JPS62288432A - クリ−ンゾ−ンユニツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 産業上の利用分野 本発明は半導体製造等に必要な清浄な作業空間を作シだ
すクリーンゾーンユニットに関するものである。

従来の技術 従来のクリーンゾーンユニットは、第４図に示すような
構成であった。すなわち、クリーンゾーンユニット１に
は、送風機２の下流側に作業空間用ブレナムチャンパー
３を介して、作業空間用ＨＥＰＡフィルター４が設けら
れており、作業空間用ＨＥＰＡフィルター４の下流側に
作業空間５と生産設備６が設置されている。通路空間用
プレナムチャンバー７は、流量調節ダンパー８によって
、作業空間用プレナムチャンバー３と仕切られている。

通路空間用プレナムチャンバー７の下流側に通路空間用
ＨＥＰＡフィルター９が設けられており、その下流側は
通路空間１ｏが位置している。作業空間５の上部と通路
空間１０の上部とは、アイリッド１１によって仕切られ
ている。作業空間６と通路空間１０の床を複数の穴を設
けたグレーチング床１２としている。このグレーチング
床１２の下方には排気ダクト１３が設けられ、作業空間
６と隣接して設けられ、送風機２に空気を戻すレターン
ダクト１４に連通している。このレターンダクト１４内
にはプレフィルタ−１５と、作業空間６を照らす照明器
１６が設置されている。

またレターンダクト１４の一部に外気取入れダクト１７
が設けられている。

以上のように構成された従来のクリーンゾーンユニ、ト
において、送風機２を運転することＫより、作業空間用
プレナムチャンバー３を介して、作業空間用ＨＥＰＡフ
ィルター４に空気が送られ、ろ過された清浄な空気が、
作業空間５に供給され自動運転されている生産設備６を
清浄化する。流量調節ダンパー８により、流量調節され
た空気は、通路空間用プレナムチャンバー７を経由して
、通路空間用ＨＥＰＡフィルター９に送られ、ろ過され
る。ろ過された清浄な空気は、通路空間１０に送られ、
通路空間１ｏを清浄化させる。アイリッド１１の働きに
より、通路空間１ｏから、作業空間６への気流の乱れを
なくしている。排気空気はグレーンチング床１２を通り
、排気ダクト１３に送られ、一部排気されるが、大部分
は循環空気としてレターンダクト１４を通り、プレフィ
ルタ−１５によりろ過され、送風機２に送られる。外気
取り入れダクト１７は新鮮な空気が供給される。

生産時の清浄空気の風速は、作業空間が０．４〜０．５
　ｍ　／　ａ　、通路空間では０．２〜０．３　ｍ　／
　ｓであシ、非生産時では作業空間が０．２〜０．３ｍ
／ｓ、。

通路空間は、流量調節ダンパーによシ連動して、０．１
〜０．２　ｍ　／　ｔｘである。非生産時は、作業者か
らの発塵汚染が無いため、清浄空気の風速を遅くし、省
エネルギーを図っていた。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら従来のクリーンゾーンユニットは、生産時
において、主な発塵源である作業者が、作業していない
場合でも、通路空間を通る作業者からの発塵汚染を防ぐ
ために、常時作業空間の清浄空気の風速を０．４〜０．
５ｍ／ｓにする必要があり、非生産時（非作業時）の風
速０．２〜０．３ｍ／ｓにおとせず、省エネルギ一対応
ができないという問題点を有していた。

本発明は上船問題点を解決するもので、生産時において
、作業者が作業していないクリーンゾーンユニットの作
業空間の清浄空気の風速を非生産時なみに遅くしても、
作業空間の清浄度の確保が図れ、省エネルギーに適した
クリーンゾーンユニットを提供することを目的とする。

問題点を解決するだめの手段 この問題点を解決するために本発明のクリーンゾーンユ
ニットは、空気を供給する送風機と、前記送風機の下流
側に位置し、空気をろ過して浄化された空気を作業空間
に吹き出すフィルターと、前記フィルター下流側の清浄
な作業空間と外部とを仕切るシャッターと、前記シャッ
ターを開閉させる駆動機構と、前記シャッターの開閉と
連動し、前記送風機の回転数を可変する連動スイッチと
から構成したものである。

作　　用 以上の構成によシ、生産時、作業空間で作業者が作業し
ていなければシャッターを閉じて外部と仕切るとともに
、連動スイッチの働きにより、送風機の回転数を低くし
、省エネルギー運転とする。

作業空間は生産時の主な発塵源である作業者が存在する
外部、たとえば通路空間とはシャッターにより仕切られ
ているため、発塵汚染が防がれ、また作業時であれば、
シャッターを開くことにより、連動スイッチが働き、送
風機の回転数を上げ作業空間の清浄空気の風速を速くし
て、作業時の作業者からの発塵汚染を防ぐことができる
。

実施例 以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図にもとづき説
明する。なお従来例と同一部材については同一番号を用
いて説明する。

第１図、第２図においてクリーンゾーンユニット１には
送風機２の下流側に作業空間用プレナムチャン′バー３
と通路空間用プレナムチャンバー７とが設けられており
、作業空間用プレナムチャンバー３と通路空間用プレナ
ムチャンバー７とは流量調節ダンパー８により仕切られ
ている。作業空間用プレナムチャンバー３の下流側には
作業空間用ＨＥＰＡフィルター４と作業空間５および自
動運転される生産設備６が設けられている。通路空間用
プレナムチャンバー７の下流側には、通路空間用ＨＥＰ
Ａフィルター９および、通路空間１゜が設けられている
。作業空間５と通路空間との間にはシャッター１８およ
びシャッター案内レール２１が設けられており、作業空
間６の上部にシャッター１８の駆動機構であるモータ１
９が収納されたモータ室２５が配設されている。モータ
室２５の作業空間５側の側壁に、清浄空気取り入れ口２
４が設けられており、通路空間１０側の側壁には排気口
２３が設けられている。通路空間１０側でモータ室２６
の近くにシャッター１８の開閉を行うモータ１９のスイ
ッチが設けられている。シャッター１８の下方には連動
スイッチ２０が設けられている。この連動スイッチ２ｏ
には第３図に示すようにアクチェータ３１および、共通
端子３２、Ａ端子３３．Ｂ端子３４の電気端子が設けら
れている。送風機２のモータ２８には、共通端子３５９
弱ノツチ端子３６９強ノツチ端子３７が設けられている
。共通端子３２．３５には電源３９が接続されている。

また、作業空間６および通路空間１０の下方には第１図
および第２図に示すようにグレーチング床１２．排気ダ
クト１３が設けられている。排気ダクト１３は送風機２
に空気を導くレターンダクト１４と連通しており、レタ
ーンダクト１４内にはプレフィルタ−１５を作業空間を
照明する照明器１６が設けられている。

またレターンダクト１４の一部には空気取り入れダクト
１７が設けられている。

上記構成において、送風機２を運転することにより、作
業空間用プレナムチャンバー３を経由して、作業′空間
用、Ｈ：Ｅ’ＰＡフィルター４に空気が送られ、ろ過さ
れて清浄な空気となって作業空間５に供給され生産設備
６を清浄化させる。また、流量調節ダンパー８により流
量調節された空気は通路空間用プレナムチャンバー７を
通って通路空間用ＨＥＰＡフィルター７に送られ、ろ過
され清浄な空気となって通路空間１０に供給される。排
気空気はグレーチング床１２から排気ダクト１３に送ら
れ、一部は排気され、大部分の空気は循環空気として、
レターンダクト１４に送られ、プレフィルタ−１６でろ
過されたあと、送風機２に還気される。新鮮空気は空気
取り入れにり）　１７から供給される。スイッチ２２の
開または閉の押ボタンを押すと、シャッター開閉モータ
１９が動き、案内レール２１に沿ってシャッター１８が
上下開閉する。シャッター１８は透明樹脂製であシ、か
つ静電対策が施してあり、静電気発生によるゴミ付着が
ない材質としている。さらに柔軟構造のため、シャッタ
ー開閉モータ１９によるロール巻き取りが可能である。

シャッター１８の下部には錘３ｏが設けられており、柔
軟構造のシャッター１８がビンと引っ張れてまっすぐに
張られる。シャッター１８が閉じられると、連動スイッ
チ２ｏのアクチュエータ３１が働き、送風機２の回転数
が低くなる。すなわち、シャッター１８が閉じ、連動ス
イッチ２ｏのアクチェータ３１が働くと、連動スイッチ
２０のＡ端子３３に電気が流れ、送風機２のモータ２８
の弱ノツチ端子３６に電気的につながり送風機２の回転
数が落ち、風量が減り、非作業時には省エネルギー運転
となる。作業時には、シャッター１８が開き、連動スイ
ッチ２０のアクチェータ３１がもとに戻り、Ｂ端子３４
に通電され、送風機２のモータ２８の強ノツチ端子３７
が電気的につながり送風機２の回転数が上がり、清浄空
気の風速が遠くなシ、作業時自動運転している生産設備
６への作業者からの発塵汚染を防ぐ。

シャッター開閉モータ１９の作動時には、シャッター開
閉モータ運転によ９発塵が起るが、モータ室２５に清浄
空気取り入れ口２４および排気口２３を設けているため
、モータ室２６には常に清浄な空気が流入し、浄化され
、塵埃はすみやかに排気口２３から、連記空間１ｏ側に
排出され、モータ室２５の清浄度が保たれ、モータ室２
５からの作業空間５への塵埃落下による汚染が防がれる
。

作業空間６側の風速が常に、通路空間側１ｏの風速よシ
速く陽圧のため、モータ室２５の気流は、常に作業空間
６側から通路空間１０側に流れる。

以上のように本実施例によれば、生産時の作業時にはシ
ャッター１８が開けられ、送風機２が強ノツチ運転に保
たれ回転数が上がることにより、作業空間５の風速が０
．４〜０．５ｍ／ｓになυ、作業者からの生産設備６へ
の発塵汚染が防がれる。

生産時の作業時には、シャッター１８が閉じて連動スイ
ッチ２０が働くことにより、送風機２が弱ノツチ運転に
なって回転数が低下し、作業空間５の風速が（１２〜０
．３　ｍ　／　ｓになシ省エネルギー運転となる。この
場合、シャッター１８は作業空間５と通路空間１０とを
仕切っているため′通路空間１ｏを通る作業者からの発
塵汚染が防がれ、省エネルギーにて作業空間５の清浄度
が確保されることとなる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、フィルター下流側の清浄
を必要とする作業空間を外部からの発塵汚染を遮断する
ようシャッターを設けるとともに、このシャッターの開
閉と連動して送風機の回転数を可変ならしめる連動スイ
ッチを設けることにより、生産時の作業時には、送風機
の回転数が上がり作業空間の清浄空気の風速が速くなり
、作業者からの生産設備への発塵汚染が防がれる。生産
時の非作業時で生産設備が自動運転中には、シャッター
が閉じ、外部からの外乱汚染が防がれるとともに、送風
機の回転数が下がり作業空間の清浄空気の風速が遅くな
り省エネルギーが図られ、かつ作業空間の清浄度も確保
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるクリーンゾーンユニッ
トの縦断面図、第２図は第１図のＡ　−Ａ’断面図、第
３図は同連動スイッチと送風機用のモータとの電気結線
図、第４図は従来のクリーンゾーンユニットの縦断面図
である。 １・・・・・・クリーンゾーンユニット、２・・・・・
・送風機、３・・・・・・作業空間用ＨＥＰＡフィルタ
ー、６・・・・・・作業空間、１８・・・・・・シャッ
ター、１９・・・・シャッター開閉モータ、２０・旧・
・連動スイッチ、２２・・・甲スイッチ。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名ｔ−
−−７グーンゾーｙユニツト １０・−−ａｙｂ、１庫 ２ｏ−ｇカス１ツナ ？２−−−又３ツナ 第３図 ３１２０−１′ｉ″″″″ Ｚδ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 空気を供給する送風機と、前記送風機の下流側に位置し
   、空気をろ過して浄化された空気を作業空間に吹き出す
   フィルターと、前記フィルター下流側の清浄な作業空間
   と外部とを仕切るシャッターと、前記シャッターを開閉
   させる駆動機構と、前記シャッターの開閉に連動し、前
   記送風機の回転数を可変する連動スイッチとからなるク
   リーンゾーンユニット。