JPS62291039A - ボンデイング装置 - Google Patents

ボンデイング装置

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JPS62291039A
JPS62291039A JP61132711A JP13271186A JPS62291039A JP S62291039 A JPS62291039 A JP S62291039A JP 61132711 A JP61132711 A JP 61132711A JP 13271186 A JP13271186 A JP 13271186A JP S62291039 A JPS62291039 A JP S62291039A
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JP
Japan
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lead frame
lead
bonding
support plate
supporting
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JP61132711A
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Hiroshi Ushiki
博 丑木
Kenji Kitakubo
北久保 健二
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Shinkawa Ltd
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Shinkawa Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
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  • Wire Bonding (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 [産業上の利用分野] 本発明はアイランドダウン部を有するリードフレームに
ワイヤボンディングを行うボンディング装置に関する。
[従来の技術] 従来、アイランドダウン部を有するリードフレームを対
象としたボンディング装置として、例えば特開昭618
935号公報に示すものが知られている。
この構造は、加熱体のリードフレーム当接面にリードフ
レームの送り方向に沿って少なくとも2個のリードフレ
ーム押」−げ部材用溝を形成し、このリードフレーム押
トげ部材用溝に加熱体に対1゜て相対的に−L下動可能
にリードフレーム押j−げ部材を配設してなり、リード
フレー1・押1−げ部材でリードフレームを持ち上げて
送るようになっている。
[発明が解決しようとする問題点] 上記従来例では、細長いり−ISフレーム押1−げ部材
をローダ側からアンローブ側に旦って配設されている。
このため、リードフレーム押−1:げ部材は非常に長く
なり、剛性の点で問題がある。そこで、実用化するには
数本のリードフレーム押下げ部材を直列に配設し、これ
らのリードフレーム押上げ部材が連動して上下動するよ
うにする必要があり、リードフレーム押上げ部材の上下
動機構及び連動機構が非常に複雑となり、実用化の点で
問題があった。
本発明の目的は、構造が簡単でアイランドダウン部を有
するリードフレームにワイヤボンディングを施すことが
できるボンディング装置を提供することにある。
[問題点を解決するための手段] 上記従来技術の問題点は、リードフレームの送り方向に
直角な水平方向に移動可能で、前記リードフレームのリ
ード部を支える支え部を有する支え板を設けることによ
り解決される。
[作用] ボンディング時には支え板の支え部でリードフレームの
リード部は支えられるので、良好なボンディングが行え
る。またリードフレームを送る時は、支え板がアイラン
ドダウン部から離れる方向に移動し、リードフレームの
立」−り部の送り方向には立−1ニリ部の移動をさまた
げるものがないので、リードフレームを持ち上げること
なく送ることができるつ [実施例] 以下、本発明の一実施例を第1図乃至第3図により説明
する0本実施例は、特開昭61−8935号公報に示す
構造に適用し、しかも第4図に示すように、アイランド
ダウン部1aの立上り部lbの側方にリード部1cが設
けられ、かっこのリード部ICが立上り部1bよりアイ
ランドダウン部la側に突出したリードフレーム1を用
いた場合を示す。なお、2はリードフレーム1のアイラ
ンドダウン部1aに固着されたペレットを示す。
まず特開昭61−8935号と共通する構造の概略を説
明する。カートリッジヒータlOを内臓する加熱体11
の上面にはリードフレームlをガイドするガイド溝11
aが形成されている。また加熱体11にはガス孔tib
が形成され、このガス孔11bより加熱体11の上面に
向って多数個の細いガス孔11cが形成されている。そ
して、ガス孔11bには図示しないガス供給源より不活
性ガスがガス供給パイプ12を通して供給され葛ように
なっている。また加熱体11の上面には加熱体カバ−1
3が固定されており、加熱体カバー13には該加熱体カ
バー13の」一方に配設された押え板14の押え部14
aが入り込む開口部13aが形成されている。前記押え
板14にはボンディング作業に必要なボンディング作業
窓14bが形成されており、この押え板14は図示しな
い上下駆動機構によって一■−下動する押え板ホルダー
15に固定されている。前記押え板14の上面にはガス
カバー16が固定されており、ガスカバー16には前記
ボンディング作業窓14bに対応した部分に前記ボンデ
ィング作業窓14bと同様にボンディング作業窓16a
が形成されている。
またリードフレームlを位置決めする位置決めビン20
が図示しない上下駆動機構で上下動するように設けられ
ており、前記加熱体11、加熱体カバー13及び押え板
ホルダー15には前記位置決めピン20川の逃げ穴11
d、13b、15aがそれぞれ形成されている。
また図示しないが、前記押え板ホルダー15の側方には
XY方向に駆動される周知のボンディングヘッドが配設
されており、このボンディングヘッドには上下動可能に
ボンディングアームが取付けられている。このボンディ
ングアームの一端には前記ボンディング作業窓14bを
通してワイヤボンディングするボンディングツール21
が固定されている。
次に前記した特開昭61−8935号と異なる部分の構
造について説明する前記加熱体11のガイド溝11aは
リードフレームlのアイランドダウン部1aに対応した
部分も加熱体11の全長に亘ってリードフレーム1の送
り方向に連続して形成されている。。前記加熱体11の
リードフレームlのリード部1cに対応した側における
上面には、第3図に示すように溝lieが形成され、こ
の溝lieには上面にリードフレームlの一端側をガイ
ドするガイド溝30aと下方に溝30bが形成された支
え板ガイド板30が固定されている。前記加熱体11の
溝lieの底面と前記支え板ガイド板30のl+113
0bとで断面が四角状の支え板ガイド溝31を形成して
おり、この支え板ガイド溝31には、下方から順次支え
板支持板32と、ポール33を有するリテーナ−34と
、支え板35と、ポール36を有するリテーナ−37と
が配設されている。前記支え板支持板32の下面に対応
した加熱体11の部分には、ねじ穴11fが設けられて
おり、このねじ穴11fにはねじ38が螺合されている
。支え板支持板32とねじ38間にはスプリング39が
配設され、支え板支持板32はスプリング39で上方に
付勢されている。そこで、支え板35はリテーナ−34
,37にガイドされて第1図において左右方向に摺動す
ることができる。
前記支え板支持板32、リテーナ−34、支え板35、
リテーナ−37には前記位置決めピン20用の逃げ穴3
2a、34a、35a、37a、30cがそれぞれ形成
されている。前記逃げ穴32aの下面には位置決めピン
20に摺動自在に嵌挿された逃げ穴カバー40が配設さ
れ、この逃げ穴カバー40はスプリング41で支え板支
持板32に押付けられている。前記支え板35には該支
え板35の逃げ穴35aに連通ずるようにガス孔35b
が形成yれ、このガス孔35bには図示しないガス供給
源より不活性ガスがガス供給パイプ42を通して供給さ
れるようになっている。
前記支え板35は、第1図及び第2図において左端が上
方に立上った立上り部35cが形成されており、この立
上り部35cからリードフレーム1のリード部1cを支
える支え部35dが左側に突出している。支え板35の
右端には縦溝35eが形成され、この縦溝35eの部分
には横ビン45が固定されている。この横ビン45には
揺動レバー46の上端に形成した縦1146aが係合し
ており、前記揺動レバー46の下端側は図示しない揺動
駆動機構で揺動させられる揺動軸47に固定されている
次に作用について説明する。図示のように、リードフレ
ームlのボンディング部がボンディング作業窓14b、
16aの真下に位置すると、位置決めピン20が上封し
てリードフレームlの位置決め穴に挿入される。また揺
動レバー46が反時計方向に回動させられて図示の状態
となり、横ビン45を介して支え板35が左方向に移動
し、支え部35dがリードフレームlのリード部ICの
下面に位置する0次に押え板ホルダー15と共に押え板
14が下降して押え部14aによってリードフレームl
をクランプし、この状態でボンディングツール21によ
ってペレット2とリート部ICとにワイヤが接続される
。この場合、リード部1cは押え板14の押え部14a
で支え板35の支え部35dに押付けられているので、
リード部ICの浮き上りがなく、リード部1cには信頼
性に優れたボンディングが行える。
またガス供給パイプ42からガス孔35bに供給された
不活性ガスは、支え板35と支え板支持板32との隙間
からボンディング作業窓14bの部分に流れ込むと共に
、逃げ穴30c、ガイド溝30a、逃げ穴13bを通っ
て加熱体カバー13と押え板14との隙間より外部に、
また逃げ穴32a、位置決めビン20と逃げ穴カバー4
0との隙間、逃げ穴lidを通って外部に流れているの
で、外部からボンディング作業窓14bの部分に外気が
侵入するのが防止される。
前記のようにペレット2のパッドとリードフレーム1の
リード部ICとにワイヤボンディングが終了した後、押
え板ホルダー15と共に押え板14が上昇し、また位置
決めビン20が下降する。
また同時に揺動レバー46が時計方向に回動し、横ビン
45を介して支え板35が右方向に移動し、支え部35
dがリードフレームlの立」ニリ部lbより外側に位置
する。次に図示しない送り機構によりリードフレームl
は次のボンディング部がボンディング作業窓14b、1
6aの真下に位置するように送られる。以後前記した一
連の動作を経て順次ボンディングされる。
なお、上記実施例においては、ガスカバー16を有する
場合について説明したが、カスカバー16を有しない実
開昭59−23734号公報に示す構造にも適用できる
ことはいうまでもない。また本実施例においては、ボン
ディング作業窓14bの部分にガス供給バイブ12.4
2によって不活性ガスを供給する場合について説明した
が、ボンディング部分を不活性ガス雰囲気にする必要が
ないものにも適用できる。また」二記実施例においては
押え板14を」−下動させたが、押え板14は固定で加
熱体11を」−下動させてもよい。
[発明の効果] 以上の説明から明らかなように、本発明になるボンディ
ング装置よれば、構造が簡単でアイランドダウン部を有
するリードフレームにワイヤボンディングを施すことが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は第1
図の平面図、第3図は第1図の3−3線断面図、第4図
はリードフレームを示し、(a)は平面図、(b)は底
面図である。 1:リードフレーム、 1a:アイランドダウン部、 1b=立上り部、    lC:リード部、11:加熱
体、     11a:カイド溝、14:押え板、  
  35:支え板、35a:支え部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. アイランドダウン部の立上り部の少なくとも一方の側方
    側にリード部を有するリードフレームをガイドするガイ
    ド溝が上面に形成された加熱体と、この加熱体に対して
    相対的に上下動可能に加熱体の上方に配設され前記リー
    ドフレームを前記加熱体に押付ける押え板とを備えたボ
    ンディング装置において、前記リードフレームの送り方
    向に直角な水平方向に移動可能で、前記リードフレーム
    のリード部を支える支え部を有する支え板を設けたこと
    を特徴とするボンディング装置。
JP61132711A 1986-06-10 1986-06-10 ボンデイング装置 Granted JPS62291039A (ja)

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JP61132711A JPS62291039A (ja) 1986-06-10 1986-06-10 ボンデイング装置

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JP61132711A JPS62291039A (ja) 1986-06-10 1986-06-10 ボンデイング装置

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JPS62291039A true JPS62291039A (ja) 1987-12-17
JPH051980B2 JPH051980B2 (ja) 1993-01-11

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6327044U (ja) * 1986-08-07 1988-02-22

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5355966A (en) * 1976-10-30 1978-05-20 Shinkawa Seisakusho Kk Mechanism for catching lead frames

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Cited By (2)

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JPS6327044U (ja) * 1986-08-07 1988-02-22
JPH0244520Y2 (ja) * 1986-08-07 1990-11-27

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JPH051980B2 (ja) 1993-01-11

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