禮上の利用分野〕 本発明は半導体工業で取扱うシリコン等からなるウェハ
ーの加工、貯蔵、運搬の際に使用するウェハーキャリヤ
ーに関する。

〔従来の技術〕

半導体工業で取扱うシリコン等からなるウェハーは高価
であり、しかももろく、また直径１０の以上、厚み０．
２ｍｍ以下のものが普通であるため、ウェハーの加工、
貯蔵、運搬に使用されるキャリヤーにはウェハーの保持
、ウェハー相互の隔離、加熱、および薬液による洗浄後
の形状保持１等の特性を必要とする。

然るに従来、加熱または薬液による洗浄後、キャリヤー
の形状、特にウェハー相互を隔離する部分が微妙に変化
する為、ウェハーの取出し、挿入に支障をきたし、ウェ
ハーの破損、製品の分どまり低下などの問題があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明はウェハーの加工、貯蔵、運搬の際に使用するウ
ェハーキャリヤーにおいて、加熱または薬液に浸たされ
ても形状に変化がなく、ウェハ−を容易に取出し、挿入
しうる新しいウェハーキャリヤーに関する。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者らは前記の問題点を解決するため各種検討した
結果、キャリヤーの形状として、軸線方向に整合したウ
ェハーをその間に支持するための向きあった側壁と、ウ
ェハーを挿入、および取出すための開放頂部および側壁
間を連結する結合部よりなるウェハーキャリヤーであっ
て、該側壁が■開放頂部を上方に向けた際にウェハーを
下方から支持するための取りはずし可能な支持部、■ウ
ェハーを相互に隔離するリブ、■リプを相互に固定する
フランジ、及び■ウェハーがキャリヤー外に突出する事
を防ぐ保持部、を備え、且つ該側壁を構成するリブの開
放頂部に平行な断面が、キャリヤーの内向きに１ないし
２０°のテーパーを有し、かつ断面巾の最大部位からの
キャリヤーの内側の長さと外側の長さの比が６以下であ
るウェハーキャリヤーにより本発明を完成するに至った
。

本発明によるキャリヤーは軸線方向に整合したウェハー
をその間に支持するための向きあった側壁と、ウェハー
を挿入、および取出すための開放頂部および側壁間を連
結する結合部よりなり、第１図は本発明のウェハーキャ
リヤーの開放頂部からの上面図、第２図は結合部側から
の側面図、第３図は側壁側からの側面図で、一部側壁の
内側を示したものであり、対抗する平行な側壁■、■、
側壁を結ぎ合わせる結合部■、■、■からなり、側壁は
ウェハーを相互に隔離するリブ■、リブを相互に固定す
るフランジ■、■、ウェハーがキャリヤーの外部に突出
することを防ぐ保持部■、低ウェハーを支持するための
支持部［相］、および端部■よりなり、さらに該支持部
はビス等により固定されており、使用条件によっては取
りはずし可能である。

次いで第４図は第３図の線Ａ−Ａにおける断面図であり
、リブ■の詳細図である。リブ■においてキャリヤーの
内向き部■−１は内面に向って１ないし２０°のテーパ
ーを有し、リブ■の断面巾の最大部位■−３からキャリ
ヤーの内側の長さｌ！、と外側の長さ１２の比１．／ｌ
、は６以下である。

即ち内面に向ってテーパーが１°以内である場合には内
蔵されるウェハーのスムースな移動に効果がなく、逆に
テーパーを２０°以上にした場合、ウェハーのスムース
な移動には効果的であるが、逆にウェハーの保持が不安
定になり好ましくない。

また１１々、が６以上であると側壁自身の寸法保持がわ
るくなり、ウェハーのスムースな移動を困難にする為、
好ましくない。以上のようにキャリヤーの内向き部■−
１が内面に向って１ないし２０’のテーパーを有し、リ
ブ■の断面巾の最大部位■−３からキャリヤーの内側の
長さＡ！１と外側の長さ１２の比１．／ｌ、が６以下に
することにより、内蔵されるウェハーのスムースな移動
、キャリヤーの成形のし易すさ、およびキャリヤーが外
力、高温等にさらされた場合の変化防止の役割をしてい
る。

第５図は同じく第３図の線Ｂ−Ｈの断面図である。図５
はフランジ■、■保持部■、［相］および支持部■を示
したものである。保持部■、■の位置および数はキャリ
ヤーに収納するウェハーの径、厚み、種類により適宜定
められるが、保持部の数は少くとも１本以上必要である
が、ガスまたは液のキャリヤー側壁をとおしての流通の
自由度を高めるため等により必要最少限にする事が好ま
しい。支持部■の位置、形状、もキャリヤーの使用条件
、収納するウェハーの形状、重量等により定められるが
、収納するウェハーの安定な保持等の面より、支持部の
位置は側壁の開放頂部より３／４前後の位置が好ましい
。

さらに、本発明で云うウェハーキャリヤーは、それ自体
の運搬、移送等の目的で、結合部■、■、■を有する面
等に、ハンドル、把手などをとりつける事も可能である
。

本発明によるウェハーキャリヤーには従来公知の材料、
例えばポリプロピレン等の汎用樹脂、又４ν はテトラフルオロエタン等のフッ素樹脂、アルミニウム
にフッ素樹脂を被覆した材料、さらにはガラス転移温度
１４０℃以上の樹脂１例えばポリエーテルエーテルケト
ン、液晶性芳香族ポリエステルも好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハーキャリヤーの開放頂部からの
上面図、第２図は結合部側からの側面図、第６図は側壁
側からの側面図で、一部側壁の内側を示したものである
。第４図は第６図の線Ａ−Ａにおける断面図で、第５図
は同じく第５図の線Ｂ−Ｂの断面図である。 尚、図中の番号はそれぞれ次の部位を示す。 ■、■−−−−−−−−側壁 ■、■、■−−−−−−結合部 ■　−一−−−−−−−−−リブ ■−＋　−−−−−−−−−リブの内向き部■−２−−
−−−−−−−リブの外向き部■−ｓ　　−−−−−−
−−−リブ断面の最大径部■、■−−−−−−−−−フ
ランジ ■、■−−−−−−−−−保持部 ■−−−−支持部　　〇−−−一端部 特許出願人　三井東圧化学株式会社 −Ｃ 手続補正書動式） 昭和６１年５月１４日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　軸線方向に整合したウェハーをその間に支持するため
   の向きあった側壁と、ウェハーを挿入、および取出すた
   めの開放頂部および側壁間を連結する結合部よりなるウ
   ェハーキャリヤーであって、該側壁が（ａ）開放頂部を
   上方に向けた際にウェハーを下方から支持するための取
   りはずし可能な支持部、（ｂ）ウェハーを相互に隔離す
   るリブ、（ｃ）リブを相互に固定するフランジ、及び（
   ｄ）ウェハーがキャリヤー外に突出する事を防ぐ保持部
   を備え、且つ該側壁を構成するリブの開放頂部に平行な
   断面が、キャリヤーの内向きに１ないし２０°のテーパ
   ーを有し、かつ断面巾の最大部位からのキャリヤーの内
   側の長さと外側の長さの比が６以下であるウェハーキャ
   リヤー。