JPS62286394A - マルチプレクサの検査方法 - Google Patents
マルチプレクサの検査方法Info
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- JPS62286394A JPS62286394A JP61130473A JP13047386A JPS62286394A JP S62286394 A JPS62286394 A JP S62286394A JP 61130473 A JP61130473 A JP 61130473A JP 13047386 A JP13047386 A JP 13047386A JP S62286394 A JPS62286394 A JP S62286394A
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Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔概 要〕
本発明は、ＣＣＤ（電荷結合素子）からなるマルチプレ
クサの機能検査において、検査時間の短縮のために、少
なくとも１つの電荷入力領域に光を照射し、ＣＯＤの出
力波形を観測して配線の欠陥部を検査することにより、
多数の電荷入力領域への電２的結線を不要にした検査方
法に関するものである。
クサの機能検査において、検査時間の短縮のために、少
なくとも１つの電荷入力領域に光を照射し、ＣＯＤの出
力波形を観測して配線の欠陥部を検査することにより、
多数の電荷入力領域への電２的結線を不要にした検査方
法に関するものである。
本発明は、ＣＯＤマルチプレクサの電極やバスする。
近年、ＣＯＤマルチプレクサの電荷入力領域の数は、益
々多くなり、しかもその占有面積が減少する傾向にある
。一方、ＣＯＤへの大刀電荷量を制限するために、電荷
入力領域に隣接して電荷排出領域を設ける必要がある。
々多くなり、しかもその占有面積が減少する傾向にある
。一方、ＣＯＤへの大刀電荷量を制限するために、電荷
入力領域に隣接して電荷排出領域を設ける必要がある。
その結果ＣＯＤマルチプレクサの構造が複雑になり、製
造歩留りが低下している。このため、迅速かつ簡便な検
査方法が要望されている。
造歩留りが低下している。このため、迅速かつ簡便な検
査方法が要望されている。
本発明の検査方法に適用されるｃｃＤマルチグレクテの
構造についてまず詳述する。
構造についてまず詳述する。
近年開発された赤外線映像装置の１つとして、互いに’
１ＩＣｆｉ的に独立した多数の赤外線検知素子を支持板
上に一直線に配列して固定した赤外線検知素子群と、上
記赤外線検知素子群中の各素子の光電変換機能により生
じた電気信号を時系列化して外部へ取シ出すためのマル
チプレクサとを結合して単一ユニットとしたものがある
。該マルチプレクサとしては通常シリコン（Ｓｌ）で製
したＣＯＤが使用される。そこでこのようなユニットを
赤外線ＣＯＤ （工ＲＣＯＤ）と呼ぶようになった＠こ
のような工ＲＣＣ！Ｄの構造については先に本出願人が
特開昭５５−１４２２１９号公報にて提案しているが、
その概略を第２図の模式図に従って説明する。図におい
て１はインジウムアンチモナイド（工１１３−Ｄ）等の
多元半導体からなる赤外線検知素子群で、Ｄｌ、Ｄ２．
Ｄｌｌ・・・・・・Ｄｎは各個の検知素子を示す。２は
Ｓｌからなるマルチプレクサで、Ｂｌ＋Ｂ２．Ｂ８・・
・・・・ＢｎはＣＣＤ３の各ピノ１−を示しているが、
各個の転送電極については図示していない。
１ＩＣｆｉ的に独立した多数の赤外線検知素子を支持板
上に一直線に配列して固定した赤外線検知素子群と、上
記赤外線検知素子群中の各素子の光電変換機能により生
じた電気信号を時系列化して外部へ取シ出すためのマル
チプレクサとを結合して単一ユニットとしたものがある
。該マルチプレクサとしては通常シリコン（Ｓｌ）で製
したＣＯＤが使用される。そこでこのようなユニットを
赤外線ＣＯＤ （工ＲＣＯＤ）と呼ぶようになった＠こ
のような工ＲＣＣ！Ｄの構造については先に本出願人が
特開昭５５−１４２２１９号公報にて提案しているが、
その概略を第２図の模式図に従って説明する。図におい
て１はインジウムアンチモナイド（工１１３−Ｄ）等の
多元半導体からなる赤外線検知素子群で、Ｄｌ、Ｄ２．
Ｄｌｌ・・・・・・Ｄｎは各個の検知素子を示す。２は
Ｓｌからなるマルチプレクサで、Ｂｌ＋Ｂ２．Ｂ８・・
・・・・ＢｎはＣＣＤ３の各ピノ１−を示しているが、
各個の転送電極については図示していない。
ＣＣＤ３と検知素子群１との間には入力ダイオード群４
、入力ゲート群５、直流分除去用の電極を有する蓄積ゲ
ート群６および移送ゲート電極７が存在する。これら電
極の役割は以下のとおりである。
、入力ゲート群５、直流分除去用の電極を有する蓄積ゲ
ート群６および移送ゲート電極７が存在する。これら電
極の役割は以下のとおりである。
入力ゲート電極５はマルチプレクサ２への入口の門戸に
相当し、入力ダイオード群４からＣＣＤ８への信号流入
量の調整をつかさどる。
相当し、入力ダイオード群４からＣＣＤ８への信号流入
量の調整をつかさどる。
入力ゲート電極５下を通過した電荷を蓄積ゲート電極６
下の電荷蓄積領域に一時蓄え、つぎに適当なときに移送
ゲート電極７を開くと電荷は該移トｔｉ６下よりも若干
電位障壁の高い空乏層がその下にできるように選定すれ
ば蓄積グー）ｔ［６の下に蓄えられた電荷のうち所定址
の電荷が常に残留し、これを越える量だけ電荷転送部３
に注入されることになる。次に図示しない直流分除去用
の制御ゲート電極に所定の電圧を印加して残留する電荷
をドレイン領域に排出する。
下の電荷蓄積領域に一時蓄え、つぎに適当なときに移送
ゲート電極７を開くと電荷は該移トｔｉ６下よりも若干
電位障壁の高い空乏層がその下にできるように選定すれ
ば蓄積グー）ｔ［６の下に蓄えられた電荷のうち所定址
の電荷が常に残留し、これを越える量だけ電荷転送部３
に注入されることになる。次に図示しない直流分除去用
の制御ゲート電極に所定の電圧を印加して残留する電荷
をドレイン領域に排出する。
次にマルチプレクサの電荷入力領域および電荷排出領域
を拡大して示した第３図について説明する。
を拡大して示した第３図について説明する。
図において、電荷入力領域ａは入力ダイオードより、入
力ゲートエＧ、蓄積グー）ＳＧからなる。
力ゲートエＧ、蓄積グー）ＳＧからなる。
入力ダイオードよりから注入された電荷は、蓄積グー）
ＳＧ下で蓄積される。入力グー）工Ｇは、注入される電
荷量を制御する。電荷排出領域すは、制御ゲートＣＧと
オーバフロードレインＯＦＤからなる。制御ゲートＣＧ
がオンになると蓄積ゲートＳＧ下の電荷はドレイ１０Ｆ
Ｄから排出される。
ＳＧ下で蓄積される。入力グー）工Ｇは、注入される電
荷量を制御する。電荷排出領域すは、制御ゲートＣＧと
オーバフロードレインＯＦＤからなる。制御ゲートＣＧ
がオンになると蓄積ゲートＳＧ下の電荷はドレイ１０Ｆ
Ｄから排出される。
排出されずに蓄積ゲートＳＧ下に残った電荷は、移送ゲ
ートＴＧを通じてＣＣＤ３で順次転送され読み出される
。
ートＴＧを通じてＣＣＤ３で順次転送され読み出される
。
なお、第３図中のＡｌ、Ａ２．Ａ）１はそれぞれ入力ダ
イオードよりに接続された入力端子を、ＬＬ ｒ Ｌ２
。
イオードよりに接続された入力端子を、ＬＬ ｒ Ｌ２
。
Ｌａ、Ｌ４は入力ゲートエＧ、蓄積グートＳＧ、制御ゲ
ートＣＧ、オーバフロードレインＯＦＤの各パスライン
を示している。
ートＣＧ、オーバフロードレインＯＦＤの各パスライン
を示している。
このようなマルチプレクサの従来の検査方法は第４図の
部分図に示すように、グローμを用いてＣＣＤマ／ｌ／
チプレクサ２の多数の入力端子Ａｌ、Ａ２゜Ａ８・・・
・・・および各パスフィンの端子（以下、駆動用端子と
呼ぶ）に各々プローブｐｔ 、ｐ２．、ｐ３・・・で結
線して、ウェハ状態でＣＣＤマμチプレクサの機能検査
を行っていた。
部分図に示すように、グローμを用いてＣＣＤマ／ｌ／
チプレクサ２の多数の入力端子Ａｌ、Ａ２゜Ａ８・・・
・・・および各パスフィンの端子（以下、駆動用端子と
呼ぶ）に各々プローブｐｔ 、ｐ２．、ｐ３・・・で結
線して、ウェハ状態でＣＣＤマμチプレクサの機能検査
を行っていた。
このような従来の検査方法では、前述したように入力ダ
イオードの数が増えて入力端子間隔力ｇうぐ （第４図Ｔ狭くなるにしたがい（但し、入力端子の数は
増えてもＣＯＤ等の駆動用端子数は一定である）プロー
ブと入力端子との位置合わせが困難になシ、検査時間が
長くなるという欠点が生じていた。
イオードの数が増えて入力端子間隔力ｇうぐ （第４図Ｔ狭くなるにしたがい（但し、入力端子の数は
増えてもＣＯＤ等の駆動用端子数は一定である）プロー
ブと入力端子との位置合わせが困難になシ、検査時間が
長くなるという欠点が生じていた。
さらに、高密度化が進むと、入力端子間の間隔が挟ます
ぎてプローブがたたなくなり、結局各素子をチップ化し
て、ステムにポンダングした後検査するしかなく工数の
増大をまねいていた。
ぎてプローブがたたなくなり、結局各素子をチップ化し
て、ステムにポンダングした後検査するしかなく工数の
増大をまねいていた。
本発明は入力端子（ポンダイングバンド）間隔が極小で
、入力端子にプローブがたたないぐらい高密度のマルチ
プレクサでもウェハ状態で容易に機能検査ができる検査
方法を提供することを目的としている。
、入力端子にプローブがたたないぐらい高密度のマルチ
プレクサでもウェハ状態で容易に機能検査ができる検査
方法を提供することを目的としている。
本発明は、多数の電荷入力領域（〜と、該電荷入力領域
（ａ）のそれぞれに隣接配置された電荷排出領域（ｂ）
と、前記電荷入力領域（ａ）からの電荷を移送ゲート（
ＴＧ）を介して導入するＣ ＯＤ（３）を備えたマルチ
プレクサにおいて、少なくとも一つの電荷入力領域に光
を照射して電荷を蓄積した萱、電荷排出領域（′０より
電荷を排出し、その後ＣＣＤ（３）に導入した電荷を転
送してその出力波形から欠陥部を検査することを特徴と
するマルチプレクサの検査方法である。
（ａ）のそれぞれに隣接配置された電荷排出領域（ｂ）
と、前記電荷入力領域（ａ）からの電荷を移送ゲート（
ＴＧ）を介して導入するＣ ＯＤ（３）を備えたマルチ
プレクサにおいて、少なくとも一つの電荷入力領域に光
を照射して電荷を蓄積した萱、電荷排出領域（′０より
電荷を排出し、その後ＣＣＤ（３）に導入した電荷を転
送してその出力波形から欠陥部を検査することを特徴と
するマルチプレクサの検査方法である。
本検査方法では、ＣＯＤマルチプレクサへの電荷注入は
、光によるため、多数の入力端子へのプローブによる結
線が不要となるので、迅速に機能検査を行うことができ
る。
、光によるため、多数の入力端子へのプローブによる結
線が不要となるので、迅速に機能検査を行うことができ
る。
本検査方法の一手順を第３図のマルチプレクサの構造図
および第１図のマ）Ｖチブレクサの出力波形図を参照し
ながら説明する。
および第１図のマ）Ｖチブレクサの出力波形図を参照し
ながら説明する。
■ ＯＣＤマμチプレクサ２の駆動用端子り、、Ｌ２・
・・・・・にプローブで結線し、駆動用パルスとＤＣバ
イアスを印加する（入力端子にはプローグをたてない）
。
・・・・・にプローブで結線し、駆動用パルスとＤＣバ
イアスを印加する（入力端子にはプローグをたてない）
。
■ ＣＯＤマルチプレクサ全体に均一な可視光を照射す
る。電荷入力領域ａの蓄積ゲートＳＧする。
る。電荷入力領域ａの蓄積ゲートＳＧする。
■ 制御ゲートＣＧをオフにして、ＣＣＤ３の出力波形
を調べる。
を調べる。
第１図（ａ）に出力波形の例を示す。この時の出力電圧
は、電荷入力領域ａで発生した電荷と他の領域、例えば
、ＣＣＤ３０転送電極（ポリＳ１で形成）下で発生した
電荷の和に比例した値である。
は、電荷入力領域ａで発生した電荷と他の領域、例えば
、ＣＣＤ３０転送電極（ポリＳ１で形成）下で発生した
電荷の和に比例した値である。
■ 制御ゲートＣＧをオンにして、ＣＣＤ３の出力波形
を調べる。正常動作のＣＯＤマルチプレクサでは、第１
図（ｂ）に示したように、電荷入力領域ａでの電荷がオ
ーバフロードレイン○ＦＤに排出されるため、出力電圧
は均一に小さくなるが、第１図（０）に示すように、第
２の入力領域に対応したオーバフロードレインＯＦＤ、
または制御ゲートＣＧにバイアスが印加されていない場
合は第２電荷入力領域に対応した出力は小さくならない
。つまり、オーバフロードレインゐ○ＦＤとバヌライン
Ｌ４とのコンタクト不良、または制御グー）ＣＧとパヌ
ラインＬ８ とのコンタクト不良等が考えられ、各電荷
排出領域の機能を検査することができる。
を調べる。正常動作のＣＯＤマルチプレクサでは、第１
図（ｂ）に示したように、電荷入力領域ａでの電荷がオ
ーバフロードレイン○ＦＤに排出されるため、出力電圧
は均一に小さくなるが、第１図（０）に示すように、第
２の入力領域に対応したオーバフロードレインＯＦＤ、
または制御ゲートＣＧにバイアスが印加されていない場
合は第２電荷入力領域に対応した出力は小さくならない
。つまり、オーバフロードレインゐ○ＦＤとバヌライン
Ｌ４とのコンタクト不良、または制御グー）ＣＧとパヌ
ラインＬ８ とのコンタクト不良等が考えられ、各電荷
排出領域の機能を検査することができる。
なお、第１図（ａ）の第６．第７の出力は電荷入力領域
ａを設けていｌいビットの出力でろるので、電荷排出の
有無によって、電荷入力領域ａでの電荷を他の領域での
電荷と容易に区別できる。このため、電荷入力領域ａか
らＣＣＤ３への転送およびＣＣＤ３内での転送が正常に
行なわれていることが、同時に検査できる。
ａを設けていｌいビットの出力でろるので、電荷排出の
有無によって、電荷入力領域ａでの電荷を他の領域での
電荷と容易に区別できる。このため、電荷入力領域ａか
らＣＣＤ３への転送およびＣＣＤ３内での転送が正常に
行なわれていることが、同時に検査できる。
以上の実施例では、７７レチプレクサ全面に光照射した
が、光スポットを入力ダイオードよりのみに照射して、
個々の電荷入力領域および電荷排出領域の各ゲートの断
線等を切分けることもでさる。
が、光スポットを入力ダイオードよりのみに照射して、
個々の電荷入力領域および電荷排出領域の各ゲートの断
線等を切分けることもでさる。
この場合は、各ゲートは必ずしも光透過性のポリＳｉで
形成する必要はなく、金属ゲートでもよい。
形成する必要はなく、金属ゲートでもよい。
本発明の検査方法によれば、多数の入力端子に結線して
電気的に電荷を注入する必要がなく、ウェハ状態でプロ
ーパを用いて検査できる。
電気的に電荷を注入する必要がなく、ウェハ状態でプロ
ーパを用いて検査できる。
また電荷排出の有無によって、電荷排出領域の機能検査
と電荷入力領域の電荷が正常に転送されるかどうかを同
時に検査でさるため、検査時間を短縮出来る効果がある
。
と電荷入力領域の電荷が正常に転送されるかどうかを同
時に検査でさるため、検査時間を短縮出来る効果がある
。
第１図は本発明の検査方法でのマルチブレフサの出力波
形例を示す図、第２図は工ＲＣＣＤの構成図、第３図は
マルチブレフサの拡大図、第４図は従来の検査方法を説
明する図である。 図面において、２はマルチブレフサ、８はＣＯＤ、ＩＤ
は入力ダイオード、工Ｇは入力ゲート、ＳＧは蓄積ゲー
ト、ＣＧは制御ゲート、ＯＦ Ｄはオーパフロードレイ
ノ、Ａ１〜Ａａハ入力端子、Ｌ１〜Ｌ４ はパスライン
をそれぞれ示す。 第１ＩＡ 第２悶
形例を示す図、第２図は工ＲＣＣＤの構成図、第３図は
マルチブレフサの拡大図、第４図は従来の検査方法を説
明する図である。 図面において、２はマルチブレフサ、８はＣＯＤ、ＩＤ
は入力ダイオード、工Ｇは入力ゲート、ＳＧは蓄積ゲー
ト、ＣＧは制御ゲート、ＯＦ Ｄはオーパフロードレイ
ノ、Ａ１〜Ａａハ入力端子、Ｌ１〜Ｌ４ はパスライン
をそれぞれ示す。 第１ＩＡ 第２悶
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 多数の電荷入力領域（ａ）と、該電荷入力領域（ａ）の
それぞれに隣接配置された電荷排出領域（ｂ）と、前記
電荷入力領域（ａ）からの電荷を移送ゲート（ＴＧ）を
介して導入するＣＣＤ（３）とを備えたマルチプレクサ
において、 少なくとも一つの電荷入力領域に光を照射して電荷を蓄
積した後、電荷排出領域（ｂ）より電荷を排出し、その
後ＣＣＤ（３）に導入した電荷を転送してその出力波形
から欠陥部を検査することを特徴とするマルチプレクサ
の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61130473A JPS62286394A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | マルチプレクサの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61130473A JPS62286394A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | マルチプレクサの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62286394A true JPS62286394A (ja) | 1987-12-12 |
Family
ID=15035085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61130473A Pending JPS62286394A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | マルチプレクサの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62286394A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002330359A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-15 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその検査方法 |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP61130473A patent/JPS62286394A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002330359A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-15 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその検査方法 |
| JP4513229B2 (ja) * | 2001-05-02 | 2010-07-28 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及びその検査方法 |
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